【課題】 膜厚測定方法及び膜厚測定装置に関し、簡便かつ迅速に薄膜の厚さおよび組成変化を測定する。
【解決手段】 薄膜の表面に加速したイオン４を照射し、その表面から放出される二次電子５に起因する試料電流により薄膜の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】 測定範囲の全域にわたって分解能の改善を図った物理量測定装置およびこの装置を用いた物理量測定装置を提供する。
【解決手段】 放射線を含む線源から出射され、シ―ト状の被測定体を透過したエネルギーの減衰量を検出器により検出し、前記被測定体の物理量の測定を行う物理量測定装置において、前記線源と検出器の間の空気層を測定した検出器の出力信号を正規化して検量線を作成する第１検量線作成手段と、前記線源と検出器の間に標準サンプルを挿入した状態の検出器の出力信号を正規化して検量線を作成する第２検量線作成手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】 既知情報及び実測データに基づく特定サテライトピークのフィッティングにより、十分な精度のプロファイル解析が行えるＸ線回折測定解析方法及びプログラムを実現し、また、一致状態を一般性を失うことなく大局的に見通しよく２次元表示する。
【解決手段】 実測プロファイルから周期Ｌと平均格子定数ａを求め、交互に積層された一方の薄膜の膜厚Ｌ１及び格子定数ａ１の初期値を設定する設定段階と、Ｌ、ａ並びにＬ１及びａ１の初期値から、他方の薄膜の膜厚Ｌ２及び格子定数ａ２の値を算出する変数算出段階と、Ｌ、ａ、Ｌ１及びａ１の初期値並びにＬ２、ａ２の計算値に基づいて解析プロファイルを得る解析プロファイル作成段階と、両プロファイルを比較して一致の度合いを調べる比較段階と、一致の度合いが一致基準を満たすか否かを判定し、満たすときはＬ１、ａ１、Ｌ２及びａ２の値を測定値とし、満たさないときは、Ｌ１及びａ１の初期値のいずれかを変更して再び変数算出段階に戻る判定段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】積層薄膜の極微小領域での測長を高精度に行う。
【解決手段】本発明は、測定条件を入力するステップ、電子線源から電子線を発生し、収束レンズにより電子線を試料に収束するステップ、結像レンズ系により試料を透過した電子線を拡大して試料の拡大像を結像するステップ、元素分析器により上記試料の元素分布像を取得し、取得した元素分布像を表示するステップ、元素分布像を測長するステップ、及び上記測定条件を補正するステップを含む薄膜評価方法に関する。更に、この評価方法を実施するための評価装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】 コークス炉炭化室のような高温の炉内における高温の耐火物の厚みを、高温の炉内側から測定するための耐火物厚み測定方法及び耐火物厚み測定装置を提供する。
【解決手段】 高温の炉内にマイクロ波送信機受信機２を挿入し、高温の耐火物表面に向かってマイクロ波を送信し、耐火物２１の表面２２で反射して返ってきた表面反射波２５及び耐火物２１の裏面２３で反射して返ってき裏面反射波２６を受信し、表面反射波２５と裏面反射波２６とがそれぞれ送信から受信までに要した時間の差を算出し、この時間差及び耐火物の屈折率に基づいて耐火物の厚みを算出し、前記マイクロ波送信機受信機２は冷却箱１中に収納し、冷却箱７壁面のマイクロ波通過窓６についてはマイクロ波を透過しかつ耐熱性を有する材料で構成することを特徴とする耐火物厚み測定方法及び厚み測定装置である。 （もっと読む）

