【目的】チップのスクリーニング試験において、試験装置を構成するコンタクトプローブのメンテナンスを短時間で行うことができる半導体チップの試験装置と試験方法を提供する。
【解決手段】ＩＧＢＴチップ２０が破壊した場合に、ＩＧＢＴチップ２０のエミッタ電極に付いたコンタクトプローブ４の圧接痕とＩＧＢＴチップ２０の破壊痕の距離を測定し、この距離が判定基準距離（例えば０．５ｍｍ）以下のときにコンタクトプローブ４を有するコンタクトブロック３をメンテナンスすることで、従来のようにＩＧＢＴチップの破壊が発生する都度、コンタクトプローブをメンテナンスしていた場合と比べて、試験装置停止時間及びメンテナンスコストの低減ができる。 （もっと読む）

【課題】正確な温度制御を行い、かつ、ノイズカットをし、加えて接触不良を解消し、測定精度を向上させる。
【解決手段】被検査体の電極に接触する接触子を有すると共に、前記被検査体との温度差による前記電極に対する前記接触の位置ずれを補正するヒータを内蔵したプローブ装置と、検査信号を前記プローブ装置に送信すると共に、前記ヒータへ電力を供給するテスタと、当該テスタに設けた、前記ヒータへ電力を供給する電力供給系と、当該電力供給系を介して前記プローブ装置のヒータを制御する温度制御ユニットと、を備え、前記電力供給系にヒータ電源遮断用開閉スイッチを備えた。また、雄型のコネクタ部と、他方の端部に設けられた雌型のコネクタ部とからなるコネクタを備えた。さらに、前記電力供給系の着脱可能に接触する接点には導通チェック装置を備えた。 （もっと読む）

特に自動操作に適した多点プローブを開示する。また、多点プローブとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点測定システムも開示している。加えて、プローブホルダとプローブマニピュレータヘッドとを装備した自動多点プローブ把持システムを示す。さらに、多点プローブを操作するためのプローブローダとプローブカセットとを備えるローディング済みのプローブローダも示しており、これにおいて、プローブカセットは、多点プローブを固定するためのプローブホルダを設けている。
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【課題】デバイスの電極パッドに付いた痕跡をプローブの針跡としてより正確に判定し、プローブの針跡としての誤判定を格段に軽減することができる針跡の判定方法を提供する。
【解決手段】本発明の針跡の判定方法は、複数のデバイスＤの複数の電極パッドＰに付いた痕跡に、プローブの針跡としての良否を判定するためのスコアを付与し、このスコアに基づいて不明確な痕跡が付いた対象電極パッド２Ｐを含む対象デバイスＤを選択する工程と、対象デバイスＤの検査方向の前後に時間的に連続してある４個の対照デバイスＤｂと９個の対照デバイスＤａを選択し、これらの対照デバイスＤｂ、Ｄａの対象電極パッドＤに対応する対照電極パッドＰに付いた痕跡２Ｐに付与されたスコアと対象デバイスＤの不明確な痕跡２Ｐに付与されたスコアとの加算値と所定の基準値を比較して対象デバイスＤの不明確な痕跡２Ｐのプローブの針跡としての良否を判定する工程と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、プリント配線板を検査する検査装置用の接触ユニットに関する。接触ユニットは、フルグリッドカセットとアダプタとを備える。フルグリッドカセットは、検査装置の基本グリッドの接点のグリッドに配置された複数のスプリング接触ピンが設けられている。アダプタは、フルグリッドカセットの各スプリング接触ピンを検査対象であるプリント配線板の配線板検査点に電気的に接続する検査ニードルが設けられ、スプリング接触ピンは、フルグリッドカセットの中でアダプタから遠い側に落ちないように固定され、検査ニードルは、アダプタの中でフルグリッドカセットから遠い側に落ちないように固定されている。アダプタ及びフルグリッドカセットは、互いに取り外し自在に接合されている。このようにして、スプリング接触ピン及び検査ニードルの両方が、アダプタとフルグリッドカセットとが組み付けられた状態において接触ユニットから落ちないように固定されている。 （もっと読む）

【課題】余分な伝送線を付加せずに反射波（反射信号）の影響をうけずに正確な信号波形の測定を可能とする電気信号計測用プローブを提供する。
【解決手段】RFプローブ30（電気信号計測用プローブ）が、平面回路の伝送線11の表面に接触し、伝送線11を伝播する電気信号を取り込むティップ4と、レーザ光が入力される電気光学結晶1とを備えている。この電気光学結晶1は、ティップ4を伝播する電気信号の電磁誘導によって発生する電磁波が自身に入射するよう、ティップ4の表面に接してあるいは当該表面の近傍に配置される。 （もっと読む）

