【課題】基板表面の研磨残渣を除去し、清浄な基板表面を得る基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素（ＳｉＣ）研磨材などで研磨されたアルミナ基板を、５００〜８００℃に加熱された炭酸ナトリウムと炭酸リチウムとを混合した溶融塩中へ含浸することにより、アルミナ基板表面に存在する無機研磨材の残渣を除去する。その後、無機研磨材の残渣が除去されたアルミナ基板表面に、白金又は白金合金による薄膜電極及び白金又は白金合金によるヒータを形成する。 （もっと読む）

【課題】 ガス検知層が剥離することを防止するとともに、絶縁性の密着層を介したガス検知層と検知電極との電気的な接続を図り、特定ガスの濃度変化を良好に検知するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガス検知層４とシリコン基板２および絶縁被膜層３，２３０から構成される基体１５との間に密着層７を形成し、両者の密着性を高め剥離を防止する。この密着層７を絶縁性金属酸化物から構成されており、ガス検知層４の特性に対し影響を与えない。そして、検知電極６のガス検知層４と対向する側の面６１は全面、ガス検知層４と当接することで、ガス検知層４と検知電極６とが電気的に接続され、特定ガスの濃度変化に応じて変化するガス検知層４の電気的特性が良好に検知される。 （もっと読む）

【課題】ガス漏れ警報機能及び不完全燃焼警報機能を併せ持つガス警報器において、点検を実施する際に誤作動を防止することができるガス警報器を提供すること。
【解決手段】点検モード時に、メタンガスの代用となる水素ガスと一酸化炭素ガスとを含む点検用ガス中の一酸化炭素ガス濃度に応じた感知素子３ａ出力を検出する点検用一酸化炭素ガス濃度出力検出手段１１Ａと、検出した一酸化炭素ガス濃度が不完全燃焼警報濃度に達した否かを判定する点検用一酸化炭素ガス濃度判定手段１１Ｂと、不完全燃焼警報出力手段１１Ｃと、点検用ガス中の水素ガス濃度を検出する点検用水素ガス濃度出力検出手段１１Ｄと、点検用水素ガス濃度判定手段１１Ｅと、ガス漏れ警報出力手段１１Ｆと、点検時のヒートサイクルを通常モード用ヒートサイクルより短縮するように変更するヒートサイクル変更手段１１Ｇとを備えている。 （もっと読む）

【課題】ガスライターの内炎ガス中に含まれるＣＯとＨ₂ を点検ガスとして使用して、雑ガスによる誤動作を生じることなく点検を行える複合型ガス警報装置を提供する。
【解決手段】第１の点検手段１０ａ−１は、点検期間中に不完全燃焼を示す警報信号を出力して不完全燃焼を検出警報する機能を点検する。第２の点検手段１０ａ−２は、点検期間中に過渡部と低温部で出力を検出し、過渡部での出力が点検レベルに達したときガス漏れを示す警報信号を出力してガス漏を検出警報する機能を点検する。第２の点検手段１０ａ−２が有するＨ₂ 点検レベル設定手段１０ａ−２１は、第１の点検手段が低温部で検出した出力が予め定めた設定変更判定レベルに達するまで、Ｈ₂ 点検レベルを、過渡部で検出される出力が到達しない高レベルに設定し、設定変更判定レベルに達した後、Ｈ₂ 点検レベルを、過渡部で検出される出力が到達する低レベルに設定する。 （もっと読む）

【課題】狭小部や可動部に容易に配置することのできる、物質検知センサを提供すること。
【解決手段】可撓性を有する絶縁層２を形成し、互いに間隔を隔てて対向配置される第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂと配線７とからなる導体パターン８を、絶縁層２の上に形成した後、導電性層４を、特定のガスの種類および／または量に応じて、膨潤する割合が変化する導電性材料から、絶縁層２の上に、第１電極３Ａおよび第２電極３Ｂ間にわたって、形成する。 （もっと読む）

【課題】
捕集剤中の移動速度に差がある複数のにおい成分をそれぞれ分離して検出する手段を提供し、におい識別装置の適用範囲の拡大を達成する。
【解決手段】
検出工程におけるキャリアガスが、キャリアガス供給部ＣからバルブＶ１−バルブＶ１１−捕集管４−バルブＶ１２−切り替えバルブ１１−センサユニット８の流路を通過するように各バルブの開路方向を選択し、捕集管４内のキャリアガスの流通方向をにおい捕集時の試料流通方向と同じ方向、すなわちサイドＡからサイドＢの方向に流通させ、捕集管４内の捕集剤中のにおい成分の移動速度の差による分離を促進させ、移動速度の速い成分と移動速度の遅い成分を時間的に分離してセンサユニット８で検出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成を追加することでセンサ特性に与える影響を最小限に抑えつつガス感応層とガス選択燃焼層との接合強度を増大させ、パルス駆動時の昇温・降温による歪みに影響されにくくした薄膜ガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】電気絶縁層４・一対の感知電極層５１，５１・ガス感応層５２を覆う島状あるいは網目状の接合層５３と、この接合層５３を介して一対の感知電極層５１，５１の一部・ガス感応層５２の全部・これらの周囲の電気絶縁層４の一部を覆うように設けられるガス選択燃焼層５４と、を備えるような薄膜ガスセンサ１とした。そこで、接合層５３を薄くして島状あるいは網目状に形成する製造方法を採用した。 （もっと読む）

