【課題】半導体試料に加えられるダメージの影響の低減が可能で、より鮮明な不純物濃度分布に関する情報を取得することが可能な半導体の不純物分布測定用試料の製造方法および不純物分布測定方法を提供すること。
【解決手段】収束イオンビームを用いて、ｐ型とｎ型のうちの１つ以上の導電型の不純物を含む半導体基板から半導体片を切り出す切出工程Ｓ１１０と、切出工程Ｓ１１０で切り出した半導体片を、１０μｍ以下の厚さの導電性の箔の上に固定して電気的に接続する箔固定工程Ｓ１２０と、箔固定工程Ｓ１２０で導電性の箔の上に固定された半導体片に、所定の希ガスイオンを照射して、切出工程Ｓ１１０で生じたダメージ層の一部または全部を除去して半導体試料を形成するダメージ緩和工程Ｓ１３０と、を備える構成を有する。 （もっと読む）

【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供する。
【解決手段】板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減される。 （もっと読む）

【課題】建材中に石綿が含まれているか否かを極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法、及び、その含有される石綿の種類を極めて簡易かつ高い精度で分析することが可能な建材簡易分析方法を提供すること。
【解決手段】建物から採取した建材を、粉砕することなく、そのまま又は所定形状に切断若しくは破断して建材試料とし、該建材試料の切断又は破断面を走査型電子顕微鏡により観察後、繊維が確認された場合、繊維の径の測定及び組成分析を行う建材簡易分析方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体用研磨スラリー中に含有される不純物粒子等の異物の検査を行い、その異物に関する情報を取得することができるスラリー中の異物の検査方法を提供する。
【解決手段】半導体用研磨スラリーを採取するサンプリング工程と、スラリー中に含まれる砥粒は通過させ、砥粒よりも大きな異物は捕捉することが可能である孔径を有したろ過膜に、サンプリング工程で採取したスラリーを通液し、ろ過するろ過工程と、ろ過工程で得られた、スラリーを通液したろ過膜の表面に存在する異物を検査する異物検査工程と、を有する異物検査方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、上記問題点を解決すべく、ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りの傾斜を大幅に改善可能な試料ホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、ホルダー本体と、試料を保持するための試料固定台と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構は、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための支点保持部材とは無関係に軸傾斜可能な機構であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】分散染色法は、浸液とアスベストの屈折率差で分散色がつくが、結晶によっては分散色が薄くアスベストかどうか判別ができない場合がある。大気中から採取した試料から作成した標本では透明化したろ紙とアスベストとを同じ視野内で位相差観察する。アスベストによるコントラストが少ない場合、ろ紙繊維の影響を排除する必要がある。
【解決手段】アスベストに偏光特性があるので、顕微鏡光路中に偏光板が配置されていれば、偏光板の回転により見ている結晶がアスベストであれば観察する色が変化する。顕微鏡において偏光板を回転可能に設けて、観察しながら、偏光板を回転すると、偏光特性を有するアスベストは色が変化して観察されることにより、アスベストと、他のロックウールやろ紙繊維と区別することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡便な分析方法であって元の試料形状を反映した結果が得られる試料分析方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る試料分析方法は、絶縁物試料１を試料固定用樹脂２に埋め込み、前記試料固定用樹脂２を研削して前記絶縁物試料１の断面を露出させ、前記絶縁物試料１の断面を含む前記試料固定用樹脂２の表面にカーボン膜３を形成し、前記試料固定用樹脂２をオージェ電子分光分析装置の導電性試料台４上に保持し、前記絶縁物試料１の断面上のカーボン膜３を加工して試料の元素が検出可能な膜厚まで薄くし、前記絶縁物試料１の断面に対してオージェ電子分光分析を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】回転可能なベースの回りに配置されたサンプルを顕微処理する複数器具を含むクラスタ器具を提供すること。
【解決手段】ベースの上のサンプル・ホルダが、器具の作業領域間においてサンプルを回転させる。スライド可能真空封止が、真空を必要とする器具のサンプル室において真空を維持する。 （もっと読む）

