【課題】 高価な測定装置を使用することなく、連続Ｘ線発生源の軟線と硬線の割合を算出する方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 均一な物質に連続Ｘ線を照射して得られる透過厚と透過強度との関係を示す透過厚特性データを用いて、連続Ｘ線を単色Ｘ線の重ね合わせでモデル化して、軟線と硬線の割合を算出する。 （もっと読む）

【課題】 シート状物の厚みを精度よく測定するシート状物厚さ測定装置を提供する。
【解決手段】 所定ピッチＰをおいて環状に配備した複数個のＸ線管８からなるＸ線管ユニット２と、Ｘ線管８に対向配備した複数個のＸ線検出器９を環状に配備してなるＸ線検出ユニット４とをシート状物１を挟んで対向した状態で同期をとりながら回転させ、シート状物１の厚みを測定するとともに、シート状物上から外れた軌道では較正用の基準体６の厚みを測定する。基準体６の厚みは、補正演算処理部１２で基準値と比較されて補正量が求められ、この補正量を実測により得られたシート状物１の厚みに反映させて補正する。 （もっと読む）

【課題】モータもしくはエンジンの部品の熱膨張を測定し、このモータやエンジンのファンブレードのクリアランスを能動的に制御するとともに、その異常をモニタする。
【解決手段】ガスタービンエンジンは、ファン１３２、コンプレッサ１３４、タービン１３６、およびエンジンケースの冷却調整システム、を備える。これらの回転するブレードの先端のクリアランスが、周方向に複数個配置したマイクロ波検出センサによって検出され、所望のクリアランスとなるように、冷却調整システムのトルクモータ１９２やアクチュエータ１９４を介して、エンジン１３０のハウジング内部ならびにハウジング周囲の一つあるいは複数の冷却流体流を調整する。各センサから検出される信号の位相差の対比により、各ブレードの欠損等の異常もモニタできる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の塗工シートの塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】Ｘ線源１１とＸ線検出器１２を用いて未乾燥状態の塗工シート１０の走行状態において塗工シートの乾燥後における塗工膜を測定する際、塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータを演算部３０で処理して塗工シート１０の塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。この際、未乾燥状態における塗工膜中の溶剤の含有率が一定であれば、未乾燥状態の塗工膜の溶質と溶剤のＸ線吸収量の比率は一定になる。この関係から、未乾燥時のＸ線吸収量と乾燥時のＸ線吸収量との間に一定の関係式が生じる。この関係式を用いて、未乾燥時の単位面積当り重量の測定値から乾燥後の単位面積当り重量を求めることが可能になる。溶剤の含有率が変化した場合は、含有率の変化に応じて関係式を補正すればよい。 （もっと読む）

【課題】イメージインテンシファイアを用いて配管肉厚測定を行う方法において、被測定物である配管における測定位置の特定を可能にし、また、減肉量測定の精度を向上させる目的とする。
【解決手段】放射線Ｒを発生させる放射線発生装置３及び放射線発生装置３にて発生した放射線Ｒを入射し光に変換して前記光のイメージを増幅するイメージインテンシファイア４からなる放射線検査装置２と、放射線検査装置２の位置を検出する位置検出装置８とを設け、この位置検出装置８により被測定物である配管Ａの測定位置を特定するように構成した。 （もっと読む）

本発明は、流体機械（１）の少なくとも１個の翼（４、１１）のTBC被覆（１２）の層厚を検出する方法に関する。その場合、少なくとも１つの電磁波が、少なくとも１個の翼（４、１１）の表面に送信され、その少なくとも１つの電磁波が少なくとも１個の翼（４、１１）で少なくとも部分的に反射され、少なくとも１つの電磁波の反射部分が受信され、再処理される。さらに、少なくとも１つの電磁波が、TBC被覆の層厚に合わされた周波数で送信され、その場合、少なくとも１つの送信電磁波が反射時に位相変化を生じ、その少なくとも１つの送信電磁波の位相が、少なくとも１つの受信電磁波の位相と比較され、その位相比較によって、TBC被覆の層厚が検出される。また本発明は、この方法を実施するためのTBC被覆層厚測定装置、並びにこの方法およびTBC被覆層厚測定装置の利用に関する。
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二つの交差箇所で容器と交差する計測放射線の第１及び第２の試験経路に沿った放射線の吸収を決定する、例えばＰＥＴ製のボトル等の容器の壁厚を検出するための方法である。二つの試験経路（２、３）は、各々、ほぼ共通の少なくとも一つの交差箇所（６）を有する。更に、容器の側壁から容器の底領域への移行領域の壁厚を計測する。本発明は、更に、対応する装置に関する。
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【課題】鋼管製品の放射線肉厚測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の外径に対応して、放射線源の幅方向投影線が、鋼管の管長手方向投影面に包含されるまで、放射線源を回転して被測定物に対する有効放射線量を最大とする事を特徴とする鋼管の肉厚測定方法である。 （もっと読む）

