【課題】真空装置などの高度な設備や技術を必要とすることなく、基板上にモリブデン酸化物薄膜を容易に形成することができるモリブデン酸化物薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】基板の表面にモリブデン酸化物の薄膜を形成する製造方法に関する。酸化モリブデンを還元性を有する金属化合物で処理する工程と、この処理をした酸化モリブデンを有機基を有するカチオンで処理して酸化モリブデンを分散する工程と、分散した酸化モリブデンを含有する液に基板を浸漬するとともに電界を印加して基板の表面にモリブデン酸化物を吸着させる工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】薄膜型センシング部材を利用した化学センサを提供する。
【解決手段】第１電極及び第２電極間の薄膜型センシング部材を具備し、センシングしようとする化合物がセンシング部材に吸着しつつ発生する電気的性質の変化を測定する化学センサである。該薄膜型センシング部材は、化学センサの面積が広く、化学センサの感度が向上する。第２電極はナノ構造体であって、センシング部材の表面を露出させることができる構造である。第２電極は、１０ｎｍ〜１０μｍ幅を有し、第１電極及び第２電極間のギャップは、１０ｎｍ〜１μｍであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】４００℃を越える温度で測定可能であり、耐熱安定性に優れたアンモニアセンサを提供する。
【解決手段】一対の電極２Ａと、該一対の電極に接して設けられ被検出ガス中のアンモニア成分に応じて電気的に変化する感応部４とを備え、感応部４は、固体超強酸物質とｎ型酸化物半導体の混合物とのみからなり、走査透過電子顕微鏡を用いて２０点の感応部を観察したとき、全ての観察点における感応部４中の固体超強酸物質は、担体の表面に、これより微小で非晶質成分からなる複数の微粒を結合させてなるアンモニアセンサ２００Ａである。 （もっと読む）

【課題】ガス感応層の温度を正確に算出するようにして、ガス感応層に最適なヒータ駆動を行うようにした薄膜ガスセンサを提供することにある。
【解決手段】ヒータ層３により加熱された感知電極層５１１、検出部５１１ａおよび測温抵抗体５１１ｂの温度に応じた抵抗値の変化を電圧の変化に変換して検出し、さらにこの電圧の変化に基づいてヒータ層３の温度の高低を判別し、この高低に基づいてヒータ層３の温度制御を行う薄膜ガスセンサとした。 （もっと読む）

【課題】バインダとしてシリカゾルを含有するガス選択燃焼層が覆う多孔質のガス感応層（ＳｎＯ_２層）でも、細孔や間隙中のシリカゾル（シリカコロイド）の浸透を低減して、ガス選択燃焼層の機械的強度の向上やガス感応層の検出性能の向上をともに実現する薄膜ガスセンサ、および、このような薄膜ガスセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】ガス感応膜５３の複数の間隙５３２および複数の細孔５３３に高沸点液体６０を充填してからガス感応膜５３を覆うようにガス選択燃焼膜５４を形成し、これらガス感応膜５３およびガス選択燃焼膜５４を焼成して間隙５３２および細孔５３３の高沸点液体６０を蒸発させてガス感応膜５３に間隙５３２および細孔５３３を形成するとともにガス感応層５３およびガス選択燃焼層５４を形成するような薄膜ガスセンサおよびその製造方法とした。 （もっと読む）

【解決課題】 ガスセンサの駆動モードにおいて、消費電力の低下を図ることを目的とする。
【解決手段】 ヒータを内蔵し間欠的に駆動する半導体式ガスセンサを用いた検出方法であって、前記ヒータを駆動（Ｓ１）させて前記ガスセンサの温度を第１の温度に一定時間保ち、前記ガスセンサのクリーニングおよびその時のガスセンサの電気抵抗値の変化から予備検知（Ｓ３）を行い、該予備検知（Ｓ３）の結果によって、前記一酸化炭素［ＣＯ］が存在する可能性がある場合は、ガスセンサの温度を前記第１の温度より低い第２の温度になるようヒータを駆動（Ｓ４）して、または、ヒータを切って本検知（Ｓ６）を行い、前記ＣＯの存在可能性が無い場合は、前記ヒータの駆動を停止（Ｓ７）することよりなる薄膜ガスセンサのガス検出方法である。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で、ガス中のフタル酸ジアルキルを検出できるガスセンサ及びガス検出方法を提供する。
【解決手段】ＳｎＯ_２を主成分としてなる金属酸化物１の表面に、所定の細孔２ａを持ったシリカマスク２が形成されたセンサ素子３と、センサ素子３の電気抵抗値を測定する検出器４とを備えたガスセンサを用い、センサ素子３に被検出ガスを供給し、センサ素子３の電気抵抗値を測定して、該ガス中のフタル酸ジアルキルを検出する。 （もっと読む）

