【課題】基板表面に対して光ビームを照射して描画する描画装置およびその焦点調整方法において、収束光学系の経時変化に対応することができ、しかも描画時の基板表面に収束光学系の焦点位置を適正に調整することのできる技術を提供する。
【解決手段】観察光学系８０のダミー基板８０１と観察用カメラ８０３とを一体的に昇降可能とする。ダミー基板８０１の上面８０１ａをステージ１０上の基板Ｗの表面Ｓと略同一の高さに設定し、観察用カメラ８０３により観察されるダミー基板上面８０１ａでの描画光学像が最も小さくなるように、光学ヘッド４０ａのフォーカシングレンズ４３１の位置を調整する。このときの光学ヘッド４３１とダミー基板上面８０１ａとの距離を基準距離として、オートフォーカス部４４１，４４２によるオートフォーカス動作を実行する。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラにより取得されるステレオ画像を利用して、階段等の段差部の踏面の先端側エッジの空間的な位置及び方向を含む該段差部を配置位置を精度良く認識することができる装置を提供する。
【解決手段】カメラ３Ｒ，３Ｌのうちの基準画像に、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)を設定すると共に、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)のそれぞれにおける実エッジ投影線Ｌ52rの複数の候補位置ｖ(k1)を設定し、各演算処理領域毎に、各候補位置の実エッジ投影線（段差部の先端側エッジの投影線）の位置に対する適合度を表す評価関数の値を射影変換を利用して算出する。実エッジ投影線を推定してなる推定エッジ投影線を、複数条の演算処理領域Ｒ３min(k2)のそれぞれにおける推定エッジ投影線の位置の適合度を合成してなる合成適合度が最も高くなるように決定する。推定エッジ投影線と段差部の踏面の平面パラメータとに基づいて段差部の空間的な配置を認識する。 （もっと読む）

【課題】受光部のフォーカス調整を容易に行う。
【解決手段】画像取得装置は、ガラス基板９上における線状の撮像領域を撮像する撮像ユニット２と、ガラス基板９を撮像領域と交差する方向に移動する移動機構とを備える。撮像ユニット２は、光照射部２１および受光部２３を有し、光照射部２１により撮像領域に光が照射され、撮像領域からの光が受光部２３のラインセンサへと導かれる。画像取得装置では、受光部回動機構が受光部２３を回転することにより受光部２３の光軸Ｊ２とガラス基板９の法線Ｎとのなす検出角θ２が変更される。撮像ユニット２は、光軸Ｊ２に沿って受光部２３を移動する受光部移動機構をさらに備え、検出角θ２の変位量に基づいて受光部移動機構を制御することにより、光軸Ｊ２上においてラインセンサの受光面と共役な位置Ｐがガラス基板９の表面に配置される。これにより、受光部２３のフォーカス調整が容易に行われる。 （もっと読む）

【課題】反射面を通過した光束に発生する偏光成分による相対的な位置ずれなどの影響を実質的に受けることなく、被検面の面位置を高精度に検出することのできる面位置検出装置。
【解決手段】投射系は、第１反射面７ｂ，７ｃを有する投射側プリズム部材７を備えている。受光系は、投射側プリズム部材に対応するように配置された第２反射面８ｂ，８ｃを有する受光側プリズム部材８を備えている。第１反射面および第２反射面を通過した光束の偏光成分による相対的な位置ずれを補償するための位置ずれ補償部材をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、チャックのθ方向の傾きを精度良く検出して、基板のθ方向の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】第１のステージに搭載されＹ方向（又はＸ方向）へ移動する第２のステージに第２の反射手段（３５）を取り付け、第２の反射手段（３５）のθ方向の位置ずれを検出する。チャック（１０ａ，１０ｂ）に複数の光学式変位計（４１）を設け、複数の光学式変位計（４１）により、第２のステージに取り付けた第２の反射手段（３５）までの距離を複数箇所で測定する。第２の反射手段のθ方向の位置ずれの検出結果に基づき、複数の光学式変位計（４１）の測定結果から、チャック（１０ａ，１０ｂ）のθ方向の傾きを検出し、検出結果に基づき、第３のステージによりチャック（１０ａ，１０ｂ）をθ方向へ回転して、基板（１）のθ方向の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】基板の一面を複数のショットに分けて露光する際、ショット毎に、マスクと基板とがより平行な状態でギャップ合わせを行って、露光精度を向上させる。
【解決手段】マスクホルダ２０とチャック１０とを相対的にＺ方向へ移動及びチルトする複数のＺ−チルト機構３０と、マスク２と基板１とのギャップを複数箇所で測定する複数のギャップセンサー３０とを設ける。予め露光した基板のパターンを測定して、各ギャップセンサー４０の測定点におけるショット毎のオフセット値を決める。ショット毎に、各ギャップセンサー４０の測定値を、各測定点におけるショット毎のオフセット値で補正し、補正後の補正値に基づいて、複数のＺ−チルト機構３０によりマスク２と基板１とのギャップ合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気中で測定対象物を精度良く測定でき、光ファイバを着脱しても、測定精度に影響の無いエリプソメータを提供する。
【構成】投光部１３と受光部１４を筺体１１の内部に配置し、発光装置１２を筺体１１の外部に配置し、光配線装置１８によって、発光装置１２と投光部１３とを光接続する。投光部１３は入射光を偏光して測定光を生成し、測定対象物７に照射し、反射光を受光部１４によって受光して筺体１１の外部に配置された分析装置１５へ送光すると、分析装置１５で膜厚が求められる。測定対象物７を真空雰囲気中で測定でき、光配線装置１８と投光部１３とを着脱しても、相対的に同じ位置で仮固定され、着脱が測定精度に影響を与えない。 （もっと読む）

