【課題】物体間の相対位置の変化を同じ測定点で多次元的に計測する。
【解決手段】エンコーダ１は、光分岐面３０上の互いに交差する２方向のそれぞれで照明光Ｌ０を分岐させる分岐部３と、光分岐面３０上で上記の２方向のいずれとも交差する方向に照明光Ｌ０を走査させる照明系２と、分岐部３に対して相対移動するスケール５と、上記の２方向のうちの第１方向にて分岐した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２と第２方向にて分岐した第２の光Ｌ２１、Ｌ２２とをスケール５に導くとともに、スケール５上で第１の光Ｌ１１、Ｌ１２のスポットＳ１１、Ｓ１２を第２の光Ｌ２１、Ｌ２２のスポットＳ２１、Ｓ２２と重ねる光学系４と、スケール５を経由した第１の光Ｌ１１、Ｌ１２及び第２の光Ｌ２１、Ｌ２２を検出する検出部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】干渉光と各部品の多重反射による迷光が重なることがなく、検出精度の向上を図ることができるようにする。
【解決手段】変位検出装置は、回折格子２と、格子干渉計４，５と、相対位置情報出力手段６，７とを備えている。格子干渉計４，５は、光源３と、反射手段１２，１３と、ビームスプリッタ１７と、受光手段１８，１９とを有している。反射手段１２，１３は、回折格子２によって回折された１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を反射させて、光源３からの光Ｌが照射された位置とほぼ同じ位置に再び入射させている。更に、反射手段１２，１３は、光源３から複合回折格子２への入射角度及び、１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２が回折格子２を透過又は反射した角度と異なる角度で回折格子２に１回回折光Ｌ_１，Ｌ_２を入射させている。 （もっと読む）

【課題】可搬性を向上させることができ、梱包や輸送にかかるコストを低減させることができ、被測定物に容易に取り付けることができるスケール、及びリニアエンコーダの提供。
【解決手段】リニアエンコーダ１は、基本的に格子状の目盛りを有するスケール２と、スケール２に沿って相対的に移動するヘッド３とを備え、スケール２に対するヘッド３の位置を測定する。スケール２は、相対的に変位する２つの被測定物のうち、いずれか一方の被測定物に取り付けられる。また、スケール２には、材料として形状記憶合金が用いられている。ヘッド３は、相対的に変位する２つの被測定物のうち、いずれか他方の被測定物に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダに搭載されるイメージセンサのフレームレートを向上させること。
【解決手段】移動可能に設けられ、第１の符号と第２の符号とを含むパターンを有し、光源から射出される光が入射するスケール（１５）と、スケールが移動する行方向に隣接する少なくとも２以上の光電変換素子からなる光電変換素子群を複数有する光電変換素素子部（１７）とを備え、複数の光電変換素子群は、行方向に沿って配置され、光電変換部は、スケールを介した光に基づく複数の光電変換素子群からそれぞれ出力される出力信号を選択的に用いてパターン信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】受光部の感度が偏光方向に依存する場合であっても、物理量を高精度に検出できる光学式センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る光学式センサ１０は、光源１１と、光源１１からの光を伝播する第１光ファイバ１２ａと、第１光ファイバ１２ａの端面からの距離が物理量に応じて変動し、第１光ファイバ１２ａの上記端面から出射された光を反射する反射板１４と、反射板１４が反射した光をそれぞれ伝播する第２光ファイバおよび第３光ファイバ１２ｂ、１２ｃと、第２光ファイバ１２ｂが伝播する光を受光して、受光した光を第１の電流信号に変換する第１受光部１５ａと、第３光ファイバ１２ｃが伝播する光を受光して、受光した光を第２の電流信号に変換する第２受光部１５ｂと、を備えており、第１〜第３光ファイバ１２ａ〜１２ｃは偏波保持ファイバで構成されている。 （もっと読む）

