【課題】 従来のナライザによるけられ（遮蔽）を解消し、分解能に優れたデバイシェラー光学系を備えたＸ線回折測定装置とそのための方法を提供する。
【解決手段】 被測定試料Ｓに照射する特性Ｘ線を発生するＸ線源１０と；試料を中心に取り囲んで配置されたＸ線フィルム３０と；試料とＸ線フィルムとの間に配置され、試料からの散乱Ｘ線を、当該試料を中心に所定の角度で集めてＸ線フィルムの所定の位置に照射する放物面を有する人工多層膜からなるミラー１００を備えたデバイシェラー光学系を備えたＸ線回折測定装置により、散乱Ｘ線を、当該試料を中心に所定の角度で集め、当該試料を中心に取り囲んで配置されたＸ線フィルム上にデバイ環を得る。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い放射線検出器を提供する。
【解決手段】 Ｘ線ラインセンサ１では、低エネルギ範囲のＸ線を吸収して光を発するシンチレータ層２４と、高エネルギ範囲のＸ線を吸収して光を発するシンチレータ層２６とが接触させられており、更に、後側のシンチレータ層２６の厚さよりも、前側のシンチレータ層２４の厚さが薄くなっている。これらにより、同じ角度で前側から入射した低エネルギ範囲のＸ線及び高エネルギ範囲のＸ線に対するシンチレータ層２４での発光位置Ｐ１とシンチレータ層２６での発光位置Ｐ２とのずれ量が小さくなるため、このとき、シンチレータ層２４が発した光及びシンチレータ層２６が発した光は、対向する光検出部１６及び光検出部２３によって検出されることになる。従って、同時に取得された低エネルギ範囲のＸ線透過像と高エネルギ範囲のＸ線透過像とがずれるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】平行ビーム法を用いたＸ線回折法において、角度分解能が優れていて、Ｘ線強度の低下が少なく、構造が簡素化されたＸ線回折装置およびＸ線回折方法を提供する。
【解決手段】平行ビームのＸ線２４を試料２６に照射して、試料２６からの回折Ｘ線２８をミラー１８で反射させてからＸ線検出器２０で検出する。ミラー１８の反射面は複数の平坦反射面の組み合わせからなり、回折平面に平行な平面内において、各平坦反射面の中心点は、試料２６の表面上に中心を有する等角螺旋の上にある。Ｘ線検出器２０は、回折平面に平行な平面内において１次元の位置感応型である。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線が、Ｘ線検出器２０の異なる地点にそれぞれ到達するように、複数の平坦反射面とＸ線検出器２０との相対位置関係が定められている。 （もっと読む）

【課題】透視拡大率を大きくした場合にも試料ステージとＸ線放射窓が直接接触しないようにする。
【解決手段】 Ｘ線管１は鉛直の上方に向かってＸ線を放射するように配置され、Ｘ線検出器６は２次元的にＸ線を検出する検出面７がＸ線管１に対向するように下方に向けて配置される。Ｘ線管１とＸ線検出器６との間には試料ステージ３が配置される。試料ステージ３は試料５を載せてＸ線光軸９の方向に駆動されるとともに、水平面内で２次元的に駆動される。試料放射窓１３の周囲にフッ素樹脂からなる保護部材１１を配置し、保護部材１１の先端表面１２は試料放射窓１３の先端表面１４よりわずかに突出させる。大きな拡大率の透視像を得る場合に試料ステージ３の試料載置部１５がＸ線管１に接触するが、試料載置部１５は保護部材１１に接触するのみであって、試料放射窓１３には直接的には接触しない。したがって試料ステージの駆動による摩擦の影響が少なくなる。 （もっと読む）

【課題】 試料中に微量に含有している化学結合状態の分析を短時間に適切に行う。
【解決手段】 エネルギーアナライザを通過する光電子のパスエネルギーを一
定にする様にしたＸ線光電子分光分析方法において、パスエネルギーを、分析
すべき試料２に含まれる化学結合状態の固有エネルギースペクトルのピーク位
置とピークの半値幅、前記エネルギースペクトルに最も近接した他の化学結合
状態の固有エネルギースペクトルのピーク位置とピークの半値幅、及び、試料
に照射されるＸ線のエネルギースペクトルのピークの半値幅に基づいて設定す
る。 （もっと読む）

