【課題】入射面のゴミの影響を受け難く、基準球の表面の傷に対してロバストであり、基準球の局所的な真球誤差の影響を受け難くする。
【解決手段】固定位置に配設された透明な基準球６１４と、移動体に配設された再帰逆反射体（６２０）と、基準球の中心を中心として回動するように設計されたキャリッジ６３０と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体と基準球の間でレーザビーム（６４２）を往復させる光学系を含み、再帰逆反射体と基準球の間の距離を干渉測長する測長手段（６４０）と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体の入射光と反射光の光軸のずれ量に応じた信号を出力する追尾用位置検出手段６６０と、光軸のずれ量がゼロとなるようにキャリッジの回動を制御する制御部６７０とを備えた追尾式レーザ干渉測長計において、基準球に入射されるレーザビームが、基準球の中心Ｏに焦点を結び、入射側と反対の内側球面で反射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】短時間かつ非接触にて、目封止部の深さ及び目封止部の欠陥を、同時に検査することが可能な目封止ハニカム構造体の検査装置を提供する。
【解決手段】一方の端面３５から他方の端面３６まで貫通する複数のセルを区画形成する多孔質の隔壁を有し、セルの端部に目封止部を有する筒状の目封止ハニカム構造体３１を検査対象として、検査対象である目封止ハニカム構造体３１の一方の端面３５を照らす光源１と、光源１から一方の端面３５に照射されて目封止ハニカム構造体３１の目封止部を透過して他方の端面３６から放射される光を、集光するカメラ側レンズ２と、カメラ側レンズ２で集光した光を、受光するカメラ３と、カメラ３で受光した光を画像処理して、目封止ハニカム構造体３１の目封止部を透過した光の明暗を表示する画像処理機４を備えた目封止ハニカム構造体の検査装置１００。 （もっと読む）

【課題】
装置高さが低くかつ小型化が可能なトロリ線摩耗量検出光学系およびトロリ線摩耗量測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レール横断方向に配列された単色光光源複数個によりスリット状の投光光を生成してトロリ線の摺動面に照射する投光ユニットを設け、投光ユニットを所定の周期でパルス駆動することで投光光をパルス状の光としてトロリ線の摺動面に照射する。そして、投光光が照射されたときとそうでないときのトロリ線からの反射光をの受光信号の差により摺動面についての検出信号を得る。 （もっと読む）

本発明は、ガラスファイバを歪みセンサとして使用する、光学歪み測定装置（１）に関する。この歪み測定装置は、被覆を有するガラスファイバを有する。この被覆は、ポリエーテル・エーテル・ケトンと、最小１０重量パーセント〜最大４０重量パーセント添加混合される粒径０．０８μｍ〜１２μｍの粒状無機充填材との混合物を有する。被覆の外径は、０．２ｍｍ〜１．２ｍｍである。被覆の外径Ｄとガラスファイバの直径ｄとの比率Ｄ／ｄは、２〜６である。ガラスファイバへの被覆の圧力は、ガラスファイバと被覆との間の相対運動が実質的に生じ得ない程度である。 （もっと読む）

【課題】ノイズによる測定精度の低下を防止することを可能としたトロリ線検測装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に設置される測域センサ２と、車両の内部に設置される演算装置３とを備えるトロリ線検測装置において、演算装置３に、測域センサ２の操作を行う制御部３０１、測域センサ２によって測定される測定対象物のうちその位置が予め設定した検出範囲内にあるもののみを抽出してその座標を出力する検出範囲抽出部３０３、測域センサ２による一回のスキャンにおいて検出される一又は複数の測定対象物の座標からトロリ線候補座標を検出するトロリ線座標検出部３０５、トロリ線座標を特定のフォーマットで出力するログ出力部３０７、及び、複数のトロリ線候補座標からなる近似式とトロリ線候補座標とを比較することによりトロリ線候補座標がノイズであるか否かを判定するノイズ判定処理部３０８を備えた。 （もっと読む）

【課題】３次元計測処理用のパラメータの算出が完了したときに、算出されたパラメータの精度を簡単に確認できるようにする。
【解決手段】撮像により生成された画像から位置関係が既知の複数の特徴点を抽出することが可能な形態のキャリブレーションワークを用いたキャリブレーション処理により３次元計測のためのパラメータを算出した後に、パラメータの算出に用いられたステレオ画像に含まれる複数の特徴点を対象に、算出したパラメータを用いた３次元座標の算出処理を実行する。そして、算出された各３次元座標を透視変換して、変換後の座標を所定のパターンで表した投影画像を生成し、これをモニタ装置に表示する。 （もっと読む）

