【課題】液体に含まれた検査対象試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料検査において、装置のメインテナンスの向上を可能にする検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、第１の面３２ａに液状試料２０が保持される膜３２と、膜３２の第２の面３２ｂに接する雰囲気を減圧する真空室１１と、真空室１１に接続され膜３２を介して試料２０に一次線７を照射する一次線照射手段１と、真空室１１内において、膜３２と一次線照射手段１との間の空間を部分的に仕切るシャッター４とを備え、一次線７の照射により試料２０から発生する二次線である反射電子６１をシャッター４に照射させることによって、三次的信号である二次電子６２を発生させ、二次電子６２を信号検出手段１４により検出する。本装置は、真空室１１内の圧力を検知する真空計１５を備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な処理で、濃淡値の良品範囲を随時更新して最適化することができる欠陥検査方法および欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置１は、欠陥判定手段１３で良品と判定された場合に、当該検査対象物４の撮像画像を設定用画像として設定用画像メモリ１４に追加する範囲更新手段１０を有している。演算処理器１５は、予め設定用画像メモリ１４に記憶されている設定用画像から良品範囲を設定するだけでなく、範囲更新手段１０により新たな設定用画像が設定用画像メモリ１４に保存される度に、各画素ごとの濃淡値の度数分布を求め、当該度数分布結果から良品範囲を再設定する。しかして、欠陥判定手段１３で良品と判定される度、範囲更新手段１０は、設定用画像を設定用画像メモリ１４に追加し、追加された設定用画像を含む複数枚の設定用画像に基づいて良品範囲を自動的に更新させることとなる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の端部付近に小さな異物が混入している場合においても、該異物を検出可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】搬送コンベア１０によってＹ軸方向へ搬送されている検査対象物１に対してＸ線を照射するＸ線源１１、１２と、Ｘ線源１１、１２のそれぞれに対応し、Ｘ線源１１、１２から検査対象物１に照射され透過したＸ線を検出するＸ線検出器１３、１４とを備えている。Ｘ線源１１は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の一端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。Ｘ線源１２は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の他端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シンチレータの区画とコリメータとの位置を精度よく合わせることができる放射線検出器、Ｘ線ＣＴ装置、及び放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】コリメータと、前記コリメータと対向して設けられ放射線を受けて蛍光を発するシンチレータと、前記蛍光を電気信号に変換する複数の光電変換素子を有し、前記シンチレータの主面に設けられた光電変換手段と、前記光電変換素子毎に前記シンチレータを区画する光反射部と、前記光電変換手段の前記シンチレータが設けられた主面とは反対側の主面の側に設けられた基部と、前記基部に設けられ、前記コリメータの端部を保持することで前記光反射部の位置を前記コリメータの位置に合わせる位置合わせ手段と、を備えたことを特徴とする放射線検出器が提供される。 （もっと読む）

【課題】本質的に問題のない商品が所定割合以上検出されるようになった場合、この本質的に問題のない商品を不良品として扱わないようにすることが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１０は、物品を搬送させながらＸ線を使用して物品の検査を行う装置であって、物品を搬送するコンベアと、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線ラインセンサ１４と、制御コンピュータ２０とを備えている。制御コンピュータ２０は、Ｘ線を使用して物品のＸ線画像データを作成するＸ線画像作成制御、Ｘ線画像データから不良品・不良品を検出する不良品・不良品検出制御、不良品を検出する品質検査の停止・解除を制御する品質検査停止・解除制御を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線吸収の少ない材質で構成される試料を、高分解能で撮影可能としたＸ線画像検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線画像検査装置１００は、１０ｋｅＶ以下のＫα特性Ｘ線を発生するＸ線ターゲット５を有する特性Ｘ線発生器１０と、ペルチエ素子２２により冷却される直接入射型冷却Ｘ線ＣＣＤ検出器２０と、を備える。特性Ｘ線発生器１０とＸ線ＣＣＤ検出器との間に配置された試料４０を回転させ、試料４０を透過したＸ線を検出することにより撮像する。Ｘ線ターゲット５は、原子番号が２０から３０までの金属で形成することができる。さらにクロム、銅、ニッケル、鉄のいずれか１つを選択することができる。 （もっと読む）

画像処理システム(100)におけるディテクタ配列装置(110)は、放射を検出し且つそれを示す信号を生成する放射検出ディテクタ(114、116)を含む。電流−周波数(I/F)変換器(202)はその信号をパルス列に変換し、そのパルス列は統合期間における信号の周波数を示す。回路(120)はパルス列に基づいて1次モーメント及び少なくとも1つの高次モーメントを生成する。
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【課題】経済的かつ簡便な方法で高い加工速度または処理量での検査の精度の向上を可能にする。
【解決手段】
本発明は、生産機械用の、とりわけ、一つ以上の列から成る製品（５）のフローを有する充填装置７または充填密封装置１３を備えた瓶詰設備１用の検査装置に関し、該検査装置は生産機械の内部に、有利には瓶詰設備１の内部に、充填装置７ないし充填密封装置１３の直後にまたは分離装置２３の前方に配置されており、その結果該製品５は、該製品５の分離２３または梱包２５の前に検査される。さらに本発明は、生産機械用の、とりわけ、瓶詰設備１用の検査方法に関し、該検査方法では、源１７およびセンサ１９から成る検査装置が、製品の動きＢと垂直または斜めのいくつかの製品５を走査する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線出力を強くした場合であっても、Ｘ線検出器からの出力が飽和して濃淡情報が失われることなく被検査物と異物とのコントラストを高めることにより、被検査物のうち厚さの大きい部分に異物が混入している場合であっても、厚さの小さい部分に異物が混入している場合であっても確実に異物を検出することができるＸ線異物検出装置を提供すること。
【解決手段】フォトダイオード３０ｂが、所定の走査周期Ｔｓに対応する蓄積時間（ｔ／２の蓄積時間）で１回目の素走査による検出出力を行った後に、同一の蓄積時間で２回目の素走査による検出出力を行い、その検出した検出量に応じた濃度データを素走査毎に出力するＸ線検出器１０と、複数の素走査の走査周期Ｔｓを設定する設定部４５と、Ｘ線検出器１０により出力される素走査毎の濃度データに基づいて被検査物Ｗ中の異物Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３の有無を判定する判定部４４と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】蛋白単分子等の微小標的粒子にＸ線ビームを照射するＸ線分析装置において、コンテナレス法やコンテナ法では解決が難しかった種々の技術的課題を一挙に解決する。
【解決手段】保持基板１に保持されている標的粒子Ｐの位置形状測定を行うプローブ式測定手段２と、前記プローブ式測定手段２のプローブ２ａを、標的粒子Ｐの測定が可能な位置である測定位置と、前記Ｘ線照射機構による標的粒子へのＸ線ビームの照射に干渉しない位置である退避位置との間で移動可能に保持する移動機構３と、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整する位置調整機構５とを設け、前記プローブ式測定手段２で位置が特定された標的粒子Ｐに対し、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整してＸ線ビームを照射できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線を発散するように出射するＸ線源を用いた場合においても、高精度かつ高コントラストの撮影画像を得ることが可能なＸ線撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線撮影装置は、Ｘ線源と、第１周期の縞状の強度分布を生むタルボ効果を発現させる第１回折格子と、遮蔽部と透過部とが所定方向に第２周期で繰り返して縞状に配置され、かつ第１回折格子によって回折されたＸ線を更に回折する第２回折格子と、Ｘ線の強度の２次元分布を示す画像情報を得るＸ線検出手段とを備え、第２周期が、第１周期の約２倍であり、第２回折格子のうち、第１回折格子で回折されたＸ線が照射される面において、遮蔽部が占める面積の比率が１３％以上でかつ４１％以下であり、第２回折格子が、画像情報に係る画像にモアレ縞を発生させる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線タルボ干渉計に用いる高アスペクト比のＸ線回折格子を安定的に供給可能な製造方法を提供する。
【解決手段】ＩＣＰ装置において、シリコンからなる基板７に対し、ＳＦ₆ガスを導入して反応性イオンエッチングにより凹部を形成する。次に、Ｃ₄Ｆ₈ガスの導入により、凹部の底面及び側壁面にポリマー膜を保護膜９として堆積する。このエッチング工程と保護膜堆積工程を交互に反復することで、溝１６を形成する。次に、ＩＣＰ装置において酸素ガスを導入することにより、溝１６の底面及び側壁面にＳｉＯ₂膜を電気絶縁膜１２として形成する。更にＳＦ₆ガスを導入して、反応性イオンエッチングにより、溝１６の底面の電気絶縁膜１２を除去し、基板７のシリコンを露出させる。次に、この露出したシリコン表面をシード層１３として電気メッキを行い、Ｘ線吸収金属部を析出させる。 （もっと読む）

従来、位相情報を格子干渉計で検出された他の寄与から区別するために、位相ステッピング法が考えられてきた。これは複数のＸ線投影像の取得を伴う。これに対して、本発明は、位相ステッピングを要さずに位相コントラスト信号を抽出する、格子干渉計に基づいた革新的な高感度Ｘ線トモグラフィ位相コントラストイメージング方法を提供する。既存の位相ステッピング法と比べて、「逆投影」と呼ばれるこの新しい方法の主な利点は、画質を劣化させることなく、投与線量が著しく低減されることである。この新しい技術は、生物検体のイメージングと生体内研究に不可欠であり、将来の高速かつ低線量の位相コントラストイメージング法の前提条件をなす。
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【課題】簡易な構造で、Ｘ線漏洩を最小限に抑制することができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００においては、ベルトコンベア８００により商品９００が搬送され、Ｘ線照射装置２００から照射されるＸ線２１０によって、商品９００が検査される。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、ベルトコンベア８００の搬送上流側および搬送下流側に配設される。また、Ｘ線漏洩防止カーテン５００が、ベルトコンベア８００の搬送方向の矢印Ｘ１の方向に沿って下方傾斜して設けられる。 （もっと読む）

