【課題】複数の測定手段を備える形状測定装置において、各測定手段の測定範囲を広くする。
【解決手段】形状測定装置は、レーザプローブ１７、画像プローブ１８、タッチプローブ１９の３種類のプローブを備えている。回転軸移動部１３Ｂは、傾斜軸Ａ１回りに回転自在に傾斜軸支持部１３Ａに支持されており、回転軸移動部１３Ｂを傾斜軸Ａ１回りに傾斜させることにより、回転テーブル１３Ｃに設置されている被検物２を、各プローブに対して傾斜させることができる。各プローブは、各プローブの図内の左側面が、傾斜軸Ａ１に対して略平行になるように配置されている。本発明は、例えば、形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】金属板コイルのコイルエンドのタング形状部の測定によるテレスコープ量の誤認をなくする。
【解決手段】金属板コイルの端面に沿って距離計を走査させ、距離計とコイル端面間の距離を測定し、コイル内径両端の各最内巻金属板同士の測定距離の差を求め、この測定距離の差が一定のしきい値を超えるコイルは、金属板のコイルエンドのタング形状部の測定であると判定し、その測定値を除外してテレスコープ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な装置で電柱等の中空長尺体の湾曲度合いを測定でき、また、大がかりな設備の設置を必要とせず、中空長尺体の設置場所に拘わらず湾曲度合いを容易に測定することが可能な中空長尺体湾曲測定装置を提供する。
【解決手段】電柱１の頂部内側又は電柱内部の頂部近傍に当該電柱１の頂部１ａにおける軸心に沿った下方向での湾曲状態を非接触にて検知する手段を設ける。この手段は、電柱１の頂部１ａにおける軸心αに沿った下方向の距離を測定する測距センサ５で構成するようにしても、電柱１の頂部１ａにおける軸心αに沿った下方向を撮影するカメラで構成するようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】レベルセンサのプロセス依存型オフセット誤差を正確に修正する費用有効性の高い方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗ（たとえば基板を支持するための基板テーブルを備えたリソグラフィ装置内の基板）を露光する方法には、第１及び第２のセンサ１０,１１を使用して少なくとも１つの基板Ｗの一部の第１及び第２の高さ測定を実行するステップと、測値の差に基づいてオフセット誤差マップを作成し、且つ、記憶するステップと、第１のセンサ１０を使用して高さ測定を実行することによって、前記基板Ｗ（又は前記部分と類似した処理が施された他の基板）の複数の部分のハイト・マップを作成して記憶し、且つ、オフセット誤差マップによってこのハイト・マップを修正するステップと、前記基板Ｗ（又は他の基板）を露光するステップが含まれている。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の表面プロファイルを、容易に算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並ぶ３個の変位計と、測定対象物との一方（稼動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。測定対象線に沿う表面プロファイル、可動物に固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイル、及び可動物の移動に伴うピッチング成分のプロファイルうち、２つのプロイファイルで規定される解の候補を複数個決定する。表面プロファイル、倣い曲線のプロファル、及びピッチング成分のプロファイルうち、解の候補に規定されていないプロファイルに基づいて定義される評価関数の値を適応度として、複数の解の候補に遺伝的アルゴリズムを適用し、最も適応度の高い解の候補を抽出する。 （もっと読む）

【課題】 ３個の変位計のゼロ点調整を高精度に行うことなく、測定対象物の表面プロファイルを算出することができる真直度測定方法を提供する。
【解決手段】 第１の方向に並び、相対位置が固定された３個の変位計と、測定対象物との一方（可動物）を他方（固定物）に対して第１の方向に移動させながら、３個の変位計から、それぞれ測定対象物の表面において第１の方向に延在する測定対象線に沿って並ぶ３つの被測定点までの距離を測定する。３個の変位計の測定結果に基づいて、可動物に対する相対位置が固定された基準点の軌跡である倣い曲線のプロファイルを算出する。倣い曲線の算出されたプロファイルの２次成分を、事前に測定されている倣い曲線のプロファイルの２次成分に基づいて補正する。補正された倣い曲線のプロファイルに基づいて、測定対象物の表面のプロファイルを算出する。 （もっと読む）