物体（３）の表面の歪みを測定するための装置であって、中心セクション（６）と、中心セクション（６）の両側に配置された２つの端部セクション（８）とが設けられたキャリア（５）を有する。歪み要素（１０）が、キャリア（５）に接続され、この歪み要素（１０）には、歪みセンサ（１１）が設けられている。歪みを測定するための装置（１）は、所定の距離離れて物体（３）の表面に直接取着されることができる２つの支持脚（９）を有する。キャリア（５）の２つの端部セクション（８）は、各セクションで１つの支持脚（９）に着脱可能に接続されている。
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【課題】 鳥類等の飛翔体の３次元位置を簡易に測定する。
【解決手段】 本発明の飛翔体位置測定装置１は、超広角レンズよりも焦点距離の長いレンズを装着したカメラ１０，１１を用い、カメラ１０，１１を１０ｍ以下の近距離で配置した構成である。焦点距離の長いレンズを装着しているため、１００ｍ以上離れて飛行する飛翔体を近距離で配置した２台のカメラ１０，１１でステレオ撮影し、その３次元位置情報を得ることが可能である。カメラ１０，１１間の間隔が１０ｍ以下の近距離であるため、山間部等においてもカメラの設置作業が容易であると共に、数ｍ四方から十数ｍ四方の設置場所の範囲内に複数台のカメラを設置できることから、作業人員も従来よりも少なくすることができる。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ式岩盤内変位計システムにおいて、比較的小口径のボーリング孔内に多段に変位計を設置することができるようにする。
【解決手段】地盤に形成したボーリング孔１の浅い領域に複数段に設置した浅部用アンカー３ａ〜８ａと、深い領域に複数段に設置した深部用アンカー９ａ〜１４ａと、ボーリング孔の開口部に設置されて浅部用アンカーに先端部分が結合され浅部用アンカーの変位に応じて進退する変位伝達ロッド３ｂ〜８ｂの基端部分に結合され浅部用アンカーの変位量を検出する変位量検出センサーユニット３ｃ〜８ｃと、深部用アンカーの側近に設置され深部用アンカーの変位量を検出する深部用変位計９〜１４を備え、変位伝達ロッドは、各変位伝達ロッド毎にそれぞれに専用の小口径の保護シース３ｄ〜８ｄによって１本ずつ包囲することにより変位伝達ロッドの変位がボーリング孔内に充填されるグラウト材１６によって阻害されないように構成する。 （もっと読む）

【課題】パンタグラフの高さ測定におけるキャリブレーションを容易に行うことを可能としたパンタグラフ高さ測定装置及びそのキャリブレーション方法を提供する。
【解決手段】車両１０の屋根上に設置されるラインセンサ２０と、ラインセンサ２０によって撮影した画像を解析する処理用コンピュータ３０と、パンタグラフ１０ａの変動幅を含む範囲に着脱可能に設けられ、黒色領域４０ｂ及び白色領域４０ｗを鉛直方向に沿って交互に配してなるキャリブレーション用部材４０とを備え、処理用コンピュータ３０が、ラインセンサ２０によってキャリブレーション用部材４０を撮影した画像から得られる黒色領域４０ｂ及び白色領域４０ｗの画像上の位置と黒色領域４０ｂ及び白色領域４０ｗの実際の高さとの関係式である架線高さ計算用近似式を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】紫外光を含む波長域において高解像な画像を取得可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置の撮像部３５が、ステージに支持されたウェハを撮像するための可視光用撮像素子３８と、ステージに支持されたウェハの表面からの紫外光を受光し、紫外光によるウェハの像を中間像として結像させる対物レンズ３６と、対物レンズ３６により結像した中間像を可視光による中間像に変換する蛍光板４３と、可視光による中間像を可視光用撮像素子３８の撮像面上に結像させる結像レンズ４４とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】姿勢変更手段を備える測定機であっても適切に校正することができる校正装置の提供。
【解決手段】形状測定機は、被測定物を載置する定盤と、対物レンズを介して被測定物を撮像する画像プローブと、画像プローブの姿勢を変更する姿勢変更手段と、画像プローブを移動させる移動手段とを備える。校正装置２は、定盤に設置される基台２１と、対物レンズの光軸と略平行な軸を回転軸として基台２１に回転自在に設けられる回転盤２２と、対物レンズの光軸と略直交する基準線として機能する線状部材２４とを備える。校正装置２は、回転盤２２と、線状部材２４とを備えるので、姿勢変更手段を備える測定機であっても十分な範囲で適切に校正することができる。 （もっと読む）

【課題】参照レンズユニットの取付構造および方法において、磨耗による劣化を抑制することができるとともに参照レンズユニットの交換の作業性を向上することができるようにする。
【解決手段】参照レンズユニットの取付構造であって、レンズ枠は、レンズ光軸Ｐに直交する位置合わせ面と、端部の外周側に丸アリ部２Ａとを備え、参照レンズユニット取付部４は、測定基準軸Ｏに直交する位置決め面５ｃと、傾斜面５ｄ、円錐傾斜面５ｅを有し丸アリ部２Ａが係止可能に設けられた基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂと、測定基準軸Ｏを挟んで基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂと反対側に、進退可能に設けられた押圧部材９とを備え、丸アリ部２Ａを、基準側アリ溝部５Ａ、位置決め突起５Ｂおよび押圧部材９の間に挟んだ状態で、押圧部材９を進退させて参照レンズユニットを着脱させる構造とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アレイテスト装置と、アレイテスト装置の基板一地点位置測定方法を提供する。
【解決手段】本発明におけるアレイテスト装置は、テスト部と、テストモジュールと、位置表示部材とを含む。テスト部は、テストされる基板を支持する。テストモジュールは、少なくとも水平移動可能に配され、テスト部に配された基板の不良位置を検出する少なくとも一つのモジュレーターヘッドを備える。位置表示部材は、テスト部の水平方向の外郭にモジュレーターヘッドの移動経路上でモジュレーターヘッドと隣接して配され、基準位置マーク及び少なくとも一つの対応位置マークが形成された位置表示部材を含む。モジュレーターヘッドは、基準カメラ及び少なくとも一つの隣接カメラが配されたカメラアセンブリーを備え、位置表示部材の基準位置マークは、基準カメラによって撮像され、対応位置マークは、隣接カメラによって撮像される。 （もっと読む）