【課題】 運転者の呼気に含まれるアルコール濃度を計測する前の測定準備期間を従来よりも少しでも短縮し、すばやく計測を開始できる車両用アルコール検知システムを提供する。
【解決手段】 車両の運転席に着座したユーザーの呼気に含まれるアルコール濃度を検出するアルコール検出手段１１，１９ｂに対し、初期状態から予め定められた安定作動状態に移行させるための測定準備処理が実行される車両用アルコール検知システム１において、車外のユーザーが車両に搭乗してイグニッションＯＮ操作をするに至るまでの運転前期間のうち、車両に乗車するよりも前の段階で車両になされる所定の運転前操作を検知し、これに伴い上記測定準備処理を開始させる。 （もっと読む）

【課題】 応答速度および検知限界低濃度を拡大させることができるガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
絶縁性の基材１と、基材上に位置し、電位差が付されたプラス側電極層１１およびマイナス側電極層１２と、プラス側電極層に電気的に接続するプラス側感応層３１と、マイナス側電極層に電気的に接続するマイナス側感応層３２とを備え、プラス側感応層とマイナス側感応層とは、ギャップＧが０．１μｍ以下であり、非連結であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 応答速度および検知限界低濃度を拡大させることができるガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁性の基材１と、基材上に、離間して位置するプラス側電極層１１およびマイナス側電極層１２と、プラス側電極層およびマイナス側電極層にわたって位置する感応層３とを備え、感応層３の厚みは、プラス側電極層またはマイナス側電極層の厚みの１．２倍以下であり、かつ３０μｍ以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フィルタ層の剥離やクラックの発生を防止した長寿命の薄膜ガスセンサを提供する。
【解決手段】
ヒータ層に通電する２本のヒータリードと、所定のガスを感知する感知層電極とを接続する２本の感知層リードを備えたダイヤフラム構造の薄膜センサにおいて、各ヒータリードおよび各感知層リードは、ダイヤフラムを構成する貫通孔の軸心に対して放射状に、かつ、この軸心を支点として各リード間の成す角を所定の角度以上、好ましくは３０度以上広げて位置付けた。 （もっと読む）

【構成】 SnO₂の水性ゾルに、SnO₂へ配位する少なくとも２個の配位子と、貴金属へ配位する少なくとも２個の配位子とを備えたキレート化合物を添加し、キレート化合物をSnO₂に配位させる。有機化合物を配位した貴金属のナノ粒子を有機分散媒に分散させたゾルと、キレート化合物を配位させたSnO₂の水性ゾルとを接触させ、貴金属のナノ粒子にキレート化合物を配位させることにより、ゾル中のSnO₂粒子に貴金属のナノ粒子を担持させ、焼成してSnO₂ガスセンサとする。
【効果】 SnO₂に貴金属のナノ粒子を効率的に担持させることができる。 （もっと読む）

【課題】長期間交換する必要のないセンサを備える物質検出装置及び携帯電話機を提供する。
【解決手段】２次元マトリックス状に配置された複数のセンサ部２０と複数のセンサ部２０それぞれを外部から遮断する封止部１７とを有し、持ち運び可能な携帯電話機４の筐体４ａに着脱自在なマトリックスセンサ１０を備え、所定のセンサ部２０を指定し、指定されたセンサ部２０に対応する封止部１７を除去し、指定されたセンサ部１０による検出データを取得し、取得された検出データに基づいて、検出対象物質の濃度を算出し、算出された検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であるか否か判断し、検出対象物質の濃度が所定の閾値以上であると判断された場合に、当該検出対象物質が検出された旨を報知し、複数のセンサ部１０の全てが指定された場合にマトリックスセンサ１０を交換するよう報知し、センサ部２０が劣化しているか否か判断するよう構成した。 （もっと読む）

