【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】モータ軸の回転量を検出するための検出ユニットにおいて、エンコーダとしての信頼性を簡便に高める。
【解決手段】入射光の光量に対応した出力信号を出力する複数の受光素子が所定方向に配置されている受光素子アレイと、符号版の少なくとも一部に光を照射する光源と、を備え、複数の受光素子は、光の光量分布に応じて所定方向と垂直な幅方向における実効領域の幅が変更されてそれぞれ設けられている。 （もっと読む）

【課題】 遮光手段を用いずに光源からの発散光がパッケージの外界との境界面で全反射して、受光素子に入射することを防止する。
【解決手段】 光線Ｌ０は発光素子２３から出射した光線のうち、境界面５３で屈折して透過し反射スケール２１で反射し、最後に受光領域Ｓ２に導かれる光線群であり、この光路がセンサ信号を得るための有効光となる。光線Ｌａは境界面５３で全反射してパッケージ内を伝搬する光線であり、この光線Ｌａはセンサ信号光とは無関係なノイズ光であり、受光すべきでない光線である。この光線Ｌａが受光領域Ｓ２に入射すると、センサ信号のＳ／Ｎが低下してしまうことになる。また、光線Ｌｂは境界面５３を挿通し反射スケール２１に至ることなく、外方に出射してしまうので、精度等に対する影響は殆どない。不要な光線Ｌａが受光素子２４の受光領域Ｓ２に入射しないように、発光素子２３の発光領域Ｓ１を基準として、受光領域Ｓ２を決定する。 （もっと読む）

【課題】ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターンから、簡単な処理回路を用いて高速でアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号を分離する。
【解決手段】アブソリュートパターン１２Ａとインクリメンタルパターン１２Ｂを統合したＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃを有する絶対測長型エンコーダにおいて、前記アブソリュートパターン１２Ａ由来の明暗信号と前記インクリメンタルパターン１２Ｂ由来の明暗信号とに振幅差が生じるように設計された撮像光学系（レンズ１４）と、前記ＡＢＳ／ＩＮＣ統合パターン１２Ｃからの受光信号を、前記振幅差を利用してアブソリュートパターン信号とインクリメンタルパターン信号に分離する信号処理系（比較器２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】迷光／ノイズ問題に対処する反射型エンコーダを提供する。
【解決手段】光学エンコーダ及び光学エンコーダシステムであって、光源２０８に対して光検出器２１２を上方に配置し、光源２０８と光検出器２１２との相対的な高さの差により、反射迷光２３２の影響を阻止し、光学エンコーダ２０４が、光源２０８と光検出器２１２との間に別個の光バッフルを必要とすることなく、光検出器２１２におけるノイズを最小限にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光学式エンコーダの原点信号検出を行うこと。
【解決手段】光源1と、配列方向に相対移動が可能なインクリメンタル信号生成用パターン5を有するメインスケール4と、光源1で照明されたメインスケール4を透過、または、反射した光束を受光し、インデックススケールを兼ねる複数のフォトダイオードから成る第1のフォトダイオードアレイと、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される第2のフォトダイオードアレイを有するインクリメンタル信号検出部2と、第2のフォトダイオードアレイからの出力信号を処理するインクリメンタル信号処理部3を有し、メインスケール4が、複数のインクリメンタル信号生成用パターン5と同一ピッチの原点信号生成用パターン9を有し、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される原点信号検出部10からの出力信号を処理する原点信号処理部11を有する。 （もっと読む）

【課題】光源とスケールと受光素子の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、空間的に光学的特性が周期的に変化するスケールスリット１２２を有するスケール１１０と、スケール１１０に向けて光を発光する複数の発光部１４２を有する発光ユニット１４０と、発光部１４２から発光されスケールスリット１２２を経由した光を受光する受光部１７２を有する受光ユニット１７０を有している。発光ユニット１４０と受光ユニット１７０は共に基板１９２に搭載されてヘッド１９０を構成している。スケール１１０とヘッド１９０（受光部１７２）は、スケールスリット１２２の光学的特性の変化方向に沿って相対的に移動可能である。スケール１１０は、発光部１４２に対向した光入射部１１８と、受光部１７２に対向した光出射部１２０と、光入射部１１８から入射した光を光出射部１２０へ導光する導光部を有している。 （もっと読む）

