【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折させてスペクトルを採取するシステムにおいて、採取スペクトルの各ピークが、測定対象であるか、カソードルミネッセンスや高次線の複合ピークであるかの情報を提供する。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部１０と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子５０と、前記回折格子で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサ６０と、前記回折Ｘ線のイメージのエネルギー分散方向を測定長手方向として前記イメージセンサに隣接して配置され、エネルギー設定範囲において前記回折Ｘ線を検出するシンチレーションカウンタ７０と、前記イメージセンサで検出された前記回折Ｘ線のスペクトルを分析すると共に、前記シンチレーションカウンタの検出結果を参照し、前記スペクトルのピークの内容を分析する分析部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】結晶構造を有する試料から発生する散乱線および不純線を抑制し、回折Ｘ線を回避することができるＸ線分析装置および方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線分析装置は、試料Ｓを試料の所定点周りに３６０°回転させながら１次Ｘ線２を照射させて取得した回折パターンを記憶する制御手段１５と、試料ＳのＲ−θ座標において試料の測定面上に位置することができる試料の平行移動範囲の上下限値のθ座標を、演算および／または記憶する演算記憶手段１７と、演算および／または記憶されたθ座標の上下限値、および回折パターンに基づいて、隣り合う間隔がθ座標の上下限値範囲内の角度であって、回折Ｘ線を回避できる回避角度を選択するための選択手段とを備え、制御手段１５が試料の測定点の座標に応じて、回避角度の中から測定点の座標に最も近い回避角度を読み出して、読み出した回避角度に試料を設定する。 （もっと読む）

【課題】設計データを制約条件として用い単調なパターンでも精度の良い連結画像を生成することを目的とする。設計データと画像データとのマッチングで大まかに基準位置を求めて、設計データとのズレ量を検索範囲として、隣接画像間でのマッチングを行い高速で精度の良い連結画像を生成する。
【解決手段】本発明の画像生成方法は、走査型電子顕微鏡を用いて電子デバイスパターンを検査する画像生成方法であって、電子デバイスパターンのレイアウト情報が記述された設計データを入力して記憶した設計データファイルと、撮像位置を変えて前記電子デバイスパターンを撮像して得た複数枚の分割画像データと、前記複数枚の分割画像データと前記設計データファイルの設計データとを用いて前記複数枚の分割画像データを１枚の画像に連結する画像連結手段とで構成される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の被検知物による吸収情報と位相情報とを、分離して独立した情報として取得するＸ線装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線装置であって、Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子と、分割素子により分割され、被検知物を透過したＸ線の位相変化によるＸ線の位置変化量を、Ｘ線または光の強度変化量に換えて、Ｘ線または光の強度を検出する検出手段と、検出手段から得られたＸ線または光の強度から被検知物の吸収情報であるＸ線透過率像と、位相情報であるＸ線微分位相像またはＸ線位相シフト像を演算する演算手段と、を有し、分割素子は、Ｘ線を分割することにより検出手段において２以上の幅を有するＸ線を照射する構成を備え、演算手段は、検出手段におけるＸ線の位置変化量とＸ線または光の強度変化量との相関関係が２以上の幅を有するＸ線間で異なることに基づいて演算する構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】蛍光X線二次元分析のための、空間分解能の高いＸ線用二次元分光素子及び二次元分布測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線用二次元分光素子は分光素子を二次元に配置し、１つの面がＸ線入射面、他方の面がＸ線出射面となり、内面にＸ線分光用多層膜をもつ複数のセルがＸ線入射面からＸ線出射面に延びているので、Ｘ線入射面から入射した二次元X線の回折X線が入射Ｘ線の位置分解能を保ったままＸ線出射面から出射し、高い空間分解能の二次元分布画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数種類の計測方法を組み合わせることにより、検査可能な試料を制限することのない試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料検査装置は、入射部１１、反射光受光部１２及び分析部１３（エリプソメータ部）と、Ｘ線源２１、蛍光Ｘ線検出部２２及び分析部２３（Ｘ線測定部）と、レーザ光源３１、ビームスプリッタ３４、ラマン散乱光検出部３２及び分析部３３（ラマン散乱光測定部）とを備える。試料６に応じた適切な手法を用いて試料の厚みの計測が可能である。またエリプソメトリ及び蛍光Ｘ線分析を組み合わせることにより、試料６の厚みと屈折率等の光学特性とを独立に計測することができる。また試料６が多層試料である場合は、各層を適切な試料で検査することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の電気特性を測定する場合に、検査対象の電気特性に影響を与えることなく、ＳＥＭ画像の高倍率化、高分解能化及びリアルタイム性を実現する。
【解決手段】試料上の検査対象における目標位置の像を含む高画質且つ高倍率の第１の画像を取得する。次に、試料上の検査対象における目標位置の像とプローブの像を含む低画質且つ低倍率の第２の画像を取得する。次に、第２の画像に第１の画像データを組み込むことによって、第２の画像の倍率と同一の倍率の粗寄せ観察用の画像を生成する。プローブが検査対象における目標位置に近接するまで、粗寄せ観察用画像の生成を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能な、紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置を用いた治療器を提供する。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子２０の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片２５へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止し、かかるＸ線発生装置とともにＸ線照射部位から放出される各種の光を検出する検出器を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、幅広いエネルギー領域の測定を行う。
【解決手段】試料に対して電子線を照射する電子線照射部と、電子線が照射された前記試料から放出される特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子と、前記回折Ｘ線のエネルギー分散方向と直交方向の複数の位置に前記回折Ｘ線の結像面を振り分けるように前記回折Ｘ線の進行を振り分けるスプリッタと、前記スプリッタにより振り分けられた複数の結像面のそれぞれに配置された異なるエネルギー感度特性の複数のイメージセンサと、を有する。 （もっと読む）

