【課題】オペレータに負担をかけることなく、また、複雑な処理を必要とすることなく、被検査物とＸ線発生装置等の装置側の構造物との衝突を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に配置されて被検査物Ｗを搭載する回転テーブル３ａには、取り付け用治具５０を介して被検査物Ｗを搭載するように構成するとともに、その取り付け用治具５０は被検査物Ｗの大きさに応じて複数種が用意され、回転テーブル３ａには、その取り付け用治具５０の種類を検知するためのセンサ６０ａ〜６０ｃを設け、その検知結果に基づき、テーブル３ａとＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の対との相対位置を変化させる移動ステージ３ｂの動作の範囲に制限を加えることで、被検査物Ｗの装置側の構造物に対する衝突を防止する。 （もっと読む）

【課題】既設の製造ラインへの適用を可能にすることが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部１２と、受光部１３と、本体１１と、支持部１４とを備える。照射部１２は、物品ＰにＸ線を照射する。受光部１３は、物品Ｐを透過したＸ線を受光する。本体１１には、Ｘ線の照射位置Ｐ１へと物品Ｐを搬送する搬送機構１６を取り付けることができる。支持部１４は、受光部１３を支持し、本体１１に対して上下に移動可能である。 （もっと読む）

【課題】オペレータが被検査物のＸ線透視像を目視で観察して、その被検査物の合否判定を行う装置において、不合格品が頻発する状態になっても処理レートが殆ど低下することがなく、しかも、不合格品が合格品として流出するこ恐れのないインラインＸ線透視目視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置２とＸ線ラインセンサ３よりも搬送方向下流側に振り分け装置９を配置し、オペレータの合否判定結果を入力する入力手段８による入力歩手用に基づき、その入力がなされた対象である被検査物Ｗが振り分け装置９の配設位置に搬送されるタイミングと合わせて当該振り分け装置９に対して駆動制御信号を供給することにより、オペレータによる合否判定の入力操作が種々に変化しても、該当の被検査物Ｗが合否判定結果に応じて振り分け装置９により確実に振り分けられることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】本発明に係る検出装置によれば、検出装置の有効な検出面積を増大させることにより、検出器の列数を有効に減少させて、検出装置のコストを下げることができる。
【解決手段】本発明は、スリップリングと、スリップリングに接続した放射線源と、放射線源に対向しスリップリングに接続した検出装置とを備えるＣＴ装置と、被検体を搬送する搬送装置とを備え、その中で前記検出装置はＮ列の検出器を備え、且つ、隣接する２つの列の前記検出器の間に所定の間隔を有し、その中でＮは１より大きい整数である、検査システムを提供する。本発明によるＣＴ装置では、ＣＴ装置の高速スキャン結像を実現し、ＣＴ装置と２次元画像を取得するためのスキャン結像装置とを同時に使用することが可能になるので、相互の不足を補うことができる。 （もっと読む）

【課題】迅速に３次元的な位置情報を得ることで効率的に精度の高い検査を行うことができるＸ線検査装置およびＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体ＳにＸ線を照射するＸ線源１１０と、被検査体ＳのＸ線透過像を、それぞれ異なる照射角度範囲で検出する複数の検出領域を有するＸ線検出器１４０と、被検査体を移動可能に支持する移動用ステージ１２０と、を備え、移動用ステージ１２０は、一つの被検査体Ｓに対し複数の照射角度範囲のＸ線透過像を検出できるように被検査体Ｓを移動させて、検査を行う。これにより、一つの被検査体Ｓについて、異なる照射角度範囲のＸ線透過像が得られ、複数のＸ線透過像から３次元的な位置情報を得ることができる。また、一回の検出で複数の検出領域についてＸ線透過像のデータを得て、効率的に精度の高い検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】電子源を有するX線発生装置で利用される電極、典型的にはアノードを提供する。
【解決手段】アノード電極は、筐体と、筐体に取り付けられたダイヤモンドメンバーと、ダイヤモンドメンバー上に設けられたターゲットとを有し、X線を発生させるため、使用時にターゲットには電子源由来の電子が衝突する。筐体とダイヤモンドメンバーとの間には接着層が設けられ、この接着層は９００℃未満の固相線、又は溶融点を有する合金から成る。特に望ましい合金は、銀と銅とインジウムを含むものである。かかる構成にすると、電極の構造を完全に保ちつつ、電極表面で発生する熱を消失させるのに役立つ。 （もっと読む）