【課題】使用しやすく低コストにての製作が可能となり、機能性にも優れた飲酒運転防止装置を提供する。
【解決手段】その内部に制御部と記憶部を有するマクロコンピューターを設けるとともに、該制御部にマイクロフォンとアルコールセンサーを接続してなるアルコール検知器を設け、一方、別設のマイクロコンピューターとリレーからなるエンジン始動制限器を設けるとともに、制御部からの出力信号をエンジン始動制限器内のマイクロコンピューターに入力するよう接続することにより、呼気のアルコール濃度判別と、呼気による発音判別を行って運転の可否を行うよう構成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳｎＯ_２感知膜成膜前の下地面を平坦化して凹凸部の高低差を減少させ、柱状晶間が粗になる部分を極力少なくしてＳｎＯ_２感知膜の抵抗値のバラツキを低減させた薄膜ガスセンサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ダイアフラム構造のＳｉ基板１と、Ｓｉ基板１上に多層構造の支持層２，３，４，を介して形成されたヒータ層５と、ヒータ層５の上にＳｉＯ_２絶縁膜６を介して形成された一対の感知膜電極７と、これら一対の感知膜電極７にかかるように成膜されたＳｎＯ_２感知膜８と、を有する薄膜ガスセンサにおいて、感知膜電極７を、研磨加工により平坦化処理したＳｉＯ_２絶縁膜６の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】ＧＣオーブン内で水素等の可燃性ガスの漏洩により爆発などの危険な事態が生じることを防止するためのシステムを提供する。
【解決手段】ガス検出システムの一例はガスクロマトグラフオーブンと、ガス検出器と、試料ガス移動デバイスと、フロー検出器とを備えている。ガス検出方法の一例は上記オーブンから試料ガスを流出させる工程と、その流量が最小値以下であるかどうかを判定する工程と、上記試料ガス中の、可燃性ガスなどの第１のガスの濃度が最大値以上であるかどうかを判定する工程とを備えている。上記流量または上記濃度がエラー状態を示すかまたは限界値から外れている場合、警報応答が開始される。上記警報応答には、上記第１のガスの上記オーブンへの流れを遮断し、安全ガスなどの第２のガスを上記オーブンに流すことが含まれていてもよい。 （もっと読む）

【課題】数十ｐｐｂの濃度のアルデヒド系のガスを検知する特性を有するガスセンサ素子、該材料を製造する方法及び該材料からなるガスセンサ素子等を提供する。
【解決手段】層状構造を持つ無機化合物の層間に有機導電性高分子が挿入され、かつ、無機化合物の層間に挿入されていない導電性有機高分子が除かれた有機無機ハイブリッド材料からなるガスセンサ材料、当該ガスセンサ材料の製造方法、及び化学センサ部材。
【効果】ガス濃縮素子等の増感作用を行う素子を用いることなく、該ガスセンサ材料単独で、数十ｐｐｂの濃度のアルデヒド系のガスを検知することが可能な化学センサ材料を提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム内等の空気中のケミカル汚染物質等を連続的に監視可能とする。
【解決手段】ｎ種の標準ガスをｍ個のセンサ素子で測定した結果に基づき、そのｍ個のセンサによる検出出力により形成されるｍ次元空間内にｎ本の標準ガスベクトルを作成しておく（Ｓ１、Ｓ２）。所定の測定時間間隔毎に採取した試料ガスを測定した結果をｍ次元空間内に位置付け、その測定点と標準ガスベクトルとの関係から各標準ガスに対する類似性指標値を算出するとともに、類似性がある標準ガス相当の濃度を求める（Ｓ３〜Ｓ６）。この類似性指標値と濃度値とを直接表示することで（Ｓ７）、ユーザーに直感的に理解しやすい情報を提供する。 （もっと読む）

本発明は、毒性が高い気体状の、または蒸発した有害物質または戦争薬剤を検出するための検出器に関する。そのような物質を常温で迅速に、容易に検出できるようにするために、水素(Ｈ)末端を有する、または水素化された表面を含んでなる基材を戦争薬剤検出器として使用する。この基材は、水素(Ｈ)末端を有する、または水素化された表面上の表面電荷のシフトを測定するための測定機器を備えている。この基材は、半導体材料または表面導電性を有する非導電性材料から製造する。 （もっと読む）

