【課題】繊維シートに含まれる、アニオン系官能基を有する高分子量物質からなる添加剤を簡便にかつ精度よく定量する方法を提供すること。
【解決手段】測定対象となる繊維シートを、多価金属イオンを含む水溶液に浸漬して繊維シートに含まれるアニオン系添加剤中のアニオン系官能基に多価金属イオンを結合させる。繊維シートを前記水溶液から引き上げ、余剰の多価金属イオンを洗浄除去する。添加剤中のアニオン系官能基に結合した多価金属イオンの量を測定し、その測定値と、前記添加剤の分子量、式量又は単位重量あたりのアニオン系官能基含有量とに基づき、繊維シートに含まれる前記添加剤の量を算出する。 （もっと読む）

【課題】表面に酸化膜を有する溶融亜鉛系めっき鋼板、電気亜鉛系めっき鋼板及び冷延鋼板について、表面の酸化物厚さを、既存手法より簡便・迅速、かつ正確に評価できる品質管理方法及び前記鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】溶融亜鉛系めっき鋼板の表面に０．１〜５ｋＶのなかから選ばれる加速電圧で加速された電子ビームを照射し、表面から発生する２次電子量に対応した信号強度を測定して信号強度数値として数値化する数値化ステップと、得られた信号強度数値が所定範囲に入るか否かにより、前記溶融亜鉛系めっき鋼板がその表面に所定性状の酸化膜を有しているか否かを判定する判定ステップとを有することを特徴とする、表面に酸化膜を有する溶融亜鉛系めっき鋼板の品質管理方法。 （もっと読む）

【課題】同一の生体組織試料について、電子像観察だけでなく、蛍光像観察、そして透視像観察等を行うことも可能な、複数の観察用光源を備えた多光源顕微鏡を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡の光源である電子銃とそれ以外の少なくとも１種の光源を有し、試料を同一位置で観察可能な多光源顕微鏡であって、蛍光を観察するための光学顕微鏡２０と走査型電子顕微鏡２とからなり、該走査型電子顕微鏡の電子ビームの光軸と同軸となるように該光学顕微鏡のカセグレン鏡１２が該走査型顕微鏡の鏡筒内に配置されてなり、反射面が非球面型であるカセグレン鏡を用いる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の面取斜面の異物を発見することができる検査方法及び検査装置及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ステージ上に搭載したガラス基板の表面の欠陥に電子線を照射して検査する検査方法において、ガラス基板の面取斜面を検査する際の面取斜面と電子線との照射角度が、ガラス基板の磁性層形成面を検査する際の磁性層形成面と電子線との照射角度と同じとなるように、ステージを傾けることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明はイオンビーム顕微鏡を用いた試料検査に関するものである。幾つかの実施形態では、本発明は、各検出器は試料についての異なる情報を提供する複数の検出器を用いるものである。
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【課題】 その場分析で溶液中の微量物質の反応過程の解析が可能な溶液中の微量物質のｉｎ−ｓｉｔｕ ＸＡＦＳ分析装置を提供する。
【解決手段】 微量物質を含む溶液１１を一様に攪拌するとともに溶液１１中の特定の反応を進行させるヒータ付きスターラ１と、溶液１１の流入口、流出口とともに前記流入口及び流出口の間に溶液１１の貯留部３Ａを有して溶液１１の一様性を維持し得るとともにＸ線源から放射した入射Ｘ線１２を貯留部３Ａ内の溶液１１に照射するための受光窓３Ｂを有する測定セル３と、Ｘ線を照射した溶液１１が放射する蛍光Ｘ線１３を受光窓３Ｂを介して受光することにより溶液１１中の微量物質をその場で検出し得る７素子ＳＤＤ８と、ヒータ付きスターラと測定セル３との間を連通する流路４，５と、流路４，５の途中に介在されてヒータ付きスターラと測定セル３との間で溶液１１を循環させる送液ポンプ２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】摩擦材の分析方法に関し、摩擦材の構成をより正確に分析可能な技術を提供する。
【解決手段】摩擦材の解析方法であって、前記摩擦材からなる試料に対してＸ線を照射し、該摩擦材の構成要素に関する構成情報を取得する取得ステップと、前記取得ステップで取得された構成情報に基づいて、前記摩擦材の構成要素を視覚的に写し出す出力ステップと、を備え、前記取得ステップでは、前記摩擦材からなる試料に対して焦点寸法が１μｍ未満のＸ線を照射することで、該摩擦材を構成する材料と該摩擦材の内部に存在する空隙とを含む該摩擦材の構成要素に関する構成情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】無機リン、特に樹脂中に含まれている赤リンを、簡便、かつ迅速に分析し、有機リンを識別する方法を提供する。
【解決手段】樹脂の試料を粉砕し、粉砕された試料に、放射光を照射して、Ｘ線吸収微細構造測定を行い、光子エネルギー２１４０ｅＶ〜２１７０ｅＶの範囲での吸収の有無により、無機リンの含有の有無を判定し、有機リンとの識別をすることを特徴とする樹脂中の無機リンの分析方法。 （もっと読む）

