【課題】本発明は、任意の品種のホログラム欠陥検出に、汎用的に利用することができ、かつ欠陥を精度良く安定して検出することが可能なホログラム欠陥検出のための照明方法および撮像方法、および本手法を用いた欠陥抽出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ホログラム製品およびアルミニウム蒸着工程後におけるホログラムフィルム欠陥検出のためのホログラム表面形状の画像化手法であって、同軸落射照明を用いることを特徴とする画像化用照明方法、ホログラム画像取得方法、およびホログラム欠陥抽出方法である。 （もっと読む）

【課題】 基板に形成されるアライメントマークに欠損、不良等が生じているか否かを検査可能なように基板をアライメントする。
【解決手段】 基板１の外形を基準として粗位置決めを行い、基板１に形成されるアライメントマークＡ１乃至Ａ４のうち、Ａ１およびＡ２が観察手段Ｃ１およびＣ２に検出できたときには、アライメントマークＡ１およびＡ２を基準として、基板１の回転方向のずれを調整し、各アライメントマークＡ１乃至Ａ４が対応する撮影手段Ｃ１乃至Ｃ４の有効視野の中心に位置するように移動する。この状態において、全てのアライメントマークＡ１乃至Ａ４が検出できるか否かを判定し、アライメントマークに欠損又は不良等が生じているかの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの照明条件をさまざまに変えることによって液晶パネルの傷などの物理的欠陥を確実に撮影できるようにする。
【解決手段】液晶パネルを撮影するときの照明条件は，３種類の照明装置の点灯状態と消灯状態を組み合わせたものである。照明１は同軸照明装置だけを点灯する。照明２は斜光照明装置だけを点灯する。照明３はバックライト装置だけを点灯する。照明４は斜光照明装置とバックライト装置を点灯する。これらの照明条件を用いて，さまざまな外観検査項目について液晶パネルの画像を取得して，その良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】対象物の濃淡ムラを検査するムラ検査において、エッジ近傍におけるムラ検査の精度を向上する。
【解決手段】基板９に塗布されたレジストの濃淡ムラを検査するムラ検査装置１では、基板９の撮像画像が圧縮された後にローパスフィルタ処理が行われ、さらにハイパスフィルタ部４２１４によりハイパスフィルタ処理が行われる。ハイパスフィルタ部４２１４では、ハイパスウィンドウがエッジ近傍に存在する場合には、ハイパスウィンドウが縮小されてフィルタ処理による画素値算出の対象となる注目画素が属する領域以外の領域を避ける。このように、ムラ検査装置１では、ハイパスフィルタ処理に利用される画素群を、ハイパスウィンドウ内の画素、すなