【課題】灰中の有害物質が飛散するのを防止し得る重金属濃度の自動計測装置を提供する。
【解決手段】シュート１の側壁部に接続されると共に取出通路部３及び排出通路部４からなる灰排出用通路２の取出通路部３内に、シュート１内を落下する灰を貯め得る灰採取用容器14を支持部材11を介してシリンダ装置12により、シュート１内の灰採取位置（イ）と、排出通路部４内の灰排出位置（ロ）との間で移動自在に設け、取出通路部３の上壁部に容器14内の灰中の重金属濃度を計測するＸ線計測装置５を設け、支持部材11の前端側に、灰採取用容器14を支持ピン13を介して揺動自在に支持させると共に、後端側を取出通路部３の底壁部に支持させて、灰採取位置（イ）に移動させた際に水平姿勢となるようにすると共に、灰排出位置（ロ）に移動させた際に、取出通路部３側に設けられた傾斜面を介して鉛直姿勢とすることにより、容器14内の灰を排出させるようにしたもの。 （もっと読む）

【課題】優れた測定精度を有するとともに、耐久性および保守性に優れた蛍光Ｘ線液分析計を提供する。
【解決手段】一次Ｘ線３１を発生するＸ線発生部２６と、一次Ｘ線３１が入射する部分に装着されるセル窓２５ａを有する測定セル２５と、測定セル２５からの蛍光Ｘ線３２を検出するＸ線検出部２７と、水頭差を利用した測定セル２５への液体試料の供給、および測定セル２５からの液体試料の排出を行う液体試料供給系３５とを備える蛍光Ｘ線液分析計２１である。Ｘ線発生部２６と測定セル２５との位置関係、および測定セル２５とＸ線検出部２７との位置関係はいずれも不変である。セル窓２５ａは親水処理されたポリエチレンテレフタレート製の膜からなり、Ｘ線発生部２６に装着される、ポリイミド製の膜からなる保護膜２６ａを備えるとともに、Ｘ線検出部２７に装着される、ポリエチレンテレフタレート製の膜からなる保護膜２７ａを備える。さらに、液体試料供給系３５における液体試料の排出側が大気開放される。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析時のＸ線透過シートの膨張を防止できるように試料セルを組み立てる試料セル組立具を提供する。
【解決手段】セル内枠１０を嵌合した試料カップ１１を、カップ端面１１１が下側となった状態で、試料カップ載置台７１上に載置する。円柱部（位置決め部）７１２の外径はセル内枠１０に内嵌し、試料カップ１１を位置決めする。円柱部７１２の上面には突起部（押し上げ部）７１３が突出しており、カップ端面１１１を押し上げて試料カップ１１の内側に向けて変形させる。高さが試料カップ１１よりも高いシート載置具７２上にＸ線透過シート１２を載置し、上から外枠嵌合具７３でセル外枠１３を試料カップ１１に嵌合させて、試料セル１を組み立てる。Ｘ線透過シート１２を下側にして蛍光Ｘ線分析を行う際、内部圧力が上昇しても、カップ端面１１が外側に向けて変形し、Ｘ線透過シート１２の膨張が防止される。 （もっと読む）

【課題】内部の圧力が上昇した場合であっても、蛍光Ｘ線が透過するシートの膨張を防止することにより、正確な元素分析を可能にする蛍光Ｘ線分析用試料セルを提供する。
【解決手段】液体燃料等の試料を収容した上でＸ線透過シート１０２で密閉した試料セル（蛍光Ｘ線分析用試料セル）１は、内部の圧力が上昇した場合に、窓部となるＸ線透過シート１０２が膨張する前に、試料セル１内の容積が増大するようにカップ端面が変形する。カップ端面は、膜状材を畳み込んで形成しており、試料セル１内の圧力が上昇した場合は、試料セル１の外側に向かって広がり、試料セル１内の容積が増大する。容積の増大によって圧力の上昇が緩和され、Ｘ線透過シート１０２の膨張が防止される。従って、試料と蛍光Ｘ線の検出器との距離が変動することが無く、高精度な蛍光Ｘ線分析が可能となる。 （もっと読む）

