【課題】簡単な構造でワーク領域を小さくでき、波長走査範囲の広い波長分散型の分光器を提供する。
【解決手段】試料４３から放出される試料４３の特性を示す電磁波を回折する分光素子５２と、この分光素子５２をこの分光素子５２の表面を軸として回転させる分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と、分光素子５２で回折された電磁波をそれぞれ異なる波長領域で検出する複数の検出器５３-1，５３-2，……，５３-nと、分光素子回転機構（６１-1，６２-1）と回転軸を共有し、複数の検出器を分光素子５２の回りで移動させる検出器回転機構（６１-2，６２-2）とを備える。検出器回転機構（６１-2，６２-2）のオフセット角度を変えることで、複数の検出器を切り替え可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＬ法の感度を向上させてシリコン基板を評価することで、デバイス活性領域の点欠陥を精密に非破壊検査により評価することができるシリコン基板の評価方法、及びその評価方法を用いた半導体デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリコン基板表面にＰＮ接合を作製し、ＰＮ接合が作製されたシリコン基板の空乏領域に電子線を照射して、電子線が照射されたシリコン基板から得られる発光の波長及び強度からシリコン基板の評価を行うシリコン基板の評価方法。 （もっと読む）

本発明は、放射線検出器用の低干渉センサヘッド（３０）及び低干渉センサヘッドを備えた放射線検出器に関する。本発明の放射線検出器は、好ましくは、Ｘ線検出器である。本発明はまた、低干渉センサヘッドの使用又は荷電粒子のための光学系を用いた顕微鏡検査法における放射線分析、特に（エネルギー分散）Ｘ線分析のための放射線検出器、特にＸ線検出器の使用に関する。
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【課題】試料にイオンビームを照射した際に生じる二次電子の総量のみならず、二次電子の詳細なエネルギー情報をも正確に得て、電子スペクトルとして検出することができ、試料の二次電子放出特性を正確に把握することが可能となる電子スペクトルの測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】被測定試料の表面状態を実質的に変化させないイオンビーム照射条件を選定する照射条件選定工程と、照射条件選定工程で選定されたイオンビーム照射条件に基づいて被測定試料にイオンビームを照射する照射工程と、イオンビームの照射により被測定試料から放出された二次電子スペクトルを、イオンビームの照射軸と異なる方向に設置された同軸円筒鏡型エネルギー分析器を用いて測定する測定工程とを有している電子スペクトルの測定方法およびそれに用いる測定装置。 （もっと読む）

【課題】可搬型とし、エックス線分析装置を用いて鉄道レールに関する各種の情報をより高精度に現場で取得することのできるエックス線分析装置用取付治具を提供すること。
【解決手段】本発明のエックス線分析装置用取付治具１は、エックス線分析ヘッド２を取り付ける取付板３と、鉄道レールＲを跨いで取付板３を保持する脚部４，４と、エックス線分析ヘッド２を取付板３上において所定の角度に固定するヘッド固定手段１５ａ〜１５ｆと、を備え、ヘッド固定手段１５ａ〜１５ｆは、鉄道レールＲに対するエックス線分析ヘッド２の角度を変更可能としたものである。 （もっと読む）

本発明は、特に低分子有機物質、例えば、薬物または薬物製品を特徴づける（キャラクタリゼーションする）方法を提供する。この方法は、固体低分子有機物質を短波長でのＸ線全散乱分析にかけるステップと、それによって生成されたデータを収集するステップと、データを数学的に変換し、洗練されたセットのデータを提供するステップとを含む。
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【課題】１回の電子線スキャンにより測定可能とする、試料損傷のないＥＰＭＡ分析におけるバックグラウンド補正方法。
【解決手段】マッピング領域に目的元素が存在しない部位を入れる第１のステップと、二つの同種の分光結晶のうち、一方を目的元素の特性Ｘ線波長λ_Aに、他方を近傍のバックグラウンド波長λ_Bに設定し、マッピング測定してＸ線カウントデータＩ_A,Ｉ_Bを得る第２のステップと、上記Ｘ線カウントデータＩ_A及びＩ_Bから、α＝Ｉ_A／Ｉ_Bの式から補正係数αを求める第３のステップとからなり、上記第１から第３のステップを経て、ＥＰＭＡ分析のバックグラウンド補正係数αを求め、全マッピング領域において、目的元素の特性Ｘ線波長λ_AについてのＸ線カウントデータＩ_Aに対して、Ｉ_A−Ｉ_B×αの式を用いて得られた値を目的元素のＸ線信号とし、更に、該Ｘ線信号のデータから、別に測定した検量線を用いて目的元素の濃度のマッピングデータを得る方法。 （もっと読む）

