【課題】カソードルミネッセンスを用いた半導体基板中の結晶欠陥の評価において、半導体基板表面のクリーニングをせずに高精度に結晶欠陥を評価することを可能にする。
【解決手段】欠陥検査装置１００は、半導体基板２を支持するステージ３と、電子線照射部７と、ＣＬ検出器１４と、Ｘ線検出器１９と、データ処理部２２とを備える。電子線照射部７は、半導体基板２に電子線を照射する。ＣＬ検出器１４は、半導体基板２の検査箇所に電子線が照射されることによって検査箇所の結晶欠陥から発生したカソードルミネッセンス光を検出する。Ｘ線検出器１９は、検査箇所に電子線が照射されることによって検査箇所の表面に付着する有機化合物から発生した炭素の特性Ｘ線を検出する。データ処理部２２は、検出された炭素の特性Ｘ線の強度に基づいて、検出されたカソードルミネセンス光の有機化合物による減衰を補正する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線分光性能が良好なＸ線モノクロメータを提供する。
【解決手段】 Ｘ線モノクロメータ１１は、凹面を有する基板１８と、凹面上に形成された複数の細孔を有する無機酸化物膜と、を備える。無機酸化物膜の複数の細孔は、凹面の法線方向に周期的に積層されている。 （もっと読む）

【課題】フライアッシュ、シリカフューム等の混和材や石灰岩からなる骨材が含まれている可能性のあるセメント系硬化体であっても、結合材全体の化学組成を高い精度で簡易に推定することのできる方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）セメント系硬化体において適宜定めた二次元領域をピクセル単位に区画した後、電子線マイクロアナライザーを用いて、ピクセル毎に化学組成を分析する工程と、（Ｂ）工程（Ａ）で得られた分析結果に基いて、上記二次元領域内のピクセルから、特定のしきい値を基準として、結合材に相当するピクセル群を選択する工程と、（Ｃ）工程（Ｂ）で得られた、結合材に相当するピクセル群を対象として、該ピクセル群に属するピクセルの化学組成の平均値を算出することによって、セメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定値を得る工程と、を含むセメント系硬化体中の結合材の化学組成の推定方法。 （もっと読む）

【課題】従来の三元散布図では表現できなかった３元素の強度の絶対値情報を併せて表示することにより、相解析の効率化や精度向上を図る。
【解決手段】
３元素の強度を強度和で規格化した相対値を表す軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）を正三角形の三辺に割り当て、その三角形が載る平面に直交する方向に３元素の強度の和を表す軸（Ｄ軸）を追加した、三角柱状の３次元空間を、マッピング分析において１箇所の微小領域で得られたデータ点をプロットする空間として設定する。そして、この３次元的なグラフを平面化して表示部の画面上に描画する。３次元的なグラフを見る方向を任意に変化可能とすることにより、従来の三元散布図上でのデータ点の位置も把握可能であるとともに、三元素の強度の絶対値も容易に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線スペクトルによる組成分析を行う際に、簡易な手順で精度よく組成分析を行う。
【解決手段】第１の元素ｘおよび第２の元素ｙを含む混合試料の蛍光Ｘ線スペクトルＳｔにおいて、第１の元素ｘの蛍光Ｘ線の積分強度が第１の領域Ａ＞第２の領域Ｂ、第２の元素ｙの蛍光Ｘ線の積分強度が第２の領域Ｂ＞第１の領域Ａとなるように設定された第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの積分強度Ａｔおよび積分強度Ｂｔをそれぞれ算出し（ステップＳ１０６）、積分強度Ｂｔに基づき第２の領域Ｂにおける第２の元素ｙの強度分Ｂ_ｙ／ｔの値を設定し、当該強度分Ｂ_ｙ／ｔおよび第２の元素ｙの蛍光Ｘ線スペクトルＳｙの第１の領域Ａおよび第２の領域Ｂの強度比（Ａｙ／Ｂｙ）に基づき、第１の領域Ａの第２の元素ｙの強度分Ａ_ｙ／ｔを算出し、第１の領域Ａの第１の元素ｘの強度分Ａ_ｘ／ｔを、Ａ_ｘ／ｔ＝Ａｔ−Ａ_ｙ／ｔから算出する（ステップＳ１０８）。 （もっと読む）

