【課題】短時間で容易に試料の薄片部を形成することができる加工方法を提供する。
【解決手段】本実施形態の加工方法は、平坦化工程（ステップＳ１）および薄片部形成工程（ステップＳ２）を順に行うことで、試料１Ｂの薄片部１３を形成することができる。薄片部形成工程（ステップＳ２）では、試料の平坦面１１の下部に対して、集束イオンビーム装置から出力された集束イオンビームが平坦面１１に平行な方向に照射される。集束イオンビームの照射により試料がスパッタエッチングされて、平坦面１１に対向する対向面１２が形成される。これにより、平坦面１１と対向面１２とに挟まれた薄片部１３を有する試料１Ｂが作成される。 （もっと読む）

【課題】分析チャンバ内の雰囲気をヘリウムガスで置換する際のヘリウムガス消費量を低減可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】
蛍光Ｘ線分析装置において、試料Ｓに一次Ｘ線を照射するＸ線源１２と、前記一次Ｘ線の照射により試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器１３と、前記一次Ｘ線と蛍光Ｘ線の光路を内包する分析チャンバ１０と、分析チャンバ１０内にヘリウムガスを導入するヘリウムガス導入手段１７と、分析チャンバ１０内のヘリウムガス濃度を測定するヘリウムガス濃度測定手段１８と、ヘリウムガス濃度測定手段１８によるヘリウムガス濃度の測定結果に基づき、分析チャンバ１０内のヘリウムガス濃度が予め定められた目標値となるようにヘリウムガス導入手段１７を制御する制御手段３１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】加速器施設を用いることなく材料内部の非破壊成分分析を行うことを可能とする、非破壊成分分析装置を提供する。
【解決手段】宇宙線ミュー粒子Ｍが入射して停止したことを検出するための入射検出手段１と停止検出手段２と、特性Ｘ線Ｘのエネルギーを測定するＸ線エネルギー測定手段３とを備えた。入射検出手段１と停止検出手段２により宇宙線ミュー粒子Ｍが試料Ｓの内部に入射して停止したことを検出し、Ｘ線エネルギー測定手段３により試料Ｓの内部から出てくる特性Ｘ線Ｘのエネルギーを測定することにより、加速器施設を用いることなく、宇宙線ミュー粒子を用いて材料内部の非破壊成分分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】屋外に配置されている構造物の表面に付着している物質の正確な量がより簡便に分析できるようにする。
【解決手段】ステップＳ１０１で、屋外に配置された測定対象となる構造物の表面に直接Ｘ線を照射する。次に、ステップＳ１０２で、元素の蛍光Ｘ線測定を行い元素の第１蛍光Ｘ線強度を得る。次に、ステップＳ１０３、Ｘ線の吸収量が既知の基材に対象となる元素が既知の含有量で含まれている内標準試料を構造物に重ねた状態で、内標準試料を通して構造物の表面にＸ線を照射する。次に、ステップＳ１０４で、元素の蛍光Ｘ線測定を行い上記元素の第２蛍光Ｘ線強度を得る。 （もっと読む）

【課題】容易に精度良く鋼種判定を行うことができる断面略円形の鋼材の鋼種判定方法を提供する。
【解決手段】鋼種判定方法は、Ｘ線を照射する照射部２１及び蛍光Ｘ線を検出する検出部２２を具備した測定部２を、予め定めた分析必要時間だけ鋼管４の外周面に沿って鋼管４に対して相対移動させながら照射部２１からＸ線を鋼管４に照射すると共に鋼管４から放射される蛍光Ｘ線を検出部２２によって検出する検出ステップと、検出ステップによって検出された蛍光Ｘ線に基づいて鋼管４の組成を算出する算出ステップと、算出ステップによって算出された組成によって鋼管４の鋼種を判定する判定ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】アッテネータのみを移動させるだけの簡単な構造でコストダウンを図り、試料の測定領域の面積を可変して精度のよい分析ができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線４を検出する検出手段９と、試料を回転させる試料回転手段１０とを備え、試料を回転させながら試料から発生する２次Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線分析装置であって、試料と検出手段９との間に配置され、所定の半径の仮想円３０内に２次Ｘ線を通過させる複数の絞り孔３２を有し、仮想円３０を通して検出手段９が見込む試料領域から発生する２次Ｘ線４を複数の絞り孔３２によって通過させるアッテネータ３と、アッテネータ３を移動させるアッテネータ移動手段１１とを備え、アッテネータ３の移動距離Ｘに応じて、２次Ｘ線４が検出される試料の測定領域の面積が可変である。 （もっと読む）

