【課題】連結部同士が相対離隔変位が最大許容変位量を超えたか否かを、確実に表示することができる連結具の連結具変位量検出装置を提供する。
【解決手段】連結具変位量検出装置１０を、ゴム体１３の表面に貼り付けられ、もしくは、一部を埋設して取り付けられた低伸長性紐状体１で構成し、この低伸長性紐状体１を、連結具２０の初期状態においてチェーン１２の長さ方向に沿ってＵ字状に延在させるとともに、連結部１１Ａ相互間の離隔距離が初期状態に対して前記最大許容変位量以下の予め定められた量だけ相対離隔変位したとき破断するよう配置する。 （もっと読む）

ウエハーの反りを定量化するための配置構造に関する。プラズマ処理システム内に位置する配置構造が提供される。配置構造はウエハーを保持するための支持機構を含む。配置構造は、ウエハー上の複数のデータポイントの第１測定データセットを収集するように構成された第１センサセットをも含む。第１測定データセットは、第１センサセット及びウエハーの間の最小ギャップを表す。第１センサセットは、プラズマ処理システムの処理モジュールの外部にある第１位置に位置している。 （もっと読む）

【課題】摩擦力を最小にして２つの位置測定装置の回転指向性が得られるようなセンサ保持装置を提供する。
【解決手段】本発明は、シリンダ（３）と該シリンダに対し可動なピストン棒（５）とを備えたピストンシリンダアッセンブリ（１）のためのセンサ保持装置に関わる。センサ保持装置は、ピストン棒（５）と同期して運動を行ない且つ第１の位置測定装置（１１）を担持している保持要素（７）を有している。第２の位置測定装置（１３）は保持部（１５）を介してシリンダ（３）に対し軸線方向において位置固定して保持され、第１の位置測定装置（１１）と第２の位置測定装置（１３）との間に回転指向性の取り付け位置がある。この種のセンサ保持装置において、本発明によれば、シリンダ側の保持部（１５）と保持要素（７）とが互いに相対回転可能であり、保持部（１５）と保持要素（７）との間に作用する磁力が両位置測定装置（１１，１３）を互いに回転させて方向調整させる。
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【課題】複数のセンサによる測定点を一致させることができるセンサ駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動手段１１は取得した現在の測定対象物９の流れ速度に基づいてアクチュエータ３を駆動し、支持部材３２、すなわちセンサ２Ａを所定の速度で測定対象物９の幅方向に往復移動させる。これによりセンサ２Ａの位置が測定対象物９に対して常に適切な位置に位置づけられるように制御される。位置調整手段１２は、制御装置５１から取得した現在の測定対象物９の流れ速度および、駆動手段１１から取得した現在のセンサ２Ａの速度（測定対象物９の幅方向における速度）に基づいて、アクチュエータ４を駆動し、センサ２Ｂの位置を調整する。これにより、センサ２Ｂの測定点がセンサ２Ａでの測定点に一致するように、センサ２Ａおよびセンサ２Ｂの位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】多点プローブにおいて、複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差関連値記録装置を提供する。
【解決手段】
零点誤差関連値記録装置は試料を回転させるスピンドルと、複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃを含む真直形状測定用のセンサユニット２２０を試料の測定面に相対するように支持するセンサキャリッジ２３０を備える。試料が所定回転角度回転する毎に変位センサＡ，Ｂ，Ｃから、試料の測定面における同心円に沿う形状値ｆ（ｒ_F，θ），ｆ（r₀，θ），ｆ（r_R，θ）及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０が読取り、読取りした形状値及び零点誤差を含む測定値を記憶装置３４０に記憶する。 （もっと読む）

【課題】複数のセンサのドリフトが生じた後の零点誤差の補償を容易に行うことができる多点プローブの零点誤差の変動検出方法を提供する。
【解決手段】
多点プローブの零点誤差の変動検出方法は、センサユニット２２０をスピンドルにて回転されている状態の試料の測定面に相対するように配置して、試料が１回転する間において、試料が所定回転角度回転する毎に複数の変位センサＡ，Ｂ，Ｃから出力される試料の測定面における同心円に沿う形状値及び零点誤差を含む測定値をＣＰＵ３１０に読取りさせて記憶装置３４０に記憶させる。記憶装置３４０が記憶した、同一の試料に関する新しい測定値と古い測定値とに基づいて、零点誤差の変動量を算出する。 （もっと読む）

【課題】ピッチング誤差やローリング誤差を抽出でき高精度な測定を行える被測定面の測定方法を提供する。
【解決手段】被測定面を回転させる場合における回転軸線の振れに相当するティルトモーション誤差は、被測定面を高精度に測定する上で除去すべきでものである。従来技術によれば、かかるティルトモーション誤差を簡易に除去する方法がなかった、これに対し本発明によれば、前記被測定面を備えた部材を回転させながら、前記第１の２次元角度センサにより前記第１の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第２の２次元角度センサにより前記第２の測定点の面法線角度を２次元で測定し、前記第１の２次元角度センサの測定値に基づいて、前記第２の２次元角度センサの測定値からティルトモーション誤差を排除することができる。 （もっと読む）

