【課題】 摺動穴部品と摺動軸部品との摺動抵抗から摺動部品の加工精度を計測する加工精度計測装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 摺動穴部品１と該摺動穴部品１の中に摺動自在に嵌装される摺動軸部品２の加工時における加工精度計測装置において、摺動穴部品１と摺動軸部品２のいずれか一方を駆動して互いを摺動させる駆動手段（電動機３、動力伝達手段４および電源５）と、駆動手段が供給する動力を計測する動力計測手段６と、摺動穴部品１と摺動軸部品２の相対位置を計測する位置計測手段とを備え、動力計測手段６により得られる動力計測値から摺動穴部品と摺動軸部品とが摺動するときの摺動抵抗値を算出し、摺動抵抗値と位置計測手段による相対位置計測値とから加工精度を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】バー塗布装置等に使用される円柱状部材の真直度を精度よく測定するのに好適な真直度測定装置、方法、及び該真直度測定装置で測定した円柱状部材を使用した塗布方法を提供する。
【解決手段】バーＢの上端部を把持しながら糸状部材１４により吊り下げ、バーの上端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第１の支持部材２４により支持するとともに、バーの下端部近傍をバーの外径と略等しい内径の支持孔を備える第２の支持部材２６により支持し、バーを回転駆動させるとともに、変位センサ２０をバーに沿って移動させながらバーの振れを非接触で検出する。 （もっと読む）

【課題】均一なガスフローパターンにより均一な堆積フィルムを生じる半導体処理システムを提供する。
【解決手段】 半導体基板を処理するために、リモートコントロールされ、基板ホルダのスロット内に挿入されたセンサシステム１００が、リアクター等のバッチリアクター内において、ウェハボート等の基板ホルダのアライメントを測定するために用いられる。センサシステム１００は、コントローラと通信するためのトランシーバと、プロセスチャンバ外部のデータ収集ユニットとを備える。さらに、センサシステム１００は、センサからプロセスチャンバの壁まで距離を測定するための距離センサ１２０を備える。センサは、プロセスチャンバの周囲３６０°に渡る範囲の測定を得るために回転される。プロセスチャンバ内の基板ホルダのアライメントは、回転角と、測定された距離又は距離センサ１２０によって受信された信号との関係に基づいて決定される。 （もっと読む）

【課題】円筒体形状の寸法測定、特には円周形状の測定において測定にかかる負荷が少なく、個々の測定値が正確、かつ測定ポイント数を効率的に低減する測定方法の提供。
【解決手段】本発明は、円筒体の軸に対して直交する断面の円の形状の測定方法において、該断面円内に設定した、被測定円筒の回転軸と断面円が交わる点である基準点に対する該断面円の円周上の３つの所定の点までの距離の該円筒の回転による変化に基づいて、該基準点と該円周との間の距離を算出して該断面円の形状を特定する工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円筒状基体上に設けられた塗膜又は被膜の厚みを測定する際に、測定によって前記基体にかかる負荷を少なくし、個々の測定値を極めて正確にする。
【解決手段】円筒状基体外表面の変位が測定可能な測定手段を用いて、前記円筒状基体外表面の軸に対して直交する前記円筒状基体外表面の断面円内に設定した基準点に対する前記断面円の円周上に定められた３つ以上の点の距離の前記円筒状基体の回転による変化に基づいて、前記基準点と前記円周上の点との距離を算出して前記円筒状基体外表面の断面円の形状、円中心、真円度、外径値を特定し、且つ、前記塗膜又は被膜外表面の変位が測定可能な測定手段を用いて、前記３つ以上の点とは別の、前記断面円と同一の断面上且つ前記塗膜又は被膜の外表面上の１つ以上の点と前記基準点との距離を算出し、前記円筒状基体外表面の断面円の形状をもとに前記塗膜又は被膜の厚みを測定する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】スプロケットの回転角を高精度かつ省スペースで検出することができる装置を提供する。
【解決手段】スプロケット２３の回転角毎に異なる態様に変化するパターン形成面２７ａをスプロケット２３に備え、スプロケット２３の回転角毎に変化するパターン形成面２７ａの態様を複数のフォトセンサ２７ｄにより検知し、フォトセンサ２７ｄによる検知信号の組み合わせに基づいて対角検出部２７ｃによりスプロケット２３の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、表面粗さ測定が適正に行える形状測定機を提供することにある。
【解決手段】ワーク２２の評価対象面の断面形状情報を含む測定データを出力する粗さセンサー１４と、該ワーク２２上の該粗さセンサー１４位置を該評価対象面に沿って相対移動させ、その相対移動量を移動分解能Δθピッチでインデックス移動量情報として出力する相対移動機構１２と、該粗さセンサー１４からの測定データを、該相対移動機構１２が移動分解能Δθ移動するのに要する時間よりも短い一定時間間隔ｔ_ｓでサンプリングするタイマーサンプリング手段１６と、該相対移動機構１２からのインデックス移動量情報に基づき該タイマーサンプリング手段１６からの一定時間間隔ｔ_ｓの測定データを間隔定ピッチの測定データとし、該間隔定ピッチの測定データに基づきワーク２２の表面粗さを評価するデータ処理機構１８と、を備えたことを特徴とする形状測定機１０。 （もっと読む）