【課題】多数の検査ポイントへの接触に対する耐久性を確保することができるフライング検査用コンタクトプローブ保持構造、及び該フライング検査用コンタクトプローブ保持構造を備え信頼性が高いフライング検査装置を得る。
【解決手段】コンタクトプローブアセンブリ１０を構成するスプリングプローブ２０は、先端部２５Ａが検査ポイントに接触される針状のプランジャ２５と、該プランジャ２５の他端側が進退可能に挿入されたバレル２４と、プランジャ２５をバレル２４に対する突出方向の移動限に偏移させるスプリング２６とを含んで構成されている。バレル２４は、基板部２２の長手方向一端部に形成された段部３２の第１固定面３２Ａ、第２固定面３２Ｂのそれぞれに複合接着構造３４によって固定されている。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明は、平面構造物（３８）と電気的に接触するための接触側端部（１６）と、ケーブル、特に同軸ケーブルに接続するためのケーブル側端部（１２）、特に同軸ケーブル側端部とを有し、接触側端部（１６）とケーブル側端部（１２）との間に、少なくとも２つの導体（１８，２０）、特に３つの導体を有する共平面導体構造物が配設され、共平面導体構造物（１８，２０）に対して、ケーブル側端部（１２）と接触側端部（１６）との間の所定区間にわたって共平面導体構造物（１８，２０）を支持する誘電体（２４）が片側または両側に配設され、共平面導体構造物の導体（１８，２０）が空間内で自由に、支持誘電体（２４）に対して懸架された状態で配設されるように、誘電体（２４）と接触側端部（１６）との間にテストプロッドが設計され、平面構造物（３８）との接触時に平面構造物（３８）に面するテストプロッドの片側（３２）には、誘電体（２４）と接触側端部（１６）との間で、空間内で自由に、支持誘電体（２４）に対して懸架された状態で配設された共平面導体構造物（１８，２０）の領域（２６）へとシールドエレメント（３４）が延出するように、シールドエレメント（３４）が配設および設計される、高周波測定用のテストプロッドに関する。
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【課題】アンテナ測定用プローブ自体に通電することによって外部導体の周囲に電界が生じる。この電界の影響によってアンテナ装置の反射特性が変化するため、より高い精度でアンテナ装置の反射特性を測定することが困難であった。
【解決手段】外部導体の外周面に接続され、内部導体の一軸方向に垂直な方向にそれぞれ延設された第１の突出部及び第２の突出部を具備し、第１の突出部の長さが第２の突出部の長さよりも大きいアンテナ測定用プローブとする。 （もっと読む）

【課題】直径１ｍｍ以下の球形導電体の電気抵抗を正確に評価する。
【解決手段】球形導電体の電気抵抗を４端子法にて評価できるようなプローブ構造を工夫した。具体的には、２つの対向電極間に球形導電体を挟み込み接触させ定電流を流すための電流プローブ、および球形導電体表面上の２点間の電位差を測定するための電圧プローブを独立に設置し、正確な評価を可能にした。 （もっと読む）

【課題】作業者への作業負担を軽減し、半導体部品の電気的特性の検査を効率的かつ安定的に実施することができるプローブ接触用冶具を提供すること。
【解決手段】半導体検査装置が有する検査用プローブ３を、半導体部品２の外部端子２ａに接触させるプローブ接触用冶具１であって、半導体部品２を挟み込むように当該半導体部品２に対して取り付けられる一対の枠体１０，１０と、枠体１０に対して摺動自在に取り付けられ、検査用プローブ３を保持すると共に、検査用プローブ３を半導体部品２の外部端子２ａに接触させるプローブ保持具１２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 プローブピンを傷つけることなく容易にピン立て基板の孔部に挿入することができるプローブピンのピン立て装置を提供する。
【解決手段】 ガイド孔１１０及び噴射孔１２０、１３０を有するボディ１００と、噴射孔１２０、１３０に空気を供給する供給装置２００、３００と、供給装置２００、３００の動作を制御する制御部６００とを備える。ガイド孔１１０はボディ１００を上下方向に貫通する。噴射孔１２０はボディ１００を貫通し且つガイド孔１１０に連通する。噴射孔１３０はボディ１００の噴射孔１２０より上方に設けられ且つガイド孔１１０に連通する。制御部６００が供給装置２００を動作させて空気を噴射孔１２０に供給させると、プローブピン１０がガイド孔１１０内で保持され、供給装置３００を動作させてガスを噴射孔１３０に供給させると、プローブピン１０がガイド孔１１０から下方に排出される。 （もっと読む）

【課題】デバイスに対するアブノーマルモード及びノーマルモードのテストを簡単且つ的確に行う。
【解決手段】プローブカード５０は、プローブカード基板５１と、このプローブカード基板５１に取り付けられ、複数のデバイス４０−１〜４０−ｎのＩ／０端子２−１〜Ｉ／Ｏｎ−１，・・・，２−ｎ〜ｎ−ｎに接触させるための複数のプローブ針５２と、プローブカード基板５１に取り付けられ、テスタ６０に接続するための複数の接続端子５３と、プローブカード基板５１に設けられ、各プローブ針５２−１〜５２−ｎと各接続端子５３−１〜５３−ｎとを接続する複数の配線５４とを有している。更に、プローブ針５２−２がジャンパ線５５−１により配線５４−２に接続され、以下同様に、プローブ針５２−ｎがジャンパ線５５−ｎにより配線５４−ｎに接続されている。 （もっと読む）