【課題】分類基準を改善することを目的とする。
【解決手段】画像データを分類する際の基準となる画像データの情報が登録されている分類基準データ１２１と、新規に入力された画像データを分類基準データ１２１を使用して分類した結果としての画像データの情報が登録されている分類データ１２２と、が記憶部１２に格納されており、画像分類装置１が、入力部１３を介して、分類データに登録されている画像データのうちの任意の画像データの情報が選択され、入力部１３を介して、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録する旨の指示が入力されると、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】標的物質の結晶化の高スループットスクリーニングを行うこと。
【解決手段】標的物質の結晶化の高スループットスクリーニングが、標的物質の溶液を、微細製作された流体デバイスの複数のチャンバ（９１０２ａ、９１０２ｂ）内に同時に導入することによって達成される。次いで、この微細製作された流体デバイスは、チャンバ（９１０２ａ、９１０２ｂ）内の溶液条件を変更するように操作され、それによって、多数の結晶化環境を同時に提供する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の良否を判定するとともに、階級選別に使用できるＸ線検査装置を得る。
【解決手段】質量推定部８３は、Ｘ線検出部６によって検出された透過Ｘ線量に基づいて検査対象物８の質量を推定する。質量階級判定部８４は、質量推定部８３から入力されたデータＳ１に基づいて、検査対象物８がどの質量階級に属しているかどうか判定、又は、検査対象物８の質量が前記所定範囲内における前記質量階級に属しないものである場合、検査対象物８を異常なものと判定する。画像作成部８５は、Ｘ線検出部６によって検出された透過Ｘ線のＸ線量に基づいてＸ線透過画像を作成する。形状判定部８６は、検査対象物８の形状の正常／異常を判定する。不良判定部８７は、質量階級判定部８４又は形状判定部８６による各判定結果が異常である場合などに、検査対象物８が不良品であると判定する。 （もっと読む）

本発明は、逆ジオメトリＣＴによりスペクトルＸ線撮像装置を実現する検査装置及び対応する方法に関する。提案される検査装置は、複数の位置でＸ線を放射する複数のＸ線源を有するＸ線源ユニットと、Ｘ線源のうちの１つ以上から放射されたＸ線を、Ｘ線源ユニットとＸ線検出ユニットとの間の検査領域の貫通後に検出し、検出信号を生成するＸ線検出ユニットと、生成された検出信号を処理する処理ユニットと、少なくとも２つの異なるエネルギースペクトルで順次、単独あるいはグループでＸ線を放射するようにＸ線源を制御する制御ユニットであり、特定のＸ線源又はＸ線源のグループが異なるエネルギースペクトルでＸ線を放射するように切り換えられる時間間隔中に、特定のＸ線源又はＸ線源のグループがオフに切り換えられ、且つ１つ以上のその他のＸ線源又はＸ線源のグループが順次オンに切り換えられてＸ線を放射するように制御する制御ユニットとを有する。
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【課題】Ｘ線透過量に基づいて生成する透過画像から仕切り部材の位置を正確に検知するとともに、検査性能の低下を防止する。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送方向Ｙに搬送するベルトコンベア５と、ベルトコンベア５の搬送面５ａに近接して設けられ、搬送面５ａを搬送方向Ｙと直交する方向Ｚに分割して複数の検査レーン１４を形成する仕切り部材１１と、検査レーン１４に搬送されている被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器２１と、被検査物Ｗを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出器２２とを備え、Ｘ線透過量に基づいて透過画像を生成し、この透過画像から被検査物Ｗの品質を検査するＸ線検査装置１において、仕切り部材１１を、搬送手段５の搬送方向Ｙに延在する略板状のＸ線易透過部１２と、Ｘ線易透過部１２の搬送手段５の搬送面５ａに近接する底部に設けられているＸ線難透過部１３とから構成した。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡のプロジェクション・システムの歪曲を特定しこれらの収差を修正する。
【解決手段】収差はサンプルの多数のイメージを集めることによって特定される。そして、各々の取得されたイメージのサンプル同士の位置がわずかにずれている。イメージにおいて、サンプルの同一の部分を示すサブフィールドが比較される。これらのサブフィールドはわずかな違いを示し、これは、収差の差に対応する。多数の場所の収差に係る差が特定される。その後、各々の場所における前記収差は、積分することによって特定することができる。表示されるべきイメージの検出された各々のピクセルの位置を修正することによって、収差は非常に減少したものとなる。効果としては、サンプルの極めて正確なステップも、あらかじめサンプルの形状を知る必要もない。 （もっと読む）