【課題】構成や製造工程を簡素化しつつ保護ゲル部が感湿膜に付着するのをより効果的に抑制することのできる湿度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】湿度センサ１０は、基板２０の一面２０ａにおいて対向配置された一対の検出電極３１ａ，３１ｂと感湿膜３６を有する湿度検出部３０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０と離れて形成され、ボンディングワイヤ１１５が接続された状態で保護ゲル５０に覆われるパッド４０と、一面２０ａにおいて湿度検出部３０とパッド４０の間に形成され、パッド４０側から湿度検出部３０側への保護ゲル５０の流動を抑制するダム部６０と、を備える。ダム部６０は、検出電極３１ａ，３１ｂと同一材料を用いて一面２０ａに形成されたダミー配線６１と、感湿膜３６と同一材料を用いて形成され、ダミー配線６１の少なくとも一部を覆うダム用感湿膜６２を有する。 （もっと読む）

【課題】電池駆動型であって、感知薄膜にクラックが生じることなく信頼性が高く、消費電力が低減された薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】貫通孔を有する基板と、貫通孔を有する基板と、前記基板の第一の表面に接し、前記貫通孔の開口部を覆うように設けられた支持絶縁薄膜と、前記支持絶縁薄膜の反基板側表面上に設けられる薄膜ヒータと、支持絶縁薄膜およびヒータ層を覆うように設けられる層間絶縁膜と、さらに前記層間絶縁膜の上に形成された、金属電極とガス感知薄膜とを有し、前記金属電極とガス感知薄膜とが選択燃焼層で覆われた薄膜ガスセンサにおいて、前記ガス感知薄膜がグラフェン薄膜からなるものとする。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上するガスセンサ用基板、ガスセンサ用容器、およびガスセンサを提供する。
【解決手段】設置対象物２１に取り付けることにより検出対象ガスを検知するガスセンサ１に用いられるガスセンサ用基板であって、第１主面２ａ、および第１主面２ａの反対側に位置しておりかつ設置対象物２１に取り付けられるべき第２主面２ｂを有する基体２と、基体２の第１主面２ａに設けられており、かつ検出対象ガスに対して活性であるガス感応体４を載置するための載置部３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム部に生じる歪(熱による歪・割れによって生じた歪)を検出し、故障を自己診断するようにして、検出特性の変化により発生する事故の未然防止に寄与する薄膜ガスセンサを提供する。更にこのような薄膜ガスセンサを製造する薄膜ガスセンサの製造方法も併せて提供する。
【解決手段】ダイヤフラム部の上に歪感知層８１を４個配置し、さらにホイートストンブリッジ回路を形成する。これにより、ピエゾ抵抗素子として機能する歪感知層８１によりダイヤフラム部の歪を抵抗値の変化として検出することが可能になる。また、歪感知層８１はガス感知層５３と同じ材料とし、歪感知層８１とガス感知層５３とを同時に形成するため工数低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】外部との接続端子部に加わる力による破損を防止し得るガスセンサ、及び耐熱性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】スペーサ４は、電極ピン７ａ、８ａをスペーサ４に設けられた貫通孔４ａに挿通するようにして配置されている。ここで、スペーサ４の溝４ｂの底面までの厚み（貫通孔４ａ深さ）は、外側に突出する電極ピン７ａ、８ａの長さよりも若干低くなるように設定され、電極ピン７ａ、８ａの先端部が、スペーサ４に設けられた溝４ｂの底面に若干突出した状態で配置されている。この電極ピン７ａ、８ａの先端部には、アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃが溶接等の手段によって接続されている。そして、スペーサ４の各アウトリード５ａ、５ｂ、５ｃを支える側の略全面を覆うように押さえ部材６を密着させ、スペーサ４と押さえ部材６により、前記アウトリードを挟み込むようにして保持している。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム構造の薄膜ガスセンサにおけるガス選択性を、従来のものより向上させる。
【解決手段】感知層７を、第１層としてドナーとなる＋５価または＋６価の元素を添加したＳｎＯ２層９、その上の第２層として触媒となる元素を添加したＳｎＯ２層１０の、２層構造とするものは既に公知であるが、ガス選択性の点でいまだ不十分なので、この発明では、第２層１０における触媒添加量を１０ｗｔ％を超え６０ｗｔ％以下とすることにより、水素ガス選択性，メタンガス選択性ともに向上させる。 （もっと読む）

