【課題】試料等の機械的な回転を必要とすることなく、広い移行運動量ｑの範囲のＸ線及び中性子線の反射率曲線を短時間で測定すること。
【解決手段】湾曲結晶で構成される反射型ポリクロメータ１の湾曲面でＸ線（中性子線）を反射させて、試料Ｓの上面から見て扇型に集束されるＸ線束であって、水平方向の集束角に応じて鉛直面内でＸ線ビームと試料表面となす角度が連続的に変化するＸ線束を作成する。試料表面で反射されたＸ線強度分布を二次元検出器２で測定し、その二次元強度分布から試料表面に垂直な方向の散乱ベクトルの関数として変化するＸ線反射率曲線を求める。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線における特定の波長領域を取り出すに当たり、効率よく狭い波長幅のものを取り出すことができ、フィルタリング性能の向上を図ることが可能となるＸ線源システム及びＸ線位相イメージングシステムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源と、位相格子と、吸収格子と、を有するＸ線源システムであって、
位相格子は、Ｘ線源と一定の距離をおいて設置され、
位相格子の構造が、Ｘ線源より照射されたＸ線による位相波面を所定の形状に変形させる屈折レンズを、Ｘ線の照射される方向と直交する方向に並べた屈折レンズ群で構成されると共に、
吸収格子は、屈折レンズ群による干渉で特定の周波数領域のＸ線による干渉縞のコントラストが高くなる位置に設置され、
Ｘ線の透過率を高くした特定の領域が、屈折レンズ群による特定の周波数領域における干渉縞のＸ線強度が高くなる箇所に対応させて配設されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折装置において異なる波長のＸ線に基づいた測定データを１回の測定によって同時に取得できるようにする。異なる波長の回折線のデータを２次元検出器の受光面の全領域を使って取得することを可能とする。
【解決手段】Ｘ線発生源２から発生した特性Ｘ線を試料３に照射し、試料３で回折した特性Ｘ線をＸ線検出部器６のＸ線検出部１３によって検出する波長分別型Ｘ線回折装置１である。Ｘ線発生源２は、原子番号が異なる複数の金属によって構成され、それぞれの金属から互いに波長が異なる複数の特性Ｘ線を発生する。Ｘ線検出部１３は、それぞれがＸ線を受光してＸ線の波長に対応したパルス信号を出力する複数のピクセル１２で構成される。ピクセル１２のそれぞれに付設されておりピクセル１２の出力信号を特性Ｘ線の波長ごとに分別して出力する分別回路が設けられている。個々のピクセル１２において波長別にＸ線強度を検出する。 （もっと読む）

【課題】結晶構造が回転対称の試料だけでなく、回転対称でない試料であっても、簡単に精度のよい分析をすることができるコンパクトな蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、結晶構造を有する試料Ｓが載置される試料台８と、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、試料Ｓからの２次Ｘ線４を検出する検出手段７と、試料台８を回転させる回転手段１１と、試料台８を平行移動させる平行移動手段１２と、試料Ｓの回転角度とその角度で発生する２次Ｘ線４の強度とを対応させて取得した回折パターンに基づいて、隣り合う間隔が１８０°未満であって、回折Ｘ線を回避できる回避角度を少なくとも３つ選択するための選択手段１７とを備え、制御手段１５が、試料台８、回転手段１１および平行移動手段１２が当該装置の他の構造物と干渉しない回避角度に試料Ｓを設定するように回転手段１１を制御する。 （もっと読む）

【課題】眼鏡レンズ基材上に形成される機能性膜の性能を高い信頼性をもって評価するための新たな手段を提供すること。
【解決手段】眼鏡レンズ基材上に機能性膜を形成するための成膜材料または該成膜材料を用いて形成された機能性膜の性能評価方法。前記評価される性能は、上記機能性膜表面の滑り感および上記機能性膜の密着性からなる群から選ばれ、上記成膜材料または上記機能性膜にＸ線を照射することにより発生する光電子量の経時変化に基づき、前記評価を行う。 （もっと読む）

【課題】核燃料棒上のクラッドの分析を遂行する方法の提供。
【解決手段】核燃料棒上のクラッドフレークの断面の分析方法であって、該フレークの結晶のモルホロジーを決定し、該フレークの結晶のサイズを決定し、該フレークの様々な場所における該フレークの元素分布を相関させ、しかもこれらの分布はエネルギー分散型分光器が取り付けられた走査電子顕微鏡でもって得られ、該元素分布により該結晶中の化学元素を決定し、そして鉄濃縮の減損並びに亜鉛及びケイ素の濃縮を該結晶のサイズ及びモルホロジーと相関させることを含む方法。 （もっと読む）