【課題】微小領域の歪みを簡単に測定できるようにする。
【解決手段】立方晶の金属組織に１５ｎｍ〜１００μｍ間隔で電子線を照射して、後方散乱電子回折像法より測定点毎に結晶方位を決定し、決定した結晶方位分布および隣接する前記測定点間の方位角度差より、格子歪を決定し、前記格子歪に基づいて金属組織上における残留応力分布を求める。また、求めた残留応力分布および測定対象の金属材料の降伏応力に基づいて塑性域と判定された領域において、前記方位角度差と前記金属材料の弾性限とに基づいて、塑性変形により生じた角度差を算出し、前記算出した角度差に基づいて、幾何学的に必要な転位の転位密度を予測する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物内部の特定物質について、精度良く濃度プロファイルを測定する。
【解決手段】特定物質の濃度プロファイル測定方法は、コンクリート構造物１０からコンクリートコア５０を採取し、放射線の照射により発生する特性Ｘ線を検出し、コンクリートコア５０における特定物質の濃度プロファイルを測定する特定物質の濃度プロファイル測定方法であって、コンクリート構造物の一つの採取箇所から採取されるコンクリートコア５０の直径Ｄｍｍと本数ｎとが、３０≦Ｄ・ｎおよびＤ≦５０の関係を満たす。これにより、精度良く特定物質の濃度プロファイルを求めることができる。たとえば、直径１０ｍｍのコンクリートコア５０で特定物質の濃度プロファイル測定を行う場合には、コンクリートコア５０を３本以上採取すればよく、２５ｍｍのコンクリートコア５０で濃度測定を行う場合には、２本以上採取すればよい。 （もっと読む）

【課題】効率的に、分析誤差の少ない分析試料を作製可能な分析試料作製方法を提供する。
【解決手段】研磨シート２０により、試料１０を研磨して研磨シート２０の凹部に研磨痕２０ａを付着させ、研磨痕２０ａ部分の研磨機能が喪失した時点における研磨痕２０ａの平均厚を求め、研磨シート２０により、試料１０と同材料である試料（図１では同一の試料１０としている）の分析対象層１０−３を研磨し、研磨シート２０の凹部に研磨痕２０ｂを付着させる。研磨痕２０ｂの面積は平均厚に基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】セメント硬化体中のひび割れ等の空隙部を、精度良く検出する方法を提供する。
【解決手段】セメント硬化体に存在する空隙部に、有機ハロゲン化合物を溶解又は混合した樹脂液を含浸させて硬化させた後、表面を研磨し、電子線マイクロアナライザーにより、該有機ハロゲン化合物由来のハロゲン原子の分布状態を分析することを特徴とするセメント硬化体中の空隙部を検出する方法。 （もっと読む）

【課題】容易に工作機械による表面の加工状態を観察することができる表面観察装置を提供する。
【解決手段】表面観察装置１は、シュラウド１１及びＳＥＭユニット１３を有している。シュラウド１１は、工作機械Ｍ１を用いて加工する試料Ｓ１、及び、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置された試料Ｓ１を固定するための治具Ｊ１を覆うように工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上に載置される。ＳＥＭユニット１３は、シュラウド１１上に配置される。このように、工作機械Ｍ１のテーブルＴ１上において、試料Ｓ１を治具Ｊ１に取り付けた状態で試料Ｓ１及び治具Ｊ１をシュラウド１１の内部に収めることによって、試料Ｓ１を治具Ｊ１から取り外すことなく、試料Ｓ１の表面の加工状態をシュラウド１１の上面に配置されたＳＥＭを用いて観察することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】少なくともＳｎとＧｅとを含有する合金の組成を、迅速かつ精度よく分析することができる、合金の組成分析方法及び組成分析装置を提供する。
【解決手段】この合金の組成分析装置１は、所定量の合金を無機酸で処理して、溶液部分と、Ｇｅ沈殿部分とに分離させる分離させる分離手段１２と、前記溶液部分及び前記Ｇｅ沈殿部分を、それぞれ組成分析する分析手段１５と、前記分離手段及び前記分析手段によって組成分析がなされた標準試料に基づいて、分析すべき分析試料の組成分析を、蛍光Ｘ線分析装置を用いて行う試料分析手段２０とを有している。 （もっと読む）