本発明は、壁（１８）を透過する電磁測定フィールド（１２）の形成用の送信ユニット（１０，４２）と、電磁測定フィールド（１２）の少なくとも一部分の検出用の受信ユニット（１４）と、受信ユニット（１４）によって検出される信号（２０）の評価用の評価ユニット（１６）を有する測定装置に関する。
評価ユニット（１６）は、壁（１８）に沿って測定フィールド（１２）の位置依存性の少なくとも1つの特徴量（ｔ_１−ｔ_３，ｔ_１２，ｔ_１３）を求め、特徴量（ｔ_１−ｔ_３，ｔ_１２，ｔ_１３）に依存して壁（１８）の壁厚（Ｄ）を測定するように設けられている。
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【課題】鋼管製品の放射線肉厚測定方法を提供する。
【解決手段】
被測定物の外径にあわせて、放射線源から放射される無効放射線を遮蔽する遮蔽板を、前記放射線源の前面に設けて、放射線検出器で検出される無効放射線量を微少化することを特徴とする鋼管の肉厚測定方法である。 （もっと読む）

本発明は、測定対象（１）に侵襲性放射が照射される、測定対象（１）を検査するための方法及び装置に関し、その際、放射線源（３）からの侵襲性放射の相互作用が、放射感受性を有するセンサ装置（６）を用いて検出され、その際、センサ装置（６）の期待検出結果が、測定対象（１）の設定形状寸法を用い、かつ材料特性を用いて算定装置（１３）によって算定され、及び／又は期待検出結果が、マスタ部品を寸法測定することによって得られ、該期待検出結果が、センサ装置（６）の実際の検出結果と比較装置（１１）によって比較される。
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【課題】電子写真感光体を破壊、加工することなく、連続して検査することのできるＥＰＭＡ法による検査装置および検査方法を提供することである。
【解決手段】試料に電子線を照射する電子線光学手段が接続され、所定の真空度に保持された試料室と、真空排気手段および給気手段とが接続され、前記試料室との間で試料の出し入れを行う第１開口部および外部との間で試料の出し入れを行う第２開口部を有する予備排気室と、前記第１開口部を開閉するための第１仕切り弁と、前記第２開口部を開閉するための第2仕切り弁と、試料を保持して外部と予備排気室と試料室との間を移動する試料台と、この試料台の移動に対応して、前記第１仕切り弁および第２仕切り弁の開閉、予備排気室の給・排気を行う制御手段とを備えたことを特徴とするＥＰＭＡ法による検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた測定結果の把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち一部を抽出して少なくともＸ線画像の背景に相当する部分を除いた物理量測定領域のＸ線画像をデータ処理部６のＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの大きさ又は質量に対応する物理量を算出する質量算出部１３と、物理量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された物理量を示すグラフ表示要素とを関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板上に転写・形成された半導体集積回路パターンの高精度膜厚測定を非破壊検査で可能とする膜厚計測方法を提供する。
【解決手段】 製品パターンの製品２次電子信号波形を取得するステップ、製品２次電子信号波形から複数の製品特徴量を抽出するステップ、製品パターンと寸法規格が同じテストパターンの複数のモデル特徴量と複数の露光条件のそれぞれを未知数とする、予め算出された複数のモデル関数を用い、製品パターンの膜厚を計測するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】 ワーク厚さに対する直線性の良好な等価厚画像濃度データが得られる濃度データ変換方法および装置を実現し、体積や質量等の測定精度が高いＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷのＸ線透過量に対応するＸ線画像濃度データＰからワークＷの厚さに対応する等価厚画像濃度データＱ（Ｐ）への変換処理を施す方法であって、Ｘ線画像における背景の濃度値Ｐ_０と、Ｘ線画像における前景の代表濃度Ｐ_１と、等価厚画像の最大濃度Ｑmaxとをそれぞれ設定し、変換処理を、次式〔１〕により実行し、
Ｑ（Ｐ）＝［｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ）｝／｛ｌｎ（Ｐ_０）−ｌｎ（Ｐ_１）｝］^γ・Ｑmax ・・・〔１〕
等価厚画像の濃度データＱ（Ｐ）の直線性を確保するよう式〔１〕中の補正指数値γを調整する。 （もっと読む）

