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【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び電子機器を提供する。
【解決手段】エタロン5(波長可変干渉フィルター)は、固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜56と、可動基板52に設けられ、固定反射膜56とギャップを介して対向する可動反射膜57と、固定基板51に設けられた固定電極541と、可動基板52に設けられ、固定電極541と対向する可動電極542と、を備え、可動電極542の固定電極541側の面には可動絶縁膜544が積層され、可動電極542は圧縮応力を有し、可動絶縁膜544は引張応力を有して構成された。 (もっと読む)


【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、第1基板51の第2基板52との対向面に設けられた第1反射膜56と、第2基板52の第1基板51との対向面に設けられ第1反射膜56と対向する第2反射膜57と、第1基板51の第2基板52との対向面に設けられた第1電極53と、第2基板52の第1基板51との対向面に設けられた第2電極54とを備え、第2基板52は、第2反射膜57を設けた可動部522と、可動部522を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部523とを備え、連結保持部523は可動部522を囲んで連続して、かつ可動部522より厚み寸法が小さく形成され、第2電極54は第2基板52の連結保持部523より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 (もっと読む)


【課題】対象物からの反射光の波長スペクトルを計測タイミングに応じて適切に計測することができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 第1結像光学系12は、互いにレンズピッチが異なる3つのマイクロレンズアレイを含み、開口系13は、互いに開口ピッチが異なる3つの開口部材を含み、分光系15は、互いに格子ピッチが異なる3つの回折素子を含んでいる。駆動装置123によって、任意の1つのマイクロレンズアレイを反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置133によって、任意の1つの開口部材を反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置153によって、任意の1つの回折素子を反射光の光路上に配置させることができる。 (もっと読む)


【課題】表示装置の個体差を吸収し、高精度な表示強度の測定を行うことが可能な測定システム、表示装置、測定装置、補正装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】予め表示の基準となる基準画面を測定装置にて測定した結果に基づく標準測定値、及び予め基準画面を測定装置にて測定した結果に基づく基準測定値をLUT1及びLUT2に記録しておく。そして、測定装置により測定した表示画面の表示強度を、標準測定値及び基準測定値に基づいて補正する。 (もっと読む)


【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター10は、第1基板20と、第2基板30と、第1基板20に設けられた第1反射膜40と、第2基板に設けられた第2反射膜50と、平面視で第1反射膜の周囲の位置にて第1基板20に設けられた第1,第2固定電極62,64と、第2基板に設けられて第1,第2固定電極と対向する第1,第2可変電極72,74とを有し、第1、第2可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第2可変電極のスリット部を形成した。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成で反射膜同士の貼り付きを防止できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン5は、第1基板51と、第1基板51に対向する第2基板52と、第1基板51の第2基板52に対向する面に設けられた固定ミラー54と、第2基板52に設けられ、固定ミラー54とミラー間ギャップG1を介して対向する可動ミラー55と、第1基板51の第2基板52に対向する面に設けられた第1電極561と、を備え、第1電極561の一部と、固定ミラー54の外周縁の少なくとも一部とが積層されて構成される第1積層ストッパー部60を有する。 (もっと読む)


【課題】分解能の高い光フィルターを提供する。
【解決手段】表面研磨された第1研磨平面を有する第1基板51と、第1基板51に対向し、第1研磨平面に対向する表面研磨された第2研磨平面を有する第2基板52と、第1研磨平面に設けられた第1反射膜56と、第1研磨平面に設けられ第1反射膜を覆うSiN膜58と、第2研磨平面に設けられ、第1反射膜に対向する第2反射膜57と、第1反射膜56および第2反射膜57の間に反射膜間ギャップを形成するSiO2膜53と、SiO2膜53と第2基板52との間に形成された金属膜60とを有する。 (もっと読む)


