【課題】計測精度を高精度化し、また計測時間を高速化することができる３次元寸法を計測する装置及び方法を提供する。
【解決手段】基準プレート６上方に配置された位置計測カメラ２で基準プレート６とその上の計測対象物１を撮影し、計測対象物１の基準プレート座標系での２次元座標を演算する。２次元座標上において複数の探査領域ＳＡ１〜ＳＡ４の位置を特定し、３次元計測カメラ３の撮影位置である複数の視点位置を画像認識にて演算する。視点位置から、基準プレート６と計測対象物１とを含んだ画像を３次元計測カメラ３で撮影する。３次元計測カメラ３で撮影した画像から、３次元計測カメラを基準とした複数の３次元座標を演算する。この座標を、基準プレートを基準とした世界座標系に統合する。世界座標系での３次元座標に基づき、計測対象物１の取付け具１２、１３相互間の寸法を演算する。 （もっと読む）

【課題】校正作業のバラツキを最小限にとどめ、車輪の所定の計測項目を計測する際の計測データの信頼性を向上させることができる車輪形状校正冶具、車輪形状校正冶具を用いた校正方法を提供する。
【解決手段】車輪形状校正冶具１０は、光切断法によるレーザ線条光が照射され、所定の計測項目が計測される未使用時の車輪における計測部位と同一寸法であって、かつ、その寸法が既知である計測部位を有する校正冶具本体１１と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を回転させ、レール２に対し任意のアタック角を設定する回転ステージ１２と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を前後左右に移動させるＸ，Ｙ方向移動ステージ１３，１４と、校正冶具本体１１等を搭載し、レール２上に設置される架台１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】車輪の径中心を求める必要も、カメラの焦点も変える必要がなく、簡単に光切断法による車輪の形状計測を実行できる車輪形状計測装置等を提供する。
【解決手段】レールに対し所定の高さに設置され、通過センサ１１ａ〜１２ｂによって車輪１０ａが通過したことが検出された場合、車輪１０ａ，１０ｂの計測部位に向け水平方向にレーザ線条光を照射するレーザ線条光照射部１３ａと、車輪１０ａ，１０ｂの通過が検出された場合、レーザ線条光が照射された車輪１０ａ，１０ｂの照射部位を撮影するカメラ１５ａ，１７ａと、それらのカメラ１５ａ，１７ａが撮影した車輪１０ａ，１０ｂの照射部位の画像を画像処理して、水平方向にレーザ線条光を照射したことに基づく歪を補正する画像処理部１８と、歪補正された画像に基づいて車輪１０ａ，１０ｂの形状に関する所定の計測項目を計測する車輪形状計測部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】磁気センサや大型マグネットを用いることなく、簡単かつ小型な構成で、１ｍｍ以上の位置センシングが良好にでき、また高い分解能の検出が可能となるようにする。
【解決手段】発光素子９と受光素子１０を有する反射型フォトセンサ７、移動方向に対し上り傾斜Ｋａ及び下り傾斜Ｋｂを有する形状が形成された反射板８を備え、上記受光素子１０では、検出出力が反射板８の移動量に応じて直線的に変化するように、移動方向の中心部から両端へ向かう程、単位長さ当りの面積が広くなる受光領域を設け、上記反射板８をフォトセンサ７の発光／受光面Ｓ_Ｌに略平行で、かつ発光素子９と受光素子１０を結ぶ方向に略垂直となる方向に移動するように配置する。これにより、長い距離でリニアリティがあり、高分解能の検出ができる。 （もっと読む）

【課題】光学式のセンサー部によって測定する、被検物の形状測定の測定精度を向上させる。
【解決手段】被検物にライン光を照射する光照射部（９１）およびライン光の照射方向とは異なる方向から被検物に照射されたライン光を検出する検出部（９２）を有するセンサー部（２０）と、互いに直交する座標系の座標軸方向それぞれに、センサー部（２０）を移動させる移動部と、移動部に対してセンサー部（２０）を回転可能に支持する回転機構と、座標系の基準位置を示す球を検出することにより、移動部に対するセンサー部（２０）の回転方向を算出する回転方向算出部（３５９）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】断面外径が円形の計測対象物の真円度をリアルタイムで計測できる真円度計測システムを提供すること。
【解決手段】 断面外形が円形の連続的に移動する計測対象物Ｔの表面に、移動方向Ｐに対して直角な方向に線状の光を照射する光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと、前記測定対象物Ｔにおける前記光の照射領域を、前記搬送方向Ｐに対して直角で無い角度方向から撮像する撮像手段とＵ１ｂ〜Ｕ４ｂ、前記各撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂからの画像情報に基づいて、前記計測対象物Ｔの断面外形の真円度を計算する計算手段Ｃを備え、前記光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂとが少なくとも２組設けられ、これら２組の光源Ｕ１ａ〜Ｕ４ａと撮像手段Ｕ１ｂ〜Ｕ４ｂは前記計測対象物Ｔの移動方向Ｐの上流から下流に向かう方向から見た場合に、前記測定対象物Ｔの中心軸に関して相互に等角度間隔に配置されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の表面や欠陥の形状に関わらず、欠陥を精度良く検出できるようにする。
