【課題】有機繊維よりなるコードを配列したベルト層を１層以上積層してなるベルトとトレッドとを有する使用済みタイヤのトレッドの厚さを自動的に測定する方法およびそのための装置を提供する。
【解決手段】テラヘルツ波をタイヤの軸方向に照射する照射装置１をタイヤ半径方向に移動させながら、タイヤを透過する波の強度を、照射装置１のタイヤ半径方向位置ごとに測定し、その測定結果からトレッドの厚さを特定する。 （もっと読む）

【課題】測定物の厚みと出力値の関係を示すＸ線検出器の校正曲線を高精度かつ安価に作成することが可能な校正曲線の作成方法を提供する。
【解決手段】測定物１０の厚みとＸ線検出器１５の出力値の関係を示す校正曲線の作成方法は、Ｘ線源１４からＸ線検出器１５に至る経路に存在する物質とＸ線との相互作用断面積値のデータから、Ｘ線源１４とＸ線検出器１５の間に測定物１０と同材質で厚みの異なる複数の仮想試験体を通過させたときのＸ線検出器１５の理論出力値を計算して、測定物１０の厚みと理論出力値との関係を示す計算校正曲線を求める第１工程と、Ｘ線源１４とＸ線検出器１５の間に標準試験体３５を通過させたときのＸ線検出器１５の実測標準出力値を求める第２工程と、理論標準出力値を算出し実測標準出力値に一致させる換算係数を求める第３工程と、換算係数に基づいて計算校正曲線から校正曲線を求める第４工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の残肉厚を適切に検出することができる非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】所定の厚みを有する配管１０Ｂ等の検査対象物にγ線Ｅ_０をその厚さ方向に照射し、コンプトン効果により散乱された散乱γ線Ｅのうち特定のエネルギーを有する単色の散乱γ線Ｅを弁別し、弁別した散乱γ線Ｅに基づき前記配管１０Ｂの散乱γ線Ｅによる二次元の画像Ｃ１´，Ｃ２´を得、この二次元の画像Ｃ１´，Ｃ２´を正常な配管１０Ａの画像Ｃ１，Ｃ２と比較することにより前記配管１０Ｂの状態を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】被測定物に放射線を照射して板厚を測定する放射線板厚測定装置において、フレーム体の熱膨張を防止して、板厚の測定誤差を防止することを目的とする。
【解決手段】放射線板厚測定装置１は、上部フレーム２ａと下部フレーム２ｂと側部フレーム２ｃとから構成されたフレーム体２と、前記上部フレーム２ａ及び前記下部フレーム２ｂの一方の先端に配設した放射線発生部３と、前記上部フレーム２ａ及び前記下部フレーム２ｂの他方の先端に前記放射線発生部３と対向するように配設した放射線検出部４と、前記放射線発生部３及び前記放射線検出部４の内部に形成した冷却配管３ａ、４ａと、を備えている。そして、表面温度が２５±１０℃の範囲内となるように、前記フレーム体２を断熱材２ｄで被覆することで、被測定物５による熱放射から前記フレーム体２を断熱して熱膨張を防止する。 （もっと読む）

【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ（２６）を保持する保持器（２４）を担持する変位部材（２３）と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット（３５）との間に、フリーホイール機構（５１）を介在させ、測定用プローブ（２６）または保持器（２４）が測定対象（１４）に接触すると、駆動ユニット（３５）による駆動が変位部材（２３）から切り離され且つスイッチング・デバイス（５８）がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 （もっと読む）

【課題】 膜の評価方法及び強誘電体メモリの製造方法に関し、表面に凹凸の多い薄膜の膜厚等をＸ線反射率法により精度良く測定する。
【解決手段】 膜を構成する結晶粒の平均粒径が２００ｎｍ以上、或いは、平均粒径が２００ｎｍ以上の結晶粒同士の一部が融合した融合結晶粒を含む被膜を被測定膜の表面に成膜する工程と、前記被膜及び前記被測定膜にＸ線を照射する工程と、前記被膜及び前記被測定膜から反射したＸ線の強度を測定してＸ線反射率法によって前記被測定膜の少なくとも膜厚を測定する工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】無機元素を含む膜厚を精度よく測定できる有機薄膜の膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】基材の表面に形成され、無機元素を含み、密度が２ｇ／ｃｍ^３以下の有機薄膜４０中の無機元素の濃度Ｃ_Ａと、標準試料による無機元素の特性Ｘ線強度Ｋ_Ｓとに基づき、有機薄膜に電子線を照射したときの特性Ｘ線強度Ｋ_１を検出し、式１