【課題】検出対象の回転位置及び直線位置が測定可能な、且、小型化及び製造コスト削減が可能な、直動回転エンコーダ、直動回転モータ及び直動回転モータシステムを提供すること。
【解決手段】この直動回転エンコーダ１００は、駆動軸ＡＸ周りに回転可能で且、直線移動可能な検出対象２１の回転及び直線移動に追従可能な直動回転部１１０と、直動回転部の表面１１１に設けた、駆動軸までの距離が一定でありかつ駆動軸方向の位置が直動回転部の１回転内で１周期以上変化する形状を有するリング状のトラックＴと、トラックに対向してそれぞれ固定配置され、トラックまでの駆動軸に沿った距離Ｌ１〜Ｌ４に応じた検出信号Ｇ１〜Ｇ４を検出する検出部Ｓ１〜Ｓ４と、検出信号に基づいて、検出対象の駆動軸方向の直線位置及び駆動軸周りの回転位置を特定する位置特定部１２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】実際の計測環境における光ファイバセンサの計測精度を適切に評価することができる光ファイバセンサの計測精度の評価方法および評価装置を提供する。
【解決手段】実際の計測環境に敷設していない静置状態の光ファイバセンサからブリルアン散乱光スペクトルを取得し、最大光強度となる周波数に対する周波数ばらつきを求める一方、光ファイバセンサのひずみを取得してその標準偏差を求め、この標準偏差と周波数ばらつきとの間の比例係数を求める第１のステップと、実際の計測環境に敷設している状態の光ファイバセンサからブリルアン散乱光スペクトルを取得し、最大光強度となる周波数に対する周波数ばらつきを求める第２のステップとを有し、第２のステップで求めた周波数ばらつきに対して第１のステップで求めた比例係数を乗じて得られる値に基づいて計測精度を評価する。 （もっと読む）

本発明は、土木構造物のための可撓性ストリップ（１）に関し、この可撓性ストリップは、縦軸に沿って縦方向に延びることができ、構造物が変形および／または温度に関して位置を特定し測定値を得ることを可能にする少なくとも１つの光ファイバ（２０）を備え、前記光ファイバ（２０）が、実質的に縦軸に沿って配置されるとともに、実質的に縦軸に沿って少なくとも部分的に強化された連続強化繊維（３０）の熱可塑性ポリマーマトリックスによって取り囲まれ、実質的に縦軸に沿って延びる連続強化繊維の質量ＷＣＦが、光ファイバの質量ＷＯＦの１０倍以上である。本発明はまた、計測デバイスおよび関連する方法に関する。
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【課題】位置検出の分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を簡便な構成で実現することが可能な光学式信号出力装置の信号処理装置及びそのような信号処理装置を備えた光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】スケール上に形成され、変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸増する光学特性を有するグレートラックに光ビームを照射して得られる第１の複数の周期信号と変位検出対象物の変位方向Ｘに沿って実効反射率が漸減する光学特性を有するグレートラックに光ビームを照射して得られる第２の複数の周期信号との間の位相差Δを調整すべく、位相調整部７０１の位相シフト部７０１ａによって第２の複数の周期信号の位相をΔだけシフトさせる。そして、第１の複数の周期信号と位相シフト後の第２の複数の周期信号とを用いて変位検出対象物の絶対変位及び相対変位を求める。 （もっと読む）