【課題】生物試料を培養し、かつこの生物試料に対して高効率でＸ線を照射することのできるシャーレを得る。
【解決手段】このシャーレ１０における本体１１は、円形の底面１２と、その周囲の側壁１３で構成され、底面１２上に液体（培養液等）を収容できる。底面１２の中央部には、円形の開口部１４が設けられ、開口部１４の周囲は、底面が掘り下げられた窓枠固定部１５となっている。Ｘ線は、この開口部１４を通してシャーレ１０の内部に照射される。窓枠固定部１５に矩形形状の窓枠部２０が嵌合して固定される。窓枠部２０は、上下のシリコーンゴム膜（弾性膜）２１に窒化シリコン膜２２が挟まれた矩形体形状の構成を具備する。上下のシリコーンゴム膜２１の中央部には、丸形の弾性膜開口（開口）２１１が設けられており、弾性膜開口２１１の中心は、シャーレ１０の底面の開口部１４の中心と略一致するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】試料の上下方向の搬送振れを減少させることで、放射線源とシート状試料の間隔を一定に保ちながら厚さ測定、欠陥検査をし、一定の透過線量を試料に透過する検査装置を提供する。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるシート状試料と、該シート状試料を挟んで対向して配置され、前記シート状試料の物理的特性を測定する放射線源およびラインセンサと、該ラインセンサの少なくとも一方の側面に近接して配置され、前記シート状試料の張力によって発生する上下方向の搬送振れを軽減し、エアーベアリングとして機能するための気体噴出手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの面剛性を高め、歪みを少なくし、これにより、各プローブピンとＴＦＴパネル基板の電極との接触圧力を均一化する。
【解決手段】本発明の外フレームは、アルミニウム合金の板材を基材とし、このアルミニウム合金の板材に、ステンレス合金の板材と繊維強化樹脂の板材の少なくとも何れか一方の板材を層状に連結して層構造を構成する。この層構造とすることによって、外フレームの曲げ剛性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】被検査板の裏側の硬化物に生ずる空隙の厚さを、被検査板の外側に熱中性子線子カウント装置を設置して得られる計数率比から算定する方法を提案する。
【解決手段】型枠に注入する充填材の水分量（W）を測定し、水分量から、構造体の内部状態を中性子線で探知できる検知厚さ（Ｄ_Ｓ）を、関数式を用いて算定する過程と、充填材を同じ含水量で空隙を生じないように型枠に注入してなる試験体を用いて、空隙のない状態で速中性子線を照射したときに試験体の外へ放出される熱中性子線のカウント量（Ｎ_O）を求める過程と、構造体の被検査板の任意の場所に試験体と同量の速中性子線を照射したときに構造体の外へ放出される熱中性子線のカウント量（Ｎ_ｐ）を求める過程と、（Ｎ_ｐ／Ｎ_O）を求め、これから空隙比率（Ｔ_Ｐ）を求める過程と、この空隙比率に検知厚さを乗じて空隙の厚さ（Ｄ_Ｖ）を求める過程とからなる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察対象である試料の伸縮の変化を抑えることにより、観察対象の位置ずれを解消し、大幅なスループット向上を図った荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料を保持する試料保持手段と、前記試料の温度の調整が可能な温度調節手段と、各種条件に基づき前記温度調節手段の制御が可能な温度調整手段制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】装置内部の空気を置換ガスに効率よく置換することが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】筺体１の上面中央の開口部にセルホルダ２を装着させることによって、筺体１で囲まれた分析室１ａが密閉される。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４の破損によって試料がこぼれ出た場合に、こぼれ出た試料がＸ線管３及びＸ線検出器４等に付着することを防止するために、セルホルダ２がＸ線透過窓材２３を挟持する。蛍光Ｘ線の分析処理を行なう場合、分析室１ａ内の空気と、試料セル５のＸ線透過窓材５４及びセルホルダ２が挟持するＸ線透過窓材２３の間の窓材間空間内の空気とを置換ガスに置換する。即ち、カバー７で覆われた試料室内の空気を置換ガスに置換する必要はない。 （もっと読む）

【課題】試料セルに設けられたＸ線透過窓材の撓みによる誤差の発生を防止し、流動試料に対する高精度な分析を行うことができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】セルホルダ２のセルホルダ内枠２１に設けられた開口部２１ｃの周縁に支持部２４を突設し、支持部２４の突端部に設けた円環状の平面が試料セル５の底部の開口５２ｄの内側に設けられたＸ線透過窓材５４に当接して試料セル５を支持する。また、試料セル５のＸ線透過窓材５４、セルホルダ２の支持部２４及びＸ線透過窓材２３にて囲まれた略密閉空間と、筐体１内とにヘリウムガスなどの気体を注入し、Ｘ線管３から試料セル５まで及び試料セル５からＸ線検出器４までの空間をヘリウムガスなどの気体で充填した後に、Ｘ線の照射及び蛍光Ｘ線の検出を行って試料の分析を行う。 （もっと読む）

