【課題】液体窒素の残量が確認でき、液体窒素の管理が容易なエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】伸縮可能な脚部１２に作用する重力を検出するセンサ１３を密着固定する。センサ１３はひずみゲージで構成される。装置制御部８はセンサ１３の出力信号を液体窒素の量に換算し、液体窒素の量を表示器９に表示する。センサ１３の出力信号は試料Ｍが載置されていないときに複数回測定され平均化される。あるいは、操作者が装置制御部８を操作し液体窒素量の表示を指示したとき、液体窒素の量を表示器９に表示する。 （もっと読む）

【課題】１回の撮影で巻き込み巣と引け巣とを判別することができる成形支援装置を提供する。
【解決手段】鋳造支援装置２は、鋳型５１内に供給された溶湯が凝固して形成された鋳造品１２の撮影により得られた連続断面像の３次元データを記憶する主メモリ２４と、主メモリ２４上の３次元データから鋳造品１２の複数の巣を抽出する鋳巣抽出部４１と、抽出された複数の巣をそれぞれの形状に基づいて巻き込み巣と引け巣に分別する鋳巣分別部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】
ノイズ成分を抑制した２次電子画像を得て、高精度の欠陥検査を可能とする欠陥検査方法ないし欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】
電子顕微鏡により、欠陥検査対象物において繰り返しパターンを有する欠陥検査対象領域の観察画像を取得し、予め登録されているマスキング用パターンを観察画像に重ね、観察画像からマスキング用パターンで覆われた領域の信号を除去した欠陥検査用画像を得、欠陥検査用画像を用いて、繰り返しパターンの欠陥検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 γ線を効果的に遮蔽して円滑に検査を行うことができる爆発物検査装置を提供する。
【解決手段】 手荷物３に対して中性子を照射する中性子発生管１１と、照射された中性子によって発生するγ線を検出するγ線検出器１３と、γ線検出器１３の検出結果から爆発物の有無を判定する爆発物判定部とを備えた爆発物検査装置である。手荷物を設置する際には開位置に位置するとともに検査時には閉位置にて密閉空間を形成する開閉蓋９と周壁部７によって、手荷物３から発生するγ線を遮蔽する。手荷物３が載置されるとともに、手荷物を設置位置から検査位置まで移動させるテーブルを備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線ＣＴ装置を用いることなく、Ｘ線透視を行うことにより、アルミダイキャスト部品のボイド等の欠陥をはじめとして、透視対象物内部の特異部位の３次元位置情報を正確に知ることができ、加えて３次元の概略形状を知ることのできるＸ線透視を用いた３次元観測方法と、その方法を用いたＸ線透視装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線検出器２の対と透視対象物Ｗとの相対位置を変化させ張ることにより、透視方向を少なくとも３方向に相違させた透視対象物Ｗの透視像を取得し、その各透視像上で特異部位の像を抽出し、各透視方向の透視像上で抽出された特異部位の像対応付けした後、各透視方向の透視像上の特異部位の像と、これらの各透視像を得たときのＸ線源１とＸ線検出器２の透視対象物Ｗに対する相対的な３次元位置情報を用いて、特異部位の３次元位置および／または３次元形状を算出し、表示する。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子ビームを用いた計測装置ないし検査装置において、検査の高感度と高安定性とを両立する。
【解決手段】
帯電制御電極A４２０の被計測試料ないし検査試料側に帯電制御電極B４２１を設置し，試料の帯電状態に応じて、帯電制御電極Bの帯電制御電極制御部４２３から一定の電圧を与えることにより、検査前に形成した試料表面の帯電状態と電位障壁の変動を抑制する。帯電制御電極制御部６６によりリターディング電位が印加され、試料と同電位に調整される帯電制御電極A４２０の更に下部に帯電制御電極B４２１が設けられることにより、一次電子ビーム19が照射されるウェハ９などの試料から放出された二次電子４０９の試料への戻り量を調整することが可能になり，高感度な検査条件を検査中安定的に維持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】極短時間で３次元情報及びその時間変化を観察・計測できる高速度コンピュータ断層撮影方法及びその装置を提供する。
【解決手段】対象物質３を回転用モータ１７を用いて高速度で回転させながら、中性子ビーム２を照射する。対象物質３に照射された中性子ビーム２はその対象物質３を透過後、中性子−光コンバータ４により光に変換され、変換された光がこの中性子−光コンバータ４の後方に光を反射・伝送するために配置された鏡５、レンズ１４、画像強度増幅器１５を通過して、高速度ビデオカメラ内のＣＭＯＳ型素子１６で連続した画像として高速度で記録される。この記録画像を計算機８に転送し、ＣＴ計算用計算機１２を用いて３次元ＣＴ計算が行なわれ、短時間平均の３次元情報を得る。又、これを時系列に連続して計算することで３次元情報の時間変化情報を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】検量線を短時間に容易に作成できるようにして、定量分析を短時間に容易に行うことができるようにする。
【解決手段】被検試料をスキャン読取りすることによって回折強度プロファイルを求め、そのプロファイルに含まれているピーク波形の積分量を求め、検量線に基づいてその積分量から含有量を判定する定量分析方法である。含有量既知の標準試料に対して広いスキャン範囲（１１．０°≦２θ≦１３．２°）で所定の読取りステップ幅（０．０２°）で測定を行って回折線プロファイルＰ１〜Ｐ５を求め、その読取りステップ幅ごとの測定量（Ｉ）を標準試料ごとに記憶し、被検試料の測定結果に基づいて定量測定スキャン範囲を決め、記憶した標準試料についてのステップ幅ごとの強度データについて、定量測定スキャン範囲と同じ範囲（γ≦２θ≦δ）の積分値を演算によって求め、その積分値と標準試料の既知の含有量とによって検量線を求める。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの電圧コントラストを強める装置及び方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを電気的に試験するシステムであって、サンプルの第１の領域の帯電に影響を及ぼすように、デフォーカスされた荷電粒子ビームによって該第１の領域を走査するステップと、該第１の領域の少なくとも一部を、フォーカスされた荷電粒子ビームによって走査すると共に、該少なくとも一部から散乱した電子を検出するステップとを含み、該少なくとも一部は、該第１の領域が、該デフォーカスされた荷電粒子ビームによって導入された帯電の影響を受けたままである間に走査される。 （もっと読む）