【課題】 生タイヤの生産を停止させずに成型ドラム上のタイヤ構成部材を検査すること、及び検査した部材とそれを成型した生タイヤとを対応させることを可能にする。
【解決手段】 成型ドラム４にタイヤ構成部材５を貼り付けた後、成型者がジョイント合わせ等を行っている機械の待ち時間に、点観測式レーザ変位計１により、タイヤ構成部材５の表面迄の距離を測定する。その測定データと、予め測定しておいた成型ドラム４の表面迄の距離の測定データを基に、タイヤ構成部材５の断面形状データ及び貼り付け位置データを求める。求めたデータを、そのタイヤ構成部材５を用いて成型する生タイヤのバーコードとともにデータベース３に保存する。また、求めたデータとマスタデータとを比較処理部９で比較し、差が所定の閾値を越えた場合、比較結果出力部１０でアラームを出力する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に形成された円形孔の内径を測定する技術を提供する。
【解決方法】内径測定装置１０は、距離センサ１２と、回転機構３８と、コンピュータ２０を備えている。距離センサ１２は、円形孔３４の内部に配置され、円形孔３４の内壁までの距離を測定する。回転機構３８は、円形孔３４の軸３６に対して角度θを成す基準軸３２を中心に距離センサ１２と測定対象物１６を相対回転させる。コンピュータ２０は、距離センサ１２によって各方向で測定された距離データから、円形孔３４の軸３６に垂直な断面形状を特定する断面特定機能と、断面特定機能によって特定された楕円形状となる断面形状から、その短径を算出する短径算出機能を併せ持っている。内径測定装置１０は、算出された楕円形状の短径を円形孔３４の内径とする。 （もっと読む）

【課題】軌道上を走行する車両に設置されたセンサから時系列的に出力される検査値データを軌道位置データと対応付けるのに際して、少ない処理で簡単に行うことができるようにする。
【解決手段】検査値データと同期して、車両上に設置された角速度センサによってヨー角速度を表す角速度データを順次取得して検査値データと共に時系列的に保存し、前記保存した角速度データの中で処理するべき範囲である処理区間を必要に応じて決定し、処理区間における角速度データと軌道管理図の曲線線形図とを比較することにより、処理区間における角速度データと軌道管理図の軌道位置データとの対応付けを行い、軌道位置データと対応付けられた角速度データに基づき、該角速度データと同期する検査値データを該軌道位置データと対応付ける。 （もっと読む）

【課題】ワークを高精度に三次元計測すること。
【解決手段】三次元計測システム１は、非接触式の三次元計測器４をロボット２により移動させてワーク５の形状を三次元に計測する。予めロボット座標データに基づき制御されるロボット２の挙動をロボット計測装置１４により実測し、そのときのロボット実測データとロボット座標データとをデータ処理装置１２が比較してロボット座標データを補正するための補正モデルを算出して備えておく。そして、ワーク５の計測時には、ロボット座標データに基づき制御されるロボット２と三次元計測器４を同期させてワーク５の形状を三次元に計測し、そのときのロボット座標データを補正モデルにより補正し、その補正されたロボット座標データと三次元計測器４による三次元計測座標データとをデータ処理装置１２で統合して任意座標により出力装置１３へ出力する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡を用いた表面形状の測定において、帯電の影響を排除すると同時に、活性な被測定物の表面を変化させることなく安定に測定する装置及び測定手法を提供する。
【解決手段】 走査型プローブ顕微鏡１００は被測定試料１０１の表面を走査する測定用探針１０４ａを有しており、少なくとも被測定試料１０１の測定範囲にわたり、被測定試料１０１の表面と測定用探針１０４ａの間に溶液１０２が設けられている。
溶液１０２は被測定試料１０１の表面および測定用探針１０４ａが帯電しないようにし、かつ、被測定試料１０１の表面に自然酸化膜、有機物などが成長、吸着しないようにするためのもであり、例えばイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が挙げられるが、溶液の代わりに上記の要件を満足するような物性を有する気体を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】レンズ等の測定物の高傾斜部分を高精度で測定する。
【解決手段】レンズ１１を測定機１のＹ軸周りに傾けた第１の設置状態とする（Ｓ３−１）。レンズ１１を第１の設置状態から設計座標系のＺ軸を中心として９０度回転させて第２の設置状態とする（Ｓ３−８）。第１及び第２の設置状態のそれぞれについて、レンズ１１の設計上の頂点座標を通るＸ軸方向の直線上に表面のＸＹＺ軸の座標を測定して第１の測定データ群を取得し、レンズ１１の設計上の頂点座標を通るＹ軸方向の直線上に表面のＸＹＺ軸の座標を測定して第２の測定データ群を取得する（Ｓ３−４，Ｓ３−１１）。第１及び第２の設置状態のそれぞれについて、１及び第２の測定データ群を使用して設計形状との差を算出する。算出した設計形状との差を合成する（Ｓ３−１５）。 （もっと読む）

【課題】ローラ面に養生フィルムを被覆したままでローラ形状を測定できる装置を提供すると共に、その装置を使用してオフラインでダミーによるクリアランス調整を行うことにより、ローラ面を傷つけることなく迅速にクリアランス調整を行うことができる。
【解決手段】直径が１ｍ以上の冷却ローラ１４のローラ面に樹脂製の養生フィルム３０を被覆したままで該冷却ローラの形状を測定するローラ形状測定装置４０は、金属のみに反応することによりローラ面までの距離を測定する渦電流式の変位計４２と、変位計４２をスライドバー４４にスライド自在に支持して冷却ローラ１４の幅方向に移動させる移動手段４６と、変位計４２での測定値とローラ面までの実測距離との関係を予め求めた検量線データを有し、変位計４２で測定した測定値を検量線データに基づいて補正する補正手段と、を備える。そして、このロール形状測定装置４０でオンライン測定したローラ形状結果に基づいて、冷却ローラ１４と遮風板２２とのクリアランス調整をオフラインで行う。 （もっと読む）