【課題】太陽光などの投光波長以外の光を極限まで制限して、投光波長のみを受光できるようにする。
【解決手段】干渉膜を使った平面板の干渉フィルタを用いて広い視野の検出手段を構成すると、平面板の干渉フィルタへの入射角に応じて透過帯域の移動が起こり、所望の信号強度を得ることが困難となる。この発明は、干渉フィルタの形状を球面状にして全視野の受光光線を干渉フィルタの入射面に対して垂直に入射するようにして、透過帯の移動をなくし、所望の信号強度を得るようにした。また、受光レンズの第一主点と球面状干渉フィルタの球面中心とを一致させて配置することにより、干渉フィルタへ入射する反射光の入射角を０°にして透過帯域が変化しないようにした。 （もっと読む）

【課題】シート材の影響を抑制してテストパターンの位置を検出する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】液滴の吐出タイミングを調整する装置１００であって、テストパターンからの反射光を読み出す読み取り手段３０と、均一パターンの印刷データを記憶する印刷データ記憶手段５４と、均一パターンを記録媒体に印刷した後、テストパターンを均一パターン上に印刷するパターン形成手段５２と、読み取り手段を等速で移動させる相対移動手段３１３と、テストパターンが形成された記録媒体に対し読み取り手段が相対移動しながら、テストパターンを光が横断する際に前記受光手段が受光した反射光の第１の検出データを取得する第１の検出データ取得手段６１７と、予め定められた上限値と下限値の間に含まれる第１の検出データにライン位置決定演算を施してテストパターンの位置を検出する位置検出手段６１６、を有する。 （もっと読む）

【課題】自動車のドア側のシール面とボディー側のシール面との間のシール面間寸法を正確かつ短時間で測定する。
【解決手段】少なくとも片面に配置された複数のターゲットマーク１３を表にして車両のボディー側に取り付けるボディー側ターゲットボード１１と、両面に配置された複数のターゲットマークが表裏から見えるように車両のドア側に取り付けるドア側ターゲットボード１２と、車両のボディー側のシール面およびドア側のシール面にレーザ光を照射するレーザ光照射部２２と、ターゲットボード１１、１２を撮影するステレオカメラ２３と、撮影したレーザ光からボディー側およびドア側のシール面の断面形状を認識し、撮影したターゲットマーク１３を用いてボディー側およびドア側のシール面の断面形状を一致させるように移動させ、ボディー側のシール面とドア側のシール面との間のシール面間寸法を測定する画像処理部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】１つの実施形態は、例えば、基板の表面の位置の計測精度を向上できる位置制御システム、露光装置、及び露光方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１つの実施形態によれば、面位置計測部と制御部とを有する位置制御システムが提供される。面位置計測部は、基板の表面の高さ方向の位置を計測する。制御部は、面位置計測部による計測結果に基づいて、光学系と基板の表面との相対的な位置を制御する。面位置計測部は、複数のフォーカスセンサ４１−１〜４１−３と駆動部４２とを有する。駆動部は、基板の表面に対する複数のフォーカスセンサの基板面内方向の位置を独立して駆動する。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射面の形状を測定する方法が提供される。
【解決手段】ターゲット面１４２に配置されたターゲット１４０の表面１４４に表示されたパターンを測定面１２２に配置された鏡面反射面１２４から反射させる。反射の画像が撮像面１５４において記録される。撮像面１５４に対する鏡面反射面１２４上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第１の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第１の関係を含む第２の関係から鏡面反射面の形状が決定される。 （もっと読む）

【課題】複数の映像間で対応をとる特徴点を定めて位置合わせ基準を鮮明にでき、車両の検出精度を向上させる。
【解決手段】実施形態の車両検出装置は、線分成分抽出手段、多角形近似手段及び計測手段を備えている。前記線分成分抽出手段は、左右の撮影画像毎に、当該撮影画像に含まれる前記車両のフロントガラス領域と車体との境界を示す複数の線分成分を抽出する。前記多角形近似手段は、前記左右の撮影画像毎に、当該抽出された複数の線分成分の幾つかを用いて閉ループを構成する多角形近似を行う。前記計測手段は、前記左右の撮影画像毎に前記閉ループを構成する線分成分を当該左右の撮影画像間で互いに位置合わせし、当該位置合わせした線分成分間の座標情報と、左右の撮影画像を撮影した撮影位置を示す撮影位置情報とに基づいて、前記閉ループの位置を前記車両の位置として計測する。 （もっと読む）

