【課題】エッジ部分の形状やウェハ自身の反りなどに対応可能な観察装置を提供すること。
【解決手段】被観察物（半導体ウェハ１０のエッジ部分１１）を観察する観察部２０ａ、２０ｂ、２０ｃと、前記観察部を支持する支持部材（ドーム３０、ボックス４０）と、前記観察部を、観察中心Ａを中心とした円弧に沿って移動させる駆動部（Θ軸モータ５０、Φ軸モータ６０、自走駆動機構２１ａ、２１ｂ、２１ｃ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クラック等の局所歪応力を分散させ、かつセンシングを可能とする光ファイバセンサケーブルを提供する。
【解決手段】少なくとも１本の歪検出用光ファイバ１１と、少なくとも１本の温度補償用光ファイバ１２を収納するルースチューブ１４と、少なくとも１対の抗張力体１５とが、タイトに一括被覆されてなる光ファイバセンサケーブル１０において、歪検出用光ファイバ１１の周囲を発泡層１７で被覆する。 （もっと読む）

【課題】クラック幅を計測する精度を向上することを可能とする。
【解決手段】床下点検ロボット２００が撮像対象物を撮像することによって得られた撮像画像のデータを取得する制御部１３０及び通信装置１１０と、クラック幅の計測に用いられる線画及び数字が付されたクラックスケール画像のデータを取得する図形描画部１６０と、撮像画像のデータと、クラックスケール画像のデータとを合成することによって、合成画像データを生成する画像合成部１７０と、合成画像データに応じて、撮像画像及びクラックスケール画像を表示する表示部１８０とを備え、画像合成部１７０は、表示部１８０においてクラックスケール画像が撮像画像上に重ねて表示されるように、合成画像データを生成する。 （もっと読む）

本発明は、状況内の人間のような対象物を長時間に亘って追跡する方法を提供する。対象物の位置についての領域対応型モデルを生成する。各領域は、対象物が発見される可能性のある位置を表す離散領域に対応する。前記領域が前記領域内で異なる位置にある対象物の確率分布を規定するように、各領域は、前記領域内での対象物の位置をより正確に特定する１つ以上の位置を含む。前記対象物が移動すると各領域の確率分布を更新して、特定の領域内に前記対象物がある可能性を示すように、領域型粒子フィルタ法を前記領域内の対象物に適用する。
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【課題】成形品の形状評価を、演算処理装置の負担を軽減しながら正確かつ迅速に行うことができる技術を提供する。
【解決手段】成形品の表面形状を測定して多数のデータ点列よりなる形状データを得たうえ、各データ区間毎に隣接するデータ点間を結ぶ基底関数を定義する。次にデータ点の間引きを行ったうえで、拡大されたデータ区間毎に隣接するデータ点間を結ぶ基底関数を再定義し、再定義された基底関数と間引かれた各データ点との間の誤差を評価する。誤差が許容値を越えるデータ区間では間引かれたデータ点を復元するが、誤差が許容値以下のデータ区間ではさらにデータ点の間引きを行なうことを繰り返すことにより、基底関数及びデータ量を圧縮し、成形品の形状評価を行なう。 （もっと読む）

【課題】コークス炉における炉壁および炉底の耐火物の損耗量を簡易な方法で測定可能とするコークス炉における耐火物のプロファイル測定方法および耐火物の損耗量測定方法を提供する。
【解決手段】耐火物を炉壁及び炉底に設置したコークス炉１における耐火物のプロファイル測定方法であって、コークスを押し出した後、耐火物が赤熱している状態で耐火物およびその近傍に配置された基準点を含んで撮像し、該撮像は同一対象に対して撮影角度を異にした複数の画像を撮像するものであり、その画像データを取得して前記耐火物のプロファイルを算出する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート、モルタル構造物、土壌等の埋設対象物との間の密着性に優れ、かつ製造が容易な光ファイバセンサケーブルを提供する。
【解決手段】断面外形が略矩形状のシース１５と、シース１５内に充実押出しされた歪検知用光ファイバ１１と、シース１５内に形成された空隙１６内に抗張力繊維１３とともにルースに収納された温度補償用光ファイバ１２と、シース１５内に設けられたテンションメンバ１４とからなり、シース１５は、長辺側１５ａに、高さＨが一定で、幅Ｗ_１、Ｗ_２が長手方向にわたって変化する少なくとも一つの突出部１７Ａを有する光ファイバセンサケーブル１０Ａ。 （もっと読む）

