【課題】 外乱の影響を受けることなく正確に試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出することができる干渉分光光度計を提供する。
【解決手段】 往復移動可能な移動鏡２６２を有する移動鏡ユニット２６０と、固定鏡８５と、赤外光を出射する赤外光源部１０と、ビームスプリッタ７０と、試料を透過又は反射した光強度情報を検出する干渉光検出部２０と、移動鏡２６２の移動鏡速度情報を検出する移動鏡速度情報検出部３０と、光強度情報及び移動鏡速度情報を取得して、試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出する制御部５１とを備える干渉分光光度計１であって、目標移動鏡速度範囲を記憶する記憶部５２を備え、制御部５１は、移動鏡２６２の移動速度が目標移動鏡速度範囲から外れたときに得られた光強度情報を、試料の吸光度又は透過率スペクトルを算出する際に採用しないようにする。 （もっと読む）

【課題】コリメータレンズ１５の焦点距離との関係で、光源１１が点光源と見なせない場合でも、軸外光束を考慮して大きな光学部品を用いることなく、平行光の光束径を小さくして、干渉計２を小型化する。
【解決手段】干渉計２は、光源１１と、コリメータレンズ１５と、干渉部１３とを備えている。コリメータレンズ１５は、光源１１の光出射面１１ａの１点から出射される光束を平行光に変換する。干渉部１３は、コリメータレンズ１５を介して入射する光を、ＢＳ１６の分離合成面で２光束に分離し、各光束を移動鏡１７および固定鏡１８で反射させた後、上記分離合成面で合成して干渉させる。光源１１の光出射面１１ａには、半球レンズ１４が密着して配置されている。 （もっと読む）

【課題】分光システムにおいて、反射しないで受信される信号と反射してから受信される信号を分離する。
【解決手段】各信号強度検出回路（狭帯域フィルタ１１８、検波器１１９、ＡＤ変換器１２０）は、受信用ミキサ１１５からの信号から予め定められた各周波数の成分を分離して抽出する。また、波長可変レーザ光源１０１からの光の波長が一定の期間において波長可変レーザ光源１０３からの光の波長を当該波長が複数の波長のそれぞれに等しくなる期間が離散的になるように変化させる。 （もっと読む）

【課題】省電力モードへの移行・解除動作の自動化を図ることが可能で、かつ、節電効果と光源の立ち上げ期間の短縮を同時に達成できる光学分析装置を提供すること。
【解決手段】光源１１および光源以外の各機器１２を有する光学分析手段１、電源供給手段２および制御手段３から構成される。電源供給手段２は、光源用スイッチ２３および機器用スイッチ２４を有する。制御手段３は、分析スケジュールに応じた予定時刻を記憶するメモリー３１、タイマー３２および各スイッチのオン・オフ指令を出すＣＰＵを有する。光源用スイッチ２３は、給電率が０％を超え１００％未満である複数の省電力モードＳ_１、Ｓ_２に切換え可能である。ＣＰＵは、モード切換え時刻Ｔ_１まで光源用スイッチ２３を低いレベルの省電力モードＳ_１に維持し、モード切換え時刻Ｔ_１で高いレベルの省電力モードＳ_２へ切換えて、立ち上げ開始時刻Ｔ_２でオンにする。 （もっと読む）

【課題】光スペクトラムを精度よく分析でき、低価格かつ小型化を実現できるスペクトラムセンサを提供する。
【解決手段】少なくとも１方向における幅が所定幅であるピンホール１１を有する配線層１０と、配線層１０を透過した光の光強度を検出するフォトダイオード２０とを備え、配線層１０は、少なくとも１方向に振動する光において所定幅に対応する所定波長より短い波長の光を、ピンホール１１において透過させる。 （もっと読む）

【課題】高価な分光器を必要とせずに、特徴量を高精度に推定可能とする。
【解決手段】被検体の特定成分に関する特徴量を推定する特徴量推定装置は、波長帯域の相違する複数のバンド画像を分光スペクトルに変換するための分光推定パラメーターを保存する分光推定パラメーター保存部３６と、分光スペクトルを前記特徴量に変換するための検量処理パラメーターを保存する検量処理パラメーター保存部３８とを備える。さらに、特定成分に応じた所定の波長帯域を含む複数の波長帯域で前記被検体を撮影して得られるマルチバンド画像を取得するマルチバンド画像取得部と、前記分光推定パラメーターを用いて、マルチバンド画像から分光スペクトルを演算する分光推定部１６と、検量処理パラメーターを用いて、前記分光スペクトルから前記特徴量を演算する検量処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】最新のダイアモンド機械加工プロセスを用いて全てが作成される、モノリシックオフナー分光器及び、回折格子及びスリットのような、様々なコンポーネントの製造方法を提供する。
【解決手段】モノリシックオフナー分光器はダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。別の実施形態において、モノリシックオフナー分光器はダイアモンド機械加工プロセスで作成された金型を用いて作成される。また別の実施形態において、回折格子はダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。さらにまた別の実施形態において、回折格子はダイアモンド機械加工プロセスで作成された金型を用いて作成される。また別の実施形態において、スリットはダイアモンド機械加工プロセスを用いて直接作成される。 （もっと読む）

