【課題】補正用治具の交換なしに形状測定装置の組み付け誤差をＸ方向、Ｙ方向、θ方向のすべてについて補正できるようにする。
【解決手段】ワーク支持部１と、これに支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計２と、ワーク支持部１をＸ方向に直線移動させるＸ方向移動部４と、ワーク支持部１をＹ方向に直線移動させるＹ方向移動部５と、ワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動部６と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する場合に、Ｘ方向およびＹ方向の組み付け誤差を補正するための円弧状の外周縁と、θ方向の組み付け誤差を補正するための直線状の外周縁を有する補正用治具を用いる。 （もっと読む）

【課題】撮像装置とキャリブレーションマークとの位置関係に係わらず、撮像装置をキャリブレーションするに十分な、キャリブレーションマークの撮像画像を取得する。
【解決手段】単一のキャリブレーションマークを複数回撮像することによって、複数の基準マークが配置されたキャリブレーションを撮像したときと同様の画像マークを取得し、この画像マークに基づいて撮像装置について中心位置、取り付け角度、分解能等のキャリブレーションを行う。単一のキャリブレーションマークを異なる撮像位置で複数回撮像して画像マークを取得する撮像工程と、複数回の撮像で取得したキャリブレーションマークの各画像マークを用いて、複数個の画像マークを有した撮像画像を形成する撮像画像形成工程と、撮像画像の画像マークの位置と撮像画像上の基準位置とに基づいて、撮像装置のキャリブレーション情報を算出するキャリブレーション情報算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】管端部の加工部について、寸法精度と加工面の状態とを共に自動的に検査することができ、しかもインライン化が可能なよう検査装置全体のコンパクト化を可能にした、管端検査装置を提供する。
【解決手段】端部を加工した管２の管端加工部を検査する管端検査装置である。管端加工部の形状を計測するレーザ変位計４２と、管端加工部の表面を撮影する撮像装置６２と、レーザ変位計４２及び撮像装置６２を管端加工部の周方向に沿って移動させることにより、レーザ変位計４２のレーザビームスポット及び撮像装置６２の焦点を管端加工部の周方向に沿って周回させる回転テーブル（周回手段）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の平面度を精度良く求めることができる平面度測定方法を提供する。
【解決手段】平面度測定方法は、レーザ変位計を含むレーザ測定装置が、レーザ光を走査しながら、複数の位置における前記測定対象物の表面と測定基準面とする液面との間の、前記レーザ光の照射方向における距離の情報を測定して取り込む。この後、前記レーザ変位計が測定した複数の位置における前記距離の情報と、前記レーザ変位計が走査した前記複数の位置の位置情報をコンピュータが取り込む。前記コンピュータは、測定した前記位置それぞれにおける前記位置情報と前記距離の情報を座標として表した測定データを、座標空間上の点で表したとき、前記点すべてが２つの平行平面の間に挟まれ、かつ前記２つの平行平面の間の距離が最小となる目標平行平面を、前記２つの平行平面の傾きを変えながら探索することにより、前記平面度を算出する。 （もっと読む）

【課題】３次元形状に対応するデータファイルのサイズを小さく、転送や取り扱いを容易とする。
【解決手段】レーザ光２００の走査によって構成される面（走査面）と３次元形状をもつ対象物３００との交線上に、各測定点は離散的に存在する。この３次元形状データ処理方法においては、データとして、３次元空間座標の点群データの代わりに、各走査面上における各測定点の平均位置Ｇ_ｎの空間的位置、走査面における座標軸Ｕ_ｎ、Ｖ_ｎ軸の方向、各測定点Ｐ_ｎ，ｉ（１≦ｉ≦ｋ）についての、走査面での２次元座標（ｕ_ｎ，ｉ、ｖ_ｎ，ｉ）を記録する。ただし、この２次元座標を記録する代わりに、後述する符号化された値を記録することもできる。 （もっと読む）