【解決手段】測定機（１）は、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるために座標軸線に沿って移動可能な複数の部材（８、１０、１２）を設けた可動ユニット（７）を備え、レーザセンサ（２６）は、可動部材（８）に結び付いて、可動ユニット（７）の動的変形に関連した値を供給し、これらの値は、動的変形により生じた測定機（１）の測定誤差を補正するために処理される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、センサを備えた連接構造の動作を特徴付けるシミュレートパラメータを得る方法に関する。
【解決手段】本発明の方法は、センサが与える測定値に各々相当する推定測定データを構造の推定動作状態パラメータから計算する段階と、センサが与える測定値とその測定値に相当する推定測定データとの間の差分を求める段階と、推定動作状態パラメータに関する少なくとも一つの推定差を得るために、前記差分から発生するデータをオブザーバタイプの包括的な数学的処理する段階と、シミュレートパラメータを形成するために、推定動作状態パラメータに関する推定差と、それに相当する推定動作状態パラメータとを加算する段階とからなる。 （もっと読む）

【課題】渦電流損失測定センサ、膜厚測定装置、膜厚測定方法およびコンピュータ読取り可能な記録媒体を提供する。
【解決手段】高周波磁界を励磁して導電性膜９に渦電流を励起させるコイルと、渦電流に起因する渦電流損失の影響を受けた高周波電流を出力するコイルとを有する渦電流損失測定センサ２０と、コイルが出力する高周波電流から渦電流損失測定センサ２０のインピーダンスの変化、高周波電流の電流値の変化または高周波電流の位相の変化を測定して渦電流損失量を測定するインピーダンスアナライザ４８と、導電性膜９と渦電流損失測定センサとの距離を測定する光学式変位センサ３２と、インピーダンスアナライザ４８と光学式変位センサ３２の各測定結果に基づいて導電性膜９の膜厚を算出する膜厚演算部５４を含む制御コンピュータ４２と、を備える膜厚測定装置１。 （もっと読む）

【課題】検出手段の損傷を確実に防止することができる検出装置を提供する。
【解決手段】搬送手段３により搬送される物体Ｓに接近又は離間する方向に移動して該物体Ｓの性状を検出可能であると共に、計測手段６が計測した移動方向に沿った物体Ｓの長さに応じて物体Ｓに接近可能な検出手段２１と、搬送手段３による物体Ｓの搬送方向に対して検出手段２１より上流側で検出手段２１と共に物体Ｓに接近可能であり、前記移動方向における物体Ｓの規制位置にてこの物体Ｓに接触して物体Ｓを検知可能な検知手段７と、検知手段７が物体Ｓを検知した際に物体Ｓと検出手段２１との接触を回避する回避手段５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】垂直に保持した薄板の表面形状の測定において、装置構成を簡素化かつ低コストとすると共に、操作を容易にする。
【解決手段】被測定物である薄板ｇの表面形状測定装置において、基台１０上に薄板を垂直に保持する垂直保持機構２０と、薄板ｇを挟んで平行に配置された一対の固定レール４１と、該一対の固定レール間に架設され薄板ｇを挟み薄板表面に対して一定の間隔をもって平行に配置された一対のスライド軸５１、及び該スライド軸を該固定レールに沿って移動させる駆動装置４５と、変位センサ３２ａ〜ｂが装着され該スライド軸に沿って夫々移動可能に配置された一対の測定台３１、及び該測定台の駆動装置と、該スライド軸の両端部に架設され該スライド軸を連結し該スライド軸間の間隔を位置決めする連結部材５２とからなり、該スライド軸と該連結部材とによって略矩形形状とし、薄板ｇの両面の形状を同時に測定可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】フレーム歪み誤差と並んでプローブ形状誤差をも校正できるステレオビジョンプローブシステムの包括的校正方法を提供する。
【解決手段】ステレオビジョンプローブシステム１２０は、タッチプローブ１４０に形成されたマーカパターン１５０を複数のカメラ１３０Ａ，１３０Ｂで撮影し、三角法演算を行ってタッチプローブ座標位置を測定する。包括的校正システム１００において、フレーム歪み校正は、可搬式の校正治具１６０にタッチプローブ１４０を設置して三角法演算を行う反復工程を含むが、タッチプローブ１４０のプローブ形状歪み誤差に影響されない。プローブ形状歪み校正にはフレーム歪み校正の結果が適用される。同一のプローブチップが包括的校正ルーチンの全体を通じて用いられる場合、プローブチップ校正はフレーム歪み校正により用いられる画像セットからの画像を用いる。 （もっと読む）