【課題】被検査物の表面と裏面との温度差を無くしリフロー特性に応じた加熱が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源と観察エリアとの間の微小間隙部側方から観察エリア上の被検査物上部に熱風を噴出して被検査物を上面側から加熱する第１加熱手段と、観察エリアとＸ線検出器との間に加熱源が配設され、各加熱源から観察エリアに向けて熱を放射して被検査物を下面側から加熱する第２加熱手段と、被検査物の上面側の温度及び下面側の温度を検出する温度検出手段と、温度プロファイルのデータを記憶する記憶手段と、被検査物の上面側と下面側との検出温度差が無くなるように第１及び第２加熱手段による各加熱量を協調制御しながら温度プロファイルに従って被検査物を昇温させる温度制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側の領域であり且つ基底板３１の外周側面の周りの領域に設けられた空間領域４１とを有するＸ線回折定量装置である。基底板３１の周囲に空間領域４１を設けたことにより、空間領域４１を形成している試料板２９Ｃからの回折線によって基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】サンプリング時に観察画像の状態によらず、プローブの形状を正確に自動認識させることが可能なプローブの制御方法及び装置を実現する。
【解決手段】プローブ１２の断面は長方形でありマイクロサンプル２３への接近時、プローブ１２の長手方向における側壁を集束イオンビームの入射方向と平行になる方向となるようにプローブ１２の姿勢を制御する。集束イオンビーム１１の試料１０への入射により励起された殻内電子のうち、仕事関数以上のエネルギーを有するものは、２次電子として試料表面より放出される。プローブ１２からの２次電子放出量はプローブ１２の側壁の端部で大となる。試料上のパターン部の凹凸は大きくても1ミクロンであるのに対し、プローブ１２の断面は数ミクロンと大きいためプローブ１２からの２次電子はウエハ面からの２次電子に比較して極端に大きな値となりプローブ１２の外形は容易に判断可能である。 （もっと読む）

【課題】半導体等を高速に検査できるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供する。
【解決手段】電子光学系を少なくても３本以上配置し、同一の回路パターン同士でほぼ同時に得られた検出信号を比較する。さらに、複数の電子源を搭載した電子銃室を試料室とは独立に真空排気することによって複数の電子源近傍の真空度を常に高真空に保つことを特徴とする。また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出することを特徴とする。これにより、パターン検査の欠陥判定を同時に行えるとともに、電子光学系の数に比例して検査のスループットが向上する。 （もっと読む）

【課題】オペレータに負担をかけることなく、また、複雑な処理を必要とすることなく、被検査物とＸ線発生装置等の装置側の構造物との衝突を確実に防止することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の間に配置されて被検査物Ｗを搭載する回転テーブル３ａには、取り付け用治具５０を介して被検査物Ｗを搭載するように構成するとともに、その取り付け用治具５０は被検査物Ｗの大きさに応じて複数種が用意され、回転テーブル３ａには、その取り付け用治具５０の種類を検知するためのセンサ６０ａ〜６０ｃを設け、その検知結果に基づき、テーブル３ａとＸ線発生装置１およびＸ線検出器２の対との相対位置を変化させる移動ステージ３ｂの動作の範囲に制限を加えることで、被検査物Ｗの装置側の構造物に対する衝突を防止する。 （もっと読む）