【課題】複雑な加工を必要とすることなく、有線の装置を３６０度またはこれを少し超える程度の角度で回転させることができるようにした、回転駆動機構を提供する。
【解決手段】有線装置を搭載して、基板２０に対し正逆方向に回転可能に設けられた回転テーブル２１と、回転テーブル２１に設けられた第１ドグ２８と、基板２０に設けられて第１ドグ２８に押圧されることで変位する第２ドグ２９と、第２ドグ２９の変位によって押圧されることで回転テーブル２１の回転を停止させる一対の規制部とを備えた回転駆動機構である。一対の規制部は回転テーブル２１が初期位置から３６０度以上の設定角度正回転した際に、第２ドグ２９に押圧されるように基板２０上に配置された第１規制部３５ａと、回転テーブル２１が初期位置から３６０度以上の設定角度逆回転した際に、第２ドグ２９に押圧されるように基板２０上に配置された第２規制部３５ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】レーザー光の照射位置の制御や照射位置の制御にかかる装置レイアウトの自由度を向上する。
【解決手段】カメラ１０と、レーザーポインタ２０が照射するレーザー光の照射位置を含む範囲をカメラ４０が撮像するようにレーザーポインタ２０とカメラ４０とを載置され、レーザーポインタ２０とカメラ４０とを一緒に回動させるポインタマニピュレータ３０と、ポインタマニピュレータの回動を制御する制御装置５０と、を備え、制御装置５０は、カメラ４０が撮像する画像Ｐ２とカメラ１０が撮像する画像Ｐ１とを取得し、画像Ｐ２内における画像Ｐ１の位置を特徴点マッチングにより特定し、画像Ｐ１と画像Ｐ２と前記位置とに基づいて、ポインタマニピュレータ３０の回動を制御する。 （もっと読む）

【課題】被計測物が様々な屈折率で、かつ様々な厚さの透明媒質の下に配置されていても、その被計測物の高さを容易に計測する。
【解決手段】高さ計測装置１は、照明光から分岐された第１照明光を被計測物６に導く対物レンズ２４と、照明光から分岐された第２照明光を参照ミラー２８に導く対物レンズ２６と、第２照明光の光路長を調整する移動部３６と、被計測物６及び参照ミラー２８で反射される２つの照明光の干渉像を撮像する高速度カメラ１２と、対物レンズ２４と被計測物６とを光軸方向に相対移動するピエゾ駆動装置１８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】操作者の手間が少なく、画像中の図形情報の測定を迅速且つ確実に行う。
【解決手段】ＣＰＵ４１は、撮像ユニット１７で撮像された被測定対象物の画像を取り込み、取り込んだ画像に含まれる図形の輪郭線をハフ変換によって検出し、検出した輪郭線上にエッジ検出ツールを設定し、設定されたエッジ検出ツールにより、前記図形に関する図形情報の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】撮像対象とする電子部品がチップ部品である場合であっても基板への装着状態の検査を精度よく行うことができるようにした部品実装システム及び部品実装システムにおける検査用画像の生成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検査ヘッド４０の光電変換素子４０ａが出力したアナログ信号をＡ／Ｄ変換して輝度値を表す所定のビット数のディジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部４０ｂ、Ａ／Ｄ変換部４０ｂが生成したディジタル信号から、撮像対象となる部品４の種類に応じて可変的に設定された一又は複数のビットを省いてＡ／Ｄ変換部４０ｂによりＡ／Ｄ変換したときよりも少ないビット数のディジタル信号に圧縮する信号圧縮部４０ｃ及び信号圧縮部４０ｃが圧縮したディジタル信号に基づいて検査用画像を生成する画像生成部４０ｄを備え、部品４がチップ部品である場合には、ディジタル信号の圧縮時に省くビットを上位側ビットに設定する。 （もっと読む）