【課題】迷光が抑制され、低ノイズで高精度の位置検出を実現することができる光学式エンコーダ用スケールを得る。
【解決手段】基材１は、鏡面状の反射表面を有する。光吸収層２は、レーザ光の照射により、目盛りとして基材表面が露出するまでの開口領域を略周期的に設け、基材１の反射表面側に積層する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、演奏者が演奏する楽器において、操作による操作感を与えながら演奏操作子の操作状態の検出を行うことで、演奏者の得られる操作感と発音内容とのずれによる違和感を低減することを目的とする。
【解決手段】楽器１０は、加えられる押力によって変形する変形部材３０と光を出射する光源２１と光を検出する光検出素子４１とを備える。変形部材３０は、第１の方向に沿って配置される光ファイバ３１ａと第１の方向とは異なる第２の方向に沿って配置される光ファイバ３１ｂとを内部に有する。光ファイバ３１は、変形部材３０が変形するのに伴って変形する。楽器１０は、光源２１が出射し、変形した光ファイバ３１が伝達する光が光検出素子４１に到達する際に発生する遅れ時間を測定し、この値と光ファイバ３１の位置に関する情報とに基づいて、部材変形量および加力位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】回折干渉光を利用して検出精度を向上させた絶対位置の検出を可能とし、設計・開発・製造等を容易にすることができるリニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法を提供すること。
【解決手段】エンコーダ１００は、光学メイン格子Ｌが形成された帯状の２以上のトラックＴを測定軸方向Ｘが長手となるように有するメインスケール１１０と、メイン格子Ｌと回折干渉光学系を構成するようにメインスケール１１０に対向して測定軸方向Ｘで相対移動可能に配置され、光学的な２以上のインデックス格子Ｇ１，Ｇ２が形成されたインデックススケール１２０と、を備え、少なくとも１のトラックＴのメイン格子Ｌに含まれる複数のスリットＳＬは、そのピッチｐ_Ｌが１以上の他のトラックＴにおけるスリットＳＬのピッチＰ_Ｌと等しくなるように、測定軸方向Ｘに垂直な方向Ｙから所定の傾斜角度θ_Ａ，θ_Ｂで傾斜して形成される。 （もっと読む）

【課題】絶対位置検出及び相対位置検出の何れにおいても分解能及び安定性を高いレベルで維持しつつ、絶対位置の検出感度の向上及び検出範囲の拡大を実現する光学式変位検出装置を提供すること。
【解決手段】第１の変調コードパターン53aと第２の変調コードパターン53bとが形成されたスケール4と、光源1から射出された光ビームを第１の変調コードパターン53aを介して検出して第１の信号を生成する第１の光検出器21と、第２の変調コードパターン53bを介して検出して第２の信号を生成する第２の光検出器22と、を有するセンサヘッド30と、第１の信号と第２の信号とに基づいて変位を算出する物理量検出回路210と、を光学式変位検出装置に具備させる。第１の信号及び第２の信号は、所定演算により相殺される第１成分と、前記所定演算後に残存する第２成分と、を含む。第１の検出器21による検出と、第２の検出器22による検出と、は関連付けて実行される。 （もっと読む）

【課題】スケールと検出部との各々の相対位置における動的なミスアライメントを補正可能で、かつ、大きなミスアライメントにも対応できる光学式エンコーダを提供することである。
【解決手段】光学式エンコーダは、測長光源から出射される光を光学格子を有するスケール部に照射し、スケール部からの反射光をスケール部と相対移動可能に設けられた受光素子３１１にて検出して被測定物を測長する光学式エンコーダであって、受光素子３１１を移動及び回動させて受光素子３１１による検出位置及び検出方向を変更する圧電素子３１３ａ〜３１３ｌと、測長する際に、受光素子３１１とスケール部との相対位置に応じたミスアライメント情報に基づいて、圧電素子３１３ａ〜３１３ｌにより、ミスアライメントをキャンセルするように受光素子３１１の検出位置及び／又は検出方向を変更させる機能をＣＰＵに実行させる制御プログラムと、を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体の高速移動と低速移動との切り換えに応じて、移動速度に適した分解能で移動量を測定し、移動量の測定誤差の低減を図る。
【解決手段】回転テーブル５０を高速回転させる場合は、検出器１にて検出したエンコーダ信号を第１処理部２０で処理して回転角度を示す第１移動量信号ａ１を出力するように、切換部８にて切り換える。回転テーブル５０を低速回転させる場合は、複数の検出器１，２にて検出したエンコーダ信号に基づき合成処理部３にて２倍の周波数の合成信号を生成し、第２処理部３０で処理して回転角度を示す第２移動量信号ａ２を出力するように、切換部８にて切り換える。 （もっと読む）

