【課題】誘導飛翔体において、複数の赤外線センサーにより、目標に向け誘導するセンサーシステムを提供する。
【解決手段】誘導飛翔体装置の側面に複数の分散させたウインドウ１を配置して、そのウインドウ１を開口として視野の一部を重なるように複数のセンサ部２を配置し、視野の重なる領域で別々のセンサ部２が探知した目標が同一か否かを判定する同定処理部９を有することで、異なるセンサ部２の視野の間で移動する同一の目標を追尾することができる。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

【課題】受光信号に基づく認識形状と対象物の実形状との相違により、対象物の変位測定の精度が低下することを抑制することが可能な二次元変位センサを提供する。
【解決手段】二次元変位センサ１は、ユーザが、認識形状Ｍ２が表示された前記表示部の表示画面内で対象物の対象領域を指定可能な指定部３７と、その対象領域に対応する二次元撮像部１５の撮像面上の領域内の画素からの受光信号に基づいて対象物の変位測定を行う変位測定部３３と、を備え、二次元撮像部からの受光信号に基づき、認識形状のうち、対象物において測定方向に直交する方向に沿った直線部分に相当する直線領域Ｎを抽出し、表示画面内において直線領域を、認識形状の他の領域と区別可能に表示させる。 （もっと読む）

【課題】光学システムにおいて、位相および振幅情報を含む波面分析、ならびに３Ｄ測定を実行する方法および装置、特に、光学システムの画像面のような、中間面の出力の分析に基づく方法および装置を提供する。
【解決手段】 薄膜コーティング、または多層構造の個々の層が存在する表面トポグラフィの測定について記載する。多重波長分析を、位相および振幅マッピングと組み合わせて利用する。マクスウェルの方程式の解に基づき、仮想波面伝搬を用いて、波面伝搬および再合焦によって位相および表面トポグラフィの測定を改良する方法について記載する。このような位相操作方法によって、または広帯域およびコヒーレント光源の組み合わせを利用する方法によって、光学撮像システムにおいてコヒーレント・ノイズの低減を達成する。本方法は、集積回路の分析に適用され、コントラストを高めることにより、または１回のショット撮像における３Ｄ撮像によってオーバーレイ測定技法を改善する。 （もっと読む）

【課題】管内スケールがポーラスなスケールの場合であってもスケールの高精度な計測を可能とし、かつスケールの厚さも正確に計測可能とした管内スケール計測装置及び計測方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ボイラ管１０１の内部に回転可能に設けられた回転体１と、回転体１の内側に設置されて該回転体を回転するモータ３と、回転体１の外周に設けられて該回転体とともに回転する機器台板１０と、該機器台板１０上に取り付けられてボイラ管１０１の内周のスケール付着部１０１ｂに向けてレーザ光を発振する発信器１１と、スケール付着部１０１ｂに向けて発振されたレーザ光３３の反射波を受信する受信器１３と、回転体１及び機器台板１０を管軸方向に移動せしめる軸方向移動機構を備え、発信器１１及び受信器１３を機器台板１０及び回転体１とともにボイラ管１０１の中心軸周りに回転可能に設置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 構成素子の配置誤差や画像情報検出装置自体の配置誤差に対して、パターンの検出位置精度が鈍感となる画像情報検出装置を提供すること。
【解決手段】 複数の感光ドラムを有するカラー画像形成装置の画像の重なりずれを検出する画像情報検出装置は、四角形の発光面を有する光源と、所定の方向に移動する像担持体と、四角形の受光面を有する受光手段と、前記光源の発光面と前記像担持体を共役関係にし、前記光源から出射された光束を前記像担持体上に形成された重なりずれ検出パターンに照射する照明光学系と、前記像担持体と前記受光手段の受光面を共役関係にし、前記重なりずれ検出パターンにて反射された光束を前記受光手段に導光する受光光学系と、を有し、前記発光面の前記像担持体上における共役像の輪郭を形成する発光面共役像直線部と前記受光面の前記像担持体上における共役像の輪郭を形成する受光面共役像直線部は平行である。 （もっと読む）