【課題】所望の波長の光を精度よく取り出せる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定基板５１と、可動基板５２と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定反射膜５４と、可動基板５２の固定基板５１に対向する面に設けられ、反射膜間ギャップＧ１を介して固定反射膜５４と対向する可動反射膜５５と、固定基板５１の可動基板５２に対向する面に設けられた固定電極５６１と、を備え、固定基板５１は、固定反射膜５４が設けられる反射膜固定面５１２Ａと、固定電極５６１が設けられ、可動基板５２からの距離が反射膜固定面５１２Ａとは異なる固定電極面５１１Ａと、を有し、反射膜固定面５１２Ａよりも可動基板５２からの距離が大きい固定電極面５１１Ａに、固定反射膜５４及び固定電極５６１が積層された積層部５７が設けられた。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型で持ち運びやすく、設置場所に制限されない装置が実現可能となる、ＰＤを用いた波長スペクトル検出方法を提案することにある。
【解決手段】任意の光の波長スペクトルφ（λ）を検出する方法であって、フォトダイオードの光電変換領域に前記任意の光を入射可能に構成するとともに前記任意の光の入射方向に電界を印加して光電流を生じさせるように構成し、前記任意の光の入射後若しくは遮断後における出力である光電流値の過渡応答Ｉ（ｔ）を検出し、この過渡応答Ｉ（t）に基づいて、前記任意の光の波長スペクトルφ（λ）を計算することにより求める。 （もっと読む）

【課題】 少ないエネルギーで回転鏡を反復回動させて正確にセンターバースト位置に停止できる二光束干渉計の提供。
【解決手段】 光源Ａからの光を固定鏡２と一対の回転鏡３ａ、３ｂとに二分割し、これら固定鏡２並びに回転鏡３ａ、３ｂから戻った光を再び合成して干渉光を得る二光束干渉計であって、上下方向に沿って延設され、その上下に前記一対の回転鏡３ａ、３ｂを互いに平行な姿勢で保持する回転アーム４と、回転アーム４を回動可能に保持する支持軸５と、回転アーム４の下端部で支持軸５を支点として回転アーム４を反復揺動させる駆動源７と、回転鏡３ａ、３ｂからの光を反射して回転鏡３ａ、３ｂに戻す固定反射鏡９とからなり、回転アーム４の回動を停止して回転アーム４が自重により静止した位置で、二分割された固定鏡側の光と回転鏡側の光の光路差が０のセンターバースト位置となるように、上下の回転鏡３ａ、３ｂの位置が予め調整される構成とする。 （もっと読む）

【課題】被測定光の分光特性をより短時間かつ高精度に測定可能な分光特性測定方法および分光特性測定装置を提供する。
【解決手段】分光特性測定方法は、第１の波長範囲に検出感度を有する分光測定器に対して、その波長範囲が第１の波長範囲の一部である第２の波長範囲となっている光を入射させるステップと、分光測定器で検出された第１のスペクトルのうち第２の波長範囲以外の範囲に対応する部分から迷光成分を示す特性情報を取得するステップと、特性情報を第１の波長範囲のうち第２の波長範囲まで外挿処理することで、分光測定器に生じる迷光成分を示すパターンを取得するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させた赤外線測定器とその製造方法の提供。
【解決手段】基板１０とセンサ（強誘電体層１３）とを有するセンサ部２を備え、基板２０と赤外線透過薄膜積層体２２，２４とを有して両積層体２２，２４の間に電圧が印加された状態において両積層体２２，２４が光学的に一体化し、かつ、両積層体２２，２４の間に電圧が印加されない状態において両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成されるように構成されたシャッター機構部３を備え、基板１０，２０が対向するようにセンサ部２およびシャッター機構部３が一体化して、両積層体２２，２４が厚み方向で光学的に一体化した状態において厚み方向に赤外線ＩＲを透過させてセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を許容すると共に両積層体２２，２４の間にギャップ２７が形成された状態において赤外線ＩＲを反射してセンサ本体に対する赤外線ＩＲの入射を規制するように構成している。 （もっと読む）

【課題】光路長差を伸縮させるために低価格の駆動装置を用いながらも、高精度なインターフェログラムを得ることができる分光特性測定装置及び分光特性測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の分光特性測定装置は、被測定物Ｓの測定点から発せられた光を対物レンズ２によって固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６２に導き、これらミラー部１６１、１６２によって反射された光を結像レンズ１８によって同一点に導く。制御部２２は可動ミラー部１６２を繰り返し移動、停止させて固定ミラー部１６１、可動ミラー部１６１によって反射された光の光路長差を間欠的に伸縮させる。処理部２４は、前記可動ミラー部１６２が各停止位置にあるときに同一点に導かれた光の強度を検出し、これら光強度とそのときの光路長差の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、この光強度に基づきインターフェログラムを作成する。 （もっと読む）