【課題】電子線を照射した試料からの特性Ｘ線を回折格子により回折させてイメージセンサでスペクトルを採取するシステムにおいて、回折格子やイメージセンサに入射するＸ線の比率を大きくする。
【解決手段】試料２０に対して電子線を照射する電子線照射部１０と、電子線が照射された前記試料２０から放出される特性Ｘ線を集光させて回折格子５０に導くＸ線集光ミラー３４と、前記Ｘ線集光ミラー３４により集光された特性Ｘ線を受けて回折Ｘ線を生じさせる回折格子５０と、前記回折格子５０で生じた回折Ｘ線を検出するイメージセンサ７０と、を有し、前記Ｘ線集光ミラー３４の位置もしくは角度を調整するＸ線集光ミラー調整部３２を有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で高精度のＮＲＦ分析を行う。
【解決手段】電子加速装置１１１によって、高エネルギーまで加速された電子線１１２が図中右方向に放射される。一方、レーザー光源１２によって発せられたレーザー光１３は、回転式波長板１４を透過し、反射鏡１１３で反射され、電子線１１２中の高エネルギー電子と正面衝突するように設定される。レーザー光１３はＬＣＳガンマ線１５となり、図中右側に発せられる。試料１００における原子核は、このＬＣＳガンマ線１５を吸収し、核共鳴散乱によって、ＮＲＦガンマ線２１を発する。このＮＲＦガンマ線２１は、ＮＲＦガンマ線検出器（ガンマ線検出部）２２で検出される。回転式波長板（偏光方向切替部）１４は、垂直偏光されたレーザー光１３の偏光方向を制御する。特に、レーザー光１３の光軸を変えずに、その偏光方向を垂直な２方向に制御する。 （もっと読む）

【課題】人力で保持可能で、測定位置の画像確認が可能な可搬型Ｘ線回折計測装置を提供する。
【解決手段】
可搬型Ｘ線回折装置を、平行なＸ線を試料に斜め方向から照射するＸ線照射手段と、このＸ線照射手段によりＸ線が照射された試料で回折したＸ線のうち平行な成分の回折Ｘ線を集光して検出する回折Ｘ線検出手段と、回折Ｘ線を検出した前記回折Ｘ線検出手段から出力される信号を処理する信号処理手段とを備えて構成し、平行な連続波長のＸ線を試料に照射し、このＸ線が照射された試料で回折した回折Ｘ線から平行な成分を抽出してこの抽出した回折Ｘ線の平行な成分を集光し、この集光した回折Ｘ線をエネルギー分散型の検出素子で検出し、この検出素子で検出して得た信号を処理するＸ線回折方法とした。 （もっと読む）

【課題】石灰中の強熱減量の含有率を短時間で精度よく求めることができるＸ線分析方法およびその装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析方法は、強熱減量の含有率が既知の石灰からなる標準試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し、前記標準試料Ｓから発生するコンプトン散乱線６の強度を検出し、検出したコンプトン散乱線６の強度と強熱減量の含有率との相関を示す強熱減量の検量線を作成し、石灰からなる未知試料Ｓに１次Ｘ線２を照射し、前記未知試料Ｓから発生するコンプトン散乱線６の強度を検出し、前記強熱減量の検量線を用いて前記未知試料Ｓ中の強熱減量の含有率を求める。 （もっと読む）

