本発明は、広範囲にわたる高エネルギーＸ線を利用してＸ線透過像を測定する装置の空間分解能を測定するために用いる素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能の評価方法を提供する。本発明は、Ｘ線透過像を測定する装置の空間分解能を評価する素子であって、角柱状基材上または細線状基材上にＸ線遮断層とＸ線透過層とを交互に積層した多層膜を有し、且つＸ線遮断層の吸光係数が、使用するＸ線の波長において、Ｘ線透過層の吸光係数の３倍以上である素子、前記素子の製造方法および前記素子を用いた空間分解能評価方法に関する。
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【課題】ＣＴシステムで典型的に見受けられるＸ線フォトン線束量で飽和することのない直接変換型エネルギ識別ＣＴ検出器を提供する。
【解決手段】エネルギ識別及び直接変換が可能なＣＴ検出器２０ａは、半導体層厚が異なる第一の半導体層６２、第二の半導体層６４を含む。各々の半導体層６２，６４は検出素子６５を二次元的に画定するようピクセル化された構造に構築され、連続した高電圧電極６６、６８を含む。高電圧電極層はＸ線吸収特性を低減するような厚さの金属化層とされるので、検出器２０ａは、計数速度性能を最適化すると共に飽和を回避するようにＸ線入射方向にセグメント分割されて構築されている。 （もっと読む）

【課題】 薄膜の表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に適した試料を、容易に作製することの可能な方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１０Ｚに対してＦＩＢ１５Ａ，１５Ｂを照射することにより、可溶膜１２に達するエッチング溝１６を、解析対象領域１０Ｒを取り囲むように形成したのち、ウェハ１１、可溶膜１２および中間膜１３Ｚのうち、可溶膜１２のみを溶解可能な酸性溶液を用いて中間膜パターン１３と接する部分である底部１２Ｂを溶解除去することにより、解析用試料１０を形成する。得られた解析用試料１０を、その側面１０Ｗを把持することにより取り出す。これにより解析対象膜パターン１４の表面を汚すことなく、ＳＥＭやＴＥＭなどを用いた表面状態および表面と平行な面内における状態の解析に好適な解析用試料１０を、高精度かつ容易に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】パイプ内を搬送される被検査物にＸ線を照射して異物を検出するＸ線異物検出装置において、装置内のパイプを外部の配管からＸ線漏洩の危険なく着脱自在とする。
【解決手段】Ｘ線照射装置１の筐体４に対し、検査パイプ６を備えたユニット７を使用位置から非使用位置に外す方向に移動する。ユニットの作動板１０が操作部材９を揺動し、操作板３５が強制解離スイッチ８を開いてＸ線作動回路を遮断するとともに、ユニット７の作動ピン１２が固定部材１１を回動して操作部材９の係合部に係合し、操作部材９によるスイッチ８の操作状態をロックする。ユニットを筐体から外して検査パイプ６を洗浄する間、Ｘ線は照射不能の状態にロックされる。 （もっと読む）

【課題】 ＴＲ方式ＣＴの回転中心較正を自動的に行うことができるコンピュータ断層撮影装置を提供する。
【解決手段】 放射線検出器３の分解能が規定する放射線パスの回転に沿った被検体基準の放射線パス方位ψに対し、πを超えて方位が重複するようにＴＲスキャンし、平行移動位置をｔとして、放射線パス方位ψおよび平行移動位置ｔで記述される透過データＰ（ψ，ｔ）と方位が同じで向きが逆である透過データＰ（ψ＋π，ｔ）が平行移動位置ｔ上で回転の中心であるｔｃに対し、互いに対称であることを利用して回転の中心ｔｃを求める。 （もっと読む）

