【課題】容易に検査対象物の検査対象領域を抽出可能であり、形状寸法の検査と外観検査の両方を短時間で高精度に行うことができる外観検査方法とそれに用いる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査台１に載置した被検査物２の側面全周側より第一の照明手段３を照射して前記被検査物２を含む第一の検査画像を撮像する第一の工程と、前記第一の検査画像から前記被検査物２の輪郭のみを抽出して第二の検査画像とする第二の工程と、前記第二の検査画像から輪郭の形状寸法を測定し良否を判定する第三の工程と、前記被検査物２の上面側より第二の照明手段４を照射して第三の検査画像を撮像する第四の工程と、前記第二、第三の検査画像を照合し、第三の検査画像から前記第二の検査画像の輪郭の内側のみの画像を抽出して第四の検査画像とする第五の工程と、前記第四の検査画像から被検査物の外観の良否を判定する第六の工程とからなる電子部品の外観検査方法である。 （もっと読む）

【課題】 短い時間で正確な欠陥検査ができる外観検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】 ステージ２に載置される検査対象部品３に対してＣＣＤカメラ１２により２次元画像を撮像し、この撮像画像に対し制御部１５により２次元画像処理して欠陥検査を行い、この欠陥と判定された部分に対して、さらに高さ情報を用いて欠陥の再判定を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象部位の検出または検査対象部位の良否判定を精度良く行うことが可能になる基準値を、簡単に設定できるようにする。
【解決手段】フィレット検査のための判定基準値を設定するために、良品および不良品のモデルＭを、それぞれ少なくとも１つ用意する。ティーチングの際には、各モデルＭを、カメラの撮像範囲３０の中央部、左上、右上、左下、右下の５箇所に位置合わせして撮像を行う。さらに、複数とおりの判定基準値を順に設定しながら、生成された全画像を用いて各モデルＭに対する試験的な検査を実行する。そして、各モデルＭに対してなされるべき判定結果に最も適合する結果が得られたときの判定基準値を選択し、メモリに登録する。 （もっと読む）

【課題】チップ部品や内部に素子を内包したパッケージなどの割れ、欠けなどの外観不良部を高精度にかつ短時間で検査が可能な電子部品の外観検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】検査対象物１に照射する複数の照明手段３および４と、この照明手段３，４により照明された前記検査対象物１を撮像するための撮像素子と光学系からなる撮像部５と、撮像した前記検査対象物１の画像から外観形状の不良の有無を判断する画像処理装置５ａとを備えた外観検査装置であって、前記複数の照明手段３，４が、検査対象物１の側面全周方向から照射する第一の照明手段３と、上面方向から照射する第二の照明手段４からなり、前記第一および第二の照明手段３，４が互いに異なる色相の照明とした。 （もっと読む）

【課題】 この発明は，予め正常なチップ表面の画像を登録し，検査すべき対象物とのパターンマッチングによる検査によって対象物表面の欠陥の有無を検出する検査方法であり，対象物の各種マークがマーキングの状況により文字の字体の変形，傾き，位置ずれがあっても，各種マークの影響を受けず，対象物表面の欠陥を判別することができる。
【解決手段】
この対象物表面の欠陥検査方法は，異なる照明手段によって照らされた対象物の画像から各種マークとマーク以外の領域，及び対象物表面の欠陥の領域の濃淡値に関する２次元的分布から，対象物表面の欠陥のみの領域を判別する。これによって各種マークの字体の変動等に影響されず，対象物表面の欠陥の有無を判定することができる。 （もっと読む）

【課題】
配列形成された球状部の形状にバラツキや歪みがあったり、反射率が高く、配列ピッチが狭い場合であっても、球状部の形状を精度良く、短時間で測定できるようにする。
【解決手段】
球状部（２）の配列方向に直交する方向に伸びるスリット光（Ｓ）により形成される光切断線（４）を個々の球状部（２）について所要数の画像が得られる所定ピッチ（Ｐ）で撮像した画像データ（ＩＤｎ）に基づいて、光切断線（４）上の３点から球状部（２）の半径を表わす径データ（Ｒｎ）を順次算出し、径データ（Ｒｎ）が予め設定された許容範囲内にある画像データ（ＩＤｎ）を一次抽出し、一次抽出された画像データ（ＩＤｎ）の連続数に基づいて球状部（２）の頂点近傍の画像データ（ＩＤｎ）を二次抽出し、二次抽出された画像データ（ＩＤｎ）を画像処理の対象として、夫々の球状部の形状を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 パターン化デバイスの欠陥のタイプを簡便に分類し、欠陥の原因分析による歩留まり向上が可能な微細導体を有するパターン化デバイスを検査するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】 パターン化デバイスの検査システムは、パターン化基板上の欠陥候補の位置を観察し、その位置の少なくとも１つの画像を取得するカメラを有する。当該カメラは光軸を規定し、取得される画像は、少なくとも、光軸からずれ、パターン化基板の平面に対応する平面において互いに非平行な第１の照明軸及び第２の照明軸に沿って供給される照明により照明される。その互いに非平行に供給される照明に対する応答は、互いに区別可能である。また、少なくとも１つの画像を受け取り、切削による欠陥候補若しくは余分な材料による欠陥候補を互いに、且つ／又は他のタイプの欠陥候補と区別するように動作する欠陥分類器とを備える。 （もっと読む）