【課題】フィルタ層の剥離やクラックの発生を防止した長寿命の薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ヒータ層に通電する２本のヒータリードと、所定のガスを感知する感知層電極とを接続する２本の感知層リードを備えたダイヤフラム構造の薄膜センサにおいて、各ヒータリードおよび各感知層リードは、ダイヤフラムを構成する貫通孔の軸心に対して放射状に、かつ、この軸心を支点として各リード間の成す角を所定の角度以上、好ましくは３０度以上広げて位置付けた。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易な構成により調節作業の高精度化および機械化を実現し、性能および生産性の向上を共に図る薄膜ガスセンサを提供する。また、このような薄膜ガスセンサを搭載して性能および生産性の向上を共に図るガス漏れ警報器を提供する。さらにまた、このような薄膜ガスセンサの調節作業を行う薄膜ガスセンサ設定調節装置および薄膜ガスセンサ設定調節方法を提供する。
【解決手段】設定調節部７は、ヒータ層３、設定調節部７およびシャント抵抗８により形成される直列回路に電源を供給したときのヒータ層３およびシャント抵抗８を通じて取得された情報に基づいて、デジタルポテンショメータ７１の抵抗値を変化させて設定調節部７の合成抵抗値を増減させて、ヒータ層３が最適出力をするように設定調節された薄膜ガスセンサ１００，２００，３００とした。 （もっと読む）

【課題】安全に、水素ガスの存在を検知し得るようにする。
【解決手段】水素ガス検知素子１０１は、所定のインピーダンスを有する等価回路を構成する回路素子の一部である櫛型電極１１２が、水素解離能を有した貴金属触媒を担持した酸化タングステンによって被覆され、酸化タングステンの導電性が、水素原子が解離吸着されることにより変化し、等価回路のインピーダンスが、酸化タングステンの導電性の変化に応じて変化する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】ガス検出素子のリード線と基台のステーとの接続部に絶縁皮膜を形成すること
【解決手段】リード線５を介してガス感応部４２に通電してジュール熱により昇温させてガスを検出するガス検出素子４と、リード線５を介してガス感応部４２に通電するとともにガス検出素子４を固定する導電性のステー３を備えた基台２とからなるガス検出器の製造方法において、ガス検出器１を高分子蒸気を含有する環境に収容して高分子の薄膜１０を形成する工程と、リード線５を介してガス感応部４２に通電してガス感応部４２を高分子の薄膜が気化、または分解する程度に加熱する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】水素等の可燃性ガスの影響及びＮＯx等の酸化性ガスの影響を低減することができ、従来に比べて臭気ガスに対する検知精度及び検知感度の向上を図ることのできるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガスセンサ１は、矩形状の平面形状を有し、シリコン基板２の上面に絶縁被膜層３が形成され、この絶縁被膜層３には、発熱抵抗体５が内包されるとともに、その上面には密着層７およびガス検知層４が形成された構造を有する。ガス検知層４は、金属酸化物半導体としてのＳｎＯ₂を主成分とし、さらに、少なくともＶ₂Ｏ₅と、Ｉｒとを含む。 （もっと読む）

【課題】狭小部や可動部に容易に配置することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】可撓性を有する絶縁層２を形成し、互いに間隔を隔てて対向配置される第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂと配線７とからなる導体パターン８を、絶縁層２の上に形成した後、導電性層４を、特定のガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性材料から、絶縁層２の上に、第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂ間にわたって、形成する。 （もっと読む）

【課題】体格の小型化を図ることのできる湿度センサを提供する。
【解決手段】同一平面に離間して対向配置された一対の電極２２ａ及び２２ｂ並びにこれら一対の電極間を覆う感湿膜２３を有する湿度検出部２４と、該湿度検出部２４の出力信号を処理する回路部２５と、これら湿度検出部２４と回路部２５との間に形成されるダム部材２６と、を同一基板２１上に有する湿度検出素子２０と、ボンディングワイヤ３１を介して回路部２５に電気的に接続され、回路部２５及びボンディングワイヤ３１とともに保護ゲル３２に覆われるリード端子３０と、をケース１０内部に備える。そして、ケース１０内側壁とダム部材２６側壁との間隙に、ケース１０内側壁からダム部材２６の側壁２７に向かって突出し、かつ、ダム部材２６よりも高い壁１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】ガス検知層が剥離することを防止し、特定ガスの濃度変化を良好に検知するガスセンサの製造方法を提供すること。
【解決手段】まず、検知電極形成工程にて、基体１５上にガス検知層４における電気的特性の変化を検出するための検知電極６を形成し、続く薄膜形成工程にて、ガス検知層４の主成分をなす金属元素からなる薄膜を、検知電極６を覆うよう形成する。その後、密着層形成工程において、薄膜形成工程にて形成された薄膜を酸素雰囲気中で熱処理して酸化し、薄膜を形成する金属粒子が成長した粗い凹凸を有する密着層７を形成する。その後、ガス検知層形成工程にて、密着層形成工程において形成された密着層７上に、ガス検知層４を形成する。以上の製造方法で形成したガスセンサ１は、アンカー効果により、密着層７を介して基体１５とガス検知層４との密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 感湿膜と電極との密着性を向上した信頼性の高い湿度センサを提供する。
【解決手段】 湿度センサの電極の形状を、アイランド状として、感湿膜で電極を囲む形状とした。 （もっと読む）