本発明は、生体組織サンプルを解析する方法であって、前記生体組織サンプル（4）に透過性放射線を照射するステップと、前記生体組織サンプルからの透過性（14）および／または散乱性放射線（16、18）を検出するステップと、を有し、前記解析の期間は、解析期間と信頼性レベルの間の関係を決めるモデルまたはアルゴリズムに基づいて、1または2以上の所望の信頼性レベルから定められることを特徴とする方法に関する。また、本発明は、この方法を実施するための機器、およびその機器を制御するコンピュータソフトウェアに関する。
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【課題】 高い分解能のもとに広い視野の断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 意図する視野を複数回に分けて部分的にＣＴ撮像を行うとともに、その各部分ＣＴ撮像により得られるＸ線透過データからそれぞれ被写体の部分断層像を再構成し、その各部分断層像を相互に繋ぎ合わせることによって、高い分解能で広い視野の断層像を得る。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線の検出感度の向上及び装置の小型化を図ることができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 リング状に形成されかつ軸方向の一端部（端部）２ａからリング状の１次Ｘ線ａをその少なくとも一部が集束するように放射するＸ線発生器２と、このＸ線発生器２で包囲された内部空間１１に中心軸がＸ線発生器２の中心軸Ｄと一致するようにかつＸ線発生器２の中心軸Ｄ上の一端部２ａ近傍に配置した試料１０と対向するように挿入されると共に、１次Ｘ線ａの照射により試料１０から発生する蛍光Ｘ線ｂを検出するＸ線検出器３と、を備えた。 （もっと読む）

装置が自動的に検査対象となる物品に対して最適な画像処理手順を選択して検査を行うことが可能なＸ線検査装置を提供するために、Ｘ線検査装置（１０）は、シールドボックス（１１）と、コンベア（１２）と、Ｘ線照射器（１３）と、Ｘ線ラインセンサ（１４）と、モニタ（２６）と、制御コンピュータ（２０）とを備えている。制御コンピュータ（２０）は、ＣＰＵ（２１）がＨＤＤ（２５）等の記憶部に格納された各種プログラムを読み込んで、画像形成部（３１ａ）、採用画像処理手順生成部（３１ｂ）および異物判定部（３１ｃ）を機能ブロックとして形成する。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線分析を目的として、高周波誘導加熱によりガラスビードを作製する際に、高温状態にある白金るつぼの温度を非接触で正確に測定することができる。
【解決手段】 白金るつぼ５と、白金るつぼ５を加熱する高周波誘導加熱コイル４を備えた高周波誘導加熱装置と、白金るつぼ５の近くにこれと接触させずに配置される、高温安定性、熱伝導性および耐食性に優れた板状セラミック体９と、セラミック体９の温度を測定する放射温度計８と、放射温度計８による温度出力値に基づいて、前記高周波誘導加熱装置の設定電力を制御する制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 試料の種類および試料の表面状態によらず高い感度を得ることを可能にする。
【解決手段】 半導体基板２を酸蒸気に暴露する工程と、酸蒸気に暴露された半導体基板の表面の不純物を酸溶液で走査回収する工程と、走査回収した酸溶液６を表面が鏡面状態の基板上で濃縮乾燥させ濃縮乾燥物８に変える工程と、濃縮乾燥物を酸を用いて粒子状の濃縮物８ａに変える工程と、粒子状の濃縮物を全反射蛍光Ｘ線分析装置４０にて分析する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線防護扉をその下側に設けた水平の旋回軸を中心として旋回させることによって開閉する方式を採用したＸ線透視装置において、そのＸ線防護扉の自重により発生するモーメントを有効に軽減させることのできるＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線防護扉Ｄの旋回軸Ｔｈとは別に、付勢手段によりその軸心を中心とするモーメントが付与されるモーメント付与軸１を設けるとともに、そのモーメント付与軸１に付与されたモーメントを、旋回軸Ｔｈに伝達する伝達機構２を設け、その伝達されたモーメントによりＸ線防護扉Ｄの自重により旋回軸Ｔｈの回りに発生するモーメントを相殺する構成の採用により、伝達機構２を適宜に設定することによって、Ｘ線防護扉Ｄの旋回角度による自重に起因するモーメントの変化と、モーメント付与軸１から伝達されるモーメントの変化を略一致させることを可能とする。 （もっと読む）