本発明は、試料のＸ線回折（ＸＲＤ）解析及び／又はＸ線蛍光（ＸＲＦ）解析を実行する方法であって、Ｘ線源からのＸ線を試料に照射し、走査波長選択器と波長選択器により選択されたＸ線を検出するＸ線検出器とを備えるＸＲＤ・ＸＲＦ複合検出装置を提供し、走査波長選択器を使用して試料により回折されるＸ線の固定波長を選択してＸ線検出器を使用して試料での１つ又は複数の値の回折角φでの選択された固定波長のＸ線を検出することにより試料のＸＲＤ解析を実行し、及び／又は、走査波長選択器を使用して試料により発せられたＸ線の波長を走査してＸ線検出器を使用して走査された波長のＸ線を検出することにより試料のＸＲＦ解析を実行する方法を提供する。試料のＸＲＤ解析及びＸＲＦ解析の両方を実行する装置であって、走査波長選択器と、ＸＲＤ・ＸＲＦ複合検出装置を備える装置も提供される。 （もっと読む）

【課題】多様な試料を扱う二次イオン質量分析においても、装置周囲に付着した不純物の影響を排除し、精度のよい分析を行うことができる二次イオン質量分析方法を提供する。
【解決手段】電子線、放射線及び一次イオンから選ばれる１種以上を固体試料に照射し、該固体試料から発生する、電子、放射線及び二次イオンから選ばれる１種以上を検出して固体試料の分析を行う分析装置に用いられる試料ホルダーにおいて、封入された相変化材料が装着されている。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析時のＸ線透過シートの膨張を防止できるように試料セルを組み立てる試料セル組立具を提供する。
【解決手段】セル内枠１０を嵌合した試料カップ１１を、カップ端面１１１が下側となった状態で、試料カップ載置台７１上に載置する。円柱部（位置決め部）７１２の外径はセル内枠１０に内嵌し、試料カップ１１を位置決めする。円柱部７１２の上面には突起部（押し上げ部）７１３が突出しており、カップ端面１１１を押し上げて試料カップ１１の内側に向けて変形させる。高さが試料カップ１１よりも高いシート載置具７２上にＸ線透過シート１２を載置し、上から外枠嵌合具７３でセル外枠１３を試料カップ１１に嵌合させて、試料セル１を組み立てる。Ｘ線透過シート１２を下側にして蛍光Ｘ線分析を行う際、内部圧力が上昇しても、カップ端面１１が外側に向けて変形し、Ｘ線透過シート１２の膨張が防止される。 （もっと読む）

本発明は、材料の性質を特徴付ける方法に関する。本方法は、X線の放射源(1)と検出器との間に、前記材料の少なくとも1つのサンプル(100)を提供する段階と、X線放射源を使用して、X線のN個のスペクトルをそれぞれ持続時間Δｔにわたって前記材料に透過させる段階と、エネルギーまたは検出チャネルに基づいて、前記材料の透過関数を算出する段階と、少なくとも2つのエネルギー領域のそれぞれにおいて、透過関数の積分値を算出し、少なくとも第1透過係数(α1)および第2透過係数(α2)を得る段階とを有する。
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【課題】長期的に安定して、発熱による分光性能の低下が抑制される分光器を提供する。
【解決手段】分光器は、照射されたＸ線を分光する分光結晶（１０）と、分光結晶の、Ｘ線照射領域（１５）を除いた領域の少なくとも一部に形成された熱伝導部材（１１）と、を有している。熱伝導部材（１１）は、熱伝導部材（１１）の熱伝導率が分光結晶（１０）の熱伝導率よりも大きくなるように、カーボンナノファイバとカーボンナノチューブの少なくとも一方を含有した無機材料からなる。 （もっと読む）

