【課題】製造されたデバイスの内部構造をテストするために薄いサンプルを準備して像形成する。
【解決手段】物体のサンプルを形成し、物体からサンプルを抽出し、真空チャンバーにおいて表面分析及び電子透過度分析を含むマイクロ分析をこのサンプルに受けさせるための方法及び装置が開示される。ある実施形態では、抽出されたサンプルの物体断面表面を像形成するための方法が提供される。任意であるが、サンプルは、真空チャンバー内で繰り返し薄くされて像形成される。ある実施形態では、サンプルは、任意のアパーチャーを含むサンプル支持体に位置される。任意であるが、サンプルは、物体断面表面がサンプル支持体の表面に実質的に平行となるようにサンプル支持体の表面に位置される。サンプル支持体に装着されると、サンプルは、真空チャンバー内でマイクロ分析を受けるか、又はロードステーションにロードされる。 （もっと読む）

【課題】外観検査装置で検出された欠陥をさらに詳細に検査する際に、外観検査装置のスループットに影響を及ぼさずに、かかる検査工程を行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】ウエハカセット４に収容された半導体ウエハ７を取り出して、取り出した半導体ウエハ７の表面の欠陥を検出する外観検査装置１を、ウエハカセット４から取り出した半導体ウエハ７の表面の光学像に現れる欠陥を検出する光学検査部１０と、検出された欠陥をさらに観察するための電子顕微鏡部４０と、ウエハカセット４から半導体ウエハを取り出して電子顕微鏡部４０に搬送する搬送機構８０と、を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】試料の保存の際に場所を広く占有せず、形状、性質の異なる試料であっても対応することのできるオージェ分光分析用試料ホルダを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、少なくとも、中空ホルダと、試料固定部位とを備え、試料を保持し試料を所定の測定位置に設置するオージェ分光分析用試料ホルダであって、試料固定部位が中空ホルダから独立し、交換可能であることを特徴とするオージェ分光分析用試料ホルダであり、試料ホルダの不足による作業の遅延を防ぎ、より効率的な測定を可能とすることが出来る。 （もっと読む）

【課題】試料の３次元的な元素構成を原子レベルで高精度に分析する際に、分析中の試料の移動を不要とし、試料の取り付け・取り外し等の作業が不要な元素分析装置および当該元素分析装置に使用可能な試料ホルダ等を提供する。
【解決手段】被測定体を搭載する電子顕微鏡用の試料ホルダ１０において、前記被測定体に照射される電子線が通過可能な開口２８、２８’を有する筐体１６と、前記筐体１６の内部に設けられ、前記被測定体から離脱した元素の位置および飛行時間を測定する検出手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】高分解能を維持しつつ、短い撮影時間で欠陥の画像情報を取得する荷電粒子ビーム検査方法および装置を実現する。
【解決手段】第１の撮影領域および第１の照射条件を用いた低倍率の第１の欠陥画像情報８６および参照画像情報８７を、すべての欠陥位置で求め、これらの画像から欠陥の高精度欠陥位置情報求め、この高精度欠陥位置情報に基づいて、高倍率の第２の撮影領域および第２の照射条件を設定し、すべての第２の欠陥画像情報８８を取得することとしているので、第１および第２の照射条件を一度切り替えるだけで、すべての撮影を終了し、かつ第２の照射条件を電流の小さいものとして分解能の低下を防止し、高分解能を維持したまま撮影時間を短いものとすることを実現させる。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの外観検査と内部検査とを単一化して検査効率を極大化させる半導体デバイス検査装置を提供する。
【解決手段】表面実装型半導体チップパッケージや半導体モジュールなどの半導体デバイスに対する外観及び内部検査において、半導体デバイスの外観映像を獲得する外観映像検出部１２１と半導体デバイスにＸ線を照射して透過映像を獲得する透過映像検出部１３１と外観映像検出部１２１の検査情報と透過映像検出部１３１から獲得された映像情報とを基準映像と比較して良好/不良を判定するコントローラー１４１とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像のための組成物、方法、及び装置、特に、Ｘ線顕微鏡コンピュータ断層撮影法から得られた試料画像の調製、収集、及び処理の改善を提供する。
【解決手段】コンピュータ断層撮像を用いて表現型に関してエキソビボ胎芽を選別するための高速かつ廉価で高処理量の高解像度撮像の方法のための処理と共に、Ｘ線顕微鏡コンピュータ断層撮影法を用いて仮想組織像のためのマイクロＣＴ画像を生成する方法を説明する。高品質画像生成及び解剖学的構造の識別、並びに分子ターゲットの位置確認に寄与する、試料の特定の構成要素を１つ又はそれよりも多くの染色剤で染色することを説明する。生成した画像の撮像後処理の低減を考慮する革新的な動物及び試料ホルダを詳細に説明する。特に、透過性の低い構造から動物又は試料を分離する透過性の高いベッド又はライナを含む動物及び試料ホルダを提供する。動物の身体に適合するベッドを含む、撮像手順又は複数の撮像手順の間に動物を望ましい位置に配置及び／又は維持するための更に別の動物ホルダを提供する。 （もっと読む）