【課題】ポゴピンの汚れを容易にクリーニングする。
【解決手段】半導体ウエハ試験装置の検査ステージ部で検査対象物を支持し、プローブカードの探針で前記検査対象物に電気的に接触すると共に、ポゴピンブロックに支持された複数のポゴピンで前記プローブカードに接触して処理回路と前記探針とを電気的に接続することで、当該処理回路で検出信号の処理等をして検査を行う通常の工程と別に、前記プローブカードとほぼ同一形状を有すると共に前記ポゴピンブロック側の面に前記ポゴピンをクリーニングするクリーニング部を有するクリーニングプレートを、当該ポゴピンのクリーニングの際に前記プローブカードの代わりに付け替えて、通常の検査と同様の動作又はクリーニング動作を行わせる。 （もっと読む）

【課題】 本発明の態様は、快削性、高い曲げ強度、ヤング率、優れた加工精度が発現する快削性セラミックス複合材料を提供する。
【解決手段】 セラミックス粒子により構成されるマトリックスの粒界にh-BNが存在している快削性セラミックス複合材料であり、その快削性セラミックス複合材料に存在するh-BNの最大粒径が22μm未満とし、快削性セラミックス複合材料中の粒界に存在するh-BN量を測定したときの面積比の標準偏差が0.15以下を特徴とする快削性セラミックス複合材料とすることで、快削性、高い曲げ強度、ヤング率、優れた加工精度が発現する快削性セラミックス複合材料を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 同じピッチで異なる電流容量の測定用プローブを構成するに必要な部品の種類を少なくすることができるようにする。
【解決手段】本測定用プローブ１は、中心部に一つの内側プローブ素子２を収納する内側プローブ素子配置部２０、２０を有し、その周囲に、周側プローブ素子４を収納し得る周側プローブ素子配置部を複数有し、内側プローブ素子配置部２０、２０に一つの上記内側プローブ素子２が収納され、上記複数の周側プローブ素子配置部の少なくとも一部の周側プローブ素子配置部に、上記周側プローブ素子４が収納された構成を有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被検査体の電極配列パターンの変更があっても、電気検査の費用の増大を生じない、回路基板、その製造方法、その回路基板を組み込んだ電気検査ジグ、および電気検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の回路基板３０は、絶縁体からなる基部３１と、基部３１に固定され、該基板を貫通する複数の導線３３とを備え、複数の導線３３は、基部の一方の面に露出して端子３３ａを形成し、かつ他方の面から延び出ていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブ検査装置とレーザ発生装置との間で温度影響をなくし、クリーニングによる検査の中断を少なくし、コストを下げること。
【解決手段】プローブ検査装置１の内部に、レーザ照射によってプローブから異物を除去するクリーニングユニット１１と検査処理を実行するワークユニット１２とを移動可能に設けることでプローブを固定した状態でクリーニングと検査処理とを実行可能とする。加えて、プローブ検査装置１の外部に設けたレーザ発生装置２から伝送ケーブル３を介してクリーニングに用いるレーザ光を取得する。 （もっと読む）

本発明は、テストサンプルの複数の特定位置において電気特性をテストするための多点プローブに関する。多点プローブは、支持本体部と、複数の導電性プローブアームとを備える。各導電性プローブアームは、その近位端で支持本体部に接続され、各導電性プローブアームが個別に柔軟に動くように、支持本体部から自由に延びる遠位端を有する。導電性プローブアームは、導電性プローブアームを支持ウエハ本体部に面するように支持ウエハ本体部の上に形成するステップと、支持本体部から自由に延びる導電性プローブを形成するために、支持本体部を構成する支持ウエハ本体部の一部を除去するステップと、を有する多点プローブ製造方法を用いて作製される。各導電性プローブアームの最大厚みに対する最大幅の比は、０．５〜２．０の範囲であり、垂直二等分線に対してずれた位置に配置された特定接触エリアポイントを形成する遠位先端部を有する。
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【課題】 コンタクトプローブの直径を５０μｍ程度まで小径化しても適度な付勢力で電極端子を弾発することができ、製造容易かつ低価格で、小型・高集積の回路基板の検査に好適なコンタクトプローブを提供する。
【解決手段】 回路基板の検査孔に電極端子を挿入し、所定の電気的検査を行うコンタクトプローブにおいて、所定長さの電極端子２と、この電極端子２の少なくとも一端が所定長さ突出するように、電極端子２の外周に密着して取り付けられるパイプ３とを有し、パイプ３は、肉厚，長さ及び材質を含む形成条件の組み合わせによって電極端子２の撓み弾性を調整する弾性調整パイプとして形成されている構成とした。１００μｍ以下の極細のパイプ３は、電鋳法によって形成することができる。 （もっと読む）