【課題】アスベスト含有材料の無害化処理時に到達した加熱温度を正確かつ容易に評価することができる加熱温度判定方法を提供する。
【解決手段】アスベスト含有材料を加熱して無害化処理するにあたり、クリソタイルとカルシウムとを含むアスベスト含有検体を加熱して得られるオケルマナイト生成量と加熱温度との関係に基づいて、アスベスト含有材料が無害化処理時に到達する加熱温度を判定する。例えば、オケルマナイト生成量はＸ線回折によって測定される。 （もっと読む）

【課題】銅を高濃度に含有する溶液であっても、蛍光Ｘ線分析装置によって正確に銅を定量することができる銅の定量方法を提供する。
【解決手段】銅を含有する硫酸酸性溶液を、吸湿性を有する吸湿性部材に滴下して蛍光Ｘ線分析装置を用いて銅を定量する分析方法であって、硫酸酸性溶液は、銅濃度が、硫酸酸性溶液を吸湿性部材に滴下して乾燥させたときに、吸湿性部材表面に銅化合物が析出しない濃度となるように希釈されている。硫酸酸性溶液中の銅濃度が、吸湿性部材の表面に銅化合物が析出しない濃度に調整されているので、吸湿性部材の表面に銅化合物が存在することに起因する測定誤差や析出した銅化合物の剥離等に起因する測定誤差の発生を防ぐことができる。吸湿性部材の表面に銅化合物が析出しないので、同一の吸湿性部材を繰り返し測定する場合において、定量される銅の測定値が変化することを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、導電性層と有機層との界面近傍の化学状態および／または電子状態の評価方法に関する。本発明は、導電性層と有機層のいずれも１５ｎｍ程度以上の厚さである場合においても、導電性層と有機層との界面の、化学状態または電子状態の評価が可能となる方法を提供する。
【解決手段】評価対象の試料が導電性層と有機層を有し、該導電性層と該有機層の界面に硬Ｘ線を照射することにより発生する光電子のエネルギーを測定することによる該導電性層と該有機層との界面近傍の化学状態および／または電子状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】試料の先端部分が破損し難く、且つ、（メッシュが搭載される試料ホルダの窪み（凹部）形状を専用形にすることが不要な）汎用性の高い、試料保持用のメッシュ、及び元素分析方法を提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡に用いられるリング状平板形状を有する試料保持用メッシュ１４において、前記リング状平板の上面に設けられた溝２２により、前記リング状平板を第１および第２の半リング状平板形状に２分して形成された第１および第２のメッシュと、を有し、前記第１および前記第２のメッシュからなる前記リング状平板形状の前記第１のメッシュ上に試料を搭載した状態で、前記第２のメッシュを前記溝から前記リング状平板の下面方向に折り曲げて、前記第１のメッシュの下面側に折りたたむことができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で重元素に対する組成分析を行う。
【解決手段】レーザーコンプトン光１００が試料２００に照射される。このレーザーコンプトン光１００及びこのレーザーコンプトン光１００が試料２００を透過した後の透過光１１０がＸ線検出器１２０で検出され、その検出信号がデータ処理部１３０で処理される。このレーザーコンプトン光発生装置２０は、準単色あるいは単色のＸ線をレーザーコンプトン光１００として出力する。ここでは、周回軌道で加速された高エネルギー電子２１とレーザー光２２とが衝突部２３で衝突する設定とされる。レーザー光源２９から発せられたレーザー光２２は、交差角調整部３０でその交差角が制御され、衝突部２３に導入され、高エネルギー電子２１と衝突する。交差角調整部３０によってこの交差角を制御することによって、レーザーコンプトン光１００のエネルギーを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線回折装置において異なる波長のＸ線に基づいた測定データを１回の測定によって同時に取得できるようにする。異なる波長の回折線のデータを２次元検出器の受光面の全領域を使って取得することを可能とする。
【解決手段】Ｘ線発生源２から発生した特性Ｘ線を試料３に照射し、試料３で回折した特性Ｘ線をＸ線検出部器６のＸ線検出部１３によって検出する波長分別型Ｘ線回折装置１である。Ｘ線発生源２は、原子番号が異なる複数の金属によって構成され、それぞれの金属から互いに波長が異なる複数の特性Ｘ線を発生する。Ｘ線検出部１３は、それぞれがＸ線を受光してＸ線の波長に対応したパルス信号を出力する複数のピクセル１２で構成される。ピクセル１２のそれぞれに付設されておりピクセル１２の出力信号を特性Ｘ線の波長ごとに分別して出力する分別回路が設けられている。個々のピクセル１２において波長別にＸ線強度を検出する。 （もっと読む）