本発明は、式（Ｉ）で示される３−（Ｎ−メチル−Ｎ−ペンチル）アミノ−１−ヒドロキシプロパン−１，１−ジホスホン酸一ナトリウム塩一水和物（イバンドロネート）の新規な結晶多形に関するものである。
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【課題】 高温高圧の反応容器の外部から反応容器内の固形物の濃度分布や反応状態を迅速に測定する。
【解決手段】 高圧容器内状態観察装置は、固体粒子３を収容してその固体粒子３を高温かつ高圧の状態で反応させる高圧容器２に放射線１０を照射する放射線源４ａ、４ｂと、放射線源４ａ、４ｂから照射されて高圧容器２を透過した放射線１１を検出する放射線検出器５ａ、５ｂとを有する。さらに、放射線検出器５ａ、５ｂの出力に基づいて高圧容器２内の固体粒子３の濃度分布を演算するデータ処理部６を有する。データ処理部６は、高温容器２内に固体粒子３がない場合の放射線検出器５の出力を基準としてこの出力との差に基づいて濃度分布を演算する。 （もっと読む）

【課題】 薄膜化した試料に電子線を照射して観察、特にX線検出による元素分析を、背景雑音を低減して高精度、高分解能で行える試料観察装置および試料観察方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 薄膜試料の直後に孔部を有する軽元素材料からなる部材５６を配置して、電子線８で該試料２２の特定部位を観察する。
【効果】 本発明により、薄膜試料に電子線を照射して観察する際に、該試料以外の部分から発生するX線、および、該試料以外の箇所で散乱されて再び該試料に入射する電子線を低減できる。これにより高精度、高感度な２次電子像観察および元素分析が可能となり、一段と微細化が進むＬＳＩデバイス等の内部観察等を、高精度、高分解能で実施できる試料観察装置および試料観察方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】箔状サンプル以外の物による影響を受けること無く、箔状サンプルのＸ線回折パターンを得る試料固定方法および試料固定具を提供する。
【解決手段】Ｘ線回折測定における試料固定方法は、ターゲットからＸ線を試料に照射し、試料からの回折されたＸ線を捕捉して計数するために、Ｘ線照射面積を越える中空を有する土台の片面に試料を貼るものである。また、試料固定具は、試料を貼るための、Ｘ線照射面積を越える中空を有する土台と、粘土で該土台を保持する試料ホルダとを有するものである。 （もっと読む）

【課題】半導体等を高速に検査できるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供する。
【解決手段】電子光学系を少なくても３本以上配置し、複数の電子源を搭載した電子銃室を試料室とは独立に真空排気することによって複数の電子源近傍の真空度を常に高真空に保つ。また、電子線通路を高真空排気可能な遮蔽電極で電界および磁界を各電子光学系内に封じ込めることとともに、試料に負の電圧を設定して二次電子や反射電子を電子線光軸の電子源側の方向に加速することによって、二次電子や反射電子を同一光学系内で検出する。 これにより、同一の回路パターン同士でほぼ同時に得られた検出信号を比較し、パターン検査の欠陥判定を同時に行う。 （もっと読む）