【課題】結晶相のみの試料であっても標準試料を要することなく非点収差の補正が可能な、透過型電子顕微鏡の試料ホルダーを提供する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡の観察位置に試料を位置させるための試料ホルダー（３０）は、内部に段差（１３）を有する第１の開口（１２）が形成された試料ホルダー本体（１０）と、前記段差（１３）によってその周縁の一部が支持されることにより前記第１の開口（１２）内に回転可能に収納されかつ中心部に前記試料（７）を保持するための第２の開口（１５）を有する試料保持部材（１１）と、前記第２の開口（１５）を少なくとも一部を残して被覆する非晶質材料膜を備えたカバー部材（２０）とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供する。
【解決手段】板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減される。 （もっと読む）

貨物の非侵入性検査及び確認を行うためのシステム及び／又は方法を開示する。代表的な一実施形態では、元素シグネチャーを供給チェーンの第1地点で特定し、該供給チェーンの第2地点に送信する。物品が第2地点に到着すると、該物品の元素シグネチャーを測定し、元々の元素シグネチャーに対して確認できる。別の実施形態では、元素シグネチャーを測定して物品の起点を確認したり物品を識別したりできる。幾つかの実施形態では、こうした元素シグネチャーは発送済み物品及び／又は梱包材料に固有とする。他の実施形態では、元素シグネチャーは発送品にタグ物質として付加する。
（もっと読む）

【課題】多数の試料について基底標準吸収補正法を用いたＸ線回折定量分析を行う場合の分析効率を向上させる。
【解決手段】試料ホルダ１０において、上面に試料を装荷するフィルタ１４を嵌め込む基底板１３の凹部１３ａの底部に位置する回折面となる層１６を、金属結晶の方向が意図的に揃わないような処理又は加工が施されたものとする。これにより、試料無しの場合のブランク測定の際に試料ホルダの相違による回折Ｘ線強度のばらつきがなくなるので、１つの試料ホルダ（フィルタ及び基底板）についてのみブランク測定を行えばよくなり、測定回数を大幅に減らすことが可能である。 （もっと読む）

【課題】生体環境下で電子顕微鏡により生体環境内の生体ユニットを観察可能である電子顕微鏡による生体ユニットの観察法を提供する。
【解決手段】ステップＡ）は、電子顕微鏡９０内の試料腔室９１において生体環境１１を提供し、生体環境１１内に生体ユニット１８と所定の環境条件を整え、環境条件を生体ユニットが基本的な生理機能を維持可能に設定し、生体環境１１の上下方に向かい合う観察窓１２を設け、生体ユニット１８を異なる臨界電荷密度に耐えられる二種以上の物件を有するように設定する。ステップＢ）は、所定区域において、所定の時間で観察窓１２から生体ユニット１８に対し所定の強度の粒子束を照射し、電子顕微鏡９０の結像装置に結像する。所定の電荷密度は粒子束の所定の強度と所定の時間との相乗であり、所定の電荷密度は生体ユニット１８の照射された区域中の観察対象物の臨界電荷密度より小さいか或いはそれに等しい。 （もっと読む）

