【課題】真空雰囲気を維持したまま、多数の基板の薄膜の膜厚を成膜中に測定する。
【解決手段】真空槽１２内に複数のサンプル板１６を配置し、基板の成膜面に薄膜を成長させる際に、サンプル板１６の検出面６１にも薄膜を成長させ、サンプル板１６表面に測定光を照射して薄膜の膜厚測定を行うことができる。サンプル板１６には金属電極が不要であり、高温に加熱することができるので、検出面６１に形成された薄膜を加熱して除去し、サンプル板１６を再使用することができる。その結果、真空雰囲気を維持したまま、多数枚数の基板に対する薄膜の膜厚測定を行うことができる。真空雰囲気内に複数のサンプル板１６を用意し、薄膜が形成されたサンプル板１６を加熱する間に別のサンプル板１６によって膜厚測定を行うと、薄膜除去の待ち時間は生じない。 （もっと読む）

【課題】内径の異なる種々の穴形状を精度良く測定できる測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定領域の少なくとも一部の面の法線方向とは異なる方向から前記被測定領域に照明光を照射することで被測定領域に帯状の照明領域を形成する照明系と、前記照明系による照射方向と前記帯状の照明領域における長手方向等を含む面からはずれた位置から照明領域の散乱光を受光する受光系と、受光系の受光結果に基づいて被検面の形状を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ信頼性の高い幅測定機能を有し、被測定物体の幅を高精度に測定することができる幅測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体１の上方より外側に配置され、その一方側にスリット状光を照射する光源２ａと、そのスリット状光を撮像する一方側２次元撮像部４ａと、被測定物体１の一端部２８ａの幅方向座標を演算する一端部幅方向座標演算部７ａと、一端部高さ方向座標演算部８ａと、一端部位置演算部９ａと、被測定物体１の上方より外側でかつ光源２ａと反対側に配置され、その他方側にスリット状光を照射する光源２ｂと、そのスリット状光を撮像する他方側２次元撮像部４ｂと、他端部２８ｂの幅方向座標を演算する他端部幅方向座標演算部７ｂと、他端部高さ方向座標演算部８ｂと、他端部位置演算部９ｂと、一端部２８ａおよび他端部２８ｂの空間位置に基づいて、被測定物体１の幅を演算する幅演算部１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】三次元計測器によって計測した点群データから計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを生成する。
【解決手段】計測点群データに基づいて計測対象物の表面形状を表すサーフェイスを陰関数として作成する工程と、サーフェイスが存在する計測領域全体を三次元ドロネー図による分割処理により隙間なく、重複なく埋め尽くされた四面体の小領域（以下、セルという）に分割する工程と、セルの各頂点をサーフェイスの内側に存在する内点５と、外側に存在する外点６とに分類する工程と、境界セルを抽出する工程と、境界セルとサーフェイスとの交点７を計算する工程と、各境界セルが持つ交点７を繋ぎ合わせることにより三角形又は四角形の面を求める工程と、全ての面を結合する工程とを含むので、計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを自動的に作成することができる。 （もっと読む）