【課題】 トールボット干渉法において、従来よりも回折格子及び遮蔽格子の移動の調整が容易で、かつ被検体に対して入射する光の入射方向の変化による位相像のぼけを抑制して縞走査法を行うことができる撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置１は、光源からの発散光を回折することで干渉パターンを形成する回折格子３１０と、干渉パターンの一部を遮蔽する遮蔽格子４１０と、遮蔽格子を経た光を検出する検出器５１０と、回折格子３１０及び遮蔽格子４１０を移動させる移動手段１０１０と、を備え、移動手段１０１０は、回折格子３１０及び遮蔽格子４１０が相対移動しないように回折格子３１０及び遮蔽格子４１０を移動させることで、干渉パターン及び遮蔽格子４１０を相対移動させ、検出器５１０は、干渉パターン及び４１０遮蔽格子の相対移動に対応して、光を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象試料中に含まれる分析対象元素が極めて微量であっても、その分析対象元素の構造解析を従来よりも正確に行うことができる構造解析方法を提供する。
【解決手段】分析対象元素に関するＸ線吸収スペクトルを得るための標準試料と、測定対象試料に含まれる分析対象元素の０．１〜１０倍の分析対象元素をマトリックス中に含む２次試料とを用意する。次いで、標準試料のＸ線吸収スペクトル（標準スペクトル）と、２次試料のＸ線吸収スペクトル（２次スペクトル）とを比較することで、測定対象試料における分析対象元素に関連する蛍光Ｘ線のエネルギー範囲である関心領域を決定する。そして、その決定した関心領域に基づいて測定対象試料のＸ線吸収スペクトルである目的スペクトルを求める。 （もっと読む）

【課題】基板上の単層もしくは多層構造体における１以上の層の厚さを決定するために、光電子分光法を使用する。
【解決手段】この厚さは、光子が衝突したときに当該構造体により放出される二つの光電子種、または他の原子特異的な特徴的電子種の強度を測定することによって決定されてよい。層の厚さに依存する予測強度関数が、各光電子種について決定される。二つの予測強度関数の比が定式化され、構造体の層の厚さを決定するために、この比が反復される。一実施形態に従えば、当該層の厚さを決定するために、一つの層からの二つの光電子種が測定されてよい。もう一つの実施形態に従えば、層の厚さを決定するために、異なる層または基板からの二つの光電子種が測定されてよい。 （もっと読む）

【課題】Ｆｅ化合物が形成されたＦｅ基材料において、Ｆｅ化合物中の元素比率が不明な場合でも非破壊で材料上のＦｅ化合物を確実に定量する。
【解決手段】Ｆｅ基材料１のＭｎ及びＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を測定する第１ステップと、Ｆｅ化合物２が表面に形成されたＦｅ基材料１のＭｎ及びＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を測定する第２ステップと、第１ステップで測定したＭｎ元素の蛍光Ｘ線強度と第２ステップで測定したＭｎ元素の蛍光Ｘ線強度からＦｅ化合物２によるＭｎ元素の減衰比を算出する第３ステップと、前記第３ステップで算出されたＭｎ元素の減衰比からＦｅ化合物２によるＦｅ元素の減衰比を算出する第４ステップと、前記第４ステップで算出されたＦｅ元素の減衰比から前記Ｆｅ化合物２から放出されたＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度を求める第５ステップと、前記第５ステップで求められたＦｅ元素の蛍光Ｘ線強度から前記Ｆｅ化合物を定量する第６ステップを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は水中の重金属イオンを検出する方法及び装置について開示したものである。
【解決手段】当該方法は、以下のステップを含むものである。（ａ）検出用材料を提供するステップ、上記検出用材料は親水層を備え、上記親水層の少なくとも一部は疎水層によって覆われ、上記疎水層は長鎖チオール、長鎖脂肪酸及びそれらの組み合わせから選択される長鎖化合物によって形成され、上記疎水層によって覆われた領域を検出区域とし、上記検出区域の表面と水との初期接触角は約１２０°以上であり、（ｂ）上記検出用材料の検出区域と検出対象水溶液とを接触させるステップ、（ｃ）検出対象水溶液と接触した後の上記検出用材料の検出区域の表面に疎水性―親水性変化が起きているかを判断するステップ、及び（ｄ）上記判断に基づき検出対象水溶液中において重金属イオンが存在するかを判断するステップ。 （もっと読む）