【課題】従来よりも少量の試料でも、正確に元素の種類及び濃度を測定することができる材料分析装置、材料分析方法を提供する。
【解決手段】外力により形状変化が可能な試料３を構成する元素の種類及び濃度を測定するＸＲＦ装置１００であって、試料３が収容される試料フォルダ４と、試料フォルダ４に収容された試料３を圧縮する押圧部材４１と、押圧部材４１によって圧縮された試料３に、試料フォルダ４を介して１次Ｘ線２０を照射するＸ線出射装置１と、１次Ｘ線２０の照射により、試料３から発生する元素特有の２次Ｘ線２１を検出するＸ線検出器５と、Ｘ線検出器５により検出された２次Ｘ線２１から、試料３を構成する元素の種類及び濃度を検出する元素検出部１０と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コヒーレントＸ線を用いた散乱測定において、測定部位を実デバイスと同様の条件で作製できるＸ線評価用試料及びその作製方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１１に対し、実デバイス形成時と同様の工程を実施する。その後、シリコン基板１１を切断して、測定部位１３を含む所望の大きさの試料２０を切り出す。次に、試料２０の裏面側を研磨してＸ線が透過する厚さにした後、試料２０の裏面にＡｕ等の金属からなるＸ線吸収膜２３を形成する。次いで、測定部位１３の近傍に、試料２０を貫通する参照光用穴２４を形成する。また、Ｘ線吸収膜２３をパターニングして、測定部位１３の裏面側に物体光用開口部２５を形成する。 （もっと読む）

【課題】実構造物の疲労強度を容易に正しく評価できる疲労試験機と疲労強度測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】試験体の疲労を試験する疲労試験装置であって、試験体における被測定部位の残留応力を測定するＸ線残留応力測定装置と、試験体における被測定部位の応力振幅を測定する応力集中ゲージを備えることを特徴とする、疲労試験機が提供される。実構造物で測定された残留応力および応力振幅を再現させるように、試験体の被測定部位に所定の残留応力および応力振幅を加えて疲労試験を行うことにより、構造物の疲労強度を正確に評価できるようになる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析により炭素質材料に含まれる元素をより迅速且つ容易に定量分析する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置２０は、蛍光Ｘ線分析方法とは異なる第２の測定方法（例えばＩＣＰ発光分析法）によって炭素質材料に含まれる含有元素の含有量を求めると共に、蛍光Ｘ線測定ユニット３０によってこの含有元素の強度値を求め、得られた含有量と強度値との対応関係情報（検量線）をＨＤＤ２５に記憶し、未知試料を蛍光Ｘ線の強度を検出し、この含有元素の強度値とＨＤＤ２５に記憶された対応関係情報とに基づいてこの未知試料の含有元素の含有量を定量する。蛍光Ｘ線分析方法では、炭素に対する感度がないが、第２の測定方法を利用することにより、定量可能とし、試料に含まれている元素の定量を非破壊で迅速に行う。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

【課題】スラグに含有される制限成分が許容値を超える高濃度スラグと、許容値以下である低濃度スラグとに、スラグを正確に分別することができるスラグ分別方法を提供する。
【解決手段】制限成分をスラグ中に投入して処理した後、同一の制限成分を投入しない次のチャージについてスラグを採取し、その採取したスラグの少なくとも９５％以上が球換算直径で５０μｍ以下となるようにスラグを粉砕し、圧力３０ｔ／ｃｍ^２以上で且つ２０秒以上プレスすることにより、厚さが２〜４ｍｍで分析面の凹凸が０．０５ｍｍ以下の試料を成形し、上記分析面に対し、電圧３０ｋＶ〜４０ｋＶ、電流５０〜７０ｍＡのＸ線を照射して制限成分含有量を分析し、分析によって得られた制限成分含有量Ｉと予め設定された制限成分許容値Ｐとを比較し、Ｉ＞Ｐの場合は制限成分高濃度含有スラグとして、また、Ｐ≧Ｉの場合は制限成分低濃度含有スラグとして分別することを特徴とする。 （もっと読む）