【課題】基板表面などに存在する被測定物を反応性ガスにより溶解後、その基板に溶液を滴下して保持具で保持しながら基板表面で移動させ、被測定物を回収後乾燥させて基板表面に保持する試料前処理装置などにおいて、溶液の残量の影響を受けずに、所望の一定の滴下量が得られ、被測定物の回収が正しく行われるものを提供する。
【解決手段】溶液４の残量、弁８２の開放時間および溶液４の滴下量の相関関係をあらかじめ記憶するとともに、溶液４の残量を検知し、その検知した溶液４の残量と相関関係とに基づいて、溶液４を滴下するための弁８２の開放時間を決定する。 （もっと読む）

【課題】被検体に含まれる異物に対する感度を向上させ、被検体が移動する場合であっても異物検知が充分に行える蛍光Ｘ線検査装置及び蛍光Ｘ線検査方法を提供する。
【解決手段】移動する被検体１００に含まれる異物１１０を検出し、かつ被検体を構成する１つの元素の原子番号が異物を構成する１つの元素の原子番号より大きい場合に適用され、被検体に１次放射線を照射する放射線源１０と、１次放射線の照射によって異物を構成する１つの元素から放出される蛍光Ｘ線を検出する検出器１２とを備え、被検体を構成する１つの元素のK吸収端のエネルギーをＥ１、異物を構成する１つの元素のK吸収端のエネルギーをＥ２としたとき、１次放射線がエネルギーピークEPを持ち、Ｅ２＜ＥＰ＜Ｅ１
である蛍光Ｘ線検査装置１である。 （もっと読む）