【課題】コンクリート、モルタル構造物、土壌等の埋設対象物との間の密着性に優れ、かつ製造が容易な光ファイバセンサケーブルを提供する。
【解決手段】断面外形が略矩形状のシース１５と、シース１５内に充実押出しされた歪検知用光ファイバ１１と、シース１５内に形成された空隙１６内に抗張力繊維１３とともにルースに収納された温度補償用光ファイバ１２と、シース１５内に設けられたテンションメンバ１４とからなり、シース１５は、長辺側１５ａに、幅Ｗが一定で、高さＨが長手方向にわたって変化する少なくとも一つの突出部１７Ａを有する光ファイバセンサケーブル１０Ａ。 （もっと読む）

【課題】 干渉計におけるフォーカス誤差を低減できて波面の微細なうねりまで高精度に測定する。
【解決手段】 被測定物の干渉計結像光学系による共役位置に干渉計の画像検出器の位置を調整するために、干渉計のフォーカス制御手段を利用して複数の測定面で波面測定を行う。測定した波面データのうち空間周波数が高いうねり成分のみ抽出して、さらに空間周波数毎にパワースペクトル密度で表す。それらを特定の帯域内で積分し、その積分値が最小となる測定位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】画像処理の負荷が少ない簡単な手法を用いて、特定の画像から多くのエッジを検出することができるようにした「立体物検出方法及び装置」を得る。
【解決手段】カメラ撮影画像にアンチエイリアス処理を行った画像と、アンチエイリアス処理を行わない画像との両画像に対して、各々エッジ検出処理を行ってエッジを検出し、両画像のエッジ検出点を用いてオプティカルフローを算出し、立体物を検出する。その方法を実施する装置としては、エッジ検出部５に入力した撮影画像をそのまま用いてエッジを検出する撮影原画像エッジ検出部６と、アンチエイリアス処理を行った画像を用いてエッジを検出するアンチエイリアス処理画像エッジ検出部７とを設け、両画像を重ね合わせる等によって検出エッジを比較し、同じ検出点を判別してこれをまとめる。その合計エッジ検出点を用いてオプティカルフロー処理をし、立体物を検出する。 （もっと読む）

【課題】作業員の安全を確保すると共に簡単且つ精度良く検査することのできる線状部材検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る線状部材検査装置１は、線状部材１０を撮影するための撮像手段２と、撮像手段２の前面から所定距離離間した位置において線状部材１０を保持可能なように形成された線状部材保持手段１１と、を備えていることを特徴とし、好ましくは、上端側に撮像手段２が設けられていると共に下端側に撮像手段２の動作を操作するための操作手段１４が設けられた延長手段６を備えているのがよい。 （もっと読む）

【課題】 測距センサを用いた２次元距離測定装置により物体認識を行う場合に、認識精度を向上し測定時間を短縮するのに好適な物体認識装置を提供する。
【解決手段】 脚車輪型ロボット１００は、基体１０と、基体１０に対して自由度を有して連結された脚部１２と、脚部１２に回転可能に設けられた駆動輪２０と、物体上の測定点までの距離を測定する測距センサ２１２ａと、測距センサ２１２ａの走査範囲で測定可能な測定点を含む画像を撮影するカメラ２２２とを備え、測距センサ２１２ａを走査し、その走査範囲で測定可能な測定点について測距センサ２１２ａの測定結果を取得し、取得した測定結果に基づいてセンサ特徴点を検出し、カメラ２２２から画像を取得し、カメラ画像から線分を検出し、検出したカメラ画像の線分およびセンサ特徴点に基づいて連続面の境界を認識する。 （もっと読む）

【課題】 脚型ロボットまたは脚車輪型ロボットの姿勢制御に好適で、かつ、測距センサを用いた２次元距離測定装置により物体認識を行う場合に認識精度を向上するのに好適な物体認識装置を提供する。
【解決手段】 脚車輪型ロボット１００は、基体１０と、基体１０に対して自由度を有して連結された脚部１２と、脚部１２に回転可能に設けられた駆動輪２０と、物体上の測定点までの距離を測定する測距センサ２１２ａを備え、測距センサ２１２ａを走査し、その走査範囲で測定可能な測定点について測距センサ２１２ａの測定結果を取得し、取得した測定結果を直交座標系の座標に変換し、変換された少なくとも２つの測定点の座標に基づいてハフ変換により直交座標系における線分を検出し、検出した線分に基づいて物体上の連続面または連続面の境界を認識する。 （もっと読む）

【課題】 脚型ロボットまたは脚車輪型ロボットの姿勢制御に好適で、かつ、測距センサを用いた２次元距離測定装置により物体認識を行う場合に認識精度を向上するのに好適な物体認識装置を提供する。
【解決手段】 脚車輪型ロボット１００は、基体１０と、基体１０に対して自由度を有して連結された脚部１２と、脚部１２に回転可能に設けられた駆動輪２０と、物体上の測定点までの距離を測定する測距センサ２１２ａを備え、測距センサ２１２ａを走査し、その走査範囲で測定可能な測定点について測距センサ２１２ａの測定結果を取得し、取得した測定結果を直交座標系の座標に変換し、変換された測定点間を線分で接続し、得られた線上の点の座標に基づいてハフ変換により直交座標系における線分を検出し、検出した線分に基づいて物体上の連続面または連続面の境界を認識する。 （もっと読む）