【課題】種々のワークに対して検出器の検出方向を簡単に切換えでき、円筒外周面、内周面及び平面の測定を容易に行うことのできる検出器支持装置を提供すること。
【解決手段】保持台２１と、第１のアーム１１と、第２のアーム１２と、検出器３１を取り付ける第３のアーム１３とを、第１の支持部１４、第２の支持部１５、第３の支持部１６とで連結し、第１の支持部１４、第２の支持部１５、及び第３の支持部１６のうち少なくともいずれか２箇所の支持部が支持する相手を相対的に回転可能に支持するようにした。 （もっと読む）

【課題】
細径の長尺丸棒の曲り量を精度良く効率的に計測すること
【解決手段】
水平状態の丸棒１を、丸棒の長手方向２箇所の下側及び上側にて、丸棒と直行する２組のレール２及び３に接触させ、上側のレール３をその長手方向に移動させることにより丸棒を転動させて、その丸棒の長手方向のレール接触部とは異なる部分のレール方向の位置を非接触計測器６にて時々刻々計測し、時刻に対するその計測値の最少二乗近似式の係数を演算し、この近似式と計測値の差に関する標準偏差を演算することにより曲り量を得る。また前項計測において、転動させる上側レールの移動量と長尺丸棒の移動量を比較することにより、長尺丸棒が転動している際の滑りの発生有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】 タイバー周辺の雰囲気温度の変化による膨張・収縮によって生ずる脱落又は歪みセンサの離れを防止し、センサのタイバーへの当接を容易に調整できるようにして、タイバーの物理的変化量をセンサにより精度良く検出可能となす。
【解決手段】 射出成形機が備えるタイバーの物理的変化量を検出するための装置を、タイバーに挿通する環状本体と、環状本体の内径部に形成したセン凹所と、凹所に収容してタイバーに臨ませたセンサと、環状本体の外側から凹所内に設けられたセンサをタイバーの側面に密着させる圧接手段とから構成する。 （もっと読む）

【課題】ベアリングローラの円筒部とテーパとの間の接続部ゾーンの外形が検査されることを可能にする方法を提案する。
【解決手段】表面外形は、ローラのテーパに対応する第１のゾーンと、円筒部とテーパとの間の接続部に対応する第２のゾーンと、ローラの円筒部に対応する第３のゾーンとにより、幾何学的に画定される。この方法は、ローラの表面外形を測定すること１００と、測定された外形の１次微分の計算２００に基づいて、ローラの幾何学的なゾーン毎に、測定された外形の１次微分をモデル化する線分を計算すること３００と、線分を１次微分することによりローラの表面外形の曲率半径を計算すること４００と、計算された曲率半径の連続性を検証するため、計算された曲率半径を所定のしきい値と比較すること５００とを含む。 （もっと読む）

【課題】 チャック装置の芯ずれを自動的に補正してワークの真の外径位置を得ることができるワーク計測装置、およびワーク計測方法を提供する。
【解決手段】 このワーク計測装置は、軸心回りに回転自在であってワークＷを支持可能なチャック装置１と、このチャック装置１に支持されたワークＷの外径位置を計測する計測器２とを備える。チャック装置１に断面が真円であるマスタワークＭＷを支持させた際の計測器２の計測値を記憶するマスタワーク外径記憶手段１４と、チャック装置１に計測対象ワークＷを支持させた際の計測値を記憶するワーク計測値記憶手段１５とを設ける。この計測対象ワークＷの計測値をマスタワーク外径記憶手段１４に記憶された計測値で補正するワーク計測値補正手段１７を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＡＦＭ型寸法測定機による寸法計測方法において、円柱形状のドットパターンや円柱穴形状のホールパターン等の非直線パターンの最大幅寸法を正確に計測するパターン寸法計測方法を提供するものであり、また、その計測方法を行い得るパターン寸法計測装置を提供する。
【解決手段】基板表面に垂直方向に励起振動する探針をカンチレバーに設けた原子間力顕微鏡で前記基板表面のパターンを寸法計測するパターン寸法計測方法において、前記探針の走査方向にほぼ垂直方向で、かつ前記基板表面に平行に前記探針を振動させて前記パターンのエッジを検出して寸法計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】棒状体の真の曲がりを測定することができる棒状体の曲がり測定装置を提供する。
【解決手段】長手方向に搬送される棒状体ａの搬送方向と直交する平面内において互いに交差する第１及び第２の方向の棒状体変位を検出する一組または複数組の変位検出手段３を有する曲がり測定装置において，少なくとも前記変位検出手段３に最も近い上流側と下流側とに棒状体ａを下方から支持するＶ字状案内ロール１ａ，１ｂを設けると共に，該Ｖ字状案内ロール１ａ，１ｂの姿勢を棒状体ａの水平方向成分の曲りに追従可能に構成したことを特徴とする棒状体の曲がり測定装置。 （もっと読む）

