【課題】
【解決手段】本明細書に記載の様々な例示的実施形態において、システムおよび関連の方法は、基板における１以上の欠陥を検出するための非破壊的信号伝搬に関する。システムは、基板操作機構などの半導体処理ツール内に組み込むことができる。システムは、１以上の周波数を電気信号から少なくとも１つの機械的パルスに変換するよう構成された変換器を備える。機械的パルスは、基板操作機構を通して基板に結合される。複数のセンサが、変換器の遠位に配置されており、音響的または機械的に基板に結合されるよう構成される。複数の遠位センサは、さらに、機械的パルスとパルスの任意の歪みとの両方を検出するよう構成されている。信号解析器が、複数の遠位センサに接続されており、検出されたパルスおよびパルスの任意の歪みをベースライン応答と比較する。 （もっと読む）

【課題】正確かつ安定して音速を求めることが可能な音速測定装置及び音速測定方法を提供する。
【解決手段】骨強度診断装置１は、送波専用振動子２１と、複数の振動子２４と、仮定伝播時間算出部５１と、波形積算部５２と、音速導出部５３と、を備える。送波専用振動子２１は、皮質骨１０の表面に向けて超音波を送波する。振動子２４は、皮質骨１０からの超音波を受波し、受波した超音波に応じた波形信号を出力する。仮定伝播時間算出部５１は、送波専用振動子２１が送波した超音波が、皮質骨１０の表面近傍を伝播した後で各振動子２４に到達するまでの伝播時間を、当該皮質骨１０内の音速の仮定値と、当該皮質骨１０の表面形状と、に基づいて算出する。波形積算部５２は、複数の振動子２４が出力した各波形信号を伝播時間分だけズラして積算した波形のエンベロープの振幅を求める。音速導出部５３は、エンベロープの振幅に基づいて皮質骨１０内の音速を求める。 （もっと読む）

センサーが取り付けられているメイン・キャリッジ、テンショナー・キャリッジおよびアイドラー・キャリッジを使用する非破壊式試験用パイプ・スキャナー。メイン・キャリッジとテンショナー・キャリッジとはパイプの周りに互に間隔を保って配置され、それぞれの両端がスプリング・バンドを介して接続されている。メイン・キャリッジとテンショナー・キャリッジとの間ではアイドラー・キャリッジがスプリング・バンドによって摺動自在に支持されている。メイン・キャリッジの取り付けられたセンサーは、メイン・キャリッジがパイプ周面に沿ってテンショナー・キャリッジおよびアイドラー・キャリッジを駆動するのに伴ってパイプ周面の溶接部に関するデータを収集する。テンショナー・キャリッジはスプリング・バンドに加わるテンションを調節してメイン・キャリッジ、アイドラー・キャリッジおよびテンショナー・キャリッジをパイプ表面と接触させる可変長連結部を有する。
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【課題】超音波トランスデューサと検査対象面との距離、傾きを高精度で計測することができ、高品質の検査用データ、検査用画像の取得を行うことのできる超音波検査装置及び超音波検査方法を提供する。
【解決手段】超音波トランスデューサ５に、検査対象１の表面からの距離及び検査対象１の表面に対する傾きを検出するための距離計測用超音波センサ７ａ、７ｂを設け、距離計測用超音波センサ７ａ、７ｂが検出した情報に基づき超音波トランスデューサ５の検査対象１に対する距離及び傾きを制御するようにし、かつ、距離計測用超音波センサ７ａ、７ｂによる超音波送受信のうちの少なくとも一部を、超音波トランスデューサ５の送受信が行われない開口合成処理の実行中に行うようにした。 （もっと読む）

【課題】マトリクスアレイセンサによる３６０度の全方位欠陥検出において、全方位において機械走査することなく、底面エコーが原因となるノイズを軽減した、探傷方向に依存するムラが少ない高ＳＮ比の測定を短時間で実施することができる超音波測定方法及び装置を提供することにある。
【解決手段】素子選択回路１０３Ｃは、２次元アレイセンサを構成する複数の前記超音波振動素子の中から、第１の線対称軸Als1に対して線対称に送信用に用いる複数の超音波振動素子群101Tを設定し、第１の線対称軸に直交する第２の線対称軸Als2に対して線対称に受信用に用いる複数の超音波振動素子群101Rを設定する。送信素子選択部１０２Ｃは、素子選択回路１０３Ｃによって設定された超音波振動素子を送信素子として選択する。受信素子選択部１０２Ｗは、素子選択回路１０３Ｃによって設定された超音波振動素子を受信素子として選択する。 （もっと読む）