（ρは有機薄膜の乾燥密度（g／cm^３）；Ｅ_０は入射電子１個のエネルギー；Ｅ_ｊ(Ａ)は無機元素のＫ殻の励起エネルギー；Ｒ_Ａは無機元素の原子番号補正定数；Ｓ’_Ａは標準試料の阻止能；Ｕ_０＝Ｅ_０/Ｅ_ｊ(Ａ)；Ｋ_Ａ＝（Ｋ_１/Ｒ_０）/（Ｋ_Ｓ/ｆ（ｘ））、但し、Ｒ_０は薄膜表面の特性Ｘ線の発生関数、ｆ（ｘ）は標準試料の吸収補正係数）によって有機薄膜の膜厚ΔＺを測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置による検査対象物の検査に先立って行う像の明るさと検査対象物の厚さとの関係の評価や空間分解能の評価を、従来に比して容易化すると同時に誤差を少なくすることのできるチャートを提供する。
【解決手段】検査対象物の表面もしくは内部に、当該検査対象物と同じ材質で、Ｘ線検査装置の調整もしくは解像度の評価を行うためのパターン３１，３２を一体に形成することにより、調整・評価のためのチャートと検査対象物とのテーブル等の上への載せ変え等を不要とし、検査対象物と同じ材質によるチャートにより検査装置の調整・評価を行うが故に、例えば明るさと厚さの関係において用いる係数の変換が不要となり、変換に伴う誤差を抑制することができ、更に、チャートの観察時に設定したＸ線条件をそのまま検査対象物のＸ線条件として採用することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管の第１グリッド電圧の制御代を正規化し、ＶＩ特性の器差を抑えると共に、寿命予測を標準化することを可能としたＸ線式厚さ測定装置を実現する。
【解決手段】 第１グリッド及び第２グリッドを有し、前記第１グリッド電圧により管電流が制御されるＸ線管から放出されるＸ線をシート部材に照射し、その透過減衰量に基づき前記シート部材の厚さを測定するＸ線式厚さ測定装置において、
前記第２グリッドに接続される可変電圧源を備える。 （もっと読む）

【課題】
金属管の残厚を測定する際に腐食部の厚さを誤差要因であるエネルギー遷移や管内・外面の散乱状況を排除して平面撮像から定量的に評価する方法が無かった。
【解決手段】
放射線量を蓄積できる輝尽性蛍光媒体を表面に塗布したイメージングプレートを用いた１回の撮影結果から、金属管の長軸方向または周方向のイメージングプレートの測定輝度値の相関回帰式と減肉の無い場合の放射線透過厚さを用いて減肉があるときの金属管の残厚を定量化する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、高精度かつ短時間の薄膜の膜厚測定と異常値検出を可能とする薄膜の膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｘ線回折装置を用いて、評価試料の最上層の膜厚を測定する方法であって、Ｘ線回折装置以外の膜厚測定方法を用いて、標準試料の膜厚基準値を測定する基準値測定ステップと、前記標準試料のＸ線回折強度分布から検出された特徴量と、前記膜厚基準値とを対応付けた校正情報１０をあらかじめ生成する校正情報生成ステップと、評価試料のＸ線回折強度分布を取得する分布取得ステップＳ１００と、前記分布取得ステップＳ１００で取得されたＸ線回折強度分布から特徴量を検出する特徴量検出ステップＳ１０１と、前記特徴量検出ステップＳ１０１で検出された特徴量と、前記校正情報１０とから前記評価試料の最上層の膜厚を算出する膜厚算出ステップＳ１０６とを備えたことを特徴とする膜厚測定方法である。 （もっと読む）

【課題】耐火物測定装置において放射線を用いて照射側耐火物と検出側耐火物のそれぞれの耐火物厚みを検出できないという課題があった。
【解決手段】耐火物厚み測定方法は、放射線を管材料に照射し、管材料と管材料内側の耐火物とを通過した減衰放射線を検出し、放射線を照射した管材料の表面の照射位置表面温度、及び、減衰放射線を検出した管材料の表面の検出位置表面温度を検出し、検出した減衰放射線の減衰強度から管材料の減衰強度を取り除いて、耐火物の減衰強度を算出し、耐火物の減衰強度から、耐火物厚みを算出し、照射位置表面温度と検出位置表面温度を用いて、耐火物厚みから照射側耐火物厚み及び検出側耐火物厚みを算出する耐火物厚み測定方法を構成する。 （もっと読む）

【課題】
コンクリートを始めとする媒質中の異性物の変質部、特に異性物である金属又は鉄筋の変質部である腐蝕部の厚さの計測を可能とする。
【解決手段】
媒質の表面に対向して設けられた送信アンテナから電磁波を前記媒質に向けて発信し、信号伝播モデルに基づく予測波形と実際に得られた波形とのパターンマッチングにより、前記変質部の上面からの反射波と前記変質部の下面からの反射波の大きさ及び伝播時間の差を求めることにより前記変質部の厚さを測定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、インラインのプロセス管理の一環として適用が可能な，高スループットなレジストパターンの膜減り検知ないし，膜減り計測を実現するシステムを提供することにある。
【解決手段】
レジストパターンの膜減りがレジスト上面の面荒れ（ラフネス）を伴うことに着目し，従来の線幅計測に用いているレジストパターンの電子顕微鏡像上で，レジスト上面に相当する部位のラフネスの程度を定量化することによって膜減り指標値を算出する。また，予め作成しておいた膜減り指標値とレジストパターンの膜減り量を関連づけるデータベースに当てはめることによって，レジストパターンの膜減り量を推定する。 （もっと読む）

