【課題】 リムとタイヤの組付け状態を、タイヤの一周に渡り短時間で連続的に測定できる、リム組付けタイヤの組付け状態測定方法を提供する。
【解決手段】 タイヤ内部構造測定装置１０に、リム３０にタイヤ５６を組み付けたリム組付けタイヤ１２を回転可能に支持し、リム組付けタイヤ１２を、押圧負荷のない無負荷状態で回転させ、Ｘ線照射装置２０からＸ線をリム３０の接線方向に照射し、Ｘ線検知装置２２により、リム３０とタイヤ５６との組付部のＸ線透過情報を所定のタイミングで取り込み、取り込んだＸ線透過情報に基づいて、画像形成処理部２８で接線方向透過画像を形成し、得られた接線方向透過画像を用いて、リム３０とタイヤ５６の特定部位の位置情報を得る。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線に基づいた分析の際に対象物にビームをマッチングさせる際の問題点を解決する。
【解決手段】検査方法は、サンプルの表面上においてスポットを画定するべく合焦されるＸ線ビームを使用してサンプルを照射する段階を含んでいる。表面上の特徴部を横断するスキャン経路に沿ってスポットをスキャンするべく、サンプル及びＸ線ビームの中の少なくとも１つをシフトさせる。スポットが異なる個々の程度の特徴部とのオーバーラップを具備しているスキャン経路に沿った複数の場所において、Ｘ線ビームに応答してサンプルから放射される蛍光Ｘ線の個々の強度を計測する。スキャン経路における放射蛍光Ｘ線の調節値を演算するべく、複数の場所において計測された強度を処理する。調節済みの値に基づいて、特徴部の厚さを推定する。 （もっと読む）

【課題】低コストで実現可能でありながらも、比較的大きなサイズの検査対象物について、小さな異物の検出が可能なＸ線異物検査装置を提供する。
【解決手段】全体検査においては、第１のＸ線検出手段４ａは、Ｘ線の強度に応じた濃度値の画素を持ち検査対象物１の全体を含む全体透視画像を出力する。判断手段７は、全体透視画像を取得し、全体透視画像に基づいて検査対象物１中の異物の有無を判断するとともに、異物の有無が確定しなければ異物候補があると判断し再検査を開始させる。再検査においては、移動制御手段６は移動手段５を制御することで第２のＸ線検出手段４ｂを移動させる。第２のＸ線検出手段４ｂは、Ｘ線の強度に応じた濃度値の画素を持ち異物候補が含まれる検査対象物１の一部を拡大した拡大透視画像を出力する。判断手段７は、拡大透視画像を取得し、拡大透視画像に基づいて異物候補が異物か否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。
【解決手段】本発明の走査形電子顕微鏡による測長方法は、対物レンズから試料までの距離を検出するセンサの出力を用いて走査形電子顕微鏡を測定ポイントにオートフォーカスさせ、対物レンズの励磁電流を変化させながら試料から放出された試料信号の変化をモニターしてフォーカスずれに相当する対物レンズの励磁電流ΔIobjを検出する。そして、対物レンズの励磁電流ΔIobjを試料に入射する電子ビームの加速電圧ΔＶに換算し、試料に入射する電子ビームの加速電圧をΔＶだけ変更する。その後、測定ポイントの測長を行う。 （もっと読む）

【課題】画像データを用いた構造解析の解像度を向上させる。
【解決手段】測定画像のデータおよび所定の数の複数の参照画像のデータを取得し（Ｓ１０３）、複数の測定画像のそれぞれについて、参照画像に対する相対位置を移動させた測定画像の派生画像群のデータを作成し、生成した複数の派生画像群のそれぞれについて、派生画像群と前記参照画像との類似度を評価して、それぞれの派生画像群の中から、複数の参照画像のうちのいずれかとの類似度の高い複数の派生画像を抽出する（Ｓ１０５）。抽出された複数の派生画像を、派生画像の空間配置を考慮して複数のグループに分類し、共通のグループに分類された派生画像を平均化して、複数の平均化画像のデータを作成し（Ｓ１０７）、平均化画像のデータに基づいて、測定対象の構造を推定する（Ｓ１１５）。 （もっと読む）

【課題】二次電子放出量を正確に測定できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】赤外線ランプ３０によって裏面から加熱した試料２１に、グラウンド電極に電流が流れないように径を絞ったイオンビーム５を照射する。グラウンド電極１５とコレクタ電極１８の間に配置した制御電極に負電圧を印加し、試料２１から放出した二次電子だけをコレクタ電極１８で捕集するようにする。試料２１がチャージアップした場合、サプレッサ電極１２の電圧を調節し、試料２１に電子を照射し、正電荷を中和する。二次電子放出比を正確に求めることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】物理量検査領域の各区画毎に、物理量算出結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、被検査物の質量検査領域を複数の区画Ａ，Ｂ，Ｃに分割し、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち所定検出レベル範囲の検出情報を複数の区画の各区画毎に抽出して質量測定領域のＸ線画像をＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの質量を算出する質量算出部１３と、複数の区画における質量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された質量を示す複数のグラフ表示要素４３，４４，４５とをそれぞれ関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】高い分析精度を維持しつつ、非常に短時間で分析を行うことができるアスベストの定量分析方法を提供する。
【解決手段】被検試料Ｓに含まれるアスベストの回折線強度を求め、検量線に基づいてその回折線強度からアスベストの重量を求める定量分析方法である。アスベストの回折線強度を求める際、受光スリット５のスリット幅をアスベストの回折線幅と等しい幅に設定し、その受光スリット５及びＸ線検出器８をアスベストの回折線角度位置（２θ）に停止させた状態でＸ線検出器８によって所定時間、回折線を計数する。受光スリット５及びＸ線検出器８のスキャンによってアスベストの回折線強度を測定することに比べて、測定時間を大幅に短縮できる。 （もっと読む）