【課題】
検査対象箇所の表面色をいくつかの構成色に分離し、それぞれの構成色の統計量及び構成色間の色の類似度を算出して、最適な検査データの設定を行うことのできる画像認識装置のデータ設定装置を提供する。
【解決手段】
認識用対象物の認識用画像を設定データに基づき画像認識する画像認識装置の設定データを設定するデータ設定装置において、認識対象物が撮像された認識用画像内の認識領域を指定する認識画像入力部と、認識領域内の画像に基づいて記認識対象物の構成色の位置を抽出し、当該構成色に関する色のバラツキを示す統計量を算出する構成色処理部と、統計量に基づいて認識対象物の抽出色範囲を決定する検査データ決定部とを具備し、構成色処理部は、構成色に含まれる各画素の色空間における各次元の値に基づいてバラツキを示す統計量を算出する構成色統計量算出部を具備して構成する。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の形状によらずに検査領域を設定でき、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る外観検査方法は、撮像画像を取得する工程と、マスタ画像及び拡張マスタ画像を生成する工程と、検査対象物の中央部と周縁部と出輝度値が変化する複数の変化点で構成される点列を線で近似した近似直線に基づいて検査領域を決定する工程と、撮像画像から検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像Ｐ５を生成する工程と、検査領域画像Ｐ５と合成したときに、検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像Ｐ７を生成する工程と、検査領域画像Ｐ５と検査対象外領域画像Ｐ７とを合成することにより合成画像Ｐ８を生成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分処理をして不良を検出する検査装置は、教示プログラム作成が不要である上に最高速検査を実現できるというメリットがあるが、基板色と部品色が同色あるいは近似色の場合に不良の不検出が発生し易いという課題があった。
【解決手段】テスト検査により、画素比較検査では不良の検出が困難な部品領域が存在していることが判れば、その部品領域には形状比較検査を適用できるようにしたので、基板色と部品色が同色であっても画像形状の相違で不良検出ができるようになって上記課題が解決し、信頼性の高い自動検査が実現する。 （もっと読む）

【課題】照明光の均一性を高めるようにした撮像装置を提供する。
【解決手段】この撮像装置の照明系は同軸落射照明として利用され、第１の光拡散板２４を、ＬＥＤ２２における光出射側のパッケージＰの表面Ｐａに密着して固定し、さらに、第２の光拡散板２５を、第１の光拡散板２４とハーフミラー５との間に配置している。このように構成すると、第１の光拡散板２４が面実装型ＬＥＤ２２の発光部２２ａに極めて近づけられることになり、光量損失無く光の均一性を発揮させることができる。このとき、発光部２２ａに近い部分と他の部分とで多少の光ムラが発生しているが、第２の光拡散板２５によって、光の均一性は更に高められることになる。 （もっと読む）

【課題】欠陥を的確に自動検知できる絶縁樹脂皮膜が所要箇所に設けられた電気電子部品
用金属材料を提供する。
【解決手段】金属条材２の所要箇所に絶縁樹脂皮膜３が設けられた金属材料１において、絶縁樹脂皮膜３が着色されている電気電子部品用金属材料。 （もっと読む）

【課題】省スペース化及び低コスト化を図ることができるバンプＩＣ検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ１１の真上に第１のミラー２１を設け、バンプ面１３の平面画像を右斜め下方へ向けて反射する。第１のミラー２１の右側に第２のミラー３１を設け、第１のミラー２１で反射した平面画像を真上に反射する。第２のミラー３１の真上にカメラ４１を設け、第２のミラー３１で反射した平面画像を入力する。ステージ１１の右方に第３のミラー５１を設け、バンプ付きＩＣ２の側部画像をカメラ４１のレンズ４２へ向けて反射する。レンズ４２への平面画像入力位置６２と側部画像入力位置６３を異なる位置に設定し、平面画像光路６４と側部画像光路６５とが重ならないように各ミラー２１，３１，５１を調整する。 （もっと読む）

【課題】基板へのＩＣチップの実装状態の検査を、客観的基準に基づいて短時間で実施する。
【解決手段】表面にＩＣチップ２を実装したガラス基板１の裏面の画像データを微分干渉顕微鏡１０により取得して微分処理し、その画像データに、基板１のパネル電極４のパターン等マスタデータをマッチングして、前記画像データにおけるバンプ領域Ａを位置決めし、その位置決めしたバンプ領域Ａをもとに検査領域Ｃを特定し、さらに、その検査領域Ｃを分割する。前記検査領域内の画像輝度の標準偏差から圧痕レベルの検出を行い、二値化画像データによる白部分の面積と形状から圧痕数を算出し、パネル電極に形成した圧痕の強弱、数、位置ずれ、異物混入等を判定する。圧痕レベルが、画像輝度に現れ、その画像輝度は数値化されるので、決められた検査領域内の圧痕レベルを数値により検出でき、ＩＣチップ２の実装状態の良否を素早く客観的に評価できる。 （もっと読む）