【課題】 高分解能のマイクロ蛍光Ｘ線測定を実行するための、改善された方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 試料の表面に適用された材料を試験する方法は、既知のビーム幅および強度断面を有する励起ビームを試料の領域に方向付けることを包含する。励起ビームに応答して領域から放射された蛍光Ｘ線の強度が測定される。測定された蛍光Ｘ線強度および励起ビームの強度断面に応答して、ビーム幅よりも微細な空間分解能で、領域内の材料の分布が概算される。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡システムにおける３次元トモグラフィ・イメージ生成のための方法と装置を提供する。
【解決手段】標本の上端表面上に少なくとも２つの縦のマークを備え、それらの間に角度を持たせる。連続するイメージ記録において、それらのマークの位置が決定され、連続するイメージ記録の間において取り出されたスライスの厚さの定量化に使用される。 （もっと読む）

【目的】 研磨における加工終点を十分に検出することができる方法及びかかる方法を適用することが可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【構成】 基板２００を研磨する研磨パッド２３０、ターンテーブル２２０や、トップリング２１０等から構成される研磨部と、前記基板２００の表面側と裏面側とのうち、いずれか一方に配置され、前記研磨部が前記基板を研磨する間、複数の陽電子１１２を放出する陽電子線源１１０と、前記基板２００を挟んで前記陽電子線源１１０と対向して配置され、放出された前記複数の陽電子１１２の寿命を測定する、シンチレータ１２２，１２４、ＣＦＤ１４２，１４４、ＴＡＣ１５０や、ＭＣＡ１６０等から構成される測定部と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】強度としては弱いものの、物質透過性が高い水平ミュオンを用いて精度よく大型構造物の内部構造情報を得る方法を提供する。
【解決手段】大型構造物の測定対象部に対向する側方の有限間隔位置に位置敏感検出手段を配置し、位置敏感検出手段は、第１検出板と第２検出板とをもつ位置敏感検出器複合体を２基有し、前記位置敏感検出器複合体の間に鉄部材を配設し、前記測定対象部を貫通して第１位置敏感検出器複合体に到達する前方水平ミュオンが第２位置敏感検出器複合体に到達する際に、それぞれの到達位置をつないだ直線を逆にたどることで、前方水平ミュオンが貫通する前記測定対象部内の経路が特定され、前方水平ミュオンの強度と、第２位置敏感検出器複合体および金属部材を順次貫通して第１位置敏感検出器複合体に到達する後方水平ミュオンの強度の双方を同じ位置敏感検出手段で測定し、前方および後方水平ミュオンの強度比から大型構造物の内部構造情報を得ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 大気の変動を考慮した厚さの測定を行うことにより、高い精度でシートの厚さ測定を可能にする。
【解決手段】 測定対象であるシートＳに照射するＸ線を発生するＸ線源１と、シートＳを透過したＸ線量を検知するＸ線センサ２と、Ｘ線源１とシートＳの間に配置され、かつシートＳに到達する前のＸ線量を検知する補正用センサ３と、Ｘ線センサセンサ２で検知されたＸ線量及び補正用センサ３で検知されたＸ線量に基づいてシートＳの厚さを算出する演算部６と、を備えるシート厚さ測定装置１０。演算部６は、補正用センサ３で検知されたＸ線量に基づいて求められた大気の密度と、Ｘ線センサ２で検知されたＸ線量に基づいてシートＳの厚さを算出する。 （もっと読む）