【課題】広視野分光イメージングを行う場合であっても高精度に分光特性を測定することができる分光特性測定装置及びその校正方法を提供する。
【解決手段】測定モードでは被測定物の各輝点から発せられた光を分割光学系を通して第１及び第２反射部に入射させ、そこで反射された光を結像光学系によって干渉像を形成する。第１反射部を移動させることにより分割光学系から第１及び第２反射部を経て結像光学系に向かう第１及び第２反射光の間の相対的な光路長差を伸縮させ、そのときの干渉像の光強度変化に基づき被測定物の各輝点のインターフェログラムを求める。校正モードでは、輝点から出射される所定波長λの光を分割光学系に入射させることにより、該輝点に対応する複数の干渉像を形成させ、そのときの光強度変化に基づき該光強度変化の１周期に対応する第１反射部の移動量を求め、輝点の波長λ、第１反射部の移動量、前記干渉像の画角θから前記第１反射部の設置角を求める。 （もっと読む）

【課題】分析時間が長くなることやデータの精度を低下させることなく、光電子増倍管を用いた非稼動の検出器の保護を行う。また、測定精度を保証するため光電子増倍管を用いた検出器に印加される印加電圧の監視を行う。
【解決手段】ＡＤ変換器を増やすことなく、暗信号の安定待機時間中に、電圧を印加された光電子増倍管によって異常な出力を検知したときに光電子増倍管の電源をオフにする。また、測定信号安定待機時間中に、光電子増倍管を用いた検出器に印加される電圧の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】可動基板をエッチングする際の深さ寸法のばらつきを抑制し、保持部の厚み寸法の精度を向上できる干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の干渉フィルターの製造方法は、固定基板と、可動部５２１および保持部５２２を備えた可動基板５２と、固定反射膜と、可動反射膜５７と、を備える干渉フィルターの製造方法であって、固定基板を製造する固定基板製造工程と、可動基板５２を製造する可動基板製造工程と、固定基板と可動基板５２とを接合する基板接合工程と、を備え、前記可動基板製造工程は、第一母材５２４Ａおよび第二母材５２５Ａを、プラズマ重合膜５２６Ｃを介して接合させる母材接合工程と、プラズマ重合膜５２６Ｃをエッチングストッパーとして、第二母材５２５Ａをエッチングして、保持部５２２を形成する保持部形成工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２とを備える。固定基板５１は、接合膜５３１，５３２を介して可動基板５２に接合される第１接合面５１５と、第１電極５６１の一部が形成される第１電極面５１６とを備える。可動基板５２は、接合膜５３１，５３２を介して第１接合面５１５に接合される第２接合面５２４と、第２電極５６２の一部が形成される第２電極面５２５とを備える。固定基板５１及び可動基板５２が接合膜５３１，５３２により接合された状態において、第１電極面５１６に形成された第１電極５６１と、第２電極面５２５に形成された第２電極５６２とが接触する （もっと読む）

【課題】可視光領域および遠赤色光領域における特定の波長帯域の光量子束密度を計測することができる光量子計を提供する。
【解決手段】本発明の光量子計は、複数の受光部１０ａ〜１０ｂと、信号選択部３０と、信号合成部４０と、出力部５０と、を有する。複数の受光部は、可視光領域および遠赤色光領域の波長において互いに異なる範囲の波長の光を受光して、受光した光強度に応じた大きさの光強度信号を出力する。信号選択部３０は、各々の受光部から出力される光強度信号のうちの少なくとも１つを選択する。信号合成部４０は、信号選択部３０で選択された光強度信号を合成する。出力部５０は、信号合成部４０で合成された合成光強度信号に基づいて、特定の波長帯域の光量子束密度を算出して出力する。 （もっと読む）

【課題】電極間の絶縁を維持しつつ、低コストで、構造を簡素化できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第１基板５１に設けられた固定ミラー５４と、第２基板５２に設けられ、固定ミラー５４と所定のギャップＧを介して対向する可動ミラー５５と、第１基板５１に設けられた第１電極５６１と、第２基板５２に設けられ、第１電極５６１に対向する第２電極５６２と、を備える。第１基板５１は、第２基板５２に接合される第１接合面５１３を有し、第２基板５２は、第１接合面５１３に接合される第２接合面５２４を有する。第１基板５１には、第１接合面５１３、及び第１電極５６１の第２電極５６２に対向する面に絶縁性を有する第１接合膜５３１が形成され、第１接合面５１３及び第２接合面５２４は、第１接合膜５３１により接合された。 （もっと読む）