【課題】
外乱等の影響に依らず、焦点等の調整が行われた高画質画像に基づく測定が可能な試料
の検査，測定方法を提供すること。
【解決手段】
焦点調整が行われた電子ビームを走査して、前記パターンを測定するための画像、或いは測定のための位置合わせを行うための画像を形成し、当該画像の評価値と、予め取得された参照画像の画像評価値を比較し、当該参照画像との比較によって、前記形成された画像が所定の条件を満たさないと判断される場合に、前記電子ビームの焦点調整を再度実行する方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】有機材料中の個々の結晶粒の分布状態を詳細に解析する。
【解決手段】始めに、樹脂材料１の表面上に結晶粒を分散させた有機材料２を蒸着法やスピンコート法等を用いて成膜する。次に、樹脂材料３により有機材料２表面を包埋する。次に、試料を厚みが３０ｎｍ以上１００ｎｍ以下の範囲内になるまで薄片化する。次に目的とする観察部位Ａの近傍領域Ｂにおいて透過電子顕微鏡を用いた観察のための試料高さ調整，電圧軸調整，非点収差補正調整，及びフォーカス調整を行った後、目的とする観察部位Ａを光軸中心に移動してフォーカス調整を行うことにより、透過電子顕微鏡を用いて薄片化された結晶粒分散有機材料を観察し、結晶粒分散有機材料中の結晶粒の分布状態や原子配列構造を解析する。 （もっと読む）

【課題】ハーフスキャンやヘリカルスキャンで得られる被検体からの透過データを用いて、短い計算時間で真の回転中心を求めることにある。
【解決手段】放射線源１と、被検体４を通して放射線ビームを検出する放射線検出器３と、この放射線ビームに対して被検体を相対回転させる回転手段５，１３と、１回転に満たない被検体の相対回転の間に得られる被検体の多数の透過データの集まりのサイノグラム上で回転の方向に連なる多数点での透過データの加算値と、仮想回転中心の設定により決まる前記多数点とそれぞれ逆向きの放射線経路をなす多数点での透過データの加算値との相関を仮想回転中心を変えながら求め、当該相関が最良となる仮想回転中心を回転中心とする回転中心求出部２０Ｂと、放射線検出器３で検出される多数の透過データから被検体の断層像を得る再構成部２０Ｃとを備えたコンピュータ断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】 同じ貨物を異なる撮像モードにより走査可能な装置を提供する。
【解決手段】 航空貨物コンテナ内の密輸品を調査する装置を開示する。装置は放射線源設置構造体及び検出器設置構造体を備え、それぞれ少なくとも１つの支柱アセンブリから構成される。放射線源及び検出器はそれぞれ支柱アセンブリ上に取り付けられ、支柱アセンブリに沿って同期して昇降可能である。支柱アセンブリは放射線源及び検出器を安定して取り付けることに使用される。ターンテーブル及び走査システムの異なる移動モードを組み合わせることにより、様々な走査モードにより対象物を走査することができる。 （もっと読む）

【課題】磁気ヘッドのリード素子の素子形状を評価する素子評価方法及び装置に関し、同一の評価試料によってリード幅、コア幅及び素子高さを評価しうる素子評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】第１の材料よりなる第１の部分と第２の材料よりなる第２の部分とが積層された第１の領域に電子線を入射し、第１及び第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第１の電子線強度を測定し、第１の材料よりなる第２の領域に電子線を入射し、第１の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第２の電子線強度を測定し、第２の材料よりなる第３の領域に電子線を入射し、第２の材料の構成元素の原子質量に依存したコントラストを示す第３の電子線強度を測定し、第１の電子線強度と第１の部分の厚さとの関係を、第２の電子線強度と評価試料の厚さとの関係及び第３の電子線強度と評価試料の厚さとの関係から算出することにより、第１の領域の第１の部分の厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部内又は狭隘部に連通した空間内にある検査対象物の正確な画像を得ることができる非破壊検査装置及び非破壊検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に移動自在に配置されて、その空間内にある検査対象物の一部に放射線を照射する放射線照射部（Ｘ線照射部１１）と、その空間内に移動自在に配置されて検査対象物の一部を撮像する放射線カメラ（Ｘ線カメラ２１）と、検査対象物の一部を撮像する際に放射線照射部と放射線カメラとが所定の距離を隔てて配置されるように制御し、且つ検査対象物の一部を撮像した後それら移動させて検査対象物の他の一部を撮像するように制御する制御部３０と、検査対象物の一部の画像のそれぞれを組み合わせて検査対象物全体の画像を得る画像合成部４０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】構造物の狭隘部に連通した空間内にある検査対象物を、その狭隘部の幅よりも広い範囲で撮像することができる放射線センサ及びその放射線センサを用いた非破壊検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
構造物の狭隘部２１０に連通した空間内に、検査対象物１００を挟んで検査対象物に向けて放射線を照射する放射線照射手段（Ｘ線照射手段１０）の反対側に配置され、検査対象物を透過した放射線を受けることにより検査対象物を撮像する放射線センサ（Ｘ線センサ２０）であって、放射線を検出する放射線検出器が長手方向に沿って列状に配置された棒状の放射線検出部（Ｘ線検出部２１）と、放射線検出器を支持して空間内に放射線検出部を支持するための棒状の支持部材と、放射線検出部と支持部材との間に設けられて支持部材に対する放射線検出部の角度を変更することができる接続部１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】放射線源と検出器が取り付けられたＣ型アームの回転角度に応じて生ずる透過像の位置ずれを補正して、分解能の高い検査画像を得る。
【解決手段】 放射線源１０１と検出器１０２との間に位置させて、校正ファントム１０４を支持構造部材１０３に着脱可能に取り付け、支持構造部材の予め設定された基準回転角度において検出器により取得された透過像を基準に、異なる回転角度における透過像の位置変化を求めて回転角度と透過像の位置ずれデータをデータベース１１５ａに格納しておき、被検体の検査実行時に、画像処理手段１１５はデータベースに格納された位置ずれデータに基づいて被検体の透過データを補正して検査画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】内容物の位置ズレを高精度に検出できる分包シート検査システム及び検査方法を提供する。
【解決手段】分包シートの外面に照射光を照射可能な光源と、前記光源から照射された照射光が分包シートの外面で反射された反射光を受けて映像信号を発生させる撮像手段４と、撮像手段４から出力される前記映像信号にエッジ強調処理を行なうことでシール部を強調するとともに、強調されたシール部において、分包シートの外端からポケット部とシール部との境界までの距離をシール長を計測するシール長計測装置６と、分包シートに照射するＸ線を照射可能なＸ線源７と、このＸ線照射に伴うＸ線透過量を検出するＸ線検出器８と、シール長の情報を入力してポケット部の位置と適合する検査領域を設定し、Ｘ線検出器８で検出されたＸ線透過量に基づいて、検査領域における内容物を検査する判定手段９とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非破壊検査の際の半導体素子や電子部品等の被検体の破壊、機能や外観の損傷の発生が防止された透視検査装置を提供する。
【解決手段】放射線を発生し被検体に向けて放出する放射線源１と、被検体１０１を透過した放射線を検出する放射線検出器４と、被検体１０１に照射される放射線量を制限する放射線量制限手段８，９，１０とを備え、放射線量制限手段８，９，１０は、予め測定されている被検体１０１の放射線照射許容量に基づいて、被検体１０１に照射される放射線量を制限する。 （もっと読む）