【課題】 ビニング処理を実行するか否かの選択等によって、画像データの画素数を切り替えても、所望の画像処理を実行し続けることができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 標準画像データを作成する標準画像データ作成部３１と、複数個のブロック画素からなる画像を示すビニング画像データを作成するビニング処理制御部３２と、標準画像データかビニング画像データのいずれを作成させるかを決定する画像データ決定部３５と、コンボリューションフィルタを用いて所望の画像処理を実行するコンボリューションフィルタリング処理制御部３６とを備えるＸ線検査装置１であって、コンボリューションフィルタリング処理制御部３６は、画像データ決定部３５で標準画像データを作成させると決定されるに伴い、標準画像データ用コンボリューションフィルタに切り替え、一方、ビニング画像データを作成させると決定されるに伴い、ビニング画像データ用コンボリューションフィルタに切り替えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、被検査対象物の各部の厚みや密度の違いによってＸ線透過率に大きな差が出るような場合であっても高Ｘ線透過率部分での異物検出感度と低Ｘ線透過率部分での異物検出感度とを良好に保つＸ線検査装置を提供することにある。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置１０では、Ｘ線照射部１３がＸ線を照射し、Ｘ線検出部１４が被検査対象物Ｇの各部分を通過してきたＸ線を受光してそれらの透過Ｘ線の強さに応じたアナログ信号ＡＳ０を出力する。Ａ／Ｄ変換部４１Ａ，４１Ｂは、アナログ信号ＡＳ１，ＡＳ２をデジタル信号ＤＳ１，ＤＳ２に変換する。判定処理部２０は、デジタル信号からＸ線画像を生成して被検査対象物の良否判定を行う。アナログ信号処理部４３Ａ，４３Ｂは、被検査対象物の各部分について、Ａ／Ｄ変換部から異なる２以上のデジタル信号ＤＳ１，ＤＳ２が出るように、アナログ信号ＡＳ０を処理する。 （もっと読む）

【課題】一次電子ビームと二次電子ビームとの重複領域で二次電子ビームの空間電荷効果による収差増大を抑制する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料である基板Ｓに一次電子ビームＢｐとして照射する電子銃１１と、一次電子ビームＢｐの照射を受けて基板Ｓから放出される二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して基板Ｓの状態を表わす信号を出力する電子検出部３０と、上記二次電子、上記反射電子および上記後方散乱電子の少なくともいずれかを導いて二次電子ビームＢｓとして拡大投影し、電子検出部３０のＭＣＰ検出器３１の検出面に結像させる二次光学系２０と、を備える基板検査装置１に、一次電子ビームＢｐの軌道と二次電子ビームＢｓの軌道との重複領域が縮小するように一次電子ビームＢｐを偏向する偏向器６８をさらに設ける。 （もっと読む）

【目的】本発明は、パターンを転写するモールド上に作成されたパターンを検査するモールド検査方法およびモールド検査装置に関し、微細寸法のモールド（押し型）上のパターンの検査をする新たな方法を提供し、しかも、極めて短時間に微細寸法のモールド上のパターンを検査することを目的とする。
【構成】モールド上に作成されたパターンに対応する部分とそれ以外の部分との電子放出を異ならせて予め作成した転写板に、励起源を照射して励起させ、転写板上から放出された電子を、電圧により引き出して拡大画像を生成するステップと、生成された拡大画像をもとにモールド上に作成されたパターンを検査するステップとを有するモールド検査方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイス製造工程において電子顕微鏡を用いて試料の材料分析を簡便に行う。
【解決手段】材料分析装置１は、試料１２に電子線ＥＢを照射する電子銃１３と、試料１２の表面から飛び出す反射電子ＲＥを検出する電子検出部１４と、電子検出部１４による反射電子ＲＥの検出強度に応じて試料の材料を分析する材料分析部３０を備え、材料分析部３０は、原子量Ｎ１、Ｎ２が既知の材料Ａ１、Ａ２に電子線ＥＢを照射したときの反射電子ＲＥを電子検出部１４で検出した検出強度Ｂ１、Ｂ２に基づき、ある材料に電子線ＥＢを照射するときの反射電子ＲＥを電子検出部１４で検出した検出強度とその材料の原子量との間の近似一次式を決定する近似式決定部３３と、決定した近似一次式に従って試料１２に電子線ＥＢを照射したときの反射電子ＲＥを電子検出部１４で検出した検出強度Ｂｘから、試料１２の材料の原子量Ｎｘを決定する原子量決定部３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ断層撮像方法による正確な再構成画像を、簡単な構成により得る。
【解決手段】複数の被検査体３の投影データよりその被検査体３の内部構造データを再構成するＸ線断層撮像装置であって、Ｘ線源１と、被検査体３の透過Ｘ線を撮像する二次元検出手段４と、Ｘ線源１のＸ線焦点１ａと二次元検出手段４との間に配置され、被検査体３を載置してＸ線源１から出射されたＸ線により形成される円錐の底面の中心とＸ線焦点を結ぶ線分とほぼ平行な回転軸Ｒ２を中心に、設定された角度変位で回転する回転機構と、回転軸Ｒ２に対し、被検査体３をその回転軸Ｒ２を中心線とする所定角度の頂角を持つ仮想円錐の円錐面１０に接した状態に把持する把持手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の帯電の斑（不均一）の影響を低減したエネルギースペクトルを得る。
【解決手段】 試料２表面にＸ線３を照射すると同時に、中和電子銃６からの電子ビーム６を試料２表面に照射し、試料２表面から放出された光電子を光電子分光器７に導き、ここでエネルギー分光してエネルギースペクトルを得る。試料２をセットしているステージ４にバイアス電圧電源２１からバイアス電圧を印加することにより、中和電子銃６からの電子ビームでこの帯電が一様に中和されるようにする。 （もっと読む）

