【課題】分光領域の変形を抑制して分解能を向上することができ、且つ、製品ごとの分解能のばらつきを低減することのできるファブリペロー干渉計の製造方法を提供する。
【解決手段】可動ミラー構造体を形成する工程として、第１高屈折率層を犠牲層上に形成する工程と、第１低屈折率層を、第１高屈折率層上における分光領域の可動ミラー形成位置及び周辺領域に形成する工程と、第２高屈折率層を、第１低屈折率層を含んで第１高屈折率層を覆うように形成する工程と、エッチングにより、周辺領域の第１低屈折率層上に位置する第２高屈折率層の少なくとも一部を、第１低屈折率層をエッチングストッパとして除去する工程と、エッチングにより、第２高屈折率層の除去された部分を介して、周辺領域の第１低屈折率層を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、プリズムの回折格子と対向する面の外側に回転可能のミラーを設置し、このミラーの角度を調整することで、例えばＣバンドやＬバンド等、異なる波長帯の測定光においても同一のプリズムを使用して光スペクトルの解析を行うことのできる分光装置を実現することにある。
【解決手段】本発明は、測定光をプリズムにより波長分散し、この波長分散光を受光部によって受光して測定光の光スペクトルを解析し、前記プリズムは、前記測定光を入射する入射面と、この入射面と隣接する回折格子面とを有する分光装置において、前記回折格子面と対向する面の外側近傍に任意の角度に回転可能であるミラーを備え、前記プリズムの入射面から入射した測定光は、前記回折格子面により波長分散され、前記回折格子面と対向する面から出射し、前記ミラーに反射して前記回折格子面と対向する面から入射し、前記回折格子面により再び波長分散され、前記入射面から出射し、前記受光部によって受光されることを特徴とする分光装置。 （もっと読む）

【課題】消費電力量の低減、および小型化を図りつつ、検出精度を十分に高める。
【解決手段】赤外線を透過可能な支持基板１１と、支持基板１１における一方の面側に形成されたフィルタ部１２と、支持基板１１における他方の面側に形成されたセンサ部１３とが一体的に構成されて、フィルタ部１２および支持基板１１を透過した測定光ＩＲをセンサ部１３によって検出可能に構成され、フィルタ部１２は、透過波長固定型の第１光学フィルタ２１と、第１波長から第２波長まで透過波長を変化可能な透過波長可変型の第２光学フィルタ２２とを備え、第１光学フィルタ２１は、測定光ＩＲの透過を規制する透過規制波長領域と、測定光ＩＲの透過を許容する透過許容波長領域とが第１波長から第２波長までの間に規定されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度で分光特性を計測することができる分光計測装置及び分光計測方法を提供する。
【解決手段】測定領域Ｓ１内の各輝点から多様な方向に向かって放射状に生じる散乱光や蛍光発光等の光線群（「物体光」ともいう）は対物レンズ１２に入射し、平行光束へ変換され、位相シフター１４に到達する。そして、位相シフター１４の基準ミラー部１５と傾斜ミラー部１６でそれぞれ反射された後、結像レンズ１８により検出部２０の受光面２０ａで干渉像を形成する。このとき、基準ミラー部１５で反射された光線群と傾斜ミラー部１６で反射された光線群の間に連続的な光路長差分布が存在するため、受光面２０ａにおける干渉像の光強度を検出すると、その光強度が連続的に変化するインターフェログラム（結像強度変化の波形）が得られる。これをフーリエ変換することで被測定物Ｓの一輝点から発せられた光の波長毎の相対強度である分光特性を取得することができる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタや参照物体等の設置を不要として、車両等の移動体周辺における環境光のスペクトルを取得することのできるスペクトル測定装置、及びスペクトル測定方法を提供する。
【解決手段】スペクトル測定装置１１は、車両１０に搭載されたスペクトルセンサ２０にて検出される観測光のスペクトルデータに基づいて測定対象を認識する。スペクトル測定装置１１は、車両１０周辺の気象情報を取得する気象情報取得装置１４と、気象情報に基づいて測定対象に照射されている環境光のスペクトルを推定する環境光スペクトル推定部２６とを備え、観測光のスペクトルデータに基づく測定対象の認識に環境光スペクトル推定部２６により推定される環境光のスペクトルの影響を加味する。 （もっと読む）

