【課題】Ｘ線又は光学測定において迅速に、しかも空間分解能の高い二次元画像取得方法とその装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線による二次元画像測定装置に適用した形態では、二次元Ｘ線検出器と試料の間に２つの独立したコリメータを配置し、試料に近い側のコリメータで蛍光Ｘ線を二次元の平行光束とし、他のコリメータを経て検出器に導いて蛍光Ｘ線による二次元画像を得る。このとき、２つのコリメータのなす角度をＸ線全反射臨界角近傍で調整することにより、検出器に到達する蛍光Ｘ線のエネルギーを選別する。 （もっと読む）

放射線透過データおよび特に物体の画像を、構成要素の物質の相対的な比率についての一部のデータが導き出され得る方法にて取得するための方法および装置を記載する。放射線源のスペクトル内の複数の周波数全体に亘って透過強度を分解することができる放射線源および放射線検出器システムが、各々のこのような周波数についての透過強度データを生成するために用いられる。少数の予期される構成要素の物質のために、その構成要素の物質に関して、指数減衰法、すなわちｌ／ｌ_０＝ｅｘｐ［−（μ／ρ）ρｔ］によって与えられる関係に適合させ、かつ、構成要素の物質から、強度データアイテムを生成する透過経路内の各々の要素の物質の相対的な比率の指標を導き出すために、測定されたデータが、個々で、または集合的に、質量減衰データを保存する質量減衰データライブラリと数値的に比較される。画像は分解された透過強度データから生成されてもよい。 （もっと読む）

【課題】ナノビーム電子回折法の格子歪測定精度を向上し、結晶試料における局所領域の応力・格子歪を高精度に測定する。
【解決手段】回折スポット１４と透過スポット１５の間隔（あるいは異なる回折スポットの間隔）１６（Ｋ）と格子面間隔ｄとの間には、Ｋ＝１／ｄの関係がある。従って、スポット間隔Ｋの変化から格子面間隔の変化、すなわち格子歪を知ることができる。コンデンサレンズ絞り２を明瞭に観察することにより、回折スポット間隔の測定精度を高くする。この結果、格子歪の測定精度が向上する。そこで、電子回折図形を観察し記録するステップにおいて、コンデンサレンズ絞り２に焦点が合うように中間レンズ１１を調整する。これにより、結晶試料４における局所領域の応力・格子歪を高精度に測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の外周面に存在する不純物を簡易的に分析する方法を提供する。
【解決手段】測定対象となる半導体基板４を分割構造のステージ２で挟持し、半導体基板４の外周面とステージ２の外周面とで、半導体基板４の外周面を中心とする平坦部Ｆを形成する。半導体基板４の外周面とステージ２の外周面とで形成された平坦部ＦにＸ線を全反射条件で照射し、半導体基板４の外周面から発生した不純物の蛍光Ｘ線を検出する。蛍光Ｘ線の検出結果に基づいて半導体基板４の外周面の不純物による汚染状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線タルボ・ロー干渉計による高感度Ｘ線撮像法の分野において、安価に製作でき、高精度かつ高アスペクト比のマルチスリットを用いたＸ線撮像装置を提供する
【解決手段】Ｘ線発生源１は、必要量のＸ線を、スリット部材２に向けて照射する。スリット部材２は、Ｘ線の吸収量が低い低吸収材２１と、低吸収材２１よりもＸ線の吸収量が高い高吸収材２２とを備える。低吸収材２１と高吸収材２２とは、実質的に同じ方向に延長される。さらに、低吸収材２１と高吸収材２２とは、交互に、かつ、所定のピッチで積層されている。スリット部材２は、低吸収材２１及び高吸収材２２の延長方向が、Ｘ線発生源１から照射されるＸ線の進行方向と交差するように配置される。第一格子３は、スリット部材２を透過したＸ線を回折する。第二格子４は、第一格子３で回折したＸ線を回折する。Ｘ線画像検出器５は、第二格子４で回折したＸ線を検出する （もっと読む）

【課題】 解析対象領域の境界線の部分において結晶粒が時間の経過と共にどのように変化するのかを、従来よりも正確に解析できるようにする。
【解決手段】 境界点ｉ２１〜ｉ２４と隣接する点ｉ２５〜ｉ３４と、解析対象領域に対して線対称となる仮想点８１〜８８を設定し、これら境界点ｉ２１〜ｉ２４と、点ｉ２５〜ｉ３４と、仮想点８１〜８８とにより定まる円弧９１〜９８の曲率（曲率半径Ｒｉ（ｔ）の逆数）と、その境界点ｉが属する粒界ｕの単位長さ当たりの粒界エネルギーの大きさ（絶対値）γｉとの積に基づいて、境界点ｉの駆動力Ｆｉ（ｔ）の大きさを決定する。 （もっと読む）