【課題】視野角を拡大した画像を生成すると共に、カメラ画像から同程度の視野角の被写体の距離を測定可能とした複眼カメラを提供し、新たな機能の実現や低コストで高性能なカメラ応用機器を提供する。
【解決手段】水平画角αの同一の２つのカメラａ、ｂのレンズ中心を含む平面上でカメラａ，ｂの光軸を水平画角αと同じ角度αで交差するように配置し、画像を合成することで、２αの視野のワイド画像を生成し、距離測定をできる。さらに同様の配置を行う４眼カメラの場合、垂直方向も２βの視野の画面を生成でき、距離測定範囲も同様に拡大できる。また背景画像を記憶し移動物・人物抽出部により背景の変化を記録することで、送信や記録の画像情報データ量を削減すると同時に忘れ物記憶や置き場所当てゲームなどができ、また動き出部情報から人物の体形情報を成長記録として残せ、また教師の動き情報との比較からダンス等の採点などの機能を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、１回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±４５°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】基板表面のレベル変動の測定時間を短縮する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、パターニングデバイスからパターンを基板（Ｗ）に転写するパターニングサブシステムを備える。パターニングサブシステムは、記録された基板表面のレベル変動の測定結果に従って制御される。レベルセンサ（ＬＳＰ，ＬＳＤ）は、レベルセンシング放射ビームを投影して基板表面の位置から反射させ、反射したセンシングビームを検出して位置の表面レベルを測定するために設けられる。レベルセンサは、少なくとも一つの移動光学素子（ＭＰ，ＭＤ）内蔵しており、基板表面を光学的移動（δＹ）により少なくとも一次元にスキャンして、レベルセンサと基板との間の機械的動作なしで異なる位置の表面レベルの測定結果を取得する。光路長等化手段は、成形リフレクタ及び／または追加的な移動ミラーを用いることにより、スキャンの間の焦点変動を回避するために配置される。 （もっと読む）

【課題】微小な欠陥を検出するために、照明光量を大きくすると、ウェハにダメージを負わせ、感度向上を妨げている。一方、検出範囲を空間的に小さくすると、欠陥以外による散乱光を排除する事ができ、高感度に検出する事ができ、さらに、検出範囲を小さくすることによる検査時間の増大するという課題がある。
【解決手段】本発明の特徴は、試料を移動する搬送系と、試料へ線状照明光を照射する照射光学系と、前記試料の高さを測定する高さ検出系と、複数の画素を有する検出器を備える検出光学系と、前記検出光学系の検出結果を用いて前記試料の異物又は欠陥を検査する処理部と、前記試料の高さを制御する制御部と、を有し前記制御部は、前記高さ検出系の測定結果を用いて、前記線状照明光の変動量が前記画素の大きさよりも小さくなるように、前記試料の高さを制御することにある。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーを用いて被検面の面位置を検出する際に、計測値のドリフトを小さくして、計測精度を向上させる。
【解決手段】被検面の面位置情報を検出するＡＦ系９０において、検出光ＤＬを被検面に斜めに投射する投射系９０ａと、その被検面で反射される検出光を受光する受光系９０ｂと、投射系９０ａ内で検出光ＤＬを反射する反射面が形成された可動部と、その可動部を支持する１対の支持部とを有する振動ミラー３８と、振動ミラー３８の支持部が固定される保持部材４８と、振動ミラー３８の可動部を振動させる駆動部４９と、受光系９０ｂで得られる検出信号をその可動部の振動に同期して処理する信号処理系２５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】主センサ手段と補助センサ手段を用いて作業対象物に対する正確な計測を行う。
【解決手段】マニピュレータ２によりオンハンドカメラ３を移動し、オンハンドカメラ３より得られた画像情報を用いてグローバルカメラ６の三次元位置及び姿勢を計測するように構成し、作業対象物Ｗに対する作業を行うのに先立ち、オンハンドカメラ３によりグローバルカメラ６の位置及び姿勢を計測する。 （もっと読む）

【課題】 投光系部品及び受光系部品が取り付けられた基板の剛性が低下してしまうことを防ぐ。
【解決手段】 投光器１１０及び受光器１２０が離間して取り付けられたベース基板１０２と、ベース基板１０２に取り付けられ、投光器１１０及び受光器１２０を収納するケース１０１と、を備え、ケース１０１は、投光器１１０を収納する投光器収納部１０１ｂと、受光器１２０を収納する受光器収納部１０１ａと、投光器収納部１０１ｂの開口周縁部１０１ｈと受光器収納部１０１ａの開口周縁部１０１ｇを連結する連結部１０１ｃと、を有し、連結部１０１ｃのベース基板１０２と対向する側の面には、投光器１１０に接続された電気ケーブル１４０を収納するための収納溝１０１ｆが形成されている。 （もっと読む）