【課題】スリット走査に起因する撮像時間の冗長性を解消して、いかなる撮像対象に対しても迅速なスペクトル撮像を可能とするスペクトル撮像装置及びスペクトル撮像方法、及びそれらスペクトル撮像装置、スペクトル撮像方法に用いられるライン光走査機構を提供する。
【解決手段】撮像対象から観測された観測光Ｌをライン状の光に順次変換走査する機構として、変換すべきライン状の光に対応する形状を有してその長手方向に設けられた軸を中心に各別に回動可能な光選択部材１２１ａ〜１２１ｎが観測光Ｌを走査する分解能に対応する数だけ配列されたライン光走査機構１２０を備える。そして、このライン光走査機構１２０を構成する光選択部材１２１ａ〜１２１ｎの選択的な回動に基づいて観測光Ｌを順次ライン状の光に変換走査して分光器１３０に取り込む。 （もっと読む）

【課題】連続的な広い周波数範囲にわたって信号対雑音比のよい測定ができる分光装置を提供する。
【解決手段】インコヒーレント光の光源であるブロードエリア半導体レーザ１と、インコヒーレント光を平行化して集光する一対のレンズ２ａ、２ｂと、一対のレンズ２ａ、２ｂを通過したインコヒーレント光を通過させるためのピンホールが形成されたピンホール部材６と、ピンホールを通過したインコヒーレント光を２つに分割するビームスプリッタ７と、分割された後の２つのインコヒーレント光のうちの一方のインコヒーレント光の照射に基づき第１電磁波を放射する電磁波放射用光伝導素子８と、第１電磁波を試料に透過または反射させた第２電磁波と上記２つのインコヒーレント光のうちの他方のインコヒーレント光とが入射され、第２電磁波と他方のインコヒーレント光との相互相関信号を得る電磁波検出用光伝導素子９とを備える。 （もっと読む）

【課題】車両等の移動体の走行環境に存在する多様な対象を実時間にて、しかも十分な認識性をもって可視表示させることのできるスペクトル測定装置、及びスペクトル測定方法を提供する。
【解決手段】スペクトル測定装置１０は、移動体に搭載されたスペクトルセンサにより測定される複数の波長情報及びそれら波長情報のそれぞれに対応する波長画像に基づいてスペクトル画像Ｄを生成する。スペクトル測定装置１０は、スペクトル画像Ｄから必要とされる複数の波長画像を選択するとともに、該選択した複数の波長画像を合成処理して移動体周囲の環境画像Ｆを生成し、この生成した環境画像Ｆを画像表示装置１５に可視表示させる画像処理部（１２及び１４）を備える。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の照射光量に対する分光感度の非線形性を補償する。
【解決手段】太陽電池評価装置１におけるソーラシミュレータ（照明光源）３の光量校正を行う光源評価装置１０において、分光放射計１３によってソーラシミュレータ３の照射光を取込み、その分光放射照度Ｌ（λ）を求める。一方、分光感度測定装置５では、白色バイアス光の強度を複数ｉ段階に変化させ、都度、分光光源から輝線照射を行うＤＳＲ法によって、太陽電池２の分光感度Ｐｉ（λ）＝Ｐ（λ，Ｉｂ）＝Ｐ（λ，∫Ｌ（λ）ｄλ）を求める。そして演算部１４は、２つの分光放射照度Ｓ（λ）および分光放射照度Ｌ（λ）と分光感度Ｐｉ（λ）とから、基準太陽光で規定の短絡電流Ｉｓｔｃとなるときの照射光エネルギーＥｓｓおよび実際にソーラシミュレータ３による照射光エネルギーＥｓｓを求め、両者が一致するようにソーラシミュレータ３の光量をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】測定結果の信頼性やオペレータの作業効率を損なうことなしに、光源光による光学素子の劣化を低減することのできる分光光度計を提供する。
【解決手段】複数の光源１１、１２、分光器１５、及び光検出器１８を含む測光部１０を具備する分光光度計において、所定時間に亘って測定が行われず且つ操作入力もない場合に、光源１１、１２からの光が以降の光学素子に入射しない状態となるように光源切替ミラー１３を駆動する。これにより、光源光が必要以上に長時間に亘って光学素子に照射されるのを防止し、光による光学素子の劣化を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易なフィルタ構成で透過波長帯域幅の可変範囲を広げることが可能な分光装置を提供すること。
【解決手段】この光源装置１は、入射光Ｌ２の光路上に直列に並んで設けられた２つのフィルタ回転体８Ａ，８Ｂを備えており、フィルタ回転体８Ａ，８Ｂは、入射光Ｌ２を入射光の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させるフィルタ８１ａ〜８１ｈと、フィルタ８１ａ〜８１ｈを、入射光の入射角が変更可能なように支持する回転テーブル８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】リアルタイムで表示される測定曲線に対して必要な情報を提示し、分析装置の操作を視覚的に支援する測定支援システムを提供する。
【解決手段】測定曲線表示手段１２に表示される測定曲線の形状をリアルタイムで解析し、最適な測定曲線の描写を妨害する事象の存在を察知したときは、その事象に対応するヘルプ情報を検索し、測定曲線表示手段に表示する。また、設定変更を視覚的に支援するために変更すべきパラメータの位置や推奨するパラメータ値の範囲等を測定曲線表示手段に示す。 （もっと読む）