【課題】ＰＢＴ組成物中の配合剤や重合触媒等、高分子材料に含まれる微量成分の分析法であって、該微量成分を検出できる高い感度、精度を有するとともに、煩雑な処理等を必要としない簡便性の高い分析法を提供する。
【解決手段】高分子材料中の微量成分の分析法であって、前記高分子材料を酸素存在下、加熱して灰化する工程、及び前記灰化後の試料に電子線を照射し、発生する特性Ｘ線による元素分析をする工程、を有することを特徴とする高分子材料中の微量成分の分析法。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストの特性化および分析を行う方法を提供する。
【解決手段】フォトレジストの特性化方法は、支持構造上にフォトレジストを形成する工程１０２と、フォトレジストをベーキングする工程１０４と、フォトレジストを染色剤により染色する工程１０６と、ＴＥＭ、ＳＥＭおよびＡＦＭのうちの少なくとも１つを利用し、フォトレジストを特性化する工程１０８と、を含む。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査技術を利用してタービンブレード内の残留セラミックコアの検出を可能にしたＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】本発明は、Ｘ線検査装置１を用いて被検査対象物ＷにＸ線を照射し、１６ビット以上のコントラストレンジを持つＸ線ディテクタ２に被検査対象物のＸ線透過像３を結像させ、Ｘ線ディテクタが結像した被検査対象物のＸ線透過像をデジタル現像装置４にて現像してＸ線影像５を得、そのＸ線影像から被検査対象物内に残留するセラミック質の異物の有無を検査するＸ線検査方法を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】手動でフィルタの交換を簡単かつ容易に交換することができる安価な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置１００は、Ｘ線管１と、リッド２を有する試料室３と、試料室リークバルブ４１と、蛍光Ｘ線１２を検出する検出手段４を有する分光室５と、分光室リークバルブ５１と、試料室３と分光室５との間の開口１０を開閉する真空シャッタ６と、１次Ｘ線１１をろ波するフィルタ７が交換可能に取り付けられるフィルタ進退手段と、試料交換機２０と、Ｘ線管１、リッド２、真空ポンプ９、試料室リークバルブ４１、分光室リークバルブ５１、真空シャッタ６、フィルタ進退手段８および、試料交換機２０を制御する制御手段３０とを有し、制御手段３０が第１指示に応じて、フィルタ交換準備手順を実行し、第２指示に応じて、前記手順実行前の状態に戻す初期化手順を実行する。 （もっと読む）

【課題】試料面が、ある自転軸に直交する同一面上にあることを容易に確認できる技術を提供する。
【解決手段】鏡面の試料面を持った複数の試料を取り付けた複数の試料取り付け窓を有する試料ホルダーを、これら複数の試料取り付け窓が同一の軌跡を持つように回転させて、個々の試料取り付け窓をある配置場所に順次配置し、その配置場所にある試料取り付け窓を自転させて、その試料面を観察し、試料面が自転軸に直交する同一面上にあることを確認する。 （もっと読む）

カニューレを有するシリンジ・キャップ（３）を検査するためのＸ線装置であって、Ｘ線源（５）と、Ｘ線検出器（９）と、シリンジ・キャップ（３）をビーム路（１３）で検査個所（１５）に保持する保持装置と、を具備するＸ線装置が提案される。このＸ線装置は、シリンジ・キャップの縦軸（１７）が、ビーム路（１３）の縦軸（１９）と一致するように、シリンジ・キャップ（３）が、ビーム路（１３）に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】直接光の影響を効果的に低減できるＦＺＰ拡大法によるトポグラフィー測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、従来のＸ線トポグラフィー測定装置に加えて、回折Ｘ線ビーム１０３を遮る遮蔽体１と、その遮蔽体１を動かす遮蔽体駆動手段２と、所定の周期信号を発生する関数発生器３と、測定された回折Ｘ線ビーム１０３から遮蔽体１の動きの周期と同期した変動成分を抽出するロックインアンプ４と、プリアンプ５、及び周波数−電圧（Ｆ−Ｖ）変換器６を備える。遮蔽体駆動手段２は、関数発生器３が生成する周期信号に基づいて遮蔽体１を駆動し、ロックインアンプ４は、同じ周期信号に基づいて変動成分を抽出する。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析法において、二次イオン強度の変化を簡便に抑制できる技術を提供する。
【解決手段】一次イオンの試料表面への照射中に、試料電流値の変化に応じて、一次イオンの入射方向に対する試料ステージの角度を変更することにより、一次イオンの試料表面への入射角度を補正する。 （もっと読む）