【課題】試料の部分透視画像どうしを接合して全体透視画像を構築するに当たり、凹凸の存在する試料等であっても、従来に比して接合部分での像の繋がりをより良好なものとすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】互いに隣接する部分透視画像を接合する際、双方の部分透視画像について、相互に接合すべき辺の近傍領域の画素の輝度情報に基づいて、例えばその領域の輝度の平均値よりも明るい画素群等、当該領域の画素のうちの一部の画素の輝度情報を用いて、当該辺に沿った輝度情報の分布が双方の部分透視画像において互いに最も類似する箇所を、相互に接合すべき箇所と決定して接合することにより、凹凸の存在する試料等においては例えば試料厚さの薄い部分の像を主眼とした接合を実現し、全体透視画像上における像の接合の違和感をなくすことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の組成物質の測定を行う携行性に優れたエックス線分析装置を、鉛直面以外の面内にある被測定位置についても測定を行えるようにするエックス線分析装置用支持台を提供する。
【解決手段】 エックス線分析装置２の架台プレート27を傾斜台板11の表面に固定する。傾斜台板11はヒンジ部11dにより揺動可能に設け、傾斜台板11の裏面側にウォームギヤ13を設け、ウォームホイール13bに揺動アーム14の基端部を取付、先端部を傾斜台板11の裏面に摺動可能に連繋させる。ベースプレート23と傾斜台板11に取り付けたブラケット11cとに支持バネ33を掛け渡して、ベースプレート23が下降することを防止する。 （もっと読む）

【課題】数μｍ程度の電子ビームの位置の変動の影響を受けることなく、１０〜２０μｍφ程度の微小スポットの特性Ｘ線を低角度で安定して出射すること可能にしたＸ線発生装置を提供することにある。
【解決手段】内部を真空可能に構成した管本体と、該管本体内において電子ビームを発生する電子源と、前記管本体内に設けられ、前記電子源から出射される電子ビームが照射されることによりＸ線を発生するためのターゲット部材とを備えたＸ線発生装置において、
前記ターゲット部材３ａ、３ｂを、繰り返される複数の微小幅のストライプ状金属薄膜３２を基材３１、３１ａに埋め込んで形成し、前記電子ビームを前記特定のストライプ状金属薄膜に照射することにより前記特定のストライプ状金属薄膜から特性Ｘ線を低角度でＸ線窓１２を通して外部に出射するように構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】軽元素から成る微小な試料に対しても充分な高分解能、高コントラストを得ることができ、in-situの状態で試料を観察することができるＸ線顕微装置を提供する。
【解決手段】電子銃の電子源からの電子線をＸ線ターゲットに当ててＸ線を発生させるＸ線発生手段と、試料に照射されたＸ線の透過Ｘ線を撮像素子で撮像する撮像手段とを具備したＸ線顕微装置において、Ｘ線発生手段は波長０．１〜１．２ｎｍの長波長の特性Ｘ線を発生し、Ｘ線ターゲットを真空封止するＸ線透過窓基材はベリリウムで成り、Ｘ線透過窓基材の厚さが１０〜６０μｍであると共に、撮像手段の試料室が密封構成であり、試料室にガスを充填して試料の透過画像を撮像手段で得る。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に対応して検査時の画素サイズを小さくする必要がある場合にもスループットの低下を抑制する手段の提供。
【解決手段】回路パターンを有する被検査試料９に荷電粒子線を照射し、発生した信号から画像を取得し、この画像から回路パターンの欠陥を検出する検査方法及び検査装置において、被検査試料９に対して荷電粒子線を走査する方向の検査画素サイズと、被検査試料を載置して移動するステージ３１，３２，３３の移動方向の検査画素サイズをそれぞれ別個に設定して検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】１回の撮影で巻き込み巣と引け巣とを判別することができる成形支援装置を提供する。
【解決手段】鋳造支援装置２は、鋳型５１内に供給された溶湯が凝固して形成された鋳造品１２の撮影により得られた連続断面像の３次元データを記憶する主メモリ２４と、主メモリ２４上の３次元データから鋳造品１２の複数の巣を抽出する鋳巣抽出部４１と、抽出された複数の巣をそれぞれの形状に基づいて巻き込み巣と引け巣に分別する鋳巣分別部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】小さな欠陥をもより簡単で容易に欠陥を検出できる放射線透過試験方法、特に、管体と管板とを接続する溶接部の小さい欠陥をもより簡単で容易に検査できる放射線透過試験方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、管体端部の溶接部を放射線検査する方法において、鉛板を該管体先端部に挿嵌し、該管体端部とは反対側の方向から挿入した放射線源から放射線を照射して行うことを特徴とし、遮蔽プラグによる小さな欠陥が検出し難くなることや、種々の遮蔽プラグを準備しておく必要がなく、小さい欠陥をもより簡単で容易に検査できる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透視画像の画質の向上と検出部の解像度の向上とを図り得るＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物４にＸ線を照射する照射部１と、被検査物４を透過したＸ線を検出する検出部２と、これらの間を通過するように被検査物４を搬送する搬送部３とを備えたＸ線検査装置を用いる。検出部２には、入射したＸ線を電気信号に変換する変換層１１及び１２を含むＸ線検出素子（Ｘ線センサ１０）を備えさせる。Ｘ線検出素子における入射面の法線方向（ｚ´軸方向）は、Ｘ線６の照射方向（ｚ軸方向）と搬送方向（ｘ軸方向）とに平行なｚｘ平面内で、ｚ軸方向に対して傾斜させる。複数個のＸ線検出素子は、それぞれの入射面が、ｚ軸方向及びｘ軸方向に直交するｙ軸方向（紙面垂直方向）と、入射面内においてｙ軸方向に直交するｘ´軸方向とに沿ってアレイ状に並ぶように配置される。 （もっと読む）