【課題】鋼鈑の表面に形成されている、マグネタイトを含む酸化膜の厚さを非接触で測定できるようにする。
【解決手段】表層からヘマタイト２ｂ及びマグネタイト２ａが形成されている２層構造のスケール２が表面に形成されている熱延鋼鈑１に対してテラヘルツ波３を照射することにより、ヘマタイト２ｂの厚さを求める。そして、熱延鋼鈑１に対してレーザ光を照射して、ヘマタイト２ｂを除去すると共に、マグネタイト２ａを、そのマグネタイト２ａと略同じ厚さのウスタイト２ｃに変態させる。このようにしてスケール２をウスタイト２ｃだけにした後、熱延鋼鈑１に対してテラヘルツ波３を照射することにより、ウスタイト２ｃの厚さを求める。そして、算出したヘマタイト２ｂの厚さとウスタイト２ｃの厚さとから、スケール２の全体の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】薄膜積層体の膜厚を高い精度で計測し、検査することが可能な薄膜積層体検査方法を提供する。
【解決手段】可干渉距離の長いＸ線を入射Ｘ線１とし、回転台３上に置かれた試料２で鏡面反射されたＸ線の一部をプリズム６で曲げ、直進したＸ線とプリズムで曲げられたＸ線を干渉させ、干渉縞を得る。試料は薄膜積層体であるが試料の一部に、薄膜が無く基板５が露出した部分がある。プリズムで曲げられなかったＸ線の一部に基板部分で鏡面反射されたＸ線９を含み、入射角を０．０１°から１°の範囲で変えて鏡面反射したＸ線の干渉縞を測定し、積層膜界面で反射されたＸ線の位相変化から膜厚を計測する。 （もっと読む）

【課題】耐火物測定装置において放射線を用いて照射側耐火物と検出側耐火物のそれぞれの耐火物厚みを検出できないという課題があった。
【解決手段】耐火物厚み測定方法は、放射線を管材料に照射し、管材料と管材料内側の耐火物とを通過した減衰放射線を検出し、放射線を照射した管材料の表面の照射位置表面温度、及び、減衰放射線を検出した管材料の表面の検出位置表面温度を検出し、検出した減衰放射線の減衰強度から管材料の減衰強度を取り除いて、耐火物の減衰強度を算出し、耐火物の減衰強度から、耐火物厚みを算出し、照射位置表面温度と検出位置表面温度を用いて、耐火物厚みから照射側耐火物厚み及び検出側耐火物厚みを算出する耐火物厚み測定方法を構成する。 （もっと読む）

【課題】ワークの所定部位の寸法を非破壊に測定する非破壊測定装置において、前記所定部位の寸法を短時間に測定し、製品品質評価精度を向上することができる非破壊測定装置を提供する。
【解決手段】ワーク５０の所定部位５５の寸法を非破壊に測定する非破壊測定装置１００において、ワーク５０に対してＸ線を照射するＸ線照射手段３と、前記ワーク５０の所定部位を透過したＸ線を一列に配列された受光素子で受光し、ライン単位でＸ線透過輝度を検出するラインセンサカメラ４と、前記ラインセンサカメラ４により検出されたＸ線透過輝度に基づいて、少なくとも前記所定部位５５におけるＸ線透過方向の寸法を算出する算出手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】メタル層を除去することなく、簡単に且つ正確に炉底耐火物の侵食量を測定することができ、適性な運転計画を立てることができる溶融炉の炉底耐火物浸食検知方法を提供する。
【解決手段】炉内に投入された被処理物を溶融処理することにより、炉底にスラグ層２２と、その下方にメタル層２３とが堆積された溶融炉１０にて、炉底耐火物１８の侵食量を測定する溶融炉の炉底耐火物浸食検知方法において、予めスラグ温度−炉底耐火物温度の相関関係と、前記炉底耐火物の侵食速度式を求めておき、溶融炉の運転中に、前記スラグ層のスラグ温度を計測し、該計測されたスラグ温度から前記スラグ温度−炉底耐火物温度の相関関係に基づいて耐火物温度を推定し、該推定した耐火物温度から前記侵食速度式を用いて炉底耐火物の侵食量を算出し、この侵食量に基づいて溶融炉の運転計画を修正する。 （もっと読む）

【課題】透過性のある電磁波を用い積層状に重ねられた物体の積層数を非接触で計測する計数方法を提供すること。
【解決手段】薄板状物体を積層した積層状物体の該薄板状物体の積層枚数を計数する計数方法であって、前記積層状物体の一側面に対して電磁波を入射する工程（Ｓ１）と、前記積層状物体の他の一側面から透過した電磁波を受信して電磁波透過強度を求める工程（Ｓ２）と、前記積層状物体の電磁波を入射する一側面にフィルタを密着して重畳する工程（Ｓ６）と、前記フィルタを重畳した前記積層状物体の他の一側面から透過した電磁波を受信して電磁波透過強度を求める工程（Ｓ７）と、事前に求められた電磁波透過強度と積層状物体の積層枚数との関係を示す情報に基づき積層状物体の積層枚数を計数する工程（Ｓ３，Ｓ９）を有することを特徴とする積層枚数計数方法。 （もっと読む）