【課題】本発明はＥＰＭＡ(電子プローブマイクロアナライザ)におけるＸ線像データ処理方法及び装置に関し、異なるシーケンスで取得し位置ずれが存在しているＸ線像データ同士であっても、相関演算処理を正確に行なうことができるようにすることを目的としている。
【解決手段】 ＥＰＭＡを用いて試料の同一領域について異なるタイミングでそれぞれＸ線像のデータを取得して記憶する場合において、各タイミングで前記領域について２次電子又は反射電子検出に基づく電子像データを併せて取得して記憶し、異なるタイミングで取得した電子像データを比較して位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量に基づき、前記異なるタイミングで得た各Ｘ線像データに対して、各Ｘ線像データに共通して存在する領域を切り出す処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放射光装置（高エネルギー電子蓄積リング）等の大がかりな装置を用いることなく、比較的簡易な連続Ｘ線光源を用い、被測定物に含有される各元素の平均密度、全量等を非破壊で測定することのできる定量分析方法、及び、そのような定量分析方法を実施することのできる元素別定量分析装置を提供する。
【解決手段】炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性の軽元素からなり、冷陰極電子源から放出された電子が入射面に入射され、入射方向に対して前方にＸ線を放出するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備する連続Ｘ線光源と、エネルギー弁別型検出器とを用いて、被測定物のＸ線吸収スペクトルにおける含有各元素の吸収端ジャンプ量を求め、あらかじめ標準試料等で決定した元素別の質量吸収端ジャンプ係数と前記含有各元素の吸収端ジャンプ量に基づき、被測定物に含有される各元素について同時にＸ線透過経路上の面密度を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】様々な性状の試料の特定部分のみを非破壊かつ高精度で微量元素まで定量分析することができる定量分析方法を提供する。
【解決手段】試料中に含まれる特定の元素を定量分析する方法であって、試料に対してＸ線を波長掃引しながら照射し、ＸＡＦＳスペクトルを得るスペクトル取得工程と、得られたＸＡＦＳスペクトルを用いて仮想高エネルギー領域曲線を作成する仮想高エネルギー領域曲線作成工程と、得られたＸＡＦＳスペクトルを用いて仮想バックグラウンド曲線を作成する仮想バックグラウンド曲線作成工程と、仮想高エネルギー領域曲線と、仮想バックグラウンド曲線との差を用いて特定の元素を定量する解析工程とを含むことを特徴とする定量分析方法である。 （もっと読む）

【課題】高分子材料の劣化状態、特に表面状態の劣化状態について、詳細に解析できる劣化解析方法を提供する。
【解決手段】高輝度Ｘ線を高分子材料に照射し、Ｘ線のエネルギーを変えながらＸ線吸収量を測定することにより、高分子の劣化状態を解析する劣化解析方法に関する。 （もっと読む）

【課題】潤滑油の燃料油によるダイリューションの発生を早期に検出することができるエンジン用潤滑油のトレーサー物質検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本発明に係るエンジン用潤滑油のトレーサー物質検出装置４０Ａはディーゼルエンジン１０に供給される燃料油４３にトレーサー物質４４を供給するトレーサー物質供給ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を分取する潤滑油分取ラインＬ１２と、潤滑油分取ラインＬ１２で分取した潤滑油３２中に含まれるトレーサー物質４４を検知する分析装置４１と、を有し、分析装置４１で得られた分析結果から潤滑油３２中に燃料油４３が混入する希釈（ダイリューション）の発生の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】高エネルギーの電子蓄積リングのような大がかりな装置を用いることなく、所定値以上のエネルギー領域において特性Ｘ線の無い連続Ｘ線を発生することのできるＸ線放射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射装置は、炭素系冷陰極電子源、チタンよりも原子番号の小さい導電性軽元素ターゲットからなり、冷陰極電子源から放出された電子を入射するターゲット、及び、該ターゲットで発生したＸ線以外のＸ線を遮蔽する遮蔽部材を具備し、電子の入射方向に対して前方に放出するＸ線を利用することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被測定体（被測定物質）から試験片を切り出さなくても精度よく陽電子の消滅特性を測定する。
【解決手段】 陽電子消滅特性測定装置１０は、陽電子線源と、陽電子線源で生成された陽電子が消滅するときに発生する放射線を検出する放射線検出手段１４と、陽電子線源で生成された陽電子のうち被測定体に入射されなかった陽電子を検出する陽電子検出手段４０を有している。陽電子線源は、被測定体Ｓと陽電子検出手段とに挟まれた状態で配置されている。消滅特性算出手段５０は、放射線検出手段１４で検出される放射線のうち、陽電子検出手段４０で検出された陽電子が消滅したときに発生したと推定される放射線を除いて、被測定体Ｓ内における陽電子の消滅特性を算出する。 （もっと読む）

【課題】広い検出範囲面積を有しつつ複雑さ及び費用を抑えたＸ線検出器アセンブリを設計する。
【解決手段】Ｘ線検出器アセンブリ（８４）が、第一のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８６）と、第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（９０）とを含んでいる。Ｘ線検出器アセンブリ（８４）はさらに、Ｘ線透過方向にＸ線源（７４）から第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（９０）に向かって発散するＸ線を受光しないように第二のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８６）を遮断する第一の位置において第一のフラット・パネル型ディジタル投影検出器（８４）を整列させるように構成されている第一の検出器装着構造（８８）を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】機能性付与成分中に励起により蛍光Ｘ線を発生する元素が含まれていない場合であっても、非破壊で機能性付与成分の含有状態を容易に判定できる機能性多孔質体を提供する。
【解決手段】機能性付与成分として第一成分とトレース用成分としての第二成分とを多孔質体に同時に含有させてなる機能性多孔質体であって、前記第一成分と前記第二成分とは互いに相溶するか前記第二成分は前記第一成分と同時に溶媒に溶解され、前記第二成分には励起により蛍光Ｘ線を発生する元素が含有され、前記第二成分に含有される前記元素が前記第一成分に含有されず、かつ、前記第二成分中の前記元素が前記機能性多孔質体の表面からの蛍光Ｘ線分析による検出が可能な含有量で前記第二成分が該機能性多孔質体に含有されている機能性多孔質体。 （もっと読む）