【課題】半導体装置に電子線を所定の間隔で複数回照射して、接合リーク不良発生箇所を特定でき、半導体製造工程途中のウエハで本検査を実行することにより接合形成プロセス条件の最適化を行うことができる検査方法及び装置、半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】工程途中のウエハに対して、接合が逆バイアスになる条件で、電子ビームを所定の間隔で複数回照射し、逆バイアスにおける帯電緩和の時間特性の差をモニタする。接合リークが発生した箇所は正常部よりも短時間に帯電が緩和するので、正常部と不良部で電位差が生じ、電位コントラスト像で明るさの差として観察される。この画像を取得し、リアルタイム画像処理を施し、不良部の位置と明るさを記憶する動作を順次繰り返すことにより、指定領域の自動検査を実施できる。不良部の画像、明るさ、分布等の情報は、検査後自動的に保存・出力される。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側であって基底板３１の外周側面の周りに設けられた非晶質部材３０とを有するＸ線回折定量装置である。非晶質部材３０からは強いピーク波形を持った回折線が出ないので、基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】 同一形状の被測定物を次々測定する際に、ティーチングを行う必要なく簡単な入力操作で各測定点を入力することがＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 同一形状の被測定物群を一定間隔ごとに規則的に配列する搭載治具１５を用いてステージ１４上に複数の被測定物群Ｓを載置し、初回測定点位置、測定点間距離、測定繰り返し回数を含む測定位置情報の入力を促す測定位置情報入力制御部３３と、入力された測定位置情報に基づいて各測定点位置を算出する測定点位置算出部３４と、算出された各測定点位置を順次Ｘ線測定光学系の測定視野内に移動するステージ駆動機構制御部３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転可能なベースの回りに配置されたサンプルを顕微処理する複数器具を含むクラスタ器具を提供すること。
【解決手段】ベースの上のサンプル・ホルダが、器具の作業領域間においてサンプルを回転させる。スライド可能真空封止が、真空を必要とする器具のサンプル室において真空を維持する。 （もっと読む）

【課題】高精度の試料ステージ機構を用いることなく、メモリーセルをカウントし、特定のセルの位置を検出する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム装置では、試料が繰り返しセルを有するとき、セルに対応したスケールパターンを生成し、それを試料の繰り返しセルの画像に重畳させることにより、目的セルを特定する。更に、試料の繰り返しセルの少なくとも３つの端の位置に基づいてセルの配列を求め、このセルの配列から目的セルの位置を特定する。ビーム偏向機能によるズームとソフトウエアによるズームを組み合わせてズーム画像を生成し、試料ステージを移動させることなく、ソフトウエアによって画像シフトを行う。 （もっと読む）

本発明の１つの態様によれば、基板処理システムが提供される。このシステムは、チャバを囲むチャンバ壁と、基板を支持するようにチャンバ内に位置付けられた基板支持体と、基板上の材料から光電子を放出させる電磁放射線を基板支持体上の基板に放出させる電磁放射線源と、基板から放出された光電子を捕らえるアナライザと、チャンバ内に磁場を発生させ基板からアナライザに光電子を誘導する磁場発生器と、を含む。
（もっと読む）

【課題】 水質の評価において、被測定水中に含まれる含有物が通水量や時間に対して、評価基板への付着依存性があっても、付着成分や量を正確に評価できる評価方法を提供することを目的としたものである。
【解決手段】 複数の評価基板に被測定水をそれぞれ所定の量、所定の時間接触させて、上記評価基板に付着した付着物を分析することにより、上記被測定水中の含有物の評価基板への付着依存性があっても、精度よく被測定水の水質を評価できるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】
半導体デバイス等の基板上に回路パターンを形成するデバイス製造工程において、製造
工程中に発生する微小な異物やパターン欠陥を、高速で高精度に検査できる装置および方
法を提供すること。
【解決手段】
表面に透明膜が形成された被検査対象物に対し、高ＮＡ対物レンズを真空チャンバ内に設置し、対物レンズ内に照明光路を設けたことにより、暗視野照明を可能にし被検査対象物表面の異物または欠陥の反射散乱光を高感度に検出できるようにした。 （もっと読む）