【課題】走行体の前面を斜めから撮像した場合であっても、走行体の先端部位置と基準停止位置とのズレ距離量を正確に求めることができ、走行体が基準停止位置に正確に停止しているか否かを確実に判定する。
【解決手段】走行体３の停止位置検出方法は、撮像手段により、走行体３が停止する位置として予め設定された基準停止位置ＰＳと、この基準停止位置ＰＳに対し上下方向又は左右方向にずれた場所に存在する走行体３の端部位置ＰＦとが同時に写り込んだ撮像画像Ｆを取得するステップと、取得した撮像画像Ｆから、基準停止位置ＰＳと走行体３の端部位置ＰＦとの実空間における水平方向のズレ距離量を算出するステップと、得られたズレ距離量を基に、走行体３が基準停止位置ＰＳに停止したか否かを判定するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板の反りを簡易に検出することができる技術の提供。
【解決手段】電子部品を基板に実装するためのパッドの中から前記基板の反りを検出するための基準パッドを選択し、前記基板に反りが発生していない場合の前記基板の表面である基準平面に対して傾斜した方向に光軸が配向したカメラによって撮影された前記基準パッドの像を含む画像を取得し、前記基準パッドの像の前記画像内での位置と前記基板に反りが発生していない場合における前記基準パッドの像の前記画像内での位置である基準位置とに基づいて前記基準平面に垂直な方向への前記基板の反りの量を特定する。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大できるとともに機器の簡略化が可能な斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】光源４１と、光源４１からの原光を分割する光束分割部と、測定光を被測定物Ｗに照射する照射部４３と、測定光と参照光とを合成する光束合成部４４と、合成された光束を受光する受光部４５とを有する斜入射干渉計１において、干渉計本体３０と、被測定物Ｗを保持する基台１０と、干渉計本体３０を被測定物Ｗに沿って移動可能な移動機構２０と、干渉計本体３０の移動軸線の延長上に配置された補助反射鏡５１と、光源４１からの原光から補助光を分割して補助反射鏡５１に照射する補助光束分割部５２と、干渉計本体に設置されかつ補助反射鏡５１で反射された補助光を受光する補助受光部５５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】画像端の位置を正確に検出することのできる画像位置検出装置と、この画像位置検出装置を備えた画像形成装置を提供する。
【解決手段】中間転写ベルト上に形成される補正用パターンのパターン画像の端部の位置を検出する位置検出装置であって、補正用パターンに向けて光を照射する発光部１７Ｄと、このパターン画像の表面で正反射する正反射光を受光する正反射光受光部１７Ｈｓと、その表面で拡散反射する拡散反射光を受光する拡散反射光受光部１７Ｈｒとを備え、正反射光受光部１７Ｈｓの正反射光受光信号値と、拡散反射光受光部１７Ｈｒの拡散反射光受光信号値に一定係数を乗じた乗算値とに基づいてパターン画像の端部の位置を求める。 （もっと読む）

【課題】単結晶シリコン太陽電池表面上に成膜された反射防止膜の膜厚および屈折率を有効に測定するためのエリプソメーター装置を得ること。
【解決手段】実施の形態にかかるエリプソメーター装置１０は、反射防止膜が形成された測定試料１の反射防止膜が形成された面へレーザー光を照射する光源５と、前記測定試料から反射された反射光に基づいて反射光の偏光変化量を測定することにより前記反射防止膜の膜厚および屈折率を測定する検出器６と、前記測定試料を試料設置面にて保持し、前記試料設置面と垂直な方向を軸にして前記測定試料を回転する回転角度調節部と、前記測定試料を傾斜させる傾斜調節部とを有するステージ２と、前記ステージをステージ設置面上に保持する支持部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミナの状態（微細凹凸構造の形状、欠陥等）を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド１００に光を照射するライン状照明装置１０（第一の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１２（第一の撮像手段）と；モールド１００に光を照射するライン状照明装置２０（第二の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインＣＣＤカメラ２２（第二の撮像手段）と；２つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置３０（画像処理手段）とを有する検査装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】電子部品を、高速に検査する光学システムを提供する。
【解決手段】センサは、カメラのアレイに対してノンストップで移動する加工対象物に関する画像データを取得するように構成されたカメラのアレイを含む。カメラのアレイが画像データを取得するとき照明のパルスを提供するために照明システムが配置されている。少なくともいくらかの画像データは、加工対象物上のスキップマーク又はバーコードに関するデータを含む。又取得した複数の画像により立体画像化する。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体に垂直でかつ幅方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、被測定物体に垂直でかつ搬送方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、撮像素子上の結像座標を被測定物体の測定座標に変換する座標変換器と、顕在形状演算器を備えた。 （もっと読む）

【課題】安価でかつ幅方向に高い分解能を有することができ、高精度に被測定物体の形状を測定可能にする。
【解決手段】被測定物体１の搬送方向に対し垂直な平面内であってその斜め上方または下方に配置されスリット状光を照射するスリット状光光源２ａ，２ｂと、被測定物体１を介しスリット状光光源２ａ，２ｂと反対側となる被測定物体１の斜め上方または下方であって、被測定物体１の表面１ａまたは裏面１ｂ上に照射されたスリット状光をその照射方向に対し所定の角度だけずれた方向から撮像する撮像部３ａ，３ｂと、撮像部３ａ，３ｂが撮像した被測定物体表面１ａおよび裏面１ｂの撮像画像の座標を、撮像部３ａ，３ｂがスリット状光光源２ａ，２ｂからの照射線上で撮像したように変換する座標変換部４ａ，４ｂと、その座標変換された撮像画像の座標に基づいて、被測定物体１の断面厚み形状を演算する断面厚み形状演算部５とを有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】帯状体の顕在化形状を、幅方向の分解能を高めて検出可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体１の搬送方向に平行な直線と垂直の平面内に配置され、平面内の被測定物体１表面の幅方向へスリット状の光を照射するスリット光光源２と、平面と垂直な平面でかつ被測定物体１の表面に垂直な平面を介してスリット光光源２と反対側に配置され、被測定物体１上のスリット状の光を撮像する撮像装置３とを備えた。また、被測定物体１の幅方向に沿い被測定物体１に外力を印加する外力印加装置１４を設け、潜在形状演算器４０を備えた。 （もっと読む）