【課題】チップ形電子部品などにおける複数の検査項目を、１台の検査用カメラで検査できる電子部品の外観検査方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】電子部品の被検査体３に対して、第１の照明系１１を点灯し検査用カメラ１から検査用の撮影画像をメモリ３１に取込む第１ステップと、第１の照明系１１を消灯し、第１の照明系１１による検査項目以外を検査する第２の照明系１２を点灯して検査用カメラ１から検査用の撮影画像をメモリ３１に取込む第２ステップと、メモリ３１に蓄積された検査用の撮影画像における画像処理および演算判定を画像処理演算判定部３３で行う第３ステップとからなる電子部品の外観検査方法である。 （もっと読む）

【課題】チェンジキットを交換する必要がなく、ハンドリングオフセットを低減できる検査工程の搬送装置及び検査工程の搬送方法を得る。
【解決手段】被検査対象であるＩＣパッケージＰをコンタクト部１１に載置して電気特性を検査する検査工程に用いられる検査工程の搬送装置１００であって、搬送手段１７が、搬送ユニット１５とＸＹ搬送アーム１７ａとからなり、搬送ユニット１５が、被検査対象を吸着する吸着ノズルと、吸着ノズルを軸線回りに回動させる回転機構と、チェンジキット又はコンタクト部１１に載置された被検査対象を撮像する撮像手段と、を有し、撮像手段が、ハンドリングによって置かれる被検査対象の目標位置と実際に置かれた被検査対象の位置とのハンドリングオフセットを認識する画像処理手段と接続されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象ワークに光沢がある被検査電子部品に対して、照明の発光部下に小型孔がある拡散板を用いることで、ハレーションを防止させ、容易に表明状態（異物、傷）を検出する表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象ワーク５に照明３を照射してカメラ１により上記検査対象ワーク５の光沢を有した表面を検査する表面検査方法において、
上記照明３と上記検査対象ワーク５の間に設けたハレーション９を防止する拡散板４の小型孔６を、上記検査対象ワーク５に隣接させ、上記照明３の光を上記小型孔６を通過させて上記検査対象ワーク５に照射し、上記検査対象ワーク５の表面を検査する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 生産性を増大させることができる異方性導電フィルムの圧痕検査方法。
【解決手段】 異方性導電フィルムが圧着された部品の接続欠陥有無を判別する圧痕検査方法であって、ＴＡＢ、ＦＯＧ、チップの部品を異方性導電フィルムの接触力によって仮圧着しツールで本圧着させた部品素材を検査ステージに供給し導電フィルムの表面に第２カメラの焦点を合わせ、整列信号により部品素材の載せられた検査ステージを整列させＰＬＣ制御部の信号によって検査ステージを１次検査位置に移送させ部品素材の圧痕を第２カメラによってイメージとしてキャプチャし、検査ステージを２次検査位置にさらに移送させ、同時にキャプチャされた圧痕イメージをアルゴリズムによって検査し検査ステージを移送させた後、移送された位置が最後の検査位置でない場合圧痕イメージ検査を繰り返し、移送された位置が最後の検査位置である場合、圧痕イメージ検査を終了し部品素材を排出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、エンボスキャリアテープに被検査物を収納してカバーテープ貼付後でも、鮮明な検査画像を撮像可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】透明なエンボスキャリアテープ１２に収納され透明なカバーテープ１６が貼付された電子部品である被検査物１４を有し、被検査物１４の外観や輪郭を検査するカメラ２４を設ける。カメラ２４側から被検査物１４を照らすリング照明器２０と、エンボスキャリアテープ１２の底面下方から照射可能に形成された透過照明器１８を備える。カメラ２４が撮像した画像から外観形状の良否を判定処理する判定装置２６を備える。 （もっと読む）

【課題】ターンテーブルのワーク収納部に収納してワークを搬送する過程で、ワークの外観検査を簡単な機構により可能とした外観検査装置を提供することにある。
【解決手段】外周部にワークを１個ずつ収納して搬送する複数のワーク収納部３１ａを有したターンテーブル３１と、前記ワーク収納部３１ａに収納されたワークｗを吸着保持して前記ターンテーブル３１の外部空間に送出する送出手段と、前記ターンテーブル３１から送出された前記ワークｗの外観を検査する検査手段とからなり、前記ターンテーブル３１の前記ワーク収納部３１ａを所定位置に位置決めした後、前記送出手段としての吸着ノズル２８により前記ワーク収納部３１ａの前記ワークｗを送出し、前記ターンテーブル３１の外部空間の前記ワークｗを検査手段としての撮像手段３７により検査することを特徴とする外観検査装置にある。 （もっと読む）