【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物３に対して中性子を照射する中性子発生管１１と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器１３と、γ線検出器１３の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋９と周壁部７によって、手荷物３から発生するγ線を遮蔽する。手荷物３が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 （もっと読む）

【課題】多列の物品の検査における誤検査を防止する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、コンベア１２と、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、品質検査部２１ｃと、初期設定部２１ｂとを備える。コンベア１２は、左右方向に並ぶ３つの商品Ｇ１〜Ｇ３を所定の搬送方向に搬送する。左右方向とは、コンベア１２の搬送方向を基準とする。Ｘ線照射器１３は、商品Ｇ１〜Ｇ３に向けてＸ線を扇状に照射する。Ｘ線ラインセンサ１４は、商品Ｇ１〜Ｇ３を透過したＸ線を受光する。品質検査部２１ｃは、Ｘ線ラインセンサ１４が受光したＸ線の濃度値に基づいて、各商品Ｇ１〜Ｇ３を検査する。初期設定部２１ｂは、商品Ｇ１〜Ｇ３間の左右方向の適正な間隔を判断する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の検査エリアを高速に検査することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線を出力する走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３が取り付けられ、複数のＸ線検出器２３を独立に駆動可能なＸ線検出器駆動部２２と、Ｘ線検出器駆動部２２やＸ線検出器２３からの画像データの取得を制御するための画像取得制御機構３０を備える。走査型Ｘ線源１０は、各Ｘ線検出器２３について、Ｘ線が検査対象２０の所定の検査エリアを透過して各Ｘ線検出器２３に対して入射するように設定されたＸ線の放射の起点位置の各々に、Ｘ線源のＸ線焦点位置を移動させてＸ線を放射する。Ｘ線検出器２３の一部についての撮像と他の一部についての撮像位置への移動が並行して交互に実行される。画像制御取得機構３０はＸ線検出器２３が検出した画像データを取得し、演算部７０はその画像データに基づき検査エリアの画像の再構成を行なう。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像のぶれを防止し、物品の不良を精度良く検査することが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬送される物品の検査をＸ線画像Ｉに基づいて行う装置であって、検出部１７１と、制御部１７２とを備える。検出部１７１は、Ｘ線画像Ｉから物品の搬送速度に関するデータＤを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出されたデータＤに基づいて搬送速度を制御する。具体的には、検出部１７１は、データＤとしてＸ線画像Ｉでの物品の長さＬを検出する。制御部１７２は、検出部１７１で検出された長さＬを、物品の長さの実測値Ｌ０に漸近させる。 （もっと読む）

【課題】迅速性に優れたＸ線透視像を表示する検査装置でありながら、注目点の深さ方向（透視方向）への位置情報を得ることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検出器２と検査対象物Ｗとを相対的に傾動、回転もしくは移動させる前後で、Ｘ線透視像上で注目点Ｖを指示することにより、その注目点Ｖの透視方向への深さを算出する演算手段３０を備えるとともに、テーブル８に保持されている検査対象物Ｗを少なくとも透視方向に直交する方向から撮影する光学カメラ１０を設け、その光学カメラ１０により撮影された検査対象物Ｗの透視方向に直交する方向への外観像上に、演算手段３０で求められた注目点Ｖの透視方向への深さに対応する位置を重畳して表示することにより、Ｘ線透視像上の注目点Ｖの深さ情報をオペレータに知らせる。 （もっと読む）