【課題】排気ガスセンサの検出結果をにおいセンサの検出結果に反映させて、環境雰囲気の汚損状態の判定をより適切に行うことができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】不快臭を発するガスの検出値Ｇ２（ｎ）の基準となるベース値Ｂ２（ｎ）から検出値Ｇ２（ｎ）を差し引いた差分値Ｄ２（ｎ）がしきい値ＴＳを超えた場合や、排気ガスの検出値Ｇ１（ｎ）の基準となるベース値Ｂ１（ｎ）から検出値Ｇ１（ｎ）を差し引いた差分値Ｄ１（ｎ）がしきい値ＴＥを超えた場合、排気ガスや不快臭が検出されたとしてガス汚損信号が出力される。しかし、Ｄ２（ｎ）＞ＴＳであってもＤ１（ｎ）≦ＴＥであり、且つＤ１（ｎ）≧Ｄ２（ｎ）である場合には（ｔ１〜ｔ２、ｔ３〜ｔ４）、においセンサが排気ガスに対して副次的な反応を示したものとして、クリーン信号が出力される。 （もっと読む）

【課題】感応層の亀裂や絶縁基板および感応層からの剥離が生じ難く、より高い検知感度を備えた抵抗変化型ガス検知素子を提供する。
【解決手段】絶縁基板１の面に形成された一対の電極２ａ，２ｂと、一対の電極２ａ，２ｂどうしの間隙を接続するように配置された感応部３とを備え、感応部３が、絶縁基板１に設けられた凹部１ａに係入されたアンカー部３ａを有する抵抗変化型ガス検知素子とした。 （もっと読む）

【課題】低濃度の含酸素有機化合物や含硫黄化合物を高感度で選択的に、しかも安定して検知することができるガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部と、当該ガス感応部の電気抵抗値を検出する検出電極とを備え、ガス感応部の電気抵抗変化に基づき、被検知ガスを検知するガス検知素子であって、ガス感応部は酸化セリウムを主成分として構成してあり、被検知ガスは含酸素有機化合物及び含硫黄化合物のうちの少なくともいずれかのガスである。 （もっと読む）

【課題】センサ間の熱による悪影響を防止し、各センサから安定した出力を得ることができるガス検出装置を提供する。
【解決手段】ファン１６を駆動してドライバから吐き出された呼気を、ハウジング１４の円柱面状の空洞と軸を同一とする円柱状の支柱１８と、ハウジング１４の内面との間に形成された流路２０へ導入する。各種センサは、検出面を流路２０に露出するように、検出面が支柱１８の軸の方向（呼気の流入方向）と平行になるように設けられ、かつ加熱温度特性の異なるセンサは支柱１８を挟んで対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】応答特性に優れたガス感応層を有する基板型ガス検知素子、および、当該ガス感応層の構成粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】一対の検出電極１１，１２を設けてなる絶縁基板１３上に、金属酸化物半導体を主成分とするガス感応層１４を検出電極１１，１２を覆って設けた基板型ガス検知素子１０であって、ガス感応層１４は、酸化チタニウムを主成分とするコア粒子ｐ１、および、コア粒子ｐ１の外側に酸化スズを主成分とする微粒子層ｐ２を備えた構成粒子Ｐによって形成してある。 （もっと読む）

【課題】ガス感知膜と電気絶縁層との界面の剥離やクラックの発生を防止し、長期的な安定性、信頼性を大幅に向上させると共に、ガス感知膜の熱応答性及び均熱性を改善したガスセンサと、このガスセンサを備えたガス検出器を提供する。
【解決手段】例えば、電気絶縁層８と、この電気絶縁層８の上面に形成された一対の感知膜電極９と、この感知膜電極９により抵抗が測定される酸化物半導体からなるガス感知膜１０と、を備えた薄膜ガスセンサにおいて、電気絶縁層８及び感知膜電極９とガス感知膜１０との界面近傍のガス感知膜１０側に、ガス感知膜１０よりも高密度の緻密部（緻密膜１０ａまたは１０ａ，１０ｂ、あるいは緻密層１０ｃ）を形成する。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡易な構成により調節作業の高精度化および機械化を実現し、性能および生産性の向上を共に図る薄膜ガスセンサを提供する。また、このような薄膜ガスセンサを搭載して性能および生産性の向上を共に図るガス漏れ警報器を提供する。さらにまた、このような薄膜ガスセンサの調節作業を行う薄膜ガスセンサ設定調節装置および薄膜ガスセンサ設定調節方法を提供する。
【解決手段】設定調節部７は、ヒータ層３、設定調節部７およびシャント抵抗８により形成される直列回路に電源を供給したときのヒータ層３およびシャント抵抗８を通じて取得された情報に基づいて、デジタルポテンショメータ７１の抵抗値を変化させて設定調節部７の合成抵抗値を増減させて、ヒータ層３が最適出力をするように設定調節された薄膜ガスセンサ１００，２００，３００とした。 （もっと読む）