【課題】光学式エンコーダにおいて、スケールと受光部とが周期パターンの周期方向に直交する方向に相対変位しても、良好な精度で位置検出を行えるようにする。
【解決手段】エンコーダは、光を反射または透過する光学部が第１の方向に第１の周期で形成された周期パターンを有するスケール２と、該スケールとの第１の方向での相対移動が可能であり、光源１から射出されて光学部を介した検出光を光電変換して第１の周期に応じた変化周期を有する信号を出力する受光部３とを有する。光学部は、第２の方向にて隣り合う複数の部分ｅ〜ｈが互いに第１の方向にシフトしたパターン形状を、第２の方向に第２の周期ｔで有する。光源の第２の方向での幅ｗが、ｗ＝（ａ＋ｂ）／ｂ・ｎｔなる条件を満足する。ｎは自然数であり、光源から周期パターンまでの距離と周期パターンから受光部までの距離との比をａ：ｂとする。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダのスケールは、導電性で表面に光反射面が形成されたベース材と、ベース材の表面にめっき法によって形成され、ベース材に所定のピッチで配列された光吸収性の黒色格子とを備える。この発明によれば、製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】回折格子を用いて相対移動量を計測する際に、格子パターン面の法線方向の絶対位置を検出する。
【解決手段】原点検出装置１１Ｘは、第１部材６に設けられ、Ｘ方向を周期方向とする反射型の回折格子１２Ｘと、第１計測光ＭＸ１を回折格子１２Ｘに第１の入射角で入射させ、回折光と第１参照光ＭＲ１との第１干渉光を検出する第１干渉ヘッド１４Ｘと、第３計測光ＭＸ３を回折格子１２Ｘにその第１の入射角と異なる第２の入射角で入射させ、回折光と第３参照光ＭＲ３との第３干渉光を検出する第２干渉ヘッド１５Ｘと、その第１、第３干渉光の検出信号からＺ方向の相対位置を求める第３演算部４１Ｃと、を備える。 （もっと読む）

【課題】安価に光学系の歪みをキャンセルしてスケールの位置情報の検出精度を向上させる。
【解決手段】光電式エンコーダは、発光素子１１と、スケール１２と、レンズ１３と、ＰＤＡ１４と、信号処理演算回路２０とを備える。信号処理演算回路２０は、歪みテーブル２１と、歪み補償回路２２と、信号解析回路２３とを備える。歪みテーブル２１は、例えば予めレンズ１３等の光学系の設計値から歪みシミュレーションによって得られた歪み情報Δｅ_ｉに基づき算出されている。歪み補償回路２２は、歪みテーブル２１を参照すると共に、ＰＤＡ１４の各ＰＤ４１の位置情報に基づいて、各ＰＤ４１の位置ｘ_ｉを仮想的にｘ_ｉ−Δｅ_ｉの位置に配置変更して光学系の歪みを除去し、ＰＤＡ１４からの明暗信号を補正する。位置解析回路２３は、この補正された明暗信号に基づいて、スケール１２の位置を解析する。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に構成でき、高精度な目盛の測定誤差の校正を可能とする。
【解決手段】光電式エンコーダ１００は、スケール１０、検出ユニット２０、演算部３０を有する。検出ユニット２０は、少なくとも３つの検出部２１〜２３を有する。各検出部は、第１検出部２１及び第２検出部２２間の測定点の間隔が、物理的に配置可能な最小間隔ｄとなるように配置され、第２検出部２２及び第３検出部２３間の測定点の間隔が、最小間隔ｄよりも大きな間隔となるように配置される。第１検出部２１の測定点の出力を１ステップ前の他の検出部の測定点に合わせるように制御しつつ検出ユニット２０をステップさせてサンプリングを行う。各検出部の測定点の間隔がすべてｄ以上となるにもかかわらず、ｄ以下のサンプリング間隔で測定誤差を算出し、自律校正曲線を得てスケールの位置情報を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置情報を精度良く計測できる位置計測装置を提供する。
【解決手段】位置計測装置は、移動面内を移動する移動体の位置情報を計測する。位置計測装置は、移動体の第１面に配置された移動格子に光を照射する光源と、光源との位置関係が固定で、移動格子で回折された光が入射する第２面を有し、入射した光を回折又は反射して移動格子に戻す固定光学部材と、移動格子を再度介して干渉された光を検出する検出装置と、を備え、第１面と第２面とはほぼ平行である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、受光手段により検出された変位信号の高調波成分を、従来より少ないスリットパターン数で、変位信号の振幅低下を低減しつつ、より効果的に除去することができる光学式エンコーダ装置を提供する。
【解決手段】本発明による光学式エンコーダ装置は、第２のスリットに設けられているスリットパターンが、２つのスリットパターンを有し、各パターン部の透過部は互いに第１のスリットのピッチの１／３の透過スリット幅をもち、かつ互いに１／１２の位相差をもち、高調波成分を効果的に除去されるように配置されていることを特徴とする光学式エンコーダ装置。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール、及び、それを備えた光学ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 光透過性を有する樹脂基板２と、該樹脂基板２面上に所定のパターンにて積層形成されているアルミニウム金属膜３とからなる積層構造体４を備え、該積層構造体４におけるアルミニウム金属膜形成面側の表面を覆って光透過性を有する粘着層５が積層されており、且つ、粘着層５面上にアルミニウム金属膜３よりも正反射率の低い低反射層６が積層されている光学スケール１により、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール１、及び、それを備えた光学ユニット１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】位置検出器の走査組立品のキャリアに対する放射線源の所定の位置決めを簡単な手段によって可能にする。
【解決手段】放射線源が、異なる位置でそれぞれの電気導体要素に電気接触していて、この放射線源４をキャリア１に対する調整軌道に沿って異なる位置に配置できるようにするため、キャリア１の電気導体要素と放射線源４の電気接続要素４４，４６とが、導通部分を形成し、放射線源４をキャリア１に対して固定する前に、この放射線源４が、この放射線源４と電気導体要素との間の電気接触を維持しながら調整軌道に沿ってキャリア１に対して導通部分に接して移動可能である。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、照射光を射出する光源部と、少なくとも移動方向に光源部と相対的に移動可能であって、照射光が入射され、移動方向に沿って形成されたパターンを有するスケールと、照射光を変調させる変調信号と、変調信号に応じた参照信号とを生成する変調部と、照射光を受光して、受光した照射光に応じた受光信号を出力する受光部と、参照信号を遅延させて遅延参照信号を生成する遅延信号生成部と、遅延信号生成部によって生成された遅延参照信号と受光信号とに基づいて、移動方向におけるスケールの位置情報を検出する位置検出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被計測物の絶対位置を高精度に計測可能なエンコーダを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、被計測物とともに移動可能に構成されたスケール１と、異なるピッチのパターンを有するトラック１１と、スケール１に対する相対的な変位を検出して第１および第２の２相正弦波信号を出力する第１および第２のセンサ２１、２２と、第１および第２の２相正弦波信号に基づいて前記第１および第２のセンサ２１、２２に対応する第１および第２の位相をそれぞれ算出する位相演算手段３１、３２、６１、６２と、第１および第２の位相の位相差に基づいて被計測物の粗位置を計測する粗位置計測手段４１と、被計測物の粗位置に基づいて第１および第２の２相正弦波信号に含まれる位相差誤差を補正する補正手段５１、５２と、補正手段５１、５２で補正された第１および第２の２相正弦波信号に基づいて被計測物の絶対位置を計測する位置計測手段７１とを有する。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】被計測物の変位に応じた複数の周期信号に基づいて、前記変位に係る波数および位相の組み合わせを得る信号処理装置であって、前記複数の周期信号のサンプリング毎に該複数の周期信号から位相を得る第１手段と、サンプリング毎に前記第１手段により得られた位相に基づく波数および位相の組み合わせに対して回帰演算を行うことにより、サンプリング間隔における前記位相の変化量を得る第２手段と、第１サンプリングでの前記組み合わせに前記変化量を加算して第２サンプリングでの前記組み合わせを予測する第３手段と、前記第１手段により得られた前記第２サンプリングでの位相から、前記第３手段により予測された前記組み合わせの予測誤差を得る第４手段と、前記第３手段により予測された前記組み合わせに前記予測誤差を加算して前記第２サンプリングでの前記組み合わせを得る第５手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】受動読取ヘッドを有する光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】受動読取ヘッドは、接続ケーブルを有さず、ただの光学式読取ヘッドである。スケールに対する相対位置を示す測定位置情報は、遠隔随伴部に通じる見通し線によって遠隔的に読み取られる。遠隔随伴部は、光源と、検出部と、を備える。検出部は、遠隔レンズ部と、光検出機構部と、を有していてもよい。遠隔随伴部は、受動読取ヘッドから得られる像領域の輝度（明暗）を光学的に検知し、検知した輝度（明暗）に基づいて、測定位置を示す複数の信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】２次元アブソリュートエンコーダの高分解能化に有利な技術を提供する。
【解決手段】互いに直交する第１方向および第２方向に沿って所定のピッチでマークが２次元配列されたスケールと、第１方向に配列された第１個数のマークを検出し、第２方向に配列された第２個数のマークを検出する検出器と、第１及び第２方向におけるスケールの絶対位置を、検出器の出力に基づいて、それぞれ決定する処理部とを備える。各マークは、第１方向における位置を示すための量子化された第１符号の情報と第２方向における位置を示すための量子化された第２符号の情報とを有する。処理部は、第１個数のマークの検出結果から第１符号列を生成し、第１符号列から第１方向におけるスケールの絶対位置を求め、第２個数のマークの検出結果から第２符号列を生成し、第２符号列から第２方向におけるスケールの絶対位置を求める。 （もっと読む）

【課題】ガラススケールの取付け寸法の増大を回避し、脱着を可能にしながら相応の構造で簡便に且つ安定してガラススケールを保持することが可能となる。
【解決手段】ガラススケール保持構造において、ガラススケール１１６の幅Ｗ２よりも狭い幅Ｗ１で且つガラススケール１１６の測定軸方向（Ｘ方向）の長さＬ２より長く成形されるとともに、ガラススケール１１６の測定軸方向の両端から端部１１２Ａがそれぞれ突出した状態でガラススケール１１６を固定する金属薄板１１２と、端部１１２Ａにそれぞれに設けられるとともに、対象物ＳＪに脱着可能に金属薄板１１２を保持させる貫通孔１１２Ｂ及びねじ１１８と、を備え、金属薄板１１２が対象物ＳＪに保持される際には、ねじ１１８の対象物ＳＪのねじ穴への螺合により金属薄板１１２に対して張力が付与されるとともに、金属薄板１１２の背面の全面が対象物ＳＪに当接される。 （もっと読む）

【課題】カバーガラスを目盛部に接着する接着剤の厚さむらに起因するエンコーダの出力変動を防止できるようにする。
【解決手段】スケール基板１２上に形成された目盛部１４が、その上面側に配されたカバーガラス１６で保護されたスケールの目盛保護構造において、前記カバーガラスが、前記目盛部の周囲に配設された高さ規定部３０を介して、前記スケール基板上に支持され、前記高さ規定部が、前記カバーガラスの下面に、前記目盛部の周囲に対応するパターンに予め形成され、且つ、その下端が前記スケール基板の上面に当接され、更に、前記スケール基板と前記カバーガラスとが、前記高さ規定部の周囲に配置した接着剤で接合されている。 （もっと読む）