【課題】伝動部材の全長が変動するのを抑制し、安定した揺動を行うことができる超音波探触子を提供すること。
【解決手段】超音波を送受信する複数の超音波振動子を内蔵した振動子体１３と、振動子体１３に取付けられるとともに、支持体に揺動自在に支持された揺動軸１４と、揺動軸１４に取付けられた第１のプーリ１５と、駆動モータ１７の出力軸１７ａに取付けられた第２のプーリ１８と、第１のプーリ１５および第２のプーリ１８に架け渡された可撓性のベルト２０とを有し、出力軸１７ａの揺動中心および第２のプーリ１８に架け渡されたベルト２０の曲率中心の偏心を調整ねじ３１によって調整するようにしている。 （もっと読む）

【課題】被検体に対して粘着性の接触媒質を用いず、被検体に対して容易に相対移動が可能で、高い変換効率でＳＨ波を発生あるいは検出することができるＳＨ波の発生方法、ＳＨ波の検出方法、および超音波計測方法を提供すること。
【解決手段】斜角縦波３を被検体１の表面１ａである上面側から側面１ｂに対して斜めに照射し、斜角縦波３が被検体１の側面１ｂに対して斜め入射した際のモード変換によってＳＨ波５を発生させ、あるいはＳＨ波５を被検体１の表面１ａ側から側面１ｂに対して斜めに照射し、ＳＨ波５が被検体１の側面１ｂに対し斜め入射した際のモード変換によって斜角縦波３を発生させ、斜角縦波３を受信することによってＳＨ波５を検出するようにし、さらにはこれらのＳＨ波５の発生方法あるいは検出方法を用いて超音波計測を行うようにしている。 （もっと読む）

【課題】複数の超音波トランスデューサ相互の独立した移動を可能とし、凹凸を有する診断部位への追従性を向上させることにより診断部位への密着性を一層向上させた超音波プローブ及び超音波診断装置を提供すること。
【解決手段】この超音波プローブは、被検体の診断部位に対向面を対向させて、診断部位に対して超音波を送信すると共に診断部位からの超音波エコーを受信する超音波診断用の超音波プローブであって、診断部位に接触させるために対向面において列状に相互に隣接配置された複数の超音波トランスデューサを有し、複数の超音波トランスデューサが、診断部位との接触に基づき対向面に対して各々が独立して進退可能とされている。 （もっと読む）

【課題】広指向角，狭指向角の送信超音波のいずれにおいても効率的な画像の生成を可能とする超音波画像化装置を提供する。
【解決手段】超音波画像化装置が，複数の第１の圧電素子から送信される超音波の合成波が，所定の仮想送信点から発信される超音波と対応するように，前記複数の第１の圧電素子それぞれの発信タイミングを制御する発信制御部と，前記複数の第１の圧電素子から送信され，検査対象物で反射され，複数の第２の圧電素子で受信される超音波エコーに対応する，電気信号を検出する信号検出回路と，前記電気信号に基づき，前記検査対象物に対応する画像を生成する生成部と，を具備する。 （もっと読む）

【課題】検査員が配管内面の状態を容易に知ることができ、配管外面からの超音波探傷試験の精度を向上できる超音波探傷試験装置を提供することである。
【解決手段】配管１１の表面から超音波を発信し反射波を受信して配管内部を探傷するとともに垂直方向に超音波を発信する超音波探触子１４を配管１１の表面に配置し、配管１１の内面を撮影するカメラ２０及び超音波探触子１４が配管表面に接触している位置を検出する探触子位置検出部２１を搭載した配管内走行台車１３を配管内で走行させ、カメラ２０で撮影した影像に探触子位置検出部２１で検出した超音波探触子１４の位置をモニタ装置１５に表示する。検査員はモニタ装置１５の画面を監視しながら超音波探触子１４にて探傷を行う。 （もっと読む）

【課題】アンテナを撮像対象物体に正確に向けるとともに、高い分解能で撮像する超音波撮像装置を提供すること。
【解決手段】パラボラ状の曲面上に配置され、供給される駆動信号に応答して超音波を送信し、超音波を受信して電気信号を発生する圧電素子を有する超音波プローブを有するアンテナ本体１１０と、各超音波プローブの向きをそれぞれ変更する姿勢変更部１４０と、開口合成のために使用される第１周波数で送受信するとともに２次元配置された複数の主超音波プローブ１１１と、第１周波数よりも低い第２周波数で送受信する補助超音波プローブ１１２ａ〜１１２ｄと、主超音波プローブ１１１の圧電素子が発生した各電気信号を用いて、超音波画像を生成する画像生成部２２６とを備えている。 （もっと読む）