【課題】高強度化、高導電率化とともに、優れた曲げ加工性を兼備した銅合金を提供することを目的とする。
【解決手段】強度と導電率とのバランスからＮｉ、Ｓｉ、Ｔｉを各々特定量含有する銅合金組織の、５０〜２００ｎｍの特定サイズの析出物の数密度を保証した上で、この範囲のサイズの析出物に含まれるＴｉの平均原子濃度を一定範囲に制御して、一定量のＴｉ含有析出物を存在させ、このＴｉ含有析出物による結晶粒成長抑制のピン止め効果によって、平均結晶粒径を２０μm 以下に微細化させ、前記銅合金に高強度、高導電率および曲げ加工性を兼備させる。 （もっと読む）

【課題】明らかに異なるサイズの対象物の検査に対して、従来に比べて機械的に簡素化され、コンパクト且つ迅速なＸ線ＣＴ検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、焦点２から所定距離に置かれた検出器４の全体が扇状ビーム３又は円錐ビームのＸ線を生成する焦点２を有するＸ線管１を備えるとともに、検査される対象物を支持するための、扇状ビーム３の平面に対して又は円錐ビームの中心軸６に対して垂直に回転可能な回転軸５を有する検査台車を備えたＸ線ＣＴ検査装置に関する。本発明に従い、検査台車は少なくとも１つの測定点１５に固定可能であり、焦点２から広がり且つ扇状ビーム３又は円錐ビームの中心軸６に対して傾斜角αを含む測定線９上に回転軸５があるように、これら各測定点１５が配置される。また、特に異なるサイズの対象物を本発明に従うＸ線ＣＴ検査装置によって検査するＣＴ方法にも関連する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線レンズを用いて集光したＸ線を試料に照射するとき、試料の集光Ｘ線の焦点の周辺部に生じるハロー成分のＸ線が生じ、これにより微小領域での分析の精度が問題となっていた。
【解決手段】Ｘ線レンズ２と試料Ｓの間に、Ｘ線レンズからのＸ線を形状を制御するために開口部を備え、Ｘレンズ側よりも試料側の開口が小さくなっている先細りの形状を有するコリメータ３を設置した。 （もっと読む）

【課題】試料の水平移動に伴って試料表面高さを一定にするべく高さ制御を行う場合に、高さの変化が急であると高さ制御が追従しきれずに不正確な分析となり、また急な高さ変化に追従可能とすると分析時間が長くなり過ぎる。
【解決手段】試料ステージ制御部１０はＸ、Ｙ座標値に応じたＺ座標情報に基づいて試料Ｓの表面高さの変化が急である場合には、水平方向への移動速度を遅くするべく駆動機構６、７を制御する。一方、これによって水平方向への試料Ｓの移動速度が変化するため、Ｘ線パルスの計数の開始・停止を決める同期信号の時間間隔を計測するべく、クロック信号を計数する計数器２３を設け、このクロック信号の計数値でＸ線パルスの計数値を除することで単位時間当たりの値に換算する。これにより、移動速度の変化の影響を受けない正確なＸ線強度を求めることができる。 （もっと読む）

【課題】測定種別の選択と光学部品の交換作業とを関連付けて、交換すべき光学部品の情報を図を用いて画面に表示することで、測定準備作業を容易にする。
【解決手段】Ｘ線分析装置の測定準備作業に関連して、選択画面において、複数の測定種別の中からオペレータが所望の測定種別を選択すると、その測定種別に応じて、取り付けるべき光学部品及び取り外すべき光学部品の情報が、図を伴って表示装置の画面に表示される。オペレータは、その作業指示を見て、Ｘ線分析装置の光学系から光学部品を取り外したり、光学部品を取り付けたりする作業を実行する。図を伴って表示する形態には、交換すべき光学部品１６，１８の光学系上の位置を図示することや、取り付け作業と取り外し作業の区別を絵記号６９で表示することや、光学部品の識別マーク７０，７２を表示すること、が含まれる。 （もっと読む）