【解決手段】検査対象物の表面に生成される照射パターンが少なくとも十字形状及びリング形状となる２種類以上のパターン光を発光部６０１から検査対象物の表面に照射する。そして、所定の方向に走査しながら前記検査対象物の表面にパターン光を照射するようにする。一方、撮像部６０２は、照射されたパターン光により生成される照射パターンを含む画像を撮影し、画像処理部６０３は、前記撮影された画像に含まれる照射パターンの形状の変化に基づいて前記検査対象物の表面の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】モーションキャプチャ装置の座標系を簡便且つ正確に校正する。
【解決手段】下記の工程を含むことを特徴とする校正方法。
１．校正装置をデュワヘルメットの測定対象物挿入穴に配置する工程。２．校正装置を構成する各校正用コイルに通電し、デュワヘルメットの測定対象物挿入穴における各校正コイルの位置を算出する工程。３．カメラ及びモーションキャプチャ制御ＰＣで構成されるモーションキャプチャ装置にて、各校正用コイル１８の位置を算出する工程。４．工程２にて算出したデュワヘルメットの測定対象物挿入穴における各校正用コイルの位置座標をモーションキャプチャ装置にて算出された校正用コイルの位置として用いてモーションキャプチャ装置の校正を行う。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン薄膜の表面の画像を検出して多結晶シリコン薄膜の表面の状態を観察し、多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査することを可能にする。
【解決手段】多結晶シリコン薄膜の検査装置を、表面に多結晶シリコン薄膜が形成された基板１００に光を照射する光照射手段８００と、光照射手段８００により基板１００に照射された光のうち多結晶シリコン薄膜を透過した光または多結晶シリコン薄膜で正反射した光の近傍の多結晶シリコン薄膜からの散乱光の像を撮像する撮像手段８２０と、この撮像手段８２０で撮像して得た散乱光の画像を処理して多結晶シリコン薄膜の結晶の状態を検査する画像処理手段７４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥を、最も鮮明な明暗像になる状態で結像させることにより、欠陥を漏れなく検出し、信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、光源から発した平行光の照射方向に配置したミラーによって反射させる機構を有した照明手段と、この平行光をシート状物の走行方向に対して斜めに透過させ、透過した光を結像させるための曲面状のスクリーンと、スクリーンの曲面に結像した光を、合焦するように、スクリーンの曲面の曲率半径上に合焦点を起点として角度調節できる機構を有する撮像手段と、撮像手段によってスクリーンに結像した光を明暗信号として検出する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】光学式変位センサにおいて、測定範囲のどの位置においても、測定を適切に行うことを可能とする受光レンズの配置方法を提供することである。
【解決手段】光学式変位センサ１０は、投光モジュール９と、投光モジュール９からの光による測定対象物１６からの反射光を受光する受光素子１３と、測定対象物１６と受光素子１３との間に位置して、反射光を受光素子１３に結像する受光レンズ１４とを備える。測定対象物１６で光が反射する位置は、投光モジュール９の光軸Ｌ_１上において、光源１１に近い第一の位置Ｐ_Ｎ１から光源１１から離れた第二の位置Ｐ_Ｆ１までの所定の範囲Ｗ_１である。そして、第一の位置Ｐ_Ｎ１から受光レンズ１４に入射する反射光の入射角θ１と、第二の位置Ｐ_Ｆ１から受光レンズ１４に入射する反射光の入射角θ２とが、同じ角度になるように、受光レンズ１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の波長毎の反射率を精度良く測定することができる反射率測定装置及び反射率測定方法、並びに本発明による反射率測定装置を備えた膜厚測定装置及び本発明による反射率測定方法を含む膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】