ワークピースの特性を直接的に測定するゲージ・グリッパ組立体である。組立体は、ロボットアームのような搬送メカニズムに取り付けられるために適応されており、グリッパおよびゲージを有するヘッドを含む。グリッパは把手部またはその他の手段を使用してワークピースを持ち上げ、保持するために適応されており、ゲージは、ワークピースがグリッパによって保持されている間に、ワークピースの特性を直接的に測定するために適応されている。
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ライドハイト検出デバイスは、エンコーダの読み取りヘッド部（４０）およびスケール（１０）の間の間隔の測定を行うために記述される。該ライドハイト検出デバイスは、エンコーダの読み取りヘッド部（４０）に設けられたあるいは取り付けられるライドハイトセンサ（４１；４２；４６；５０）を含む。そのようなデバイスの、エンコーダの読み取りヘッド部（４０）への一時的あるいは永続的な取付は、また、記述される。好ましい実施形態において、回転式エンコーダは記述され、ライドハイト検出デバイスはその偏心度を測定するために用いられる。
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【課題】 移動手段の走査動作隙間を検出して変位検出器の値を補正し、前記走査動作の機械的正確さを追求することに負荷を必要としない高精度の測定方法を提供する。
【解決手段】 円筒体を中心軸回りに回転させ、前記中心軸直角断面上に配置され、円筒体の表面変位を計測する変位検出器を移動手段により前記中心軸方向に移動させ、前記変位検出器から得られた所定の位置での複数の検出信号を演算して円筒形状を測定する方法において、前記変位検出器は、第１の変位検出器と、前記第１の変位検出器の移動方向と反対に配置された第２の変位検出器とを有し、前記第２の変位検出器によって前記第１の変位検出器と同一の点を測定し、それぞれの測定値の差から前記移動手段の走査動作隙間を検出して前記第１の変位検出器の値を補正する。 （もっと読む）

【課題】
回転ローラの半径方向の変形、消耗を抑制しつつ、摩擦係数を高めることができるようにして、直動部材の直動位置の計測精度を向上させる。
【解決手段】
回転ローラ１１０のうち、少なくともロッド２に接触する部分の一部１１０ｄを、回転ローラ１１０の回転中心軸１１０ｃとロッド２０２の表面との距離を一定値ｄに保持することができる程度に硬い材料（たとえばＳ４５Ｃ）で構成し、回転ローラ１１０のうち、少なくともロッド２に接触する部分の他の一部１１４を、回転ローラ１１０とロッド２０２との間で滑りが生じない程度に摩擦係数が高い材料（ＮＢＲ等の弾性部材）で構成する。
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【課題】 連続鋳造機におけるロールのベアリング異常を早期に且つ正確に検出する。
【解決手段】 鋳片を挟み込む一対のロール２，３が鋳片の鋳造方向に所定の間隔で並ぶ連続鋳造機において、各ロール２，３の両端部を回転可能に支持するベアリング４ａ，４ａ，５ａ，５ｂの異常を検出する装置及び方法であって、一対のロール２，３間における少なくとも２箇所の対向間隔Ｌ１，Ｌ２を測定し、測定した少なくとも２箇所の測定値の差（Ｌ１−Ｌ２）を計算すると共に、各測定位置の当該測定前に測定した測定値との差（ΔＬ１，ΔＬ２）を計算し、それぞれ計算した値が予め設定されたしきい値を超えたときに、そのしきい値を超えたロールのベアリング異常と判定する。 （もっと読む）

【課題】 機械的な物体（7）の公称寸法上円形の表面の軌道、および、公称寸法上円形の表面からの偏差の少なくとも一つを示す装置、方法を提供する。
【解決手段】 公称寸法上円形の表面をカバーする距離データセットに基づいて偏差プロファイル（21）を生成し、各距離データセットは、回転方向で測定された、表面までの、かつ、角度に関係付けられた少なくとも３つの距離を含み、該少なくとも３つの距離は、距離測定角度で測定されたものであり、かつ、距離測定角度に関係付けられた重みを含んでいる。本発明は、表面／機械的な物体の品質を示すのに、あるいは、製造機器の状態を示すのに使用できる。本発明はまた、方法を含むコンピュータプログラム製品、コンピュータプログラム製品を含むキャリヤ、距離データを含む記憶手段、および装置への入力として使用される距離データセットを測定するための装置に関する。 （もっと読む）