【課題】半田中のカドミウム濃度を蛍光Ｘ線で正確に分析する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】蛍光Ｘ線を用いた半田中のカドミウム濃度の分析方法で、銅基材の表面に半田の薄膜を付着させ、半田の薄膜中のカドミウム濃度を蛍光Ｘ線で分析する。なお、半田の薄膜は、膜厚が５〜５０μｍであることが好ましい。銅基材の表面に付着させた半田の薄膜を蛍光Ｘ線で分析するため、半田中のカドミウム濃度を正確に分析することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はオージェ像収集方法及び装置に関し、Ｓ／Ｎ比のよいオージェ像を得ることを目的としている。
【解決手段】試料３に電子ビームを照射し、該試料３の表面から放出される二次的電子を分光器４によりエネルギー分光し、該分光した各エネルギーの二次的電子を検出器４ｂによりカウントするようにしたオージェ電子分光装置であって、前記検出器４ｂを複数用意し、前記異なるエネルギーの電子を同時にカウントするようにしたオージェ電子分光装置において、前記複数の検出器４ｂによりカウントされたデータに基づいて、エネルギー値毎に各検出器（チャネル）のカウント数のテーブルを作成し、該テーブルを用いてピークのチャネルとバックグラウンドのチャネルの組み合わせと、各組み合わせのＳ／Ｎ比を求め、最もＳ／Ｎ比が高い組み合わせを選択してピーク強度を算出するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 主成分の数を間違って設定して多変量カーブ分解を行うと、評価対象物の情報を反映した妥当な解析データを得ることができない。
【解決手段】 複数の標本の原初スペクトルデータを主成分分析することにより、複数の暫定主成分スペクトルを求める。暫定主成分数を変えて、暫定主成分スペクトルの中から、寄与率の大きなものから順番に暫定主成分数の暫定主成分スペクトルを抽出する。抽出された暫定主成分スペクトルに基づいて計算された標本のスペクトルデータと、原初スペクトルデータとの差分スペクトルを、暫定主成分数ごとに求める。差分スペクトルに関連する情報エントロピーと、暫定主成分数との関係に基づいて、原初スペクトルデータの主成分数を決定する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線吸収部に対し試料部を相対的に移動することのできる明瞭なイメージ画像を得る。
【解決手段】干渉性Ｘ線が発せられるＸ線源と、Ｘ線源からのＸ線をコリメートするコリメータと、Ｘ線を吸収又は反射する材料により形成されており、Ｘ線の可干渉となる位置に設けられた参照穴及び透過窓とを有し、コリメートされたＸ線が照射されるＸ線吸収部と、透過窓を透過したＸ線が照射される位置の支持膜に試料が設置された試料部と、試料により生じる散乱Ｘ線と、参照穴を通過したＸ線との干渉により生じたホログラムを検出する検出器と、検出器により得られたホログラムに基づき試料の内部構造のイメージ画像を得るためフーリエ変換を行う処理部と、を有し、試料部は、Ｘ線吸収部に対し相対的に移動させることができるものであって、試料部とＸ線吸収部とが接触、または、試料部とＸ線吸収部との間隔が４０μｍ以下となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物から放出された光電子のエネルギースペクトルを短時間に正確に取得することができるＸ線光電子分光装置およびＸ線光電子分光方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１０から出力されたＸ線３の照射により測定対象物２で発生した電子４が電子レンズ２０およびエネルギー分析器３０を経て検出器４０に到達したときに検出器４０により得られたエネルギースペクトルを、電子レンズ２０による電子４の減速が調整されて測定対象物２のフェルミ準位よりも低束縛エネルギー側にある禁止帯に相当する帯域のものとして検出器４０により得られたエネルギースペクトルに基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線レンズの集中スポットを小さくすることなく、蛍光Ｘ線分析の空間分解能をより向上させることができる蛍光Ｘ線検出装置及び蛍光Ｘ線検出方法を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線検出装置は、Ｘ線管（Ｘ線源）１１からの一次Ｘ線を集中スポット（第１空間）に集中させる第１Ｘ線レンズ１２の焦点の位置と、取り込みスポット（第２空間）からの蛍光Ｘ線を集光してＸ線検出器（検出手段）２１に検出させる第２Ｘ線レンズ２２の焦点の位置とを、集中スポット及び取り込みスポットが重なる範囲内で離隔してある。集中スポットと取り込みスポットとが重なった検出領域からの蛍光Ｘ線のみが検出され、検出領域の大きさが空間分解能となる。