反射率測定装置１は、照射光Ｌ１を測定対象物へ供給する測定光源３０と、照射光Ｌ１の強度及び測定対象物からの反射光Ｌ２の強度を波長毎に検出する分光検出部８０と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値を、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度の検出値に相当する値に変換する変換係数Ｋ（λ）を記録する係数記録部９２と、照射光Ｌ１の波長毎の強度の検出値及び変換係数Ｋ（λ）より求まる、基準測定対象物からの反射光Ｌ２の波長毎の強度に相当する値に基づいて、波長毎の反射率を算出する反射率算出部９３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】コストを低減しつつ部品の長さを検知することができる部品長さ検知機構および部品供給装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、１組の発光手段３４と受光手段３６とからなる光センサ２８と、ネジ３２を移動させるための供給テーブル２２、テーブル台２４、アクチュエータ２６と、を有し、発光手段３４が発する光の照射方向とネジ３２の移動方向とが鋭角に交わり、ネジ３２が移動する経路における上流側検査位置４４と上流側検査位置４４よりも発光手段３４から遠い位置にある下流側検査位置４６の少なくとも２箇所にて光センサ２８がネジ３２を検知した回数をもとにネジ３２の長さを検知すること、を特徴とする部品長さ検知機構１０である。 （もっと読む）

【課題】被測定マスク基板に焼き付きを生じさせることなく、非破壊での測定を可能とするとともに、個々の露光条件を考慮して精度良く微細加工処理が施された基板上のパタン幅を露光機における実効的なパタン幅として測定することが可能なパタン幅測定装置を提供する。
【解決手段】空間領域及び／又は時間領域でのコヒーレントな光を、被検パタンを微細加工した被検マスク基板２に照射する照射部１０と、照射部１０により照射された被検マスク基板２上の被検パタンからの回折光を受光する撮像素子１５と、撮像素子１５による受光結果である画像情報を記録する記録部１６ａと、記録部１６ａに記録された受光結果である画像情報を解析して、微細加工処理が施された被検マスク基板２上のパタン幅を測定する測定処理部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】一度のスリット光の走査により、任意の断面線における断面形状を検査することができる形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】撮像光学系１２を用いて被検査物２０の形状を検査する形状検査装置１０であって、被検査物２０にスリット光を投射する投射手段１３と、スリット光の走査により被検査物２０上に順次形成される形状線を撮像する撮像手段１４と、順次形成された各形状線の撮像データに基いて、被検査物２０の三次元形状を点群データとして取得する点群データ取得手段と、点群データに基いて表示された被検査物に、入力に応じて切断線を設定する切断線設定手段と、切断線に対応した点群データにより、切断線における被検査物２０の断面形状を算出する断面形状算出手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業で、大型構造物の計測ができる画像計測方法及び画像計測装置を提供する。
【解決手段】計測対象物である圧力容器１００をカメラ２で撮像して撮像画像を取得し、その撮像画像をカメラパラメータに基づいて補正し、補正した計測用画像から計測対象であるボルト孔１０１と同一平面上に存在する基準円１５０を抽出し、その基準円１５０からカメラ２の撮像位置を推定し、上記計測用画像から２つのボルト孔１０１を検出して、この検出した情報と撮像位置の情報に基づいて、２つのボルト孔１０１間の距離を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】第１表面に対向する第２表面による反射像の影響を受けずに被評価物体の表面形状を精度よく評価することができるようにする。
【解決手段】評価装置は、評価対象である板ガラスなどの被評価物体３の表面３ａに映し出されたストライプパターン１を、ＣＣＤカメラ２によって撮像するように構成されている。ストライプパターン１は、光源の発光面に設けられている。また、被評価物体３の裏面３ｂには、屈折率が被評価物体３の屈折率に近い反射抑制層２０が、裏面３ｂに接するように配置されている。ＣＣＤカメラ２によって撮像された画像は、演算装置としてのコンピュータ４に取り込まれ、コンピュータ４によって画像解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】薄膜化されたレジストを有する測定パターンの構造をスキャトロメトリ法で測定する場合、構造を十分な測定感度で測定できない部位が生じ、測定パターンの構造を精度良く測定できないことがある。
【解決手段】光源２０１は、光ビームを測定パターン３０１に照射するスペクトル測定部２０４は、光ビームの測定パターン３０１による反射回折光のスペクトルである実スペクトルを検出する。制御部２０５は、実スペクトルと、予め用意されたモデルパターンから算出される理論スペクトルとの波形フィッティングを、その実スペクトル内の複数の波長領域のそれぞれについて行い、測定パターンの構造を測定する。 （もっと読む）