【課題】バックグラウンド波形の急激に変化する偏曲点付近に存在するスペクトルであっても、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形の適当な分離を図ること。
【解決手段】典型的なバックグラウンド波形と強度を求めたい蛍光Ｘ線ピーク波形とそのピークの周辺にあり検出された複数の蛍光Ｘ線ピーク波形を使い、測定された波形を良く再現するようにバックグラウンド波形と蛍光Ｘ線ピーク波形の強度を変化させる。そして、出来上がったスペクトルから、蛍光Ｘ線ピーク波形とバックグラウンド波形を分離する蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 膜厚の厚みレベルに応じて効率よく、膜厚測定を行うことができる蛍光Ｘ線膜厚計及び蛍光Ｘ線膜厚測定法を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料上の照射ポイントに放射線を照射する放射線源と、試料から放出される蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出し、蛍光Ｘ線及び散乱Ｘ線のエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器と、信号を分析する分析器と、検出器に視野制限窓およびその位置調節機構と有し、測定する表面層の厚みレベルに応じてＸ線検出器の検出領域を視野制限窓により調整することを特徴とする蛍光Ｘ線膜厚計及び蛍光Ｘ線膜厚測定法。 （もっと読む）

【課題】屈折コントラスト法に替わるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】被検知物によるＸ線の位相変化を用いて撮像するＸ線撮像装置であって、Ｘ線発生手段１０１から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子１０３と、分割素子により分割されたＸ線の入射により第１の蛍光を生じる第１の蛍光体が複数配列された第１の蛍光体アレイ１０５と、第１の蛍光体アレイを透過したＸ線の入射により前記第１の蛍光とは異なるスペクトルを有する第２の蛍光を生じる第２の蛍光体が複数配列された第２の蛍光体アレイ１０６と、前記第１の蛍光と前記第２の蛍光を検出する検出手段１０７と、を有し、第２の蛍光体は、前記Ｘ線の入射位置の変化に応じて蛍光の発光量が変化する発光量勾配を有する。 （もっと読む）

【課題】海上や河川上に設けられたコンクリート構造物の内部状態を容易に非破壊検査する。
【解決手段】船体本体１と、検査線発生部５と、該検査線発生部５から入射した中性子線を検査対象物Ｒに対して走査状に照射する照射手段６と、中性子線が検査対象物Ｒによって回折されて得られる回折中性子線を照射手段６の走査位置に応じて検出する検出手段８と、該検出手段８から入力される回折中性子線の検出信号に基づいて検査対象物Ｒの走査位置における物質の格子定数ｄを算出する格子定数算出手段９と、各走査位置における検査対象物Ｒの格子定数に基づいて検査対象物Ｒの内部状態を可視化する可視化手段９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ２次元平面におけるナノサイズの粒子の大きさを測定するとともに、その粒子の２次元平面での平面的分布を測定するＸ線小角散乱測定装置を提供する。
【解決手段】本発明によれば，Ｘ線を放射するＸ線源と、Ｘ線源から放射されるＸ線を、単色化された平行光にして出射させるモノクロメーターと、出射されるＸ線が線状領域を照射するように、モノクロメーターのＸ線の出射領域を規定するスリットと、試料を搭載可能な平面ステージを前記試料がＸ線に照射される位置に搬送する搬送部と、Ｘ線の照射をうけた前記試料の線状領域から散乱されて形成されるＸ線散乱像を検出する２次元型検出器と、
を備え、前記搬送部が前記線状領域の長手方向と交差する方向に前記平面ステージを搬送するＸ線小角散乱測定装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】被検査物に不均一な分布の吸収がある場合においても、該被検査物におけるＸ線の透過率分布の影響を低減し、画質の良い位相像の撮像が可能となるＸ線撮像装置を提供する。
【解決手段】透過するＸ線によってタルボ効果により周期的な明暗パターンを形成する第１の格子と、
明暗パターンが形成される位置に配置され、明暗パターンの一部を遮光する第２の格子と、
Ｘ線強度分布を検出するＸ線強度検出器と、
Ｘ線強度検出器により検出されたＸ線の強度からＸ線の位相情報を取得する演算装置と、を備え、
第２の格子は明暗パターンの周期方向に対してそれぞれ逆方向の第１の遮光パターンによる第１の領域と第２の遮光パターンによる第２の領域を有し、
第１の領域と第２の領域を透過しＸ線の強度情報を用いて、前記被検査物におけるＸ線の透過率分布の影響を低減する演算を行なう。 （もっと読む）