【課題】高精度の試料ステージ機構を用いることなく、メモリーセルをカウントし、特定のセルの位置を検出する。
【解決手段】本発明の荷電粒子ビーム装置では、試料が繰り返しセルを有するとき、セルに対応したスケールパターンを生成し、それを試料の繰り返しセルの画像に重畳させることにより、目的セルを特定する。更に、試料の繰り返しセルの少なくとも３つの端の位置に基づいてセルの配列を求め、このセルの配列から目的セルの位置を特定する。ビーム偏向機能によるズームとソフトウエアによるズームを組み合わせてズーム画像を生成し、試料ステージを移動させることなく、ソフトウエアによって画像シフトを行う。 （もっと読む）

【課題】基底基準吸収回折法による定量法において基底板から正確な回折線強度情報を得ることを可能にすることにより、極めて正確な検量を行うことができるＸ線回折定量装置を提供する。
【解決手段】物質Ｓの重量をＸ線を用いて測定するＸ線回折定量装置において、物質Ｓを物質保持領域Ａｓ内に保持するフィルタ３３と、物質Ｓに照射するＸ線を発生するＸ線源Ｆと、物質Ｓで回折した回折Ｘ線を検出するＸ線検出器２０と、フィルタ３３におけるＸ線照射面の反対側に設けられ物質保持領域Ａｓよりも小さい基底板３１と、Ｘ線源Ｆから見てフィルタ３３の背面側であって基底板３１の外周側面の周りに設けられた非晶質部材３０とを有するＸ線回折定量装置である。非晶質部材３０からは強いピーク波形を持った回折線が出ないので、基底板３１からの回折線に誤差変動が生じることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】従来、定量基準となるハンダ試料が存在しないため、蛍光Ｘ線分析装置によるハンダ材料の定量分析が行えない。また、溶融ハンダは冷却固化の際に含有成分が偏析するため、表面分析装置では、十分な分析精度が得られない。
【解決手段】溶融状態のハンダ材料を冷却固化してハンダ試料とする工程と、冷却固化したハンダ試料を折畳んで重ね合わせる工程と、前記ハンダ試料を圧延する工程により、含有成分の偏析の少ないハンダ試料が作製でき、前記ハンダ試料を表面分析装置で定量分析することにより、簡便かつ高精度な分析ができる。 （もっと読む）

【課題】未知サンプルを測定するのに用いられる分光計と同様の分解能及び効率である基準物質からのスペクトルを測定するのに用いられる分光計を提供する。
【解決手段】Ｘ線放射特性を用いた物質同定方法が提供される。監視されるＸ線放射特性を表すＸ線データは、入射エネルギービームに応答して試料から得られる。同様に、複数の物質の組成データを含むデータセットが得られる。試料物質はデータセット内に含まれる。組成データを用いてデータセット内の物質の各々について予測Ｘ線データが計算される。取得Ｘ線データと予測Ｘ線データとが比較され、この比較に基づいて試料物質の可能性のある素性が判定される。 （もっと読む）

【課題】 土壌中の有害物質の分析において、溶出法に極めて近似する測定結果を得られるとともに、簡易的かつ迅速に分析が可能な土壌有害物質含有量分析方法を提供する。
【解決手段】 土壌有害物質含有量分析方法においては、前分析工程として、採取された土壌を試料として蛍光Ｘ線分析により有害物質の含有量を分析する。溶出工程として、試料とされた土壌から有害物質を溶出するように前記土壌に水系溶媒を加えて混合した後に固液分離する。後分析工程として、固液分離されたうちの固体成分を試料として蛍光Ｘ線分析法により有害物質の含有量を分析する。溶出量算出工程として、前記前分析工程で分析された有害物質の含有量から後分析工程で分析された有害物質の含有量を減算し、溶出された有害物質の含有量を算出する。 （もっと読む）