【課題】 被検者に負荷をかけることなく角膜眼鏡間距離等の測定を行う眼鏡用測定装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡用測定装置（１０）は、指標マーク（ＳＣ）が眼鏡フレーム（２３）に取り付けられた眼鏡（２０）をかけた被検者を撮影する撮影部（１２）と、撮影部で撮影された被検者の眼球の頂点を求めるとともに、指標マーク（ＳＣ）に基づいて眼鏡の眼鏡レンズ（２１）と被検者の眼球の頂点（ＫＰ）との角膜眼鏡間距離（ＫＧ）を演算する演算部（１４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】サイズや凹凸が大きい被検物体であっても光干渉計測法により表面形状を検査することが可能な形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】形状検査装置１は、ホログラム原器３及び結像手段を備える。ホログラム原器３は、被検物体Ｏの理想形状に対応する再生光を再生する。結像手段は、前記被検物体Ｏに所要の入射角で斜め方向に光Ｌ１を入射する一方、前記ホログラム原器３に光を入射することによって、前記被検物体Ｏに反射した反射光Ｌ３又は前記被検物体Ｏを経由した透過光と前記ホログラム原器３からの前記再生光との干渉光による干渉画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】能率よく、かつ正確に適切な矯正を行うことができる矯正プレスを提供する。
【解決手段】被矯正プレートＰを載せるベッド５と、ベッド５の上方から被矯正プレートＰを押圧する上型７とを有する矯正プレスであって、被矯正プレートＰの平坦度を測定する平坦度計を備えており、平坦度計が、レーザー光投射器１０とカメラ２０からなり、レーザー光投射器１０は、プレスの一側においてレーザー光を被矯正プレートＰの上面に照射できる位置に配置されており、カメラ２０は、プレスの他側においてレーザー光の照射方向に対し被矯正プレートＰの送り方向においてオフセットした位置に配置されている。レーザー光投射器１０とカメラ２０が１対もしくは２対用いられる矯正プレスは、ベッドとクラウン部をコラムを介して連結した構造であって、前後コラム間のサイドオープニング開口ＳＯは被矯正プレートの幅（Ｗ）に対する比がＳＯ／Ｗ≧0.3が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 曲面を有する膜厚を正確に計測する。
【解決手段】 膜厚の検査装置は、テラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生器１５と、前記テラヘルツ波を、膜が形成された試料に照射させる照射光学系１６、１７と、前記試料において反射したテラヘルツ波を検出し、検出信号を出力するテラヘルツ波検出器２２と、前記試料の反射面の形状情報に基づき、当該反射面から前記テラヘルツ波検出器に至るまでの反射波の電場強度を参照信号として算出し、前記参照信号を用いて前記検出信号を補正する制御装置５を備える。 （もっと読む）

【課題】コスト高を招来することなく、簡単な構成により、自動的にセンサーの感度を調整することができるマーク検出装置およびマーク検出方法ならびに画像作成および切り抜き装置を提供しようとする。
【解決手段】投光手段から投光された光の反射光を受光手段により受光し、受光量に応じた検出電圧を出力するセンサーを備え、上記センサーにより検出した検出電圧を基準電圧と比較することにより、媒体上に形成されたマークを検出するマーク検出装置において、上記センサーにおける基準電圧を設定することが可能であるとともに、設定した基準電圧を出力する基準電圧出力手段と、上記基準電圧出力手段より出力された基準電圧と、上記センサーに出力された検出電圧との差分を増幅して出力する電位差出力手段とを有するようにしたものである。 （もっと読む）