【課題】生物試料のＸ線顕微鏡観察に好適なＸ線顕微鏡像観察用試料支持部材を提供すること。
【解決手段】試料支持部材（１０）は、窒化シリコン膜、カーボン膜、ポリイミド膜などの試料支持膜（１１）と、この試料支持膜の一方主面に設けられ荷電粒子の照射を受けて軟Ｘ線領域の特性Ｘ線を放射するＸ線放射膜（１３）と、試料支持膜（１１）の他方主面に設けられた金属膜であって吸着により観察対象試料（１）を固定する試料吸着膜（１２）とを備えている。生物試料の構成物質であるタンパク質は金属イオンに吸着し易い性質があるため、試料吸着膜（１２）を試料支持部膜（１１）の主面の一方に形成してこれに観察試料を吸着させるようにする。このような試料支持部材（１０）を用いれば、生物試料を含む溶液を試料吸着膜（１２）の上に滴下したり試料支持部材（１０）を収容したセル内に注入したりするだけで、観察試料を固定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】測定試料の結晶品質が著しく劣化し、ｔｗｉｓｔ分布に起因したピーク拡がりが著しく大きくなる場合にも、ｔｗｉｓｔ分布に起因したピーク拡がりを同定する結晶の構造解析方法を新たに提供する。
【解決手段】Ｘ線受光器１２の位置は固定し、試料１４のみを回転させるωスキャンモードを用いて、Ｘ線回折測定を行うことにより、横軸がスキャン角度Δθで縦軸がＸ線強度を表すｈｋｌ反射プロファイルを求め、求めたｈｋｌ反射プロファイルについて、再規格化工程、形状解析工程及び判定工程を適用して、ピーク拡がり形状が結晶のモザイク性により生じる局所的なｔｗｉｓｔ分布に起因して生じる形状か否か判定する。 （もっと読む）

【課題】 材料や複合電子部品などに含まれる有害物質の検査において、Ｘ線マッピング分析された画像から、正常か異常かを視覚的に判断することを可能とする、Ｘ線分析装置及びＸ線分析のマッピング方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線分析装置にて、予め正常であることが確認されている試料のＸ線マッピング像を参照マッピング像として取得しておく。検査する試料のマッピング分析を行い参照マッピング像と画素毎に差分を求め差分マッピング像を表示する。指定元素を基準より多く含まれる場所が、高輝度で表示されるため、異常個所を簡単に見つけることができる。 （もっと読む）

【課題】 フレッシュコンクリートやフレッシュモルタルに含まれるセメントの質量を、特に単位セメント量として簡易かつ一定の精度で推定する。
【解決手段】本発明においては、まず、採取されたフレッシュコンクリートから粗骨材を除去し、該粗骨材の質量Ｍgと残りのフレッシュモルタルの質量Ｍ_１とをそれぞれ計測し、フレッシュモルタルから水分を除去する(101〜103)。次に、モルタル乾燥試料の質量Ｍ_Tを計測して水分除去前後の質量差を（１）式で算出し(104)、モルタル乾燥試料に対して蛍光Ｘ線分析を行う一方、セメント単体及び細骨材単体に対して個別に蛍光Ｘ線分析を行う(106,107)。次に、(2a)及び(3a)を用いて、モルタル乾燥試料中のセメントの質量Ｍc及び細骨材の質量Ｍsを算出し(108)、Ｍc及びＭsを、粗骨材の質量Ｍg及び水の質量Ｍwとともに、（４a′）に代入することで、フレッシュコンクリートの単位セメント量Ｍcuを得る(109)。 （もっと読む）