【課題】自動車用窓ガラスのプライマ塗布領域のような帯状の検査対象領域について、プライマ塗布状態等の検査対象を効率良く高精度で検査できるようにすることである。
【解決手段】検査対象物３０上の帯状の検査対象領域を撮影して、この撮影した画像から検査する画像検査装置であって、撮影装置１８および該撮影装置１８が撮影する検査対象領域を照明する照明装置２２を取付けたロボットハンド１２と、該ロボットハンド１２に取付けられた撮影装置１８と照明装置２２を検査対象領域上に設定された経路に沿って移動させるロボットハンド移動手段と、該ロボットハンド移動手段により前記撮影装置１８が検査対象領域上の経路に沿って移動する際に該検査対象領域を連続撮影して画像を取得する画像取得手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置によって厚さを計測することにより、所望の厚さの平型電線を製造することができる平型電線の製造方法を提供する。
【解決手段】並列した導体１１に絶縁樹脂１２を押出し被覆して平型電線１０を製造する平型電線の製造方法であって、絶縁樹脂１２を押出し被覆された絶縁樹脂層１３における導体１１の並列面Ｐに対して上面及び下面に光学式距離測定器２０ａ，２０ｂからレーザ光Ｂを照射して上面までの距離Ｄ１及び下面までの距離Ｄ２を測定し、光学式距離測定器２０ａ，２０ｂの間隔Ｌから上面までの距離Ｄ１及び下面までの距離Ｄ２を減じて平型電線１０の厚さＴを検出し、検出された厚さＴが所定の範囲内となるように絶縁樹脂１２の押出し量を調整する。 （もっと読む）

【課題】掘削作業を中断させることなくテールクリアランスをリアルタイムで計測する。
【解決手段】撮像手段１０と、複数の基準位置と撮像手段１０との離間距離と、基準高さと、基準高さに相当するピクセル数とから得られる撮像手段１０固有のピクセル比Ｐｆとを記憶する記憶手段２１と、撮像手段１０とセグメント４との離間距離を取得する離間距離取得手段２２と、セグメント４の読取基準点Ｒに対応するピクセル値を読み取るピクセル値読取手段２３と、読取基準点Ｒに対応するピクセル値と、スキンプレート３上の計測基準点３ａに対応するピクセル値と、離間距離取得手段２２で得られた離間距離と、ピクセル比Ｐｆとから、テールクリアランスを算出するクリアランス演算手段２４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】建築物に埋設して正確に変形を検出でき、耐久性に優れ、コンクリート中でもケーブルが移動せずに長時間の歪モニタリングが可能な光ファイバセンサケーブルの提供。
【解決手段】歪検出用光ファイバと、温度補償用光ファイバがルースに収納された保護管と、抗張力体とをケーブル外被により一括被覆してなり、該ケーブル外被は、前記歪検出用光ファイバと前記保護管とが埋設された測定部と、前記抗張力体が埋設された抗張力体収納部とが、首部を介して連結された断面形状をなし、且つ前記首部には長手方向に沿って多数の窓部が形成されていることを特徴とする光ファイバセンサケーブル。 （もっと読む）

【課題】温度補償用光ファイバをケーブル内に配置することなく正確な歪測定値を得ることができ、長尺製造が可能な光ファイバセンサケーブルの提供。
【解決手段】ケーブル外被に埋設された少なくとも１本以上の歪検出用光ファイバと、ケーブル外被内又は外側に設けられ、内部に温度調節した流体を流すことで前記歪検出用光ファイバを恒温に保持する可撓性の温度調節用流体流路とを有することを特徴とする光ファイバセンサケーブル。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、直射日光の影響を受けないこと、設置時間を短縮すること、センサを再利用できること、変位量を正確に測定できる変形量測定技術を提供することである。
【解決手段】本発明の変形量センサは、外管長体、内長体、歪センサ、潤滑手段とから構成されている。外管長体は、管状の長体である。内長体は、外管長体の内部に備えられた長体である。歪センサは、内長体の表面に、内長体の軸方向の伸びを測定できるように取り付けられた伸び歪を測定するセンサである。潤滑手段は、外管長体と内長体との隙間を埋めると共に滑りをよくするための手段である。例えば、外管長体と内長体との間に粒状体を充填すればよい。さらに、歪センサとしては、光ファイバなどを用いればよい。 （もっと読む）