【課題】ＸＰＳ分析に供する試料が粉末の場合、従来の方法では、装置内で粉末試料が飛散する可能性が高く、装置内汚染による測定結果への影響や装置付属機器の不具合に繋がってしまうため、簡易的な方法で粉末試料の飛散を防止するＸ線光電子分光分析方法を提供する。
【解決手段】粉末試料にバインダを混合及び分散し、バインダを混合及び分散した粉末試料を成形して錠剤（ペレット）化し、錠剤を試料として、バインダにはパラフィンを用いて、パラフィンの融点が４４℃以上５８℃以下であり、パラフィンの含有率が５重量％以上１０重量％以下であることを特徴とするＸ線光電子分光分析方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電子線回折像を用いて、微小な結晶粒の結晶方位解析を可能にし、また、解析を自動化することにより、多点の結晶方位を迅速に解析することを目的とする。
【解決手段】本発明は、電子線を試料に照射して透過電子を検出する透過電子顕微鏡において、前記透過電子顕微鏡は、前記試料の電子線回折像を撮像する電子線回折像撮像部と、前記試料の組成情報を取得する検出部と、前記電子線回折像から格子面間隔の情報を取得する解析部と、前記取得された組成情報と前記格子面間隔の情報から試料の同定を行う物質同定部と、前記同定された試料の情報から、前記試料の回折像を演算する演算部と、を有し、当該演算された回折像と前記電子線回折像とのずれ量に基づいて、前記試料の結晶方向を特定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管装置の故障を防止したり、使用不能となる前にＸ線管装置を交換したりするとともに、Ｘ線管装置を入手するだけで、使用方法改善のための検討が行えるＸ線管装置及びそれを用いたＸ線装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線装置本体１０１に取り付けられ、フィラメント１２から放射された熱電子をターゲット１１の端面に衝突させることで、一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管装置１０であって、Ｘ線装置本体１０１の制御部５０と通信可能とする記憶部１８を備え、記憶部１８は、制御部５０と通信することにより、フィラメント１２の前回の使用終了日時情報、フィラメント１２への通電時間情報、フィラメント１２への通電が正常に遮断されたことを示す情報、前回高電圧の印加を終了した日時情報、高電圧印加時間情報、及び、高電圧が正常に遮断されたことを示す情報からなる群から選択される少なくとも一つの情報を記憶する。 （もっと読む）

【課題】ロッキングカーブ解析によるＸ線回折による分析において、専門家やＸ線分析の熟練者でなくとも、測定から解析まで一貫して簡単な操作により、薄膜の膜厚や組成を解析できるようにする。
【解決手段】Ｘ線回折測定装置で測定された測定データを、Ｘ線回折分析装置から、ロッキングカーブ解析装置に転送する。そして、ユーザは、ロッキングカーブ解析装置に、膜構造のパラメタを入力する。入力させたパラメタを初期値として含むある範囲の中から、測定データと計算データのロッキングカーブの乖離が少ないパラメタを、パラレルテンパリング法によって探索して、最適パラメータとして求め、その後に、精密化として、最小二乗法によって、さらに、測定データと計算データのロッキングカーブの乖離が少ないパラメタを、試料構造のパラメタとして求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、微小ビームで励起した蛍光Ｘ線を用いて、実装はんだ及びプリント板実装部品の鉛の含有可能性を判定するための検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、蛍光Ｘ線測定装置を用いて部品又は材料中の指定元素の含有可能性を検査する検査方法において、指定元素毎に、蛍光Ｘ線測定装の測定結果によって示されるＸ線強度を測定された測定エリアにおける位置情報に対応させたマッピングデータを生成し、検出されたＸ線強度と部品又は材料上の照射位置までの距離との関係に基づいて、マッピングデータによって示されるＸ線強度を補正し、所定Ｘ線強度に基づいて該指定元素の含有可能性有りと判断した照射位置を検出位置情報として生成し、指定元素毎の検出位置情報を２つ以上の指定元素について合成することによって指定物質が含有される可能性を示す画像データを生成し表示ユニットに表示させることによって達成される。 （もっと読む）

【課題】 分光可能な特性Ｘ線を発する元素及び分光可能な分光素子を一覧でき、容易に分析条件を選択できる分析条件選択支援装置及び分析条件選択支援方法を提供する。
【解決手段】分光素子のボタンを配列した分光素子選択部と元素のボタンを配列した元素選択部を有する分析条件選択画面を表示させる選択画面表示手段３１、元素が発する特性Ｘ線と分光素子の関係の情報を格納した分光範囲記憶装置２６、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、分光素子選択部で指定された分光素子によって分光可能な元素のボタンに対し、特性Ｘ線の種類を元素のボタンに分類表示させる元素選択部表示手段３２、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、指定された元素によって発せられる特性Ｘ線の種類を元素の特性Ｘ線を分光可能な分光素子のボタンに分類表示させる分光素子選択部表示手段３３とを備える。 （もっと読む）