【課題】蛍光体照射源を含む変位エンコーダを提供する。
【解決手段】位置を感知する光学式エンコーダは、均一に分布された蛍光体を含む比較的広範な蛍光体エリアの少なくとも一部分を飽和させる第１のレベルの強度均一性を有する一次放射線を生成することによって動作する照射源を含む。蛍光体エリアは、一次放射線を吸収し、かつ蛍光体放射線を放射して、エンコーダスケールパターンを照射する。スケールパターンは蛍光体光を空間的に調整し、および蛍光体光の空間変調されたパターンは、光検出器配列によって感知される。少なくとも部分的には、蛍光体を飽和させるため、蛍光体光は、第１のレベルの一次光強度均一性よりも均一な第２のレベルの蛍光体光強度均一性を有し、それにより、エンコーダの精度を高める。均一な蛍光体照射強度が、少数の構成要素を用いて広範囲にわたって経済的に提供され、かつ光路長を、特にスケールに対して垂直な経路長を最小にする。 （もっと読む）

【課題】温度、湿度、液体・蒸気の種類、濃度等の同一センサヘッドでの測定、複数のセンサヘッドでの同時測定が可能であり、センサヘッドが極めて小さく、耐久性が高く、且つ、安価な光ファイバセンサ装置を実現する。
【解決手段】向するテーパファイバ対１１と、非テーパ部１２と、反射器１３とを具備したセンサ部１に光を入射し、反射光を受光する。反射光はモード間干渉、結合の結果、周期的スペクトルとなり、温度、周囲物質の屈折率によりスペクトルの位相、振幅が変化する。スペクトル変化に伴い反射光量も変化するので、光量変化を検出して所望の物理量を測定する。 （もっと読む）

【課題】 過酷な環境下で長期に亘り安定的に圧力を計測可能で、特に、非直線性、ヒステリシスを大幅に改善でき、薄形且つ小形化が可能で、偏荷重に対しても出力に影響を受けにくい圧力変換器を提供する。
【解決手段】 シール材押さえ板４が圧力を受けると、これと一体化された受圧板２が微小変位し、受圧板２に設けられた力伝達部材が、起歪体６の起歪ビーム６ｉの中心部を押下して撓ませる。この撓み量は、起歪ビーム６ｉの凹溝に接着されたひずみ検出用ＦＢＧ７ａを同様に撓ませる。その結果、ひずみ検出用ＦＢＧ７ａのブラッグ反射光の波長がシフトするので、そのシフト量を計測することで印加圧力を測定することができる。起歪体６の起歪ビーム６ｉの直下には一対の取付部６ｃと６ｄ間を連結する底辺部６ｋが設けられているため、底辺部６ｋと台座部１ｃとの間の傾きやすべりがなく、ヒステリシスや非直線性が大幅に改善される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、正弦波のいかなる２つの点の間の位置差を正確に求めることができる正弦波エンコーディング装置及びエンコーディング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る正弦波エンコーディング装置は、エンコーダーと、プロセッサーと、エンコーダーとプロセッサーとの間に接続されているコンバーターと、を備え、エンコーダーから出力する位相差が９０度である２つの正弦波の第一測定点と第二測定点との間の距離を計算することに用いられ、コンバーターは、エンコーダーから出力する２つの正弦波の各点の振幅値をプロセッサーに伝送し、プロセッサーのデータ処理ユニット、区間判定ユニット及び位置記録計算ユニットによって、前記２つの正弦波の対応する振幅値に対して処理してから、前記２つの正弦波の第一測定点と第二測定点との間の位置差を獲得する。 （もっと読む）

ポジションエンコーダ装置は、一連の位置フィーチャー（ｆｅａｔｕｒｅｓ）を備えるスケールと、スナップ写真取込みプロセスを介して一連の位置フィーチャーを読み取るように構成されたリードヘッドとを備える。スナップ写真取込みプロセスは、スケールとリードヘッド間の相対速度を補償するように適応できる。
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