【課題】雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを利用可能な蛍光Ｘ線分析装置及び蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線管（Ｘ線照射部）５１からの一次Ｘ線とＸ線検出器（検出部）５２が検出する蛍光Ｘ線とが通過する測定室（内部空間）３１内を特定のガスの雰囲気にした上で蛍光Ｘ線分析を行う。測定室３１へガスを供給する配管１の途中に、ヘリウム用圧力調整器２１と窒素用圧力調整器２２とを並列に備え、各圧力調整器は、ガスの種類に応じた圧力に調整してあり、ガスを測定室３１へ供給する際には、ガスの経路を、ガスの種類に対応する圧力調整器を通過するように切換弁（経路切換手段）２６で切り換える。配管１の殆どの部分を共通に使用しながら、雰囲気調整用のガスとして複数種類のガスを使用することができる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線を高い効率で「水の窓」領域を含む０．６〜６ｎｍの波長領域の軟Ｘ線に変換すること及び荷電粒子線の試料内での拡散範囲を狭く抑えて試料へのダメージを抑制すること。
【解決手段】
本発明の試料支持部材（１１）は、窒化シリコン膜またはカーボン膜の試料支持膜（１１ａ）の一方主面に、電子線照射により０．６〜６．０ｎｍの波長領域の特性Ｘ線を放射する金属膜（１１ｂ）が設けられている。これは、電子線の照射を受けた金属膜（１１ｂ）から軟Ｘ領域の特性Ｘ線を高効率（高強度）で放射させるためであり、このような高強度の特性Ｘ線を試料（１０）に照射させることにより、観察画像のＳＮ比を向上させることができる。また、金属膜（１１ｂ）には、試料支持膜（１１ａ）内での電子の拡散範囲を抑制するという効果もあるため、入射電子線の加速電圧を高めることが可能となり、ＳＮ比の向上のみならず分解能の向上にも効果がある。 （もっと読む）

【課題】高温測定が可能であり且つ繰り返して使用することができる試料ホルダを提供することを課題とする。
【解決手段】図（ａ）に示すように、ヒータ収納凹部２１へヒータ１５を入れ、下蓋１４を被せ、第２ボルト３５で固定する。これで、（ｂ）に示す形態のヒータ付き試料ホルダ１０が完成する。
【効果】Ｘ線透過部材３１は金属であるため、皺が寄ったり劣化する心配が無く、繰り返し使用することができると共に高温にも耐える。したがって、本発明によれば、普通のＸ線回析計測装置を用いるにも拘わらず高温測定が可能であり且つ繰り返して使用することができる試料ホルダが提供される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過画像内に不存在領域やシール領域を特定する処理を不要とすることにより、処理の負荷を軽減できるとともに検査速度及び検査精度を向上することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、内容物がパッケージ内に封入された物品５０を検査するＸ線検査装置であって、物品５０にＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品５０を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、Ｘ線検出部８の検出結果に基づいてＸ線透過画像６０を作成する透過画像作成部３０と、Ｘ線透過画像６０に基づいて、パッケージのシール部への内容物の噛み込みを判定する噛み込み判定部３１とを備え、噛み込み判定部３１は、パッケージの外縁から内容物の外縁までの長さをＸ線透過画像６０に基づいて算出し、該算出された長さに基づいて内容物の噛み込みを判定する。 （もっと読む）

【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源１４・６と、該試料を保持する試料ステージ１４・２２と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器１４・４と、該検出器１４・４に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット１４・５と、電子源１４・６から試料ステージ１４・２２への１次電子光学系と試料ステージ１４・２２から検出器１４・４への２次電子光学系を分離するウィーンフィルタ１４・３と、を備え、電子銃１４・６から放出された電子線はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ１４・３においてクロスオーバを形成し、１次電子光学系と２次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ１４・３上で異なっている。 （もっと読む）

【課題】ＸＰＳ分析に供する試料が粉末の場合、従来の方法では、装置内で粉末試料が飛散する可能性が高く、装置内汚染による測定結果への影響や装置付属機器の不具合に繋がってしまうため、簡易的な方法で粉末試料の飛散を防止するＸ線光電子分光分析方法を提供する。
【解決手段】粉末試料にバインダを混合及び分散し、バインダを混合及び分散した粉末試料を成形して錠剤（ペレット）化し、錠剤を試料として、バインダにはパラフィンを用いて、パラフィンの融点が４４℃以上５８℃以下であり、パラフィンの含有率が５重量％以上１０重量％以下であることを特徴とするＸ線光電子分光分析方法。 （もっと読む）

【課題】検出画像を取得した被検査領域毎に閾値を最適化する手法はあるが、１枚の検出画像については１つ閾値だけを適用する。このため、１つの画像内に有意でない欠陥が含まれる場合でも、有意の欠陥と同じ感度レベルで検出される。
【解決手段】１つの検査領域内に複数の感度領域を設定して、１つの検査領域のうちＤＯＩ（Defect of interesting）が存在する領域の欠陥だけを他と区別して検出できる仕組みを提案する。具体的には、検査領域内の画像の特徴に基づいて、検査領域内に複数の感度領域を設定し、検出画像、差画像又は欠陥判定部の判定用閾値に、各感度領域の設定感度を適用する。 （もっと読む）

【課題】 セルを解体する作業を簡素化できるセル解体装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線透過性を有するフィルム３２が液状の試料Ｓを収容する試料室３ａの少なくとも一部を形成する蛍光Ｘ線分析装置のセル３を、解体するためのセル解体装置１であって、フィルム３２を下方側に向けた状態でセル３を保持する保持部１１と、セル３が保持部１１で保持される際にフィルム３２を切断する刃部１２１と、刃部１２１よりも下方側に配置され、切断されたフィルム３２から流下する試料Ｓを受ける試料受部１３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）