【課題】鋭いピークを有する白色光源を照明装置として利用する場合でも、等色関数を用いて算出する三刺激値XYZ等の測色値の測定精度を高めることを課題とする。
【解決手段】等色関数のZ値がピークを示す波長近傍(460[nm]付近)に分光輝度分布のピークを有し、かつ、その半値幅が等色関数のZ値のピークについての半値幅よりも狭い第1白色LED光源(LED1)と、LED1の当該ピークに対し、これよりもピーク値が低く、かつ、等色関数半値幅に対応する波長帯域のうちLED1の分光輝度分布半値幅に対応する波長帯域が重複しない波長帯域部分(およそ425〜445[nm])が存在する側に波長がずれたピークを有する第2白色LED光源(LED2)とを用いて、被測定面を照明する。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、反射膜間のギャップ寸法を変化させた場合でも分解能の低下を抑制できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定電極541および可動電極542を備えた静電アクチュエーター54を具備する。そして、固定電極541は、平面視で同一形状に形成される複数の固定部分電極543を備え、これらの固定部分電極543は、等角度間隔で配置され、可動電極542は、平面視において固定部分電極543と同一形状に形成され、かつ固定部分電極543と重なる複数の可動部分電極544を備え、互いに対向する固定部分電極543および可動部分電極544により部分アクチュエーター55が構成される。そして、これらの部分アクチュエーター55は、2つの前記電圧印加用部分アクチュエーター間で電気的に直列に接続される。 (もっと読む)


【課題】外的要因によるギャップの変動を抑制しつつ、所望のギャップに正確に設定できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること
【解決手段】第1基板51に設けられた第1可動ミラー56と、第1可動ミラー56と所定のギャップGを介して対向する第2可動ミラー57と、ミラー間のギャップGの寸法を変える静電アクチュエーター54とを備える。第1基板51は、第1可動ミラー56が設けられた第1可動部512と、第1可動部512を基板厚み方向に移動可能に保持する第1連結保持部513とを備える。第2基板52は、第2可動ミラー57が設けられた第2可動部522と、第2可動部522を基板厚み方向に移動可能に保持する第2連結保持部523と備える。静電アクチュエーター54は、各可動部512,522を相対的に移動させることで、ギャップGの寸法を変更させる。 (もっと読む)


【課題】 試料の二分光放射輝度率を高精度、短時間に測定する。
【解決手段】 照射部102は、紫外域から可視域の範囲において、設定された幅で波長をシフトした、設定された波長幅を有する測定光を発生し、測定光の分光放射輝度を測定する。測定部103は、測定光の照射に対して試料12が放射する光の分光放射輝度を可視域において測定する。演算部104は、測定光の分光放射輝度および試料12が放射する光の分光放射輝度から試料12の二分光放射輝度率を演算する。 (もっと読む)


【課題】簡素な構成で、かつ所望のギャップを正確に設定でき、正確な分光特性を測定可能な光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】第1基板及び第2基板に互いに対向配置されて、ギャップが可変されて最小となる最小ギャップにおいて互いに接触する一対の検出電極と、反射膜間のギャップ及び電圧の関係を示すマップを複数有する相関データ721が記憶された記憶部72と、検出電極の接触時での最小ギャップにおける静電アクチュエーターに印加している接触電圧を取得する接触検出部711と、相関データ721から1つのマップを選択するデータ選択部712とを備える。相関データ721は、最小ギャップに対する接触電圧が異なる複数のマップを備え、データ選択部712は、接触検出部711で取得した接触電圧に基づいて、マップを選択する。 (もっと読む)


【課題】立体形状を有する対象物に対しても、簡便に分光反射率の絶対値を求めることができる分光反射率取得装置を提供する。
【解決手段】物体の分光反射率を取得する分光反射率取得装置であって、分光分布が既知の光源と、光源により照明し、物体の相対分光強度分布を取得する相対分光強度分布取得手段と、相対分光感度が既知の撮像装置と、光源と、撮像装置により物体の拡散反射率を取得する拡散反射率取得手段と、相対分光強度分布と拡散反射率と光源の分光分布と撮像装置の相対分光感度から求めるべき物体の分光反射率の絶対値を算出する分光反射率算出手段とを備えた。 (もっと読む)


【課題】基板に生じる撓みを低減して分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】エタロン5(波長可変干渉フィルター)は、固定基板51と、固定基板51に対向する可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜56と、可動基板52に設けられ、固定反射膜56とギャップを介して対向する可動反射膜57と、固定基板51に設けられた固定電極541と、可動基板52に設けられ、固定電極541と対向する可動電極542と、を備え、可動電極542は、圧縮応力を有する圧縮電極層と、引張応力を有する引張電極層と、が積層されて構成された。 (もっと読む)