【課題】投影画像の合成処理が容易であり且つ鮮明な画像を得ることができるトモシンセシス画像取得方法を提供する。
【解決手段】本発明のトモシンセシス画像取得方法は、Ｘ線発生源２より発生されたＸ線を、モノクロメータ３ａ及びコリメータ３ｂにより単色且つ平行にし、単色且つ平行にされたＸ線を被検体４に照射する。そして被検体４を透過したＸ線を検出して撮影装置６により被検体４の投影画像の撮影を行う。この撮影を、被検体４を回転させることにより放射線を異なる角度で被検体に入射させて複数回行い、複数回の撮影により得られた被検体４の複数の投影画像を処理装置７により合成してトモシンセシス画像を作成する。 （もっと読む）

【課題】
電子線を用いて欠陥を検出する検査装置において、電子線を用いた場合の、試料内のチップ内の回路パターンの種類や密度の差異によって生じる検査画像のコントラストの差異を原因とした検査性能の低下を防止する。
【解決手段】
試料に荷電粒子線を走査して得られる少なくとも２つの画像を比較して試料の回路パターンの欠陥を抽出する荷電粒子線を用いた検査方法または装置であって、あらかじめ定められた幅で荷電粒子線を走査しながら試料を連続的に移動し、回路パターンの種類または密度が異なる領域では、検査条件を変えて画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体物品のパッケージを開けないままその液体物品に麻薬が隠れているかを判断することができる、液体物品に隠れている麻薬を検査する方法及び装置を開示している。
【解決手段】前記方法は、放射線ビームを発生して前記液体物品を透過させるステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記液体物品の均一性に基づき、前記多角度投影データに対して逆演算を行うことにより、被検液体物品の属性値を計算して取得するステップと、前記液体物品の識別情報を索引として、予め作成したデータベースから参照属性値を検索し、計算した属性値と参照属性値との差分値を算出するステップと、前記差分値が所定の閾値より大きいかを判断するステップと、を含み、前記差分値が所定の閾値より大きい場合には、前記液体物品に麻薬が隠れていると認める。 （もっと読む）

【課題】 被写体の関心領域の断層像を得るためにＣＴ撮像するべき位置を、三次元的に把握することができるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線測定光学系１３と、テーブル１４と、テーブル駆動機構１６と、入力装置２２と、表示装置２３と、ＣＴ撮影を実行するＣＴ撮影実行部３４と、ＣＴ撮影された透視Ｘ線画像データを用いて、被写体の断層画像を再構成する再構成演算部３５とを備えるＸ線ＣＴ装置１であって、被写体の第一の透視Ｘ線画像２４ａと第一の透視Ｘ線画像２４ａと異なる方向の第二の透視Ｘ線画像２４ｂとを含む少なくとも二面の透視Ｘ線画像である試し撮り透視Ｘ線画像２４の一部の領域が、目的撮像領域２７として入力装置２２で指定されることにより、目的撮像領域２７を示す目的撮像領域データを記憶部２５に記憶させるデータ記憶制御部３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）