【課題】被検物の三次元形状を測定する際に必要なメモリの容量を効率的に削減する。
【解決手段】形状測定装置において、ステップＳ５において、スポット光の照射位置が変化したと判定され、ステップＳ６において、過去にデータセットを記録した照射位置でないと判定された場合、測定データ、中間データおよび測定用画像データを含むデータセットを記録する。また、スポット光の照射位置が変化したか否かに関わらず、ステップＳ７において、現在のスポット光の照射位置でまだＮ回データセットを記録していないと判定された場合、データセットを記録し、すでにＮ回データセットを記録していると判定された場合、データセットを記録しない。本発明は、例えば、三次元形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】複数の検出対象物の位置をそれぞれ検出すること。
【解決手段】光学式位置検出装置は、相互に異なる第１の波長域及び第２の波長域に光強度を備えた位置検出光Ｌ２を放出する位置検出用光源部１４０と、第１の波長域の反射率が第２の波長域より高い反射特性を備えた第１検出対象物３１０と、第２の波長域の反射率が第１の波長域より高い反射特性を備えた第２検出対象物３２０と、第１の波長域の検出感度が前記第２の波長域より高い感度特性を備え第１の光検出信号を出力する第１光検出部４１０と、第２の波長域の検出感度が前記第１の波長域より高い感度特性を備え第２の光検出信号を出力する第２光検出部４２０と、位置検出用光源１４０を制御して光強度分布を形成するとともに、第１の光検出信号に基づいて第１検出対象物３１０の位置を検出し、第２の光検出信号に基づいて第２検出対象物３２０の位置を検出する位置検出部４００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】試料に形成された周期構造の特性を実時間で分析する。
【解決手段】波長の関数としての信号を発生させる分光計測モジュールがを使用する。出力信号はプロセッサーにより方形構造の理論的な初期モデルを構築する。次いで、プロセッサーは、この試料の広帯域放射に対する理論的な光学的応答を計算する。光学的応答の計算結果は、複数の波長において計測され正規化された値と比較される。この比較に基づいて、モデルの構成は実際の計測された構造により近づくよう修正される。プロセッサーは修正されたモデルの光学的応答を再計算し、計算結果を正規化されたデータと比較する。最適な方形が得られるまでこの処理が反復して繰り返される。その後、モデルを各々幅と高さを持つ層に分割しモデルの複雑さを反復して増大させる。構造が周期構造に類似するような最適なモデルが得られるまで、反復処理によりデータが最適化される。 （もっと読む）

【課題】複雑な画像信号処理回路なしに簡単な構成で手などの人の動きを容易に検出できる小型で安価な光学式検出装置を提供する。
【解決手段】エリアセンサである発光素子２と、発光素子２から出射された光束を測定対象物２０に照射する発光レンズ部４aと、測定対象物２０からの反射光を集光する受光レンズ部５aと、受光レンズ部５aにより集光された測定対象物２０からの反射光を検出する受光素子３と、受光素子３からの受光信号を処理する信号処理部７とを備える。上記信号処理部７は、受光素子３からの受光信号に基づいて、受光素子３上の光スポット位置または光スポット形状の少なくとも一方からｘｙ座標平面上の測定対象物２０のｘ座標またはｙ座標の少なくとも一方を検出する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、電子カメラで被写体や現場状況の撮像を行いながら被写体をズームアウト（縮小）したり、ズームイン（拡大）したりして撮像しても正確にかつ簡便に被写体の大きさや寸法を測定する装置および方法の提供を課題とする。
【解決手段】 被写体寸法の測定または比較機能付カメラ装置において、複数のビーム光源と、該複数のビーム光源は前記カメラの光軸と並行して発光ビームを照射するよう所定距離だけ離間して前記カメラに装着されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】計測能力を向上すること。
【解決手段】所定の移動面内を移動する移動体の移動情報を検出する計測装置であって、ピッチが互いに等しくなるように配置された格子をそれぞれ有し、当該格子の位相が互いにずれるように移動体に設けられた複数の回折格子と、光源からの光を複数の回折格子のそれぞれに向けて射出すると共に、複数の回折格子のそれぞれにおいて得られた回折光を個別に干渉させる光学系と、光学系を介して得られた干渉光を検出し、検出結果に基づいて移動情報を検出する検出装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】鋼板の圧延プロセスにおけるロール疵を軽度なものから重度のものまで精度よく検出する圧延性ロール疵検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】熱延ラインの仕上げ圧延機１１の最終スタンドとダウンコイラ１４前のピンチロール１３との間の、冷却帯１２の後のランナウトテーブル上に、圧延性ロール疵検出装置１５を設置し、その投光部は、被検査体の幅方向斜めより被検査体の検査対象面上に光を照射する （もっと読む）