【課題】一台の装置で、小角散乱、Ｘ線回折、反射率測定等を容易に行える装置を提供する。
【解決手段】試料分析装置は、第１のＸ線収束ビームを試料表面に向け、第２のＸ線平行ビームを試料表面に向けるように構成された照射源を含む。動作アセンブリは、照射源を、Ｘ線が試料表面にかすめ角で向けられる第１の光源位置と、Ｘ線が表面に試料のブラッグ角近傍で向けられる第２の光源位置との間で移動させる。検出素子アセンブリは、照射源が、第１および第２の光源構成のいずれか、および第１および第２の光源位置のいずれかにあるときに、試料から散乱したＸ線を角度の関数として感知する。信号処理部は、検出素子アセンブリからの出力信号を受けてこれを処理し、試料の特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】 シート状部材の厚さ測定精度を向上させると共に，放射線源を含む測定構成機器の耐圧防爆構造を実現すること，及び，成形されたシート状部材の形状にかかわらずシート成形直後におけるシート厚さの測定を可能とし，ダイの間隙の早期調整を実現すること。
【解決手段】 Ｘ線源１（放射線源）と，Ｘ線検出器２（放射線検出器）と，Ｘ線が照射された際に固有のエネルギーを持つ特性Ｘ線を発生するＴｉ板６（特性Ｘ線発生物質）とが適宜配置されてなり，上記Ｘ線源１から出射されたＸ線が上記Ｔｉ板６に照射され，該照射により上記Ｔｉ板６で発生しシートＳ（被測定部材）を透過して上記Ｘ線検出器２に入射した特性Ｘ線の強度の減衰量に基づいて上記シートＳの厚さを演算，算出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ安価な装置により、石英ガラス製ランプ用バルブを高精度に計測できるようにする。
【解決手段】Ｘ線管の管電圧を４０ｋｖ〜１００ｋｖとしたＸ線発生装置と、Ｘ線シンチレータ付きファイバオプティクプレート３ａ，３ｂとＣＣＤ３ｃとをダイレクトカップリングしてなるエリアセンサとを設けるとともに、エリアセンサの受像面側に石英ガラス製ランプ用バルブ（被計測物）２を３０ｍｍ以下の離間距離で配置し、エリアセンサで得た石英ガラス製ランプ用バルブの可視像を処理する制御部を設け、制御部は、積算フレーム数設定部と、積算フレーム数設定部で設定された数に達した各フレームの画像を積算処理する画像処理部と、該画像処理部で処理された画像から石英ガラス製ランプ用バルブを計測する画像計測部とを有する構成にする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の被測定シートの単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】被測定シート１０の走行パスの両側に配置されたＸ線源１１とＸ線検出器１２の相対位置を維持し、走行パスの幅方向に幅方向外側を含む範囲内で往復走査させ、走行状態の被測定シートの単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に測定する際、Ｘ線源のＸ線照射位置が走行パスの外側にずれた状態の時にＸ線ビームを直接にＸ線検出器で検出した照射Ｘ線量のデータと、シートがＸ線源およびＸ線検出器の対向間隔部を走行する時にＸ線ビームがシートを透過した透過Ｘ線をＸ線検出器で検出した透過Ｘ線量のデータおよび規定値データを演算部３０で処理する。この際、演算部は、Ｘ線源およびＸ線検出器の１回の片道走査毎に得られた照射Ｘ線量のデータにより照射Ｘ線量のデータを自動的に更新する。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線を利用した膜厚計で内部汚染を防ぐ
【解決手段】少なくとも片面に無機物層を持つプラスチックフィルムの該無機物層の膜厚組成を真空中で蛍光Ｘ線により連続的に測定する装置にかんし、真空状態から大気圧に戻す際に蛍光Ｘ線測定経路を測定対象が有る部分より圧力を高く保持しながら大気圧に戻す機構を持つ事を特徴とする膜厚測定装置である。 （もっと読む）

【課題】 スペクトルの半値幅を用いずに，スペクトルの面積に基づいて被解析層の厚さを解析することにより，解析処理の迅速化，解析処理にかかる時間の短縮化，解析精度の向上を図ること。
【解決手段】 単層或いは複数層からなる試料にイオンビームが照射されることによって上記試料で散乱した散乱粒子のエネルギースペクトルに基づいて，上記試料の深さ方向の組成分布の解析を行うよう構成されており，被解析層に相当するエネルギースペクトルが単独で出現するときの散乱角度（特定散乱角度）へ散乱した散乱粒子のエネルギーを実測し，この実測により得られた実測エネルギースペクトルに単独で出現する上記被解析層の単独エネルギースペクトルを抽出し，そして抽出された上記単独エネルギースペクトルの波形で囲まれたスペクトル面積に基づいて上記被解析層の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の塗工シートの塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】Ｘ線源１１とＸ線検出器１２を用いて塗工シート１０の走行状態において塗工シートの塗工膜を測定する際、塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータと、未塗工シートの透過Ｘ線量を測定したデータとを演算部３０で処理して塗工シート１０の塗工膜の単位面積当り重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。 （もっと読む）

【課題】 サンプルの迅速なＸＲＲ及びＸＲＤに基づいた分析用の装置及び方法を提供する。
【解決手段】 サンプルの分析用の装置は、サンプルの表面に向かってＸ線の収束ビームを案内するべく適合された放射源を含んでいる。同時に、サンプルから散乱したＸ線を、仰角の範囲にわたって、仰角の関数として検知し、この散乱したＸ線に応答して出力信号を生成するべく、少なくとも１つの検出器アレイが構成されている。この検出器アレイは、グレージング角で、サンプルの表面から反射したＸ線を検出器アレイが検知する第１の構造と、サンプルのＢｒａｇｇ角の近傍において、表面から回折したＸ線を検出器アレイが検知する第２の構造と、を具備している。そして、信号プロセッサが、サンプルの表面層の特性を判定するべく、この出力信号を処理する。 （もっと読む）