ラップ加工に用いられる粒子を含む研削材（砥粒）の圧潰強さを測定する方法及び装置が提供される。実施形態としての圧潰強さ試験機は、研削材を保持するカップと、カップを第１の方向に回転させる第１のモータと、カップ内に回転可能に嵌まり込んで研削材に接触するピストンと、ピストンを第１の方向とは逆の第２の方向に回転させる第２のモータと、第１及び第２のモータが回転している間にストンを研削材に押し付けて粒子を圧潰するプレスとを有する。粒子の初期粒径分布を求め、次に研削材に圧潰強さ試験機を用いてラップ加工の圧潰力にほぼ等しい圧潰力を及ぼす。粒子の圧潰後粒径分布を求め、初期粒径分布と圧潰後粒径分布を比較する。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡で観察するための試料の作製方法に関し、元のサンプルの表面近くの変化が少ない透過型電子顕微鏡用の試料の作製方法を提供する。
【解決手段】薄片状に加工する前のサンプルにＯｓ（オスミウム）からなる膜をサンプルの表面に形成し、その後に加工して薄片状とすることを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料の作製方法。Ｏｓ膜を形成する前に、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ−Ｐｄ、Ａｕ−Ｐｄからなる群から選ばれる１種以上からなる予備保護膜を真空蒸着法により形成する前記記載の作製方法。 （もっと読む）

紫外短パルスレーザ光源１から放出された紫外短パルスレーザ光は、シャッタ２、強度調整素子３、照射位置制御機構４、集光光学系５を介して、試料容器６中に入れられた高分子結晶８に集光照射される。試料容器６は、ステージ７に搭載され、光軸方向をｚ軸として、ｘ−ｙ−ｚ直交座標系でｘ軸、ｙ軸、ｚ軸の３次元方向の移動が可能とされていると共に、ｚ軸の周りに回転可能となっている。高分子結晶８の表面に集光照射された紫外短パルスレーザ光により、高分子結晶の加工が行われる。このようにして、高分子結晶に対して、種々の加工を、低損傷、かつ容易な操作で確実に行うことができる。
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【課題】 フローハンダ付けプロセスにおいてハンダ槽を管理するための蛍光Ｘ線分析法による溶融ハンダ材料の組成の定量分析を、より迅速かつより簡便な操作にて行うために有用な方法の提供。
【解決手段】 所定の材料製のサンプリングカップを用いて、その温度をハンダ浴の温度と実質的に同じにし、溶融状態のハンダ材料を所定量だけ汲み出し、ハンダ材料が溶融状態にある間に放熱プレート上へ所定の条件にて落下及び固化させて供試材を作製することを含む方法である。 （もっと読む）

【課題】圧力が結晶多形に及ぼす影響をスクリーニングする方法を提供すること。
【解決手段】アモルファス状の対象化合物の懸濁液を加圧処理もしくは減圧処理する工程を含むことを特徴とする対象化合物の結晶多形のスクリーニング方法。 （もっと読む）

【課題】液体試料だけでなくスラリー試料であっても、さらに液体中に浸漬した状態の固体粉末試料であっても、電磁波吸収測定により適切なデータが得られる試料測定用セル、及び電磁波吸収測定方法を提供すること。
【解決手段】電磁波透過性の材料で形成された２つの窓を相対する位置に有し、２つの窓の間に試料を存在させることが可能な電磁波通過部位と、電磁波通過部位の下方に設けられた、内部の液体を撹拌可能な攪拌手段を有する撹拌手段設置部位と、を有するセル構造を為しており、（１）セル構造内の電磁波通過部位の上方に、少なくとも１つの空孔を有する仕切り板を有する、又は（２）セル構造内の電磁波通過部位に、固体粉末試料を所定の電磁波通過長となるように配置可能でかつ固体粉末試料中に液体が浸透可能な試料容器を有する、試料測定用セル。 （もっと読む）

【課題】 熟練技術や時間を必要とすることなく、低コスト且つ容易に多層状の材料層からなるサンプルの深さ方向への分析を行うことができる蛍光Ｘ線分析装置等を得る。
【解決手段】 多層状に異なる材料を含むサンプルにおいて材料の分析を行う蛍光Ｘ線分析を行うに際して、サンプルに対してＸ線を照射し、蛍光Ｘ線を検出して材料の分析を行い、該分析結果に基づいて、サンプルの加工量を推定し、該加工量推定ステップにより推定された加工量に基づいて前記サンプルの加工を行うようにした。 （もっと読む）