【課題】高精度に移動体の位置を計測可能な位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置１は、周期的に高さが増減する目盛パターンが形成された目盛部３０の高さ変位を、変位センサ１０によって計測する。そして、この変位センサ１０によって計測された高さの周期的な変位を、演算部２０によって位置情報に演算して、移動体の位置を計測する。目盛部３０の目盛パターンは、平面の組み合わせによって形成されるため、変位センサ１０の出力電圧は平面の傾きに応じた直線を組み合わせた波形となる。 （もっと読む）

【課題】ワーク搭載用テーブルのワーク搭載面に対するワークの貼りつきを防止する。
【解決手段】ワークが搭載されるワーク搭載面１６ｃが研削されポリッシングされたガラス製のワーク搭載用テーブル１６であって、前記ワーク搭載面１６ｃの前記ワークが搭載される領域に溝１８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】各吐出ノズルの吐出量を正確に把握し、精度良く全ノズルの吐出量を調整することができる塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】吐出ノズルから液滴を吐出し、基板へ塗布を行う吐出工程と、吐出ノズルから吐出した液滴の着弾面積を測定する測定工程と、前記吐出工程における各吐出ノズルの制御量を調節する調節工程と、を有する塗布方法において、前記調節工程では、前記吐出工程が行われる前に実施された前記測定工程の過去データの蓄積から得られる統計データにもとづいて、この吐出工程における各吐出ノズルの制御量の調節を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】種々の形状のマークの識別を可能とする。
【解決手段】電子部品Ｃを基板Ｋに実装する際に、電子部品又は基板に付されたマークＭを撮像した撮像画像データによるマークの識別に用いられる画像処理方法であって、マークの撮像画像データから当該マークの中心位置を特定する中心特定工程と、マークの中心位置からマークの撮像画像データの極座標変換データを取得するデータ変換工程と、極座標変換データにおける背景とマークとの境界線の形状的特徴からマークの形状を判別する形状判別工程と備えている。 （もっと読む）

【課題】ステージに載置する基材のいずれの面にアライメントマークが設けられる場合であっても、１つのカメラで撮像可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】吐出ヘッドのノズルから液体の液滴が吐出される基材１を載置するステージ３７Ａと、基材１の一方面側或いは他方面側のいずれかに設けられたアライメントマークＭを撮像するカメラ６１と、一方面側からアライメントマークＭを撮像する第１の状態と、他方面側からアライメントマークＭを撮像する第２の状態とを切り替え可能とするようにカメラ６１の位置を制御するカメラ位置制御機構６５と、を備える印刷装置に関する。 （もっと読む）

【課題】テクスチャ構造を有する対象物上に形成された薄膜の形状を容易かつ高精度に取得する。
【解決手段】膜形状取得装置１では、上面に複数のテクスチャ凸部を有する基板９上に形成されたシリコン膜の光学モデルにおいて、複数のテクスチャ凸部に一致する薄膜凹部およびその上方に位置する薄膜凸部が設定される。そして、薄膜凸部、薄膜凹部、および、薄膜凸部と薄膜凹部との間の中間部の形状を表すパラメータ群に含まれる各パラメータを有効膜厚にて表現し、有効膜厚を変更することにより各パラメータの値を変更して理論スペクトルの測定スペクトルに対するフィッティングが行われる。これにより、シリコン膜の形状を容易かつ高精度に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】 透光性板状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス板Ｇの表面及び裏面で反射させて、反射光をラインセンサ５５に導いてガラス板Ｇの厚さを測定する。測定用レーザ光は、Ｙ軸線回りに回転可能なガルバノミラー４５及びＸ軸線周りに回転可能なガルバノミラー５１を介してガラス板Ｇに照射される。サーボ用レーザ光も、ガルバノミラー４５，５１を介してガラス板Ｇに照射され、反射光はガルバノミラー４５，５１を介して４分割フォトディテクタ６６に導かれる。４分割フォトディテクタ６６により、ガラス板Ｇの表面のＸ軸及びＹ軸線回りの傾きが検出され、この傾きに応じてガルバノミラー４５，５１を駆動するサーボ制御により、測定用レーザ光をガラス板Ｇに対して常に一定方向から入射させる。 （もっと読む）