【課題】種々の形状の試料に対応した試料ホルダにより、試料より発生する蛍光Ｘ線の強度が最大になるようにＸ線源からの一次Ｘ線の照射位置を自動調整し、常に短時間で高感度、高精度の分析が行える斜入射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】環状の側部１１および底部１３を有する本体１８と、試料載置台１４と、試料載置台１４を支持し、その高さを調整する少なくとも３個の高さ調整具１５を有する試料ホルダ１と、試料ホルダの当接面１０４をセラミックスボール４７に押圧する押圧手段４０と、検出器３７が測定する試料Ｓより発生する蛍光Ｘ線３６の強度に基づき、Ｘ線管位置調整手段５５、分光素子位置調整手段５７および分光素子角度調整手段５８を制御する制御手段５６とを備え、試料Ｓより発生する蛍光Ｘ線３６の強度が最大になるようにＸ線源３からの一次Ｘ線３４の試料Ｓへの照射位置を自動調整する斜入射蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】微小ピクセルによる高感度検査を、ステージをスキャン移動させながら効率的に行える電子線検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明による電子線検査装置では、ステージをスキャン移動させる方向と同一の方向（水平方向）にて電子線を走査させることで、電子線の偏向周波数の限界に関係なく走査数によりステージ移動速度が調整可能となる。ステージ移動方向に帯状のエリアの画像を連続取得するときの画像取得幅は、走査ピッチ、すなわちピクセルサイズと走査数により決まるが、例えば走査数を１／２とすることによりステージ速度を２倍とすることが可能である。 （もっと読む）

【課題】ラインスキャン方式において、電子ビームの位置ずれを補正して正確な二次元マッピング画像を得る。
【解決手段】ビーム走査部により電子ビームで試料表面の所定の領域を走査して得られた二次元画像の１つを参照画像として記憶しておき、予め設定された本数のラインスキャンごとにビーム走査部を駆動させて二次元画像を得、参照画像記憶部に記憶されている参照画像と比較して電子ビームのズレ量を算出する。その算出されたズレ量に基づいて偏向レンズにより電子ビームの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】内容物の偏り中心位置を特定することにより、内容物が搬送方向に偏った物品であっても、これを確実に振り分けることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】物品ＭにＸ線を照射するＸ線源２３と、Ｘ線源２３から照射されて物品Ｍを透過したＸ線を検出するＸ線検出器２４と、Ｘ線検出器２４により得られた透過Ｘ線に基づいて物品Ｍにおける内容物の偏り中心位置を算出する偏り中心位置算出部２５と、Ｘ線検出器２４の下流側に設置されて物品Ｍを振り分ける排出機構３２とを備え、排出機構３２による振分位置に偏り中心位置が到達するタイミングに応じて排出機構３２を動作させる。その場合、偏り中心位置算出部２５は、Ｘ線検出器２４により得られた透過Ｘ線に基づく二次元的パラメータと厚みパラメータとから偏り中心位置を算出する。 （もっと読む）

【課題】試料より発生する蛍光Ｘ線の強度が最大になるようにＸ線源からの一次Ｘ線の照射位置および照射角度を自動調整することにより、光学調整の熟練者でなくても、常に短時間で高感度、高精度の分析が行える蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１は、制御手段２０により制御される各調整手段１９、２２、２３により調整されたＸ線管１１と分光素子１３の位置と角度と装置機構上の対応する位置と角度との差を各オフセット記憶手段２１、２４、２５にオフセットとして記憶し、分析条件設定手段に記憶したオフセットを付与し、試料１６より発生する蛍光Ｘ線１７の強度が最大になるようにＸ線管１１からの一次Ｘ線の試料１６への照射位置および照射角度を自動調整する。 （もっと読む）

【課題】
被検査基板の帯電状態を任意に制御でき、信頼性の高い電子ビームを用いた回路パターンの検査装置を提供する。
【解決手段】
回路パターンが形成されたチップを複数有する基板表面に電子ビームを照射し、該照射によって基板から発生する信号を検出して画像化し、該画像と他の画像とを比較して回路パターン上の欠陥を検出する回路パターンの検査装置において、電子ビームで走査しながら一方向に移動する基板のひとつの移動であるラインに含まれるチップ列に電子ビームを照射する検査スキャンにより検査用の画像を取得した後に、検査スキャンにより電子ビームが照射された領域の帯電状態を飽和状態にする、あるいは帯電状態を元に戻すことによって画像の質が均一になるように、該照射された領域に再び電子ビームを照射するポストスキャンの電子光学条件を設定する条件設定手段を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】被検体の目的位置を容易に透過画像の視野に入れることが可能なＸ線透視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線検出器３の間に配置されたテーブル５面をｘｙ方向に移動させる移動機構６と、テーブル５をＸ線源１とＸ線検出器３の方向に移動させる拡大率変更手段７と、所定の拡大率において複数の移動位置で得た透過画像から一つの合成透過画像を形成する画像合成手段１１と、表示部９に表示された合成透過画像上で位置を指定する位置指定手段１２と、指定された位置が透過画像に入るよう移動機構６を制御する移動制御手段１３を備え、所定の最低拡大率で視野に入りきらない被検体４に対して全体を含む所望の範囲の合成透過画像を得、合成透過画像上で所望の位置を指定することで、容易にこの位置が視野に入る透過画像を得る。 （もっと読む）