【課題】油脂の種類によらず、油脂火災をその発生前に検知することが可能となる油脂火災防止用ガス検知器、並びに、油脂火災防止用ガス検知方法を提供する。
【解決手段】炭素数２〜８のアルカンのうちの少なくとも１つのガス成分に感度を有するセンサ素子３と、そのセンサ素子３の出力情報に基づいて、油脂の温度を推定する油温推定手段１００とを備え、センサ素子３が、酸化物半導体であるタングステン酸化物を主成分として、Ｒｕを０．５％〜５．０％の範囲で含有する１層構造の感ガス体材料より構成される （もっと読む）

燃焼により放出されるガスのためのセンサであって、該センサは、吸着半導体を形成する１又はそれ以上の金属酸化物を含み、吸着されるガスによって電気抵抗が変化し、上記半導体は、触媒化学反応を伴わずにガスを直接吸着するための半導体であり、上記センサは、燃えさかる火災の場合には酸化窒素を検知するように配列され、及び／又はくすぶっている火災の場合には部分的未燃焼ガス、具体的にはアルコール、アルデヒド、ケトン、カルボン酸又はアミンを検知するように構成される。 （もっと読む）

【課題】熱ストレスによる割れが生じにくく、電極と検知膜との間で金属が相互拡散しない耐久性が高い水素センサを提供する。
【解決手段】基板と、該基板上に形成された希土類金属からなる検知膜と、該検知膜上に形成された保護膜であって前記保護膜はセラミックス材料中に水素透過性金属粒子を分散してなる保護膜と、該保護膜上に離間して形成され該保護膜を介して検知膜と電気的に接続される一対の電極と、を有する水素センサ。前記水素透過性金属粒子は、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｂ、Ｖ、Ｔａであり、その好ましい含有量は２０〜７０質量％である。保護膜の電極間方向の抵抗値は１０〜１０００００Ω、検知膜の電極間方向の抵抗値は保護膜の電極間方向の抵抗値より小さい値であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、金属並の電気抵抗率を有し、かつ、熱伝導率が低い酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を提供し、さらにはこの酸化物を利用して、感度の良い抵抗型酸素センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物は、斜方晶系構造のＸ線回折パターンを有するＣａＲｕＯ_３相を含み、数１で示されるＲｕとＣａとの原子数比Ｒが０．５以上１．４以下である。この酸化カルシウム‐酸化ルテニウム系酸化物を酸素濃度検出部とすれば抵抗型酸素センサを作製することができる。
（数１）Ｒ＝Ｒｕ／Ｃａ （もっと読む）

【構成】 Ｓｎ(ＯＨ)_６^２−を内包する逆ミセル溶液に硝酸の逆ミセル溶液を混合して、逆ミセル内にＳｎ(ＯＨ)_４を析出させる。次いで、Ｐｄ^２＋を内包する逆ミセル溶液を混合し、Ｓｎ(ＯＨ)_４上にＰｄ(ＯＨ)_２を析出させる。Ｐｄ(ＯＨ)_２を析出させたＳｎ(ＯＨ)_４を分離、洗浄乾燥し、焼成してＳｎＯ_２とする。
【効果】 ＳｎＯ_２に、均一に触媒を担持させることができる。 （もっと読む）

本発明は、一般に電子デバイスおよび方法に関する。ある場合において、本発明は導電性ポリマー材料（７０）で覆われた、櫛型微小電極（６０）の一対を備えるセンサデバイスを提供する。櫛型微小電極（６０）は、第１電極（２２）、第２電極（４０）、および疎水性の壁（５０）で囲まれることができる。ある実施形態において、第１電極（２２）と第２電極（４０）とは相補的形状を有する。例えば、ある場合には、第１電極（２２）および第２電極（４０）はそれぞれ実質的に環状構造である。
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【課題】簡易で高精度に水素ガスの検知位置を検出でき、ガスの漏洩箇所を発見することのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】ガスを検知すると抵抗変化するガス検知センサであって、略帯状に形成された検知膜５と、検知膜５の長手方向の面に接合して積層される抵抗層４と、検知膜５の長手方向の面に接合し、且つ抵抗層４と接合しない側に形成し所定のバイアス電圧を印加するための第１の電極１と、検知膜５と接合しない側の抵抗層４上の長手方向の両端に形成する第２と第３の電極と、を備え、検知膜５のガス検知位置を、抵抗層４を介して第１の電極１と第２及び第３の電極間の導電特性を測定して算出する。 （もっと読む）