【課題】
電子線を照射し、その二次電子などを検出する検出系では高速で検出するには検出器の面積が重要なファクタである。現在の電子光学系、検出器の技術では一定以上の面積の検出器が必要で、面積に逆比例する周波数で制約を受け、２００Msps以上の検出は実質的に困難である。
【解決手段】
例えば必要面積４mm角、４mm角時の速度を１５０Mspsとして４００Mspsで検出するには、単体の高速な２mm角の検出器を４個並べ、それらを増幅後、加算してA/D変換する。又は、二次電子偏向器で順次８mm角の検出器に二次電子を入射させ、１００Mspsで検出、A/D変換後並べる。いずれも、４mm角の面積と４００Mspsの速度を達成可能である。
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【課題】 成膜製品の製造工程に組み込み、製品を製造ラインから抜き取ることなく、薄膜検査を実施可能とする。
【解決手段】 検査対象を配置する試料台１０と、試料台１０を移動する位置決め機構２０と、第１，第２の旋回アーム３２，３３を備えたゴニオメータ３０と、第１の旋回アーム３１に搭載され、かつシールドチューブ内にＸ線管およびＸ線光学素子を内蔵したＸ線照射ユニット４０と、第２の旋回アーム３３に搭載されたＸ線検出器５０と、試料台１０に配置された検査対象を画像認識するための光学カメラ７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 高温高圧条件下での固体反応の反応速度を容易に測定する。
【解決手段】 固体反応測定装置は、固体の試料１１を反応させる反応容器３と、反応容器３を加熱するヒータ４と、反応容器３から離れて配置され、複数の試料１１を保管する試料保管容器５と、冷却部６を具備して反応容器３と試料保管容器５との間を連絡する移動通路４０と、試料保管容器５内の複数の試料１１から特定の試料１１を選択して移動通路４０を通じて反応容器３内に移動させ、その後に、移動通路４０を通じて反応容器５内の試料１１を試料保管容器５内に移動させる試料移動機構と、を有する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を実現し、かつ、真空容器内の圧力の増加や汚染が無く数μｍの試料片が固着されるＴＥＭホルダの導入手段を備え、迅速な観察を可能とする試料室容積が必要最小限の、占有面積の小さい、大口径ウエハ用の試料作製装置を提供すること。
【解決手段】試料を載置する試料ステージと、荷電粒子ビーム照射光学系と、荷電粒子ビームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、該試料から試料片を分離する試料片分離手段と、該試料を収納するカセットと、該カセットから該試料を該試料ステージに移載する試料移載手段と、該試料片を固定する試料ホルダと該試料ホルダを固定する試料載置部と該試料載置部を保持し、試料ステージ本体部と脱着可能な構成から成るカートリッジと、該カートリッジを収納するカートリッジステーションと、該カートリッジステーションから所望の該カートリッジを該試料ステージ上に、該容器の外部から移載する移載手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 有機顔料の平均一次粒子径及び粒径分布、凝集粒子径を正確に精度よく、簡便に測定する方法を提供。
【解決手段】 小角エックス線散乱法に基づき、有機顔料の小角エックス線散乱プロファイル（測定散乱プロファイル）を測定する工程（Ａ）と、前記有機顔料を、半径Ｒの球状粒子であって粒径分布のばらつきが存在すると仮定して、仮の半径Ｒの値と仮の粒径分布モデルから、理論散乱プロファイルをシミュレーションにより求める工程（Ｂ）と、該理論散乱プロファイルと前記測定散乱プロファイルとをカーブフィッティングさせることにより、有機顔料の平均一次粒子径及び粒径分布を決定する工程（Ｃ）とを有する。 （もっと読む）

【課題】フィルタで捕捉した微粒子をＸ線分析装置により元素分析する際、微粒子以外にフィルタのベース部材の元素も測定することになり、本来の測定対象の微粒子の元素を特定する上で障害となっていた。
【解決手段】分析用フィルタ１は、穴径１００ｎｍ〜１０００ｎｍのろ過穴３を複数有する樹脂からなるフィルタベース２と、フィルタベース２の片側の表面に金（Ａｕ）をイオンスパッタにて形成した金属被覆膜４とを有する。金属被覆膜４の膜厚は、Ｘ線分析装置の電子線が貫通しない程度で、ろ過穴３を塞がない程度が望ましく、４０ｎｍ〜１００ｎｍが好適である。 （もっと読む）

【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
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【課題】 簡単に目的とする分析エリアについてのみ分析を行うことができ、最適な分析条件を決定することができる生体組織中の微量元素分析装置、試料台及びこれを用いた分析方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線マイクロアナライザーで分析する生体組織の分析エリアを決定する分析エリア決定手段21を備えた。また、分析エリア決定手段21で決定された生体組織の分析エリアにおける分析条件を決定する分析条件決定手段31を備えた。さらに、生体組織の染色画像を取得する染色画像取得手段51と、染色画像取得手段51で得られた生体組織の染色画像とＸ線マイクロアナライザーで得られた微量元素分布画像とを合成する画像合成手段41とを備えた。
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【課題】 試料の元素分析を的確に行うことができ、且つ蛍光Ｘ線装置の小型化を実現できる試料ホルダ、試料ホルダ用蓋及び蛍光Ｘ線測定装置を提供すること。
【解決手段】 本発明は、ホルダ本体部１、本体部１に連結される蓋２を備える試料ホルダ１００で、蓋２が、開口５及び開口５を囲む包囲面６を有する蓋本体部４、包囲面６に対向する領域に収納可能で且つ包囲面６に平行な方向に移動させることで開口５を覆うことが可能な複数のカバー部材１２を備える。 （もっと読む）