イメージング測定システムは、プリントフォトダイオードの行と列とを備えるマクロ有機フォトダイオードアレイを含む。そのアレイ配列は、製造容易性、及び、イメージングシステム内の湾曲したサポートへの組み立てのために曲げることができるものであってもよい。２層以上のフォトダイオードが、スペクトルＣＴイメージングシステムでの使用のために提供されてもよく、複数のスライスとして提供されてもよい。
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【課題】本発明は、放射線被曝を受ける側の材料におけるアルファ線の影響範囲に相当する飛程と放射線被曝を受ける側の材料から放出されるアルファ線の強度とを同時に測定できるアルファ線測定装置を提供し、また、異なる厚みの試料を透過するアルファ線の強度を容易に測定できるアルファ線測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本願発明のアルファ線測定装置は、アルファ線源から照射されたアルファ線が照射される方向に試料を設け、試料を透過したアルファ線が通過する位置に透過したアルファ線を検出する放射線検出器を設ける構成とし、また、本願発明のアルファ線測定方法は、一方から他方へ変化している厚みを有する試料へアルファ線を照射しながら、アルファ線の照射を試料の一方から他方へ走査して試料を透過するアルファ線の強度を検出する方法とした。 （もっと読む）

装置内の構成要素のスタックが所望の序列にあるか否かを判定する方法は、エネルギービームを各々の構成要素に照射するステップを含む。照射を受けた各構成要素から放出される放射線は、放射線検出器によって検出される。構成要素が所望の序列にスタックされているか否かを判定するため、検出された放出放射線は中央演算処理装置（ＣＰＵ）を用いて分析される。 （もっと読む）

【課題】樹脂等の試料の形状に拘わらず、試料中の各成分の定量を正確且つ安定して行う。
【解決手段】樹脂の主成分をＣＨ_２Ｏと仮定し、この主成分についてはＸ線管のターゲット由来のＲｈＫαコンプトン散乱線を用い、それ以外の各種成分については蛍光Ｘ線を用い、それぞれ実測強度と理論強度とを比較してファンダメンタルパラメータ法により定量値を算出し、最終的に全ての成分の定量値の合計が１００％になるように定量値を修正する。これにより、ＣＨ_２Ｏをバランス扱いとする従来方法と比較して、定量値に対する試料形状の影響が減り、ペレット状の試料でも正確に主成分や含有微量元素を定量することができる。 （もっと読む）

【課題】平行ビーム法を用いたＸ線回折法において、角度分解能が優れていて、Ｘ線強度の低下が少なく、構造が簡素化されたＸ線回折装置およびＸ線回折方法を提供する。
【解決手段】平行ビームのＸ線２４を試料２６に照射して、試料２６からの回折Ｘ線２８をミラー１８で反射させてからＸ線検出器２０で検出する。ミラー１８の反射面は複数の平坦反射面の組み合わせからなり、各平坦反射面の中心点は、試料２６の表面上に中心を有する等角螺旋の上にある。Ｘ線検出器２０は、回折平面に平行な平面内において１次元の位置感応型である。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線が、Ｘ線検出器２０の異なる地点にそれぞれ到達する。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線がＸ線検出器の同一の検出領域上で混在して検出されることを想定して、それらを互いに区別するための補正処理を実施する。 （もっと読む）

【課題】水和初期に高温養生を受けたコンクリート、モルタル等のセメント組成物を用いた硬化物において、供用後生じる恐れがあるエトリンガイトの遅延生成の発生有無を粉末Ｘ線回折によって早期に判定する方法を提供する。
【解決手段】高温養生を受ける前のセメント組成物の水和試料中のエトリンガイトの相対強度と、高温養生を受けた後のセメント組成物の水和試料中のエトリンガイトの相対強度との差が５％以下の場合に、ＤＥＦが発生しないと判断する判定方法である。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物の検出・除去にかかる時間を短縮することができる検査分析装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係る検査分析装置は、基板上に付着した異物を検出し、当該異物を除去して分析する検査分析装置であって、基板上の異物を検出する検出部２２と、検出部２２により検出された異物の撮像データを記憶する記憶部１２と、撮像データに基づいて、異物をその形態により分類・整理する分類部１３と、基板上に付着した異物を捕獲除去する異物捕獲部２３と、異物捕獲部２３により捕獲された異物を同定する分析部１１とを備える。 （もっと読む）