【課題】マルチチャネルアナライザ計測者の負担を軽減する。
【解決手段】所定のクロックで被測定信号をサンプリングして得られたサンプリングデータに基づいて被測定信号のピークを検出し、ピーク値を取得するマルチチャネルアナライザにおいて、被測定信号と所定のトリガレベルとを比較して、トリガ信号を発生するトリガ検出部と、ピーク検出時点のトリガ信号発生時点からのクロック数である第１クロック数を計測するピーク検出部と、外部から入力されるスタート信号からトリガ信号発生時点までのクロック数である第２クロック数を取得する時間情報取得部と、第１クロック数と第２クロック数とを合計しスタート信号からピーク検出時点までのクロック数である第３クロック数を算出する時間情報処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、卓上型全反射蛍光Ｘ線分析装置を用いた検査結果に基づいて、ミネラルの充足、不足を簡便に、正確に判別する。また、体内に蓄積した有害な重金属を簡便に検査する。また、農作物、藻類・魚介類など海産物、食肉類・卵類・乳類など畜産類、菓子類、調味料及び香辛料、調理加工食品類に含まれる元素を簡便に検査する。
【解決手段】本発明は、カルシウム、銅、亜鉛、鉄などのミネラルの過不足を判別し、不足に対して、有効な食品の選別し、ヒトへの有効なミネラルの摂取方法を提供し、ミネラルの不足を効率的に解消する。体内に蓄積した有害な重金属のデトックス（解毒）作用に有効な食品を、卓上型全反射蛍光Ｘ線解析装置を用いた検査により選別し、出来るだけ速やかに解毒作用を行う。また、農作物、藻類・魚介類など海産物、食肉類・卵類・乳類など畜産類、菓子類、調味料及び香辛料、調理加工食品類中の元素を明らかにすることで、食の安全を守ることを可能にする。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギー弁別ができ、かつ高エネルギーＸ線がパルスで発生しても、パイルアップが生じにくい高エネルギーＸ線のエネルギー弁別検査装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 被検査物６に向けて１ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線１ａを照射するＸ線発生装置１１と、被検査物を透過して入射する入射Ｘ線１をコンプトン散乱させる散乱体１２と、コンプトン散乱された散乱Ｘ線２の入射Ｘ線に対する散乱角を所定の範囲に制限する遮蔽体１３と、遮蔽体で制限された散乱Ｘ線のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の組成が異なる場合でも蛍光Ｘ線分析を利用して試料中の測定対象物の濃度を計測することができる濃度計測方法、及び蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明では、硫黄等の測定対象成分を含む液体燃料等の試料に対して蛍光Ｘ線分析を行い、蛍光Ｘ線分析により取得したスペクトルから求められる測定対象成分の蛍光Ｘ線強度から、散乱Ｘ線及びシステムピークによるバックグラウンドを減算し、バックグラウンドを減算した蛍光Ｘ線強度に対し、試料の組成に起因する蛍光Ｘ線強度変化の補正を行う。バックグラウンドを減算した蛍光Ｘ線強度に対して補正を行った後の値と測定対象成分との関係を示す検量線を予め定めておき、検量線に基づいて、試料中の測定対象成分の濃度を計算する。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギーを検出することができる高エネルギーＸ線の検出装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 所定の方向から入射する入射Ｘ線１の照射によりこれをコンプトン散乱する散乱体１２と、入射Ｘ線に対し特定の方向θにコンプトン散乱された散乱Ｘ線２のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６と、コンプトン散乱の断面積から入射Ｘ線１のエネルギースペクトルを補正する入射Ｘ線補正器１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の内部構造を破壊することなく分析する。
【解決手段】干渉性Ｘ線が発せられるＸ線源と、前記Ｘ線源からのＸ線をコリメートするＸ線コリメータと、Ｘ線を吸収又は反射する材料により形成されており、前記Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた参照穴及びＸ線透過窓とを有し、前記コリメートされたＸ線が照射されるＸ線吸収部と、前記Ｘ線透過窓を透過したＸ線が照射される位置に設置される試料と、前記試料により生じる散乱Ｘ線と、前記参照穴を通過したＸ線との干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、前記検出器により得られた前記ホログラムに基づき前記試料の内部構造のイメージ画像を得るためフーリエ変換を行う処理部と、を有し、前記試料は、前記Ｘ線吸収部に対し相対的に移動させることができるものであることを特徴とするＸ線分析装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】より多くの元素を同時に効率よく検出することができ、スペクトルのエネルギー分解能を高めることができる分光結晶１３、波長分散型Ｘ線分析装置１０および元素分布測定方法を提供する。
【解決手段】分光結晶１３は、所定の基準直線を含む基準平面に対して垂直に交わる円弧を連ねた形状を成す内側面を有している。内側面は、基準直線に沿って試料１から検出器１４に向かって、円弧の曲率半径が小さくなるとともに、円弧と基準平面とが交わる円弧交点と、基準直線と円弧含有平面とが交わる基準交点とを結ぶ線分と、基準交点から試料１側の基準直線との成す角が小さくなるよう構成されている。分光結晶１３は、基準直線が試料１と検出器１４とを結ぶ軸に一致するよう配置されている。検出器１４が、Ｘ線を検出する線状または面状の検出部１４ａを有し、検出部１４ａが試料１と検出器１４とを結ぶ軸に対して垂直を成すよう配置されている。 （もっと読む）

【課題】発光のブルーシフトが抑制された発光デバイスの製造に好適なＩＩＩ族窒化物結晶基板、エピ層付ＩＩＩ族窒化物結晶基板、ならびに半導体デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】ＩＩＩ族窒化物結晶基板１の任意の特定結晶格子面のＸ線回折条件を満たしながら結晶基板の主表面１ｓからのＸ線侵入深さを変化させるＸ線回折測定から得られる特定結晶格子面の面間隔において、０．３μｍのＸ線侵入深さにおける面間隔ｄ₁と５μｍのＸ線侵入深さにおける面間隔ｄ₂とから得られる｜ｄ₁−ｄ₂｜／ｄ₂の値で表される結晶基板の表面層の均一歪みが１．９×１０^-3以下であり、主表面の面方位が、結晶基板の（０００１）面または（０００−１）面１ｃから＜１０−１０＞方向に１０°以上８０°以下で傾斜したＩＩＩ族窒化物結晶基板１。 （もっと読む）