【課題】 センシング電極部や基板接続用の接続用電極といった電極部が、測定環境下に露出するのを防止し、かつ感湿部の開口度をあげることでセンサの応答性を高め、信頼性の高い湿度センサを提供する。
【解決手段】 センサチップの一面3側はその全面を測定環境下にさらし、一面5側には半導体膜6を形成後、センシング電極7,8、および該センシング電極からの信号を処理するための信号処理回路部9が形成されている。配線部材11によりターミナル基板1を通し、外部と電気的に接続されている。センシング電極7,8および信号処理回路部9は耐湿性材料よりなる保護膜10により被覆保護されている。 （もっと読む）

【課題】特定ガスの濃度変化を良好に検出する上で、絶縁性の密着層を介したガス検知層と検出電極との電気的な接続を図り、製造の際の手間を軽減できるガスセンサを提供する。
【解決手段】ガス検知層４と絶縁被膜層３またはその上部に形成した検出電極６との間に密着層７を形成し、両者の密着性を高め剥離を防止する。この密着層７を絶縁性酸化物から構成することで、ガス検知層４の特性に対し影響が生じない。そして、この密着層７の一部を、ガス検知層４を構成する物質の一部が貫通することで（図中点線で囲った部分）、ガス検知層４と検出電極６とが電気的に接続され、特定ガスの濃度変化に応じて変化するガス検知層４の電気的特性が検出される。 （もっと読む）

【課題】簡便且つ安定して長期に使用することができ、そして小型化が可能であり、専門家でなくとも取り扱うことを可能とする、水中の溶存水素濃度の測定のための新たな手法並びに機器・装置の開発。
【解決手段】溶存水素の吸蔵及び放出により可逆的に物性値が変化する金属材料である水素感応体をセンサ素子とし、当該センサの物性値変化を計測することにより、水中に溶け込んでいる溶存水素の有無あるいは濃度を検出する溶存水素センサ、並びに溶存水素センサを備えた溶存水素検出器、さらには溶存水素の吸蔵及び放出により可逆的に物性値が変化する金属材料である水素感応体。溶存水素に対する水素感応体の可逆的に物性値が変化するのを利用して溶存水素を検出・測定する技術・手段。 （もっと読む）

【課題】触媒の耐被毒性を向上させ、湿度依存性を除去し、且つ高速応答性が可能な水素ガス検知センサを提供する。
【解決手段】水素ガスを検知する水素ガス検知センサであって、電気的に絶縁性を有する基板１と、基板１上に積層される水素ガスを解離して水素ガスを検知する検知膜３と、基板１又は検知膜３のいずれかに接する一対の電極２と、検知膜３を所定の温度に加熱する絶縁基板１側に配置される加熱手段４とを備え、検知膜３は水素ガスを吸着してプロトン（Ｈ⁺）と電子（ｅ）に解離する作用を有する触媒と当該作用で生じたプロトン（Ｈ⁺）と電子（ｅ）との反応によって導電率が増加する金属酸化物からなることで、触媒の耐被毒性を向上させ、湿度依存性を除去し、且つ高速応答性を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 通電部の腐食または漏電を防止して信頼性が高く、寿命の長いガスセンサを提供する。
【解決手段】 被検出ガス内に設置され、被検出ガスを検出する検出部２と、検出部２を回路部２０と電気的に接続するための通電部３とを有するガスセンサ１であって、通電部３は、保持板４を貫通したピン状に形成され、検出部２は、保持板４の一方の面４ｃ側において通電部３に接続され、保持板４の他方の面４ｄは、保持板４の被取付面２２ａに対面し、他方の面４ｄと被取付面２２ａの間の部分と、一方の面４ｃ側から突出した通電部３の突出部分とが、絶縁部材５ａ，５ｂで封止された構成とする。 （もっと読む）