【課題】有機素材のような軽い元素で構成された材料をナノ単位のレベルで立体観察が行なえるようにする。
【解決手段】真空ポンプ１３によって内部が真空状態となる真空室３内に少なくともＸ線を照射するＸ線照射部２３が臨むと共に１〜１０ｋｅＶの低エネルギーＸ線をコーン状に照射するＸ線照射装置５と、前記Ｘ線照射装置５から照射されるＸ線の中心線Ｃ−１上の適宜位置に試料のセットを可能とした試料セット台３５を有する回転可能な試料ステーション７と、前記試料ステーション７の試料セット台３５にセットされた試料１５を挟んで前記Ｘ線照射装置５と対向し合うと共に冷却手段によって冷却される検出面９ａを有する二次元Ｘ線検出器９とを配置し、真空室３内に照射されるコーン状のＸ線によって試料１５を検出面９ａに拡大投影する。 （もっと読む）

【課題】円板状の試料の縁近傍の周辺部における任意の測定部位について正確な分析ができる全反射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】全反射蛍光Ｘ線分析装置１は、円板状の試料の表面Ｓａに微小な入射角度θで１次Ｘ線１４を入射させ、発生する蛍光Ｘ線１５の強度を検出器１６で測定する。検出器１６に対する試料Ｓの初期位置を検知する初期位置検知手段２０と、試料の表面Ｓａにおける測定部位５２を検出器１６の視野Ｆ内に移動させるステージ２１と、初期位置検知手段２０で検知した初期位置ならびにステージ２１による移動の方向および量に基づいて、検出器１６の視野Ｆ内における測定部位５２の測定面積Ｍ_１を算出し、算出した測定部位の測定面積Ｍ_１および測定した測定強度Ｉ_２に基づいて、単位面積Ｍ_０あたりの測定強度Ｉ_２×（Ｍ_０／Ｍ_１）を算出する算出手段３１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 十分なコリメーション精度が得られるとともに、試料と検出器との間の距離を十分短くして検出器への入射Ｘ線強度を上げることのできるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 試料５と検出器１４との間に、互いの中心軸が一致する第１の絞り孔３１ａ及び第２の絞り孔３１ｂが形成されてなるコリメータ３１が設置され、該コリメータ３１にはフィルタ部材３２ａ又はアパーチャ部材を該軸上に配置するための溝部３１ｃが形成されており、これら２つの絞り孔３１ａ，３１ｂ及び溝部３１ｃを通過した二次Ｘ線６が検出器１４により検出される。 （もっと読む）

【課題】
マルチビーム式の荷電粒子線応用装置において、電子光学系と試料を相対的に傾けることなく、試料に対し一次ビームを斜め方向から入射する機能を付与する。
【解決手段】
マルチビーム型の荷電粒子線応用装置において、アレイ状レンズ１０９のレンズ電圧を切った状態でも試料上に合焦させるように、光学系制御回路１３９により、レンズ１４０a、１４０b他を制御する。一次ビーム１０７は試料上の一点に対して複数の方向、すなわち試料ウェハ１１５に対して複数の角度をもって照射され、電子光学系と試料を傾斜させることなく、一次ビーム１０７の試料上到達点を一定に保つ。また、アパーチャーアレイ１０８やアレイ状レンズ１０９に対応して設置されたブランカアレイ１１６を個別に制御することにより、試料ウェハ１１５に照射する一次ビーム１０７の照射角を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】測定試料に局所的に中性子ビームを照射して散乱中性子を検出し、順次測定試料を移動させて、そのブラッグ反射データを取得し、取得データをマッピングして観測できる中性子回折装置を提供する。
【解決手段】中性子源なら導出した観測用の中性子ビームを第１のスリットを通過させ、中性子ミラーで形成したガイド管を通じて第２のスリットに導光し、試料に照射する中性子ビーム径を絞る。散乱した中性子を検出する検出管を試料を中心にして円弧上に複数個円向上に並べると共に、書く検出間の間に中心に向けた遮蔽板を設ける。測定試料を載置した台を移動機構により所定間隔ごとに移動させつつ、検出管のデータを取得しマッピングデータを得る。 （もっと読む）

【課題】積層板の色調を問わず、目視によらないでボイドや金属異物の有無を自動的に検査することができる積層板の検査装置を提供する。
【解決手段】積層板の検査装置に関する。積層板１にＸ線を照射するＸ線発生部２と、受光Ｘ線量に応じた濃淡値を持つ原画像を得る撮像部３と、原画像を平滑化処理して平滑化画像を得ると共に、原画像と平滑化画像との間で画素単位で差分を取る減算処理を行って差分画像を得た後、この差分画像を２値化処理して２値化画像を得る画像処理部４と、この２値化画像を基に積層板１中の欠陥６の有無を判定する判定部５と、を具備する。 （もっと読む）