【課題】被測定対象物の周囲に障害物がある場合においても正確に３次元形状を測定することのできる３次元形状測定システムおよび測定された３次元形状によって容易に強度を評価することのできる評価強度評価システムを得ることにある。
【解決手段】被測定対象物の３次元表面形状を測定する表面形状測定装置１と、被測定対象物の３次元内面形状を測定する内面形状測定装置２と、被測定対象物の構造材内部の状態を測定する非破壊測定装置３と、この表面形状測定装置、内面形状測定装置、非破壊測定装置によって計測された３次元点群データを入力合成する点群データ変換入力合成装置４と、この点群データ変換入力合成装置によって合成処理した点群データから３次元形状を作成する３次元形状変換処理装置５を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】位置が特定されないセンサの検出対象物の検出有無の情報により、検出対象物の検出部分の面積情報、形状種別情報、形状種別情報に応じた形状判定関数を用いずに、検出対象物の形状情報を推定する形状推定システム、センタサーバ、形状推定方法、及び、形状推定プログラムを提供する。
【解決手段】形状推定システムにおいて、センサノード装置２０１−１〜２０１−ｍがそれぞれ、所定のセンシングエリア内における検出対象物の有無を検出して検出結果をセンタサーバ装置４０１に送信し、センタサーバ装置４０１が、受信した検出結果に基づき算出する検出対象物を検出した検出センサ数と、センサノード装置２０１−１〜２０１−ｍの所定のセンシングエリアに関する情報と、面積あたりのセンサノード装置２０１−１〜２０１−ｍの設置密度情報とに基づき、検出対象物の形状に関する形状情報の推定値を算出する。 （もっと読む）

【課題】母材ガラス板を加熱延伸しながらガラス条の反りを測定できるガラス条の反りの測定方法およびこれを用いたガラス条の製造方法を提供すること。
【解決手段】加熱延伸装置を用いて母材ガラス板を加熱延伸しながら、該延伸して形成したガラス条の幅方向の中心および両端部近傍を含む少なくとも３点において該ガラス条の表面および裏面の相対位置を検出し、該検出した相対位置に基づいて前記ガラス条の反りを測定する。好ましくは、前記ガラス条に向かって光を照射し、該ガラス条の表面および裏面からの前記光の反射光を測定することによって、前記相対位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】光学素子の波面収差を好適に維持できる光学素子位置調整装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子位置調整装置は、ミラー３３，３５を保持し、且つ鏡筒２９に対してミラー３３，３５を６自由度方向に移動させるべく駆動する駆動部を有するミラー保持装置と、第６ミラー３５のＺ軸方向における位置を計測するための第６軸方向計測器６１Ｆと、第４ミラー３３のＹ軸方向における位置を計測するための鏡筒半径計測器６２及び間隔計測器６３と、各計測器６１Ｆ，６２，６３からの計測結果に基づきミラー保持装置を制御する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クラッチ嵌合時の２つの軸の軸ずれを測定する軸ずれ測定装置及びこの軸ずれ測定装置を備えた一軸コンバインドプラントを提供することを目的とする。
【解決手段】制御装置１０において、ガスタービン３の軸３ａと蒸気タービン５の軸５ａとの軸ずれ量を測定し、測定した軸ずれ量に応じて蒸気タービン５の回転速度の昇速率及びヒートソーク時間を設定し、クラッチ７が軸３ａ，５ａを結合するときの軸ずれ量が許容範囲内に収まるようにする。 （もっと読む）

【課題】重量の増加を抑えながら剛性が向上する回転位置検出用プレートを提供する。
【解決手段】クランクシャフト５への取付部１４を含む本体部１３と、クランクシャフトの回転位置を検出するための検出部１６とを備え、クランクシャフトに取り付けられてなる回転位置検出用のシグナルプレート１１は、本体部１３の取付部１４および取付部と反対側の面が曲面をもって椀状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】スパイラル鋼管の製造工程において、鋼帯の成形・溶接後の鋼管の形状をオンラインで計測可能であるとともに、現状の設備を活用し極力簡単な設備改造で計測可能なスパイラル鋼管の製造方法および形状測定装置を提供する。
【解決手段】このスパイラル鋼管の形状測定装置は、鋼帯２を内面ローラー４および外面ローラー４を備える成形装置３を用いて管状に成形した後、鋼帯２の幅方向端面突合せ部をサブマージアーク溶接して鋼管７にするスパイラル鋼管の製造方法の溶接工程に用いられるスパイラル鋼管の形状測定装置であって、内面ローラー４を支持するマンドレル１の先端部に設けられて鋼管７の内面までの距離を非接触で測定する距離計１７と、距離計１７を鋼管７の周方向に回転させるモータ１５と、距離計１７の回転角を計測する回転角計測手段とを備えている。 （もっと読む）