【課題】 試料表面の平滑性が求められる分析において、粉体であっても容易に測定用試料を製造することができ、測定効率の向上を可能とする粉体ホルダ、測定用試料製造方法及び試料分析方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の粉体ホルダは、基台部と、基台部上に設けられた粉体保持部と、を備え、粉体保持部が、粉体保持部の基台部と反対側に粉体を収容する粉体収容孔を少なくとも１つ有し、粉体保持部の硬度が、基台部の硬度よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】 真空下にて試料を分析および／または処理する際に必要とされる複数の機能を備えた器具を提供する。
【解決手段】 端子１および突起部６を有する基板１００、ならびに端子１と接触する電極３および突起部６を挿入するための凹部１０を有するホルダー２００を備える回路形成用カセットであって、突起部６が凹部１０へ挿入されることによって基板１００とホルダー２００とが固定される構成を有する回路形成用カセットを用いる。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の形状が不揃い、かつ微量でも、測定精度良くかつ測定時間を短くすることを可能とする。
【解決手段】 物質測定装置は、被測定物を高温に熱し柔らかくする溶融ステーション３と、被測定物をプレスするプレスステーション４と、被測定物に含まれる物質を蛍光Ｘ線分析方法によって測定する測定ステーション５と、被測定物を前記各装置間で移動させる回転テーブル１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 シート状成形体のシート厚さを測定するべく流動体の密度或いは面密度を測定することにより，シート状成形体が不良と判定された場合の流動体の無駄な消費を軽減し，また，キャリアフィルム等の平面担持体上に担持される流動体の調整作業を容易にすること。
【解決手段】 流動体収容器５に収容された流動体６をキャリアフィルム等の平面担持体１上にシート状に連続的に担持させ，該担持されたシート状の流動体を脱水，乾燥させる前に，上記流動体収容器５に収容された上記流動体６に含まれる上記元素或いは化合物の密度及び／若しくは上記平面担持体１上に担持されたシート状の流動体６ａに含まれる上記元素或いは化合物の面密度等を測定し，該面密度等を測定した後に，上記シート状の流動体６ａを脱水，乾燥させて上記元素を含んでなるシート状成形体６ｂを成形する。 （もっと読む）

【課題】 従来の方法においては、分析点に金属箔を被覆するので、被覆した金属箔が試料の分析点に接触し、分析点の表面を汚したり、傷めたりする問題点があった。
【解決手段】 本願発明は、上記従来の欠点を解消するため、開口のある導電膜を、該開口の部分が分析点に当るように試料に被せ、電子ビームは、該開口を通して試料に照射し、オージェ電子も該開口から取り出して、分析する構造としたものである。これにより、分析点の汚染を回避できるとともに、試料表面におけるチャージアップも避けることができる。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ容易に生コンクリートの単位水量の測定ができ、測定精度の向上を可能とする生コンクリートの単位水量測定装置を提供する。
【解決手段】中央部に貫通孔５および挿入ガイド筒３を有する円盤状の上蓋２によって、空気量試験（ＪＩＳ Ａ１１２８）用の生コンクリートＰを収容する試料容器１の上部を覆い、棒状のセンサー８を、この貫通孔５に挿通させて試料容器１の中心部に配置し、この試料容器１を、支持体１３下端から天板１２までの高さＨを４０ｃｍ以上とした天板１２上に載せて測定することで、地面１９の水分等の水素原子の影響を受けずに精度良く、迅速かつ容易に測定をすることができる。 （もっと読む）