【課題】窓フーリエ変換法を用いた解析において、解像度の更なる向上を図ることが可能となる位相情報の解析方法等を提供する。
【解決手段】光あるいはＸ線を含む波長の波の干渉によるモアレ像の周期的パターンを解析し、位相波面を含む位相情報を取得する位相情報の解析方法であって、
前記モアレ像の周期的なパターンの少なくとも一部を、窓関数によって窓フーリエ変換する工程と、
前記窓フーリエ変換されたモアレ像における、位相情報を担うスペクトルの情報と、前記位相情報を担うスペクトルの情報に重畳している位相情報を担っていないスペクトルの情報とを解析的に計算する工程と、
前記位相情報を担っていないスペクトルの情報を、前記位相情報を担うスペクトルの情報から分離し、前記位相波面を含む位相情報を取得する工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】試料の損失及び汚染を防止し、銀粉中の塩素を迅速かつ高感度に定量する方法を提供する。
【解決手段】銀粉試料を硝酸で溶解させる溶解工程（Ｓ１）と、溶解工程にて得られた溶液に所定量の臭化カリウム溶液を添加し、塩化銀を含む沈殿物を生成させる沈殿工程（Ｓ２）と、沈殿工程にて得られた沈殿物から塩素を定量する定量工程（Ｓ３）とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線検出装置に関し、Ｘ線透過膜に対して大きな圧力差を生じさせないようにしたＸ線検出装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料室とＸ線検出器との間に設けられたゲート弁３と、その一端が前記ゲート弁３に、他端がＸ線検出器の第１の容器Ａに接続されたベローズ１２と、その一端にＸ線透過膜７が形成された第２の容器Ｂと、該第２の容器Ｂ内に取り付けられたＸ線検出センサ１ａと、前記第１の容器Ａと第２の容器Ｂとで仕切られる空間を真空にする第１の非蒸発型ゲッター９と、前記第２の容器内を真空にする第２の非蒸発型ゲッター８と、前記Ｘ線検出器の空間をシールするＯリング１０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】４以上の元素を含む試料の相解析を効率良く行えるようにする。
【解決手段】相解析画面上に表示された２元散布図（又は３元散布図）上で、分析者がマウス操作等によりプロット点の集まり（クラスター）を異なる色の囲み線ａ、ｂ、ｃで指定すると、各囲み線内に含まれるプロット点は囲み線と同色に変更される（ａ）。同時に、相解析画面上に表示された分布図上では、散布図上のプロット点に対応した位置が同色で示される。したがって、分布図上でクラスターに対応する領域がそれぞれ異なる色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃで示される（ｂ）。表示される散布図が別の元素組合せのものに切り替えられても、分布図上の各位置に対応したプロット点に同じ色が与えられる（ｃ）。これにより、異なる元素組合せの散布図を関連付けることができる。また、異なる散布図上で指定したクラスターの位置を１つの分布図上で確認することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置等をはじめとする回路パターンを有する基板面に白色光、レーザ光、電子線を照射して検査し、検出された表面の凹凸や形状不良、異物、さらに電気的餡欠陥等を短時間に高精度に同一の装置で観察・検査し、区別する検査装置および検査方法を提供する。また、被観察位置への移動、画像取得、分類を自動的にできるようにする。
【解決手段】他の検査装置で検査され、検出された欠陥の位置情報をもとに、試料上の被観察位置を特定し、電子線を照射し画像を形成する際に、観察すべき欠陥の種類に応じて電子ビーム照射条件および検出器、検出条件等を指定することにより、電位コントラストで観察可能な電気的欠陥が可能になる。取得した画像は、画像処理部で自動的に分類され、結果を欠陥ファイルに追加して出力される。 （もっと読む）

【課題】外来電磁ノイズ（Ｎ）が真空断熱容器（２）の内部に侵入することを防止する。
【解決手段】真空断熱容器（２）の開口（２ａ）を着脱可能に塞ぐ蓋板（３）と真空断熱容器（２）の間に挟まって真空断熱容器（２）の内部を気密に封止する真空封止用リング（４）を設けると共に、真空断熱容器（２）と蓋板（３）の間に挟まって外来電磁ノイズが真空断熱容器（２）の内部に侵入するのを防止する外来電磁ノイズ遮蔽用リング（７）を設ける。
【効果】外来電磁ノイズが真空断熱容器（２）の内部に侵入して正常なＸ線検出が妨げられることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】試料が搭載される基板（基材）の元素と、試料に含まれる元素が同一でも、安定して、微小部分の成分計測が可能な微小部Ｘ線計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置と、放出されるＸ線を５０μｍ径以下の断面積に収束照射するＸ線光学素子と、蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器と、光学像を撮像可能な光学顕微鏡と画像認識機能を備え、試料を二次元で移動して位置決めが可能で、かつ、高さ方向にその位置調整が可能な試料相対移動機構とを備え、試料の特定位置における蛍光Ｘ線計測が可能であり、かつ、基材の上に置かれた測定試料からの蛍光Ｘ線も計測可能な微小部Ｘ線計測装置では、Ｘ線の照射位置と前記Ｘ線検出器との間の蛍光Ｘ線の光路を蛍光Ｘ線の減衰を抑制する構造（真空又はヘリウム置換）とし、かつ、基材上の測定試料が基材と同一の金属元素を含んでも、測定試料の同一の金属元素の含有が判定可能なデータ処理機能を備えたデータ処理部を備えている。 （もっと読む）

【課題】サンプリングレートを低減した多重エネルギー撮像を提供すること。
【解決手段】本開示は、単一エネルギー撮像で利用されるレートに匹敵するデータサンプリングレートを用いた２重エネルギーＸ線データ（６２、６４）の生成に関する。本技法によれば、従来の２重エネルギー撮像と比較して利用するｋＶｐ切替速度が低速となる。作成した画像において全角度分解能が達成される。 （もっと読む）

セキュリティ・チェックポイントで例えば手荷物容器の内容を点検するために、Ｘ線システムは、容器のＸ線透過スペクトルを決定して、スペクトルを参照データベースの周知の禁制品材料のスペクトルと比較する。異なるＸ線システム間のわずかな変化は、参照データベースが個々のＸ線システムに適していることを必要とする。本発明によれば、２つのＸ線システムＡ及びＢは、システムＡからシステムＢへの測定されたデータのコンバートのための伝達関数を産出するステップウェッジを利用して相互に校正される。 （もっと読む）