【課題】誤検出指標や検出精度の低い指標による影響を減少させ、高精度かつより安定な撮像装置の位置姿勢計測方法を提供する。
【解決手段】指標検出部２０３０は、物体上に配置または設定された指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３を撮像画像から検出する。評価量算出部２０６０は評価量を、指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像上での２次元幾何特徴及び／又は指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の３次元空間中における撮像装置２０１０と指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３との間の関係を表す３次元幾何特徴を利用して算出する。信頼度算出部２０７０は、算出した指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の評価量に応じて指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の信頼度を算出する。位置姿勢算出部２０８０は、算出された指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の信頼度と、検出された夫々の指標Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の画像座標に関する情報とを少なくとも用いて、物体または撮像装置２０１０の位置姿勢を求める。 （もっと読む）

【課題】回折次数の重なりを防止しつつ基板の特性を精度良く求める技術を提供する。
【解決手段】角度分解分光法に対しては、４つのクアドラントを有する照明プロファイルを有する放射ビームが使用される。第１および第３クアドラントが照明される一方、第２および第４クアドラントは照明されない。したがって、結果として生じる瞳面は４つのクアドラントに分けられ、ゼロ次回折パターンのみが第１および第３クアドラントに現れて一次回折パターンのみが第２および第３クアドラントに現れる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の厚みを正確に検出することができる非接触式の厚み検出装置および厚み検出装置を装備した研削機を提供する。
【解決手段】被加工物に対して透過性を有する所定の波長領域を有する発光体と、集光器とを備えた検出光照射手段と、検出光照射手段によって照射されチャックテーブルに保持された被加工物の上面および下面で反射した反射光を集光する集光レンズと、集光レンズによって集光された反射光の干渉を回折する回折格子と、回折格子によって回折した反射光の所定の波長域における光強度を検出するイメージセンサーと、イメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、被加工物の上面で反射した反射光の光路長と被加工物の下面で反射した反射光の光路長との光路長差に基づいて被加工物の厚みを求める制御手段とを具備し、検出光照射手段は、P偏光を被加工物の上面に対して所定の入射角をもって照射する。 （もっと読む）

【課題】汚染に起因する性能の劣化を抑制できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、露光光の光路を第１液体で満たすように第１液体で液浸部を形成可能な第１部材と、第１部材から離れた位置で第２液体で液浸部を形成可能な第２部材と、所定部材と第２部材との間の第２液体に振動を与える振動発生装置とを備え、第２液体を用いて所定部材をクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】サンプリングピッチを細かくすることなく、少ないサンプリング数でより高精度に交点を算出する。
【解決手段】明部および暗部を有する第１のパターンまたは第２のパターンを投影パターンとして対象物へ投影する投影部と、投影パターンが投影された対象物を撮像素子に輝度分布として結像させる撮像部と、を備え、輝度分布は明部に対応する第１の輝度値と暗部に対応する第２の輝度値とを有し、第１のパターンおよび第２のパターンは明部の位置または暗部の位置が重複する重複部を有し、第１のパターンに対応する第１の輝度分布および第２のパターンに対応する第２の輝度分布は重複部で同輝度値となる交点を有し、交点の輝度値は第１の輝度値および第２の輝度値の平均値と所定値だけ異なる。 （もっと読む）

【課題】 計測対象物体からの反射光を用いて３次元計測を行う手法において、計測の誤差に起因する、計測対象物体の３次元位置の取得精度の低下を防止することを目的とする。
【解決手段】 構造化光が投影された計測対象物体からの反射光の情報と、前記構造化光の光源の位置と、前記反射光を受光して前記反射光の情報を取得する受光部の位置とを用いた三角法により、前記計測対象物体の表面の複数の位置を取得する第一の取得手段と、前記複数の位置に基づき、前記計測対象物体の表面の位置および向きを取得する第二の取得手段と、前記複数の位置を取得する際の計測の誤差に関する情報と、前記計測対象物体の表面の位置および向きとに基づき、前記複数の位置の少なくとも一つを補正する補正手段と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気を維持したまま、多数の基板の薄膜の膜厚を成膜中に測定する。
【解決手段】真空槽１２内に複数のサンプル板１６を配置し、基板の成膜面に薄膜を成長させる際に、サンプル板１６の検出面６１にも薄膜を成長させ、サンプル板１６表面に測定光を照射して薄膜の膜厚測定を行うことができる。サンプル板１６には金属電極が不要であり、高温に加熱することができるので、検出面６１に形成された薄膜を加熱して除去し、サンプル板１６を再使用することができる。その結果、真空雰囲気を維持したまま、多数枚数の基板に対する薄膜の膜厚測定を行うことができる。真空雰囲気内に複数のサンプル板１６を用意し、薄膜が形成されたサンプル板１６を加熱する間に別のサンプル板１６によって膜厚測定を行うと、薄膜除去の待ち時間は生じない。 （もっと読む）