【課題】物体が拡散媒質内に配置されているときに物体の位置および／または形状を遠隔測定する比較的簡単なセンサを提供する。
【解決手段】センサと物体との間の距離に対して短いコヒーレンス長を有する光源１１０と、送られたビームを入射ビーム１２６と基準ビーム１２３とに分割するビームスプリッタ１１２と、基準ビーム１２３と、入射ビーム１２６により照射された物体１２０から反射されたビーム１２７との干渉受光時にホログラムを生成し、基準ビーム１２３の作用による異方性回折によりクリスタルガラスから送り返される回折ビーム１２４でホログラムを再生する光屈折クリスタルガラス１１４と、回折ビーム１２４の受光時に情報を生成する検出装置１１６とを含み、それによって、検出装置１１６は、クリスタルガラスから回折ビーム１２４だけを受け取る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、アレイテスト装置と、アレイテスト装置の基板一地点位置測定方法と、カメラアセンブリーに撮像された特定位置座標測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のアレイテスト装置は、テストされる基板を支持するテスト部を備える。少なくとも一つのモジュレータヘッドは、テスト部上に隣接配置され少なくともテスト部に位置した基板の不良位置を検出する。モジュレータヘッドは、固定ブロックを備える。カメラアセンブリーは、基準カメラ及び隣接カメラが一定に配されるように、固定ブロックに結合される。座標測定用モジュレータブロックは、固定ブロックに分離可能に結合され、カメラアセンブリと基板との間に位置し、カメラアセンブリを成すカメラの焦点距離に合わせて配された位置表示部材を備える。位置表示部材は、基準カメラによって撮像される基準位置マーク及び隣接カメラに撮像される少なくとも一つの対応位置マークが形成される。 （もっと読む）

【課題】安定した精度でカメラキャリブレーションを実現するキャリブレーション用ターゲットを提供する。
【解決手段】車両に異なる状態で取り付けられたカメラのキャリブレーションを同じ設備で実施する際に使用するカメラキャリブレーション用のキャリブレーションターゲットであって、大きさが異なる複数の相似形の図形より構成され、当該相似図形は大きさの小さい図形がより大きな図形の中にその互いの辺が接触しないように配置され、小さい図形を構成する辺と大きい図形を構成する辺の間に、小さい図形を構成する辺から所定の領域をガードエリアとして有する一連の図形を１つのマーカとし、該マーカを複数配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プリント板の各点から得られる正反射光及び散乱反射光の２次元の光量分布を基に、はんだ箇所の高さを算出するときの基準位置を容易に求める技術を提供する。
【解決手段】基板１に垂直に近赤外光を照射し散乱反射光を受け、かつ斜めの角度で近赤外光を照射しその正反射光を受ける変位センサ２を備え、度数算出手段４は、散乱反射光量と正反射光量とを２次元とするヒストグラムを生成する。パラメータ決定手段５は、ヒストグラム上で散乱反射光量及び正反射光量が高い側においてほぼピークとなる度数分布を有する基準分布を選定し、基準分布の裾付近の２次元の範囲をパラメータとして決定する。測定検査部１００は散乱反射光量及び正反射光量がパラメータの範囲内にある基板上の位置であって、はんだの高さを求めようとするはんだ箇所に近い位置を基準位置として、はんだの高さを求める。 （もっと読む）

【課題】ファイバの固定力調節や分解及び再組付けが可能であり、簡単に着脱できて組付け性も優れるように、改善されたファイバセンサ用ファイバ支持装置を提供する。
【解決手段】ファイバセンサＦの保護チューブ９を通す挿通孔１ａ、外周雄ネジ部１０、先拡がり内周面１２を備える支持本体１と、ファイバ線６を通す一対の支持孔１５、先窄まり外周面１６、小径筒部１７、環状側周面１８を備えるフッ素樹脂製のフェルール２と、雄ネジ部１０に螺合する雌ねじ部１９、環状側周面１８に当接する環状押圧周面２０、小径筒部１７を挿通するガイド内周面２１を持つユニオンナット３とを有し、先窄まり外周面１６が先拡がり内周面１２に嵌め込まれ、環状押圧周面２０が環状側周面１８に当接し、雄ねじ部１０が雌ネジ部１９に螺合された状態におけるユニオンナット３の締め込みによるフェルール２の軸心方向押圧により、支持孔１５に通されているファイバ線６を把持可能なファイバ支持装置Ａ。 （もっと読む）