【課題】運用中の光信号のＯＳＮＲを簡易かつ安価な構成によって精度良く測定することのできるＯＳＮＲ測定装置を提供する。
【解決手段】ＯＳＮＲ測定装置１は、可変の通過帯域を有する波長選択部１２により、入力ポート１１に与えられる被測定光Ｌから測定対象の信号光波長に対応した光成分を選択的に取り出して遅延干渉部１４に与え、該遅延干渉部から出力される遅延干渉光のパワーを光検出部１５で検出し、波長選択部の通過帯域の帯域幅および光検出部の検出結果を基に、ＯＳＮＲ演算部１６が測定対象の信号光波長におけるＯＳＮＲを算出する。 （もっと読む）

【課題】赤外光源を点灯してからの時間経過等に拘わらず、ダイナミックアライメント方式による固定鏡姿勢制御やフィードバック制御による移動鏡の速度一定制御の精度を高めて高精度で再現性の高いスペクトルを取得する。
【解決手段】記憶部２８には、固定鏡姿勢制御部２１における制御に用いられる信号の位相差や移動鏡速度制御部２４における制御に用いられる伝達関数等の制御パラメータを、干渉計室内の温度範囲毎に用意したテーブルを格納しておく。測定実行時にパラメータ設定部２６は温度センサ２７により検知される干渉室内の温度情報を読み込み、その温度に応じた制御パラメータ値を記憶部２８から読み出して各制御部２１、２４に送り、測定を実行する。これにより、干渉計室内の温度に拘わらず適切な干渉計制御が実施される。 （もっと読む）

【課題】短時間に出力波長を切り替えることができる分光器を提供する。
【解決手段】分光器１Ａは、第１入射側光導波路１１、入射側光スイッチ１２、第２入射側光導波路１３_１〜１３_４、分光手段としての光フィルタ１４_１〜１４_４、第２出射側光導波路１５_１〜１５_４、出射側光スイッチ１６、第１出射側光導波路１７、光タップ２１、光検出器２２および切替回路２３を備える。切替回路２３の制御により、第１入射側光導波路１１の出射端から出射されて入射側光スイッチ１２に入射された光のうち選択された波長λ_ｎの光は、第２入射側光導波路１３_ｎ，光フィルタ１４_ｎ，第２出射側光導波路１５_ｎ，出射側光スイッチ１６および第１出射側光導波路１７を経て、第１出射側光導波路１７の出射端から出射される。 （もっと読む）