【課題】計測されるべき対象物（２１０）をマイクロ波放射線を使用して計測する解決策を提供する。
【解決手段】フィードバック結合された能動ユニット（１００）によって発振エネルギを発生する。この解決策は、少なくとも一つの発振器で共振を発生することを含む。各発振器は、少なくとも一つの開放共振器（２００）を含み、各共振器は、計測されるべき対象物（２１０）を共振器の機能的部分として使用することによって、少なくとも一つの能動ユニット（１００）に連結され、計測されるべき対象物（２１０）により、計測されるべき対象物（２１０）の表面（２１２）の位置に応じた共振周波数を各発振器で発生する。計測部分（４２０）は、計測されるべき対象物（２１０）の少なくとも一つの特性を各発振器の共振周波数に基づいて決定する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜と薄膜が形成されている基板の材料とが同じ材料を含んでいても、薄膜の微小領域における被覆率の測定を行うことができる薄膜の被覆率評価方法を提供する。
【解決手段】 検量線作成用の、シランカップリング膜２を形成したシリコン基板５をＳ−ＳＩＭＳ測定法で測定し、シランカップリング膜２に含まれる有機系のＰＦＰＥイオン強度値と、シリコンイオン強度値との検量線用イオン強度比（ＰＦＰＥイオン強度値／シリコンイオン強度値）を取得する。検量線用イオン強度比を基にして被覆率を求めるための検量線を作成する。次に、実際のシランカップリング膜２が形成されたシリコン基板５をＳ−ＳＩＭＳ測定法で測定し、シランカップリング膜２に含まれるＰＦＰＥイオンの強度値とシリコンイオン強度値の試料イオン強度比を取得する。作成した検量線を用いて、試料イオン強度比から被覆率を評価する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過法を用いて走行状態の二層膜シートの各層の単位面積当たり重量および／または厚みを精度良く簡単に測定する。
【解決手段】二層膜シート１０の走行状態において二層膜シートの各層１０ａ，１０ｂを測定する際、高エネルギーのＸ線源１１と低エネルギーのＸ線源１２を用いて二層膜シートのほぼ同一部分の透過Ｘ線量を測定し、各測定出力を演算部３０でデータ処理して各層の単位面積当たり重量および／または厚みをほぼ連続的に算出する。 （もっと読む）

【課題】 表面層を備えたサンプルの検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 その検査方法はＸ線の平行光線でサンプル２２を照射中に、サンプル２２の第１の反射率スペクトルを取得し、サンプル２２の散漫反射特性を測定するために第１の反射率スペクトルを処理する。Ｘ線の収束光線でサンプル２２を照射中に、サンプル２２の第２の反射率スペクトルが取得される。サンプル２２の表面層の特性を求めるために散漫反射特性を使用して、第２の反射率スペクトルが解析される。 （もっと読む）

【課題】環境条件の変動による感光体の表面帯電位の変動を抑制し、画像品質への影響を少なくして、より安定した画像品質が得られる電子写真感光体、その製造方法およびそれを搭載した電子写真装置の提供。
【解決手段】導電性基体上に浸漬塗布法による下引き層と感光層とをこの順に備える電子写真感光体において、下引き層が少なくとも顔料と結着樹脂とを含有し、顔料成分と樹脂成分の合計重量に対する顔料成分の重量比率が４０重量％以上７５重量％未満であって、かつ、下引き層表面の樹脂偏析層の膜厚が２５ｎｍ以下である電子写真感光体とする。 （もっと読む）

本発明は、高周波送信器（２４）によりギガヘルツ周波数帯域の測定信号（２８）を検査すべき建築資材（１０）に少なくとも一回侵入させ、高周波受信器（３８）により検出するようにした建築資材侵入性の材料強度測定の方法、とりわけ、壁、天井、および床の厚さを測定する方法に関する。
本発明によれば、高周波送信器（２４）および／または高周波受信器（３４）の異なる位置（２０，２２）で測定された測定信号の少なくとも２つの伝播時間から建築資材（１０）の材料強度（ｄ）が求められる。
さらに、本発明は上記の方法を実行する装置システム（１２，４０，１４０，２４０，３４０）にも関している。
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本発明は、半導体ウェハ（１００）上に堆積または形成された膜（１０４）の光学特性を測定するためのシステム（２０１）および方法を提供する。膜の試験領域（２０６）内にあって、互いに重なり合わない複数の位置（２１６）において、上記膜の化学線照射量よりも低い放射線照射量で光学特性を測定する。この結果、上記測定によって上記膜内に化学変化が引き起こされることはない。従来技術による方法に対して上記測定を較正して、その結果を調整係数または較正係数によって調節してもよい。
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