【課題】この発明の課題は、列車の位置を正確に検知する列車位置検出システムを提供することである。
【解決手段】外部から受ける外圧を測定する測定手段と、所定区間において外圧を受ける位置を位置情報として予め記録する記憶手段と、前記測定手段で測定した外圧に基づいて、前記記憶手段に記録されている前記位置情報のいずれの位置で前記測定手段が外圧を測定したかを判断する判断手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータでは高精度測定ができない長さが１ｍ以上の長尺状物の表面形状（真直度）を複数の変位センサを用いて測定する。
【解決手段】３本の変位センサＡ，Ｂ，Ｃをピッチ間隔ｐ毎に直列にアーム３１１に固定し、テーブル上に固定された被測定物の真直度を、オートコリメータが高精度に測定できる作動範囲ではオートコリメータにより測定される値を用いて２本の変位センサＡ，Ｂにより２点法で検出された真直度値のピッチングの補正を行って初期真直度値データ列を得、オートコリメータが高精度に測定できない作動範囲における真直度の測定においては第三の変位センサＣより検出される真直度値で測定基準を作り、この測定基準の測定点の値を基準にして変位センサＡ，Ｂによる２点法の出力からピッチングを検出し、それを使用してピッチング補正しながら次々に繰り返して測定範囲を広げて延長真直度値データ列を得、真直度曲線を出力する。 （もっと読む）

【課題】 無段変速機で使用されるチェーンやベルトなどの巻掛け部材の周長を簡単にかつ精度良く決定することを可能にする無段変速機用巻掛け部材の周長測定装置およびこれを備えた予張装置を提供する。
【解決手段】 無段変速機用巻掛け部材の周長測定装置は、巻掛け部材の直線部に対向して所定距離Ｌをおいて配置され１対のセンサと、巻掛け部材の所定箇所にセンサに対応するように設けられた被検知部と、１対のセンサの出力から被検知部がＬ移動するのに必要な時間Ｔａを求める第１演算手段と、１対のセンサの出力から被検知部が１周するのに必要な時間Ｔｂを求める第２演算手段とを備えており、Ｌ×Ｔｂ／Ｔａによってチェーン周長が求められる。 （もっと読む）

ミスアラインメント検知センサアセンブリを提供し、これは、第１の軸に沿う検知方向を有する前方監視センサと、第１の軸と所定の関係にある第２の軸に沿う加速度を検知する慣性センサとを備えている。ミスアラインメント検知システムは、ミスアラインメント検知センサアセンブリと、信号処理システムとを用いて、第１の軸とセンサアセンブリの前方動作方向との間のミスアラインメント角度を計算する。前方監視センサアセンブリの角度ミスアラインメントを検知する方法についても開示し、本方法では、前方監視センサアセンブリの検知の軸と所定の関係を有する軸に沿う加速度を測定し、測定した加速度を所定の閾値と比較する。
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【課題】コストを低減できる測定システムを提供すること。
【解決手段】測定システムは、搬送コンベア２上を搬送されるエンジンブロック１０のボアＡ０〜Ａ３の寸法を測定する。測定システムは、搬送コンベア２上に設けられたＣＣＤカメラと、寸法を測定するエアマイクロメータと、ＣＣＤカメラおよびエアマイクロメータを搬送コンベアに対して相対移動させる移動機構と、これらを制御する制御装置と、を備える。制御装置は、搬送コンベア２上を搬送されるエンジンブロック１０のボアＡ０および側面ＡをＣＣＤカメラで撮影し、この撮影画像に基づいてエンジンブロック１０の残るボアＡ１〜Ａ３の位置を特定して、これらボアＡ０〜Ａ３にマイクロメータを接近させて寸法を測定する。 （もっと読む）

本発明の１つの態様は、第１の端と、第２の端と、それらの間の複数の継ぎ合わせアームセグメントと、を有する関節付きアームを含む座標測定機器を含み、各アームセグメントは、少なくとも１つの位置トランスデューサを含む。アームの第２の端には、測定プローブアセンブリが結合される。測定プローブアセンブリは、アームの第２の端と測定プローブアセンブリのボディとの間に第１の回転軸を提供する第１の継ぎ手を含む。エンコーダは、エンコーダケースおよびエンコーダシャフトを含む。エンコーダケースは、ボディに剛結合されるエンコーダシャフトに対して第２の軸を中心に回転するように構成される。エンコーダシャフトにプローブが剛結合される。第２の軸を中心にプローブに対して回転するように、測定機器がエンコーダケースに結合される。
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本発明は、ステアリングホイールが複数回転する場合でもステアリング角の絶対値を定める光学式ステアリング角センサに関するものであり、ステーター、バーコードを有するローター、及び評価電子機器を備える。本発明では、ローター（１，１３）は、回転数検出のためにウォーム状のトラック溝部（５）を備え、このトラック溝部（５）に対応してステーター（２）に駆動体突起（６）を備え、この駆動体突起（６）は、トラック溝部（５）に係合し、回転可能となるようにベアリング（９，１５）に配置され、駆動体突起（６）とともに回転可能な磁石（８）の保持のためのホルダ（７）を備え、この駆動体突起（６）に対応して評価回路に設けられた固定状のホールセンサ（１１）を有する。 （もっと読む）