【課題】透過波長可変フィルタを用いて、高い波長分解能を有する分光測光装置を提供する。
【解決手段】入射した光を波長ごとに分光して透過させる光学部品であって、光が入射する面内の第１の方向に沿って透過波長が変化する第１の透過波長可変フィルタと、光が入射する面内の第２の方向に沿って透過波長が変化する第２の透過波長可変フィルタを有し、前記第１及び第２の透過波長可変フィルタを所定の間隔を隔てて、かつ、前記第１の方向と前記第２の方向が略平行となるように設置する。分光測光装置であって、前記光学部品と、前記光学部品を透過した光を受光する、複数のセンサが配列されたセンサアレイを備える。 （もっと読む）

【課題】硫酸アンモニウムの結晶の付着に起因する光源装置の光量低下を防止する。
【解決手段】光源装置１は、放射波長に紫外線を含んで周辺雰囲気の酸素からオゾンを発生させるランプ３と、ランプ３が配置されるランプ配置空間１３，１５で発生したオゾンを空間１３，１５から除去するために空間１３，１５内に風を送るためのファン１１を備えている。光源装置１は、さらに、ランプ３を支持し、かつランプ３に電源を供給するためのソケット５と、ランプ３に対向して配置されたガラス部材７と、ソケット５及びガラス部材７を支持するための支持部材９を備えている。ガラス部材７のランプ３側の面はランプ配置空間１５と接している。ファン１１は、ガラス部材７のランプ３とは反対側の面にも風を送る。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でありながら分光特性の自由度が高い小型の分光光学装置と、それを備えた分光分析装置を提供する。
【解決手段】分光光学装置１０は、回折光学素子５と可動受光部６を有する。回折光学素子５は、光を収束させる正パワーの回折格子構造Ｄ１を光軸ＡＸから離れた軸外領域Ａ１の少なくとも一部にのみ有する。可動受光部６は、回折光学素子５から射出した光をその収束点近傍で通過させる開口７ｈを有する光束規制部材７と、開口７ｈを通過した光を検出する光センサー８とを有し、回折光学素子５に対する相対位置が光軸ＡＸ方向に可変であって、回折光学素子５から射出した光を軸外側から光束規制して受光する。 （もっと読む）

【課題】ソーラーシミュレータの分光特性測定装置において、ポリクロメータにおける波長分光方向のシフトを補正するにあたって、簡単な構成で実現する。
【解決手段】ポリクロメータ５の分光データの内、演算制御部６の分析・判定部６３が、キセノンランプの輝線（８２５ｎｍ）付近の波長域（８００−８５０ｎｍ）のデータを分析しており、その分析結果から、測定光束にキセノンランプの輝線が含まれているか否かを判定し、含まれている場合には、補正部６４は、演算部６２に、その輝線を使用させて、メモリ６１に記憶されている波長校正データを補正させる。したがって、キセノン光源などの特定のシフト補正用光源を搭載しなくても、測定対象からの光束を用いて補正を行うことが可能になり、分光特性測定装置１の構成を簡略化することができる。 （もっと読む）

【課題】スペクトルのＳ／Ｎ比を向上させる。
【解決手段】同一測定をＭ回繰り返すことにより得られたデータポイント数ＮのＭ個のスペクトルデータもしくは時間領域データＳ1(ｄ1〜ｄN)〜ＳM(ｄ1〜ｄN) を積算する積算手段と、前記Ｍ個のスペクトルデータもしくは時間領域データＳ1(ｄ1〜ｄN)〜ＳM(ｄ1〜ｄN)に含まれる、同じ序数ｄnのデータ点の各集合Ｓ1(ｄn)〜ＳM(ｄn)について、相関を求めることにより、各序数のデータ点に関する相関の強さを表す相関データＣ(c1〜cN)を求める相関演算手段と、前記積算手段から得られるデータポイント数Ｎの積算された又は予期されるスペクトルもしくは時間領域データＳav(ｄ1〜ｄN)と前記相関データＣ(c1〜cN)との積を求める演算手段と、を備えた。 （もっと読む）