パッケージ、荷物又は衣類内の爆発物又は化学兵器のような禁制品を検出するためのシステムが、１つ又は複数のテラヘルツ・モジュールを含む。それぞれのモジュールは、テラヘルツ放射の発生又は受信、或いは発生および受信の両方を行う。テラヘルツ放射の一部は物品から反射され、テラヘルツ放射の残りは物品を透過する。処理装置は、物品の特性を決定するために、反射及び透過テラヘルツ放射を解析する。
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本発明では、生物組織サンプルに照射を行う方法であって、第1の暴露期間の間、透過性放射線ビームで生物組織サンプルの一部に照射を行うステップと、その後、第2の暴露期間の間、透過性放射線ビームで、同一のまたは隣接する生物組織部分に照射を行うステップと、を有し、前記第2の暴露期間の間、前記組織サンプルに入射する前記放射線の線量は、前記第1の暴露期間の間の前記線量よりも多いことを特徴とする方法について示した。また、本発明では、本発明の方法により作動する機器について示した。

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本発明では、生物組織サンプルに対する透過性放射線測定用の機器であって、組織サンプルロケータ、透過性放射線の線源、使用の際に、前記線源からの放射線を、前記組織サンプルロケータに誘導されたビームとして誘導するコリメータ、および前記サンプルからの放射線を検出する、少なくとも2つの検出器、を有し、前記少なくとも2つの検出器は、それぞれ異なる角度で、前記サンプルからの放射線を検出するように配置されることを特徴とする機器について示した。また、本発明では、生物組織サンプルに対する透過性放射線測定用の類似の機器について示した。
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【課題】Ｘ線源と被検体との距離もしくはＸ線源とＸ線検出器との距離を変えることなく高分解能な透視画像を得ること。
【解決手段】本発明は、被検体Ｓに向けてＸ線を照射するＸ線源２１と、Ｘ線源２１から照射されたＸ線による被検体Ｓでの透視画像を取得するＸ線検出器３と、Ｘ線検出器３の１画素分より小さいピッチでずらして複数の透視画像を取得する制御を行う制御部４と、制御部４の制御によってＸ線検出器３で取り込んだ複数の透視画像の画素データを用いてＸ線検出器３の１画素分より小さいピッチで画素データを生成する画像処理部５とを備えるＸ線撮像装置１である。 （もっと読む）

Ｘ線照射室（７）の上側の試料ステージ（２）上にセットされた試料（１）に対し、試料カバー（６）を試料（１）上方より閉じて試料（１）を囲んだ後、試料（１）の下面にＸ線を照射し分析する蛍光Ｘ線分析方法において、試料ステージ（２）上に試料（１）をセットし、試料カバー（６）を閉じると、カバー検知手段（８）が試料カバー（６）が閉じたことを検知し、自動的にＸ線源（３）からＸ線を照射し分析を開始する。 （もっと読む）

目標物体の領域の高分解能画像を構成するために使用することができる画像データを提供する方法及び装置が開示される。本方法は、放射源からの入射放射を目標物体に供給するステップと、少なくとも１つの検出器により、目標物体により散乱された放射の強度を検出するステップと、入射放射又は目標物体後方の開口を目標物体に対して高分解能で位置合わせすることなく、検出された強度に応じて画像データを提供するステップとを含む。
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本発明は、測定時間として設定した時間後でないと濃度の計算結果が得られないという従来の蛍光Ｘ線分析の問題点を解決するものである。
本発明の蛍光Ｘ線分析方法および蛍光Ｘ線分析装置は、試料の測定条件の設定を行った後測定を開始し、試料に含まれている元素の測定濃度と測定精度の計算を行い、この測定精度が予め定めた測定条件を満たす値となったときに測定を終了し、そのときの濃度を出力するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、核燃料棒上のクラッドの分析を遂行する方法及び道具を提供する。該方法は、核燃料棒の外面上にクラッドの層を有する核燃料棒を用意し、この燃料棒から該クラッドをクラッド掻取り道具で掻き取り、そしてこのクラッド掻取り道具からクラッドフレークを採集すると述べられる。該方法はまた、該クラッドフレークを粒子画分に分別し、そして走査電子顕微鏡で該クラッドを分析することを備え、しかも該掻取り道具は、クラッド付着物の予想剪断強さに合っている剛性を備えたブレードを有する。 （もっと読む）