集中スポットの大きさが空間分解能となる従来の蛍光Ｘ線検出装置に比べて、蛍光Ｘ線分析の空間分解能を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】標準物質を使用せず、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線６の強度を検出する検出手段９と、試料Ｓを測定位置に移動させる試料移動手段８と、試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点に１次Ｘ線２を照射させて検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを試料Ｓの各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】例えば数ＭｅＶ以上の高エネルギーのＸ線であって、かつ異なるエネルギーのＸ線を従来よりも安価に発生させる。
【解決手段】Ｘ線源１と、該Ｘ線源１から出射されたＸ線の特定スペクトル成分の透過を阻止することにより異なるスペクトルの検査用Ｘ線を出射するＸ線透過手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼材料に含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を測定すること。
【解決手段】電子線源２が、鉄鋼材料Ｓに電子線Ｅを照射する。ＷＤＸ３が、電子線Ｅの照射に伴い発生するＸ線を検出することによって、鉄鋼材料Ｓに含まれる主成分元素以外の低濃度元素の分布状態を測定する。ＥＤＸ４が、Ｃｒ箔からなるフィルター７を透過したＸ線を検出することによって、主成分元素以外の高濃度元素の分布状態を測定する。これにより、鉄鋼材料Ｓに含まれる主成分元素以外の高濃度元素と低濃度元素との分布状態を同時、且つ、高精度に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】内部の雑音を低減した多重エネルギ撮像データを得る。
【解決手段】ＣＴシステム（１０）が、走査対象（２２）を収容する開口（４８）を有する回転式ガントリ（１２）と、制御器（２８）とを含んでおり、制御器（２８）は、第一の時間的期間（４５４）にわたり第一のｋＶｐ（４５２）を印加し、第一の時間的期間（４５４）とは異なる第二の時間的期間（４５８）にわたり第二のｋＶｐ（４５６）を印加し、第一の時間的期間（４５４）の少なくとも一部の間に第一の非対称型ビュー・データ集合（５５０）を取得し、第二の時間的期間（４５８）の少なくとも一部の間に第二の非対称型ビュー・データ集合（５５４）を取得して、取得された第一及び第二の非対称型ビュー・データ集合（５５０、５５４）を用いて画像を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】対象物の元素組成を同定する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、選択されたエネルギー範囲を獲得するために少なくとも１つのエネルギー選択規準に応じて照射エネルギー範囲のエネルギー範囲を選択するステップ（２１０）と、選択された元素を獲得するために、少なくとも１つの元素・選択規準に応じて、対象物の分析が実行される純粋な元素及び／又は化合物を選択するステップ（２１５）と、選択されたエネルギー範囲に応じて、選択された純粋な元素及び／又は化合物の吸収係数を決定するステップ（２２０）と、選択された純粋な元素及び／又は化合物の積分密度を決定するステップ（２３０）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被洗浄基板の洗浄水中の不純物が被洗浄基板の汚染に及ぼす影響を評価する方法を提供する。
【解決手段】被洗浄基板としてのシリコンウエハの表面の汚染は、シリコンウエハ上に存在するＳｉＯＨに由来するＯＨ基が吸着活性点となり、ここ金属含有成分、有機物等が吸着することにより生じる。そこで超純水製造システム１を基本システムとして洗浄した後のＳｉＯＨ（ＯＨ基）の量と、シリコンウエハの洗浄条件や水質条件等の洗浄処理条件を変動させて洗浄した後のＳｉＯＨの量とを測定し、両者の比に基づき最適な水質を設定し、さらに当該設定水質の超純水を供給し得る最適なシステム設定となるように基本システムを組み換えたり、基本システムの構成要素の仕様を変更したりする。 （もっと読む）

【課題】バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離を図ること。
【解決手段】典型的なバックグラウンド波形と強度を求めたい蛍光Ｘ線ピーク波形とそのピークの周辺にあり検出された複数の蛍光Ｘ線ピーク波形を使い、測定された波形を良く再現するようにバックグラウンド波形と蛍光Ｘ線ピーク波形の強度を変化させる。そして、出来上がったスペクトルから、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）