ウエハー接合型ＣＭＵＴアレイは、基板に沿って配設される複数のＣＭＵＴエレメントを備えており、各エレメントは、基板に形成されるキャビティおよび信号電極と、キャビティを塞いで、接地電極を形成する導電性膜とを有しており、複数のＣＭＵＴエレメントのこれらの導電性膜が、ＣＭＵＴアレイの表面全体にわたる連続した接地面を形成しており、また、信号電極への電気接続部が、信号電極から基板の裏面へ基板を貫通して延びる導電性ビアによって提供されている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、圧電層と印刷回路基板との間の接合不良による性能低下を防止できるように構造を改善した超音波診断装置用プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複数の吸音体を備える吸音層と、互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第１連結部と、前記第１連結部と離隔するように前記各吸音体の間に挟まれて接合される接地連結部と、前記複数の電極及び前記接地連結部と電気的に連結されるように配置される圧電体とを備えた超音波診断装置用プローブを提供する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、圧電層と印刷回路基板との間の接合不良による性能低下を防止できるように構造を改善した超音波診断装置用プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】吸音体１１０，１１１を備える吸音層と、互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第１連結部１２０と、前記複数の電極と電気的に連結されるように配置される圧電体とを備えた超音波診断装置用プローブを構成する。 （もっと読む）

【課題】き裂等の欠陥のサイジング作業において、エコー間の距離を３次元的に容易に測定することができるようにした３次元超音波探傷装置及び３次元超音波探傷方法を提供することにある。
【解決手段】超音波センサ１０１は、検査対象１００に超音波を送信し、また、検査対象から現れる反射波を検知すると共に、複数の圧電振動子を備える。３次元表示部１０３には、検査対象の３次元形状データを３次元探傷データとを重ねて表示する。計算機１０２Ａは、３次元表示部１０３Ｃにおいて指定した二点間を結ぶ直線を３次元表示部１０３Ｃに表示し、同時に、二点間の距離も３次元表示部１０３Ｃに出力する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び制御内容の簡便化を図ること。
【解決手段】超音波探傷装置のプローブ１１は、複数の振動子１３が一方向に配列された送信用探触子１４と、複数の振動子１５が一方向に配列された受信用探触子１６とを備えている。送信用探触子１４及び受信用探触子１６は、これらの振動子１３，１５の配列方向に沿って並んで配置されている。 （もっと読む）

【課題】超音波プローブにおける圧電振動子と、この圧電振動子に電圧を印加するための導体との導通を確実に図ることができる圧電振動子を提供する。
【解決手段】圧電振動子１５は、圧電体２４の表面に設けられた導電層２５で構成される信号電極２６及び接地電極２７を備え、フレキシブル基板１７の第一銅箔層２０が接着層１６を介して圧着される前記接地電極２７の第一の部分２７ａと、第二銅箔層２１が前記接着層１６を介して圧着される前記信号電極２６は、表面に突起部３２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料表面において非破壊で動作可能であり、従来の方法や装置と比較して精度が向上した、例えば探針などの機器の移動を検出する方法及び装置を提供する。
【解決手段】本発明は、試料に部分的に透過する信号を送信する送信ステップと、前記試料から反射される信号の少なくとも一部を検出する検出ステップと、前記検出ステップに応じて、移動データと前記試料の特性データとの両方を測定する測定ステップと、前記測定ステップの少なくとも一部に基づいて、前記試料の画像データを生成する生成ステップと、表示部に前記画像データを表示する表示ステップと、探針位置に従って前記試料のデータファイルから生成された前記試料の画像を前記表示部に前記画像データと同時に表示する画像表示ステップと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波映像装置の振動特性を向上させ、フォーカシングを良くして、鮮明な映像を得ることができる超音波探触子、超音波映像装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】超音波探触子は、所定の厚さを有する背面ブロック３１０と、該背面ブロック３１０の上面及び側面を取り囲む形態で積層され、配線パターンが設けられる柔軟性印刷回路基板３２０と、該柔軟性印刷回路基板３６０の上面に積層され、両面に各々上部及び下部電極を有し、複数の第２溝が形成された圧電ウェーハ３５０と、該圧電ウェーハ３５０の上面に積層されて上部電極と接合され、柔軟性印刷回路基板の接地層と連結される接地用電極板３６０と、該接地用電極板の上面に積層される音響整合層３７０、音響整合層３７０の上面に接合される音響レンズとを含み、音響整合層から背面ブロック３１０の上端は、第２溝と直交する複数のスロットが形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定対象たる物体の厚さに関わらず、当該物体の内部性状を精度良く測定することができ、物体の内部欠陥を検査することができる内部性状検査装置を提供する。
【解決手段】測定対象物たる製品８に対して超音波を放射する製品用超音波探触子３と、超音波探触子３により放射され製品８の内部を伝播した超音波を受信する製品用受信センサ５と、を備える内部性状検査装置１であって、製品用超音波探触子３から製品８に対して放射する超音波の入射角θ_１と、製品用受信センサ５によって検出される製品８の内部を伝播する超音波の屈折角θ_３と、に基づいて、製品８の内部性状（密度や剛性率）を検査する。 （もっと読む）