【課題】歯オブジェクトの色マッピングを取得するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】一度に1つの波長帯ずつ、少なくとも第1、第2、及び第3の波長帯にわたってオブジェクトに照明が当てられる。歯オブジェクトの1組の画像を形成するために、各波長帯において歯オブジェクトの画像がキャプチャされる。キャプチャされた1組の画像におけるピクセルについて、ピクセルについての画像データ値は、波長帯の各々に対応し、取得された画像データ値に従い、また波長帯において基準オブジェクトから取得された画像データ値に従い、歯オブジェクトのスペクトル反射率に比例する補間画像データ値を計算する。ビューイング光源についてのスペクトル分布データが取得され、計算された補間画像データ値及びビューイング光源の取得されたスペクトル分布に従い、歯オブジェクトの視覚的な色が再構成される。 (もっと読む)


【課題】基材の色調と光沢の検査にあたり、簡便な構成を有し且つ検査効率の向上が可能な基材の外観検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る外観検査装置は、光源2と、可視光検出器3と、紫外光検出器4と、制御装置5とを備える。光源2は検査対象である基材1へ向けて、可視光域から紫外光域に亘る光を照射する。可視光検出器3は、光源2から照射されて基材1で反射された可視光域の光を受光して検出する。紫外光検出器4は、光源2から照射されて基材1で反射された紫外光域の光を受光して検出する。制御装置は5、可視光検出器3での検出結果に基づく基材1の色調不良の有無の判定をおこなうと共に紫外光検出器4での検出結果に基づく基材1の光沢不良の有無の判定をおこなう。 (もっと読む)


【課題】簡易な構成で素材、板厚、端面の状態等を含めたガラス基板等の状態の検査を行うことが可能なガラス基板検査装置及びガラス基板製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】画像データを解析する解析手段を有し、前記解析手段は、前記画像データから特定の色の画像データを抽出する色抽出手段と、前記色抽出手段により抽出された前記特定の色の画像データを含む第一の所定領域の画像データの色の変化に基づき前記ガラス基板の端面に対する加工が行われているか否かを検出する端面状態検出手段と、
を有する。 (もっと読む)


【課題】散乱体が一定の波長分布の電磁波を受けた際の立体的な散乱分布から、その散乱体の物性を測定する散乱体物性測定装置を提供する。
【解決手段】試料載置台に測定すべき散乱体を置き、該電磁波を前記焦点を中心とする仮想球面の、一以上の任意の方向、及び、一以上の連続する方向の、少なくともいずれかの方向から前記散乱体に照射し、その際に該散乱体で散乱されて前記放物面鏡または放物面スクリーンに反射または投影された散乱波を 平面的な撮像データとして前記撮像手段で撮像し、こうして得られた撮像データから、該散乱体から発生する散乱波の立体的な分布を得て、その結果から該散乱体の物性を測定する場合に、前記散乱波を前記散乱体を中心とする仮想球面の中心軸を含む断面上の円弧の3π/4ラジアンより小さい範囲内に渡って撮像する。 (もっと読む)


【課題】精度の高い分光測定が可能な光測定装置を提供するを提供する。
【解決手段】 分光測定装置1は、第一測定波長域内の第一波長の光を取り出す短波長域用エタロン2Aと、第一測定波長域よりも波長が長い第二測定波長域内の第二波長の光を取り出す長波長域用エタロン2Bと、短波長域用エタロン2Aに入射される測定対象光の光量を調整する短波長域用アパーチャー4Aと、長波長域用エタロン2Bに入射される前記測定対象光の光量を調整する長波長域用アパーチャー4Bと、第一波長光を受光して検出信号を出力する短波長域用光検出器3Aと、第二波長光を受光して検出信号を出力する長波長域用光検出器3Bと、を具備し、短波長域用アパーチャー4Aを通過する光の光量は、長波長域用アパーチャー4Bを通過する光の光量よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】多点測定の測定領域の設定を容易にかつ短時間で行うことができる色測定装置を提供する。
【解決手段】表示装置2に表示された画像を撮像する撮像部40と、複数の測定領域が設定された教示画像または色測定用の計測画像を選択して表示装置2に表示させる信号発生部20と、撮像部40を制御して表示装置2に表示された画像を撮像させるカメラ制御部51と、撮像部40で撮像した教示画像を画像処理して測定領域を認識する測定領域認識部52と、撮像部40で撮像した計測画像における測定領域認識部52で認識した測定領域に対応する計測領域毎の色を測定する色測定部53と、を備える。測定領域認識部52は、複数の測定領域と測定領域以外の非測定領域とが異なる色度または輝度で表された教示画像を画像処理し測定領域を認識する。 (もっと読む)


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