【課題】 絶対位置を検出するアブソリュート方式のロータリエンコーダは、グレイコード等の任意のアブソリュートパターンの符号ビット数と同じ数の受光素子が必要であった。また分解能を上げる場合、アブソリュートパターンの符号ビット数が増加するため、構造が複雑になり、コストも高額となっていた。
【解決手段】 回転体の回転角度に応じて反射板の高さがリニアに変化する回転円板に対して、光学的センサを用いて反射板との距離を測定し、測定した距離から回転体の絶対位置を算出することを特徴としたアブソリュートエンコーダを提供する。 （もっと読む）

【課題】透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能することができる。
【解決手段】 発光素子チップ４３および受光素子チップ４４を、発光素子形成面および受光素子形成面を基板４２に対向させてフリップチップ実装する。基板４２は、全体を不透明に構成すると共に、出射光用の第１光透過部４２aと入射光用の第２光透過部４２bとを有する。基板４２のチップ４３,４４が実装されていない裏面側に、反射型移動体４７を配置する。また、基板４２のチップ４３,４４が実装されている表面側に、透過型移動体４９を配置する。こうして、発光素子チップ４３からの斜め成分光の反射型移動体４７による反射光を、受光素子チップ４４で受光する一方、発光素子チップ４３からの横成分光の透過型移動体４９の透過光を、受光素子チップ４４で受光することによって、透過型エンコーダおよび反射型エンコーダとして機能させることができる。 （もっと読む）

【課題】相対移動可能な２つの物体の位置を測定する光学式位置測定装置において、基準信号を適切に発生させる。
【解決手段】一方の物体と結合された目盛本体が、基準位置に、鏡像対称に配置された２つの部分区域を含む基準マークを含み、該区域はそれぞれ、目盛周期が変化し移動方向に配列する格子構造パターンで構成されている。他方の物体には走査ユニットが結合され、該ユニットは光源と、１又は複数の格子と、基準信号検出装置と備えている。基準信号検出装置は、検出器アレイ２２．１〜２２．４を有し、基準マークを走査して検出器アレイで検出して、第１の対の逆相関係にある部分基準信号、該部分基準信号からオフセットされている第２の対の逆相関係にある部分基準信号を形成する。検出器アレイに接続された後段の処理回路において、第１及び第２の対の部分基準信号を処理して、基準信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】 光学系の改善によりより大きな光学信号のコントラストを得られるように工夫し、それによって、その後の工程において信号処理の安定化や高信頼性化を図ることが可能なエンコーダとそのエンコーダを搭載したアクチュエータを提供すること。
【解決手段】 光学検出器と光源の間に遮光板を設け、その遮光板が上記光学検出器寄りに設置し、それによって、迷光を低減させて信号のコントラストを改善させ、その後の工程において信号処理の安定化や高信頼性化を図ることが可能となるもの。 （もっと読む）

【課題】走査検知光路において構成要素が互いに理想的な方向を向いていない、または使用条件が理想的でない時でも、最大可能な品質を保証する走査検知信号を提供する。
【解決手段】測定方向に延伸するインクリメント目盛を有する基準尺と、光源と一つまたは複数の格子およびディテクタアセンブリを含んだ走査検知ユニットが設けられ、ディテクタアセンブリは検知面に配設された複数グループのディテクタ要素で構成され、測定方向に相対移動する場合に、検知面で生じる周期性縞模様の走査検知結果から、位相のずれた複数の走査検知信号を生成するようにディテクタ要素の前には、同じ位相の走査検知信号を伴うグループでは、ディテクタ要素の面積の合計が、他のグループのディテクタ要素の面積の合計と同一であり、かつ、ディテクタ要素の面重心が、他のグループのディテクタ要素の面重心と同一であるようにグループが形成されるようにブラインド構造を配設する。 （もっと読む）

【課題】 本来の絶対位置検出機能を失うことなく、メインスケールの組立性を改善する。
【解決手段】 光透過部または光反射部を連続して配列したメインスケール１２と、メインスケールに対して相対移動可能かつ光透過部または光反射部のピッチに関係付けをして配設された複数の受光素子を有する受光部と、メインスケールを介して受光部に光を照射する発光部とを有し、メインスケールは前記相対移動方向に光学的に不連続部分を有する光学式エンコーダにおいて、不連続部分Ｓ４１−Ｓ４４は、メインスケールの中央位置に対して対称に片側複数個ずつ両側に配置され、片側複数個の不連続部分は、異なる種別の不連続性パターンを持つ。 （もっと読む）

【課題】安定して高調波歪を抑え、位置を高精度に検出することが可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】光源１２と、受光素子１７と、前記光源からの光を反射または透過することによって前記受光素子に導くパターン２４Ａを含む複数の単位ブロックパターンＫＡを含むスケール２０と、を備えるエンコーダを提供する。複数の単位ブロックパターンは、Ｘ方向に沿って、ピッチＰの周期で配置されており、パターンは、中心線Ｘｃに関して対称な形状であり、各単位ブロックパターンはＹ方向に複数の分割領域を含み、パターンの面積比は隣接する二つの分割領域の間で異なり、各分割領域において、前記パターンは、前記測位方向に延びる２つの平行な直線と前記測位方向に垂直な方向に延びる２つの平行な直線によって規定される矩形形状を有する。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高精度な位置検出が可能なエンコーダを提供すること
【解決手段】エンコーダにおいて、スケール２０のパターン列はＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列され、Ｘ方向にそれぞれ異なるピッチを有する複数の領域２３Ａ、２５Ａを有し、領域２５Ａのエネルギー分布の振幅がスケールのＸ方向の位置に従って変化するように構成されている。エンコーダは、受光素子アレイ１６Ａの出力信号からそれぞれ対応する領域の振幅を取得する第１、第２の振幅取得手段３７、３８と、第１、第２の振幅取得手段３７、３８が取得した複数の領域の２つの振幅の比で表される振幅信号Ｓ＿ａｍｐをスケールの絶対位置を表す絶対位置信号として取得する位置情報取得手段３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なスケールの位置検出をすること
【解決手段】エンコーダにおいて、パターン列は、移動方向であるＸ方向に垂直なＹ方向に周期的に配列されたＸ方向に第１の変調周期Ｐ１と第２の変調周期Ｐ２を有する。信号処理手段３０は、受光素子アレイの出力からピッチＰ１の位相を取得する第１の位相取得手段３２を有する。エンコーダは、領域２３を検出する複数の受光素子１７Ａの出力信号に対して受光素子アレイ上の位置に応じた重みを使用して重み付けをし、重みは、第１の位相取得手段の空間周波数応答のピッチＰ２に対応する空間周波数を含む所定の範囲において、重み付け有の値が重み付け無の値以下となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】投光部とスケールと受光部の配置の自由度が高い光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】光学式エンコーダ１００は、スケール１１０と、スケール１１０に向けて光を投光する投光部１４２と、投光部１４２から投光されスケール１１０を経由した光を受光する受光部１７２を有している。スケール１１０は、受光部１７２に対して移動可能である。スケール１１０はまた、投光部１４２に対向した光入射部１１８から入射した光を受光部１７２に対向した光出射部１２０へ導光する導光部を有している。光出射部１２０には、スケール１１０の移動方向に沿って光学的特性が周期的に変化しているスケールスリット１２４が設けられている。光入射部１１８には、スケール１１０の移動方向に垂直な平面に対して、平行成分の光に対する斜め成分の光の相対強度を低減する働きをする斜め光低減スリット１２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スケールに対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができるエンコーダ、及びこのようなエンコーダに用いるエンコーダ用受光装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ１では、一直線状の光透過部１７に被検出光を透過させることにより、スケール板１１において、配列ラインＬ１，Ｌ２の互いに離間した一部を含む領域に被検出光が照射される明部１９が形成され、他の領域に被検出光が照射されない暗部２０が形成される。したがって、光強度ピークＰ１，Ｐ２間の相対角度（基準相対角度）は、光透過部１７の形状から一義的に算出できる。そこで、エンコーダ１では、角度検出時の相対角度と基準相対角度とのずれ量を補正量α°として算出することにより、スケール板１１に対する被検出光の照射位置が基準からずれた場合でも、絶対角度を精度良く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】検出波形の誤差成分を低減し、高精度な位置検出を可能とする。
【解決手段】スケールの透過率分布または反射率分布を、測位方向に垂直な方向の積分値が測位方向に均一な変調振幅となる細周期パターンに対応した変調成分と、測位方向に均一な変調振幅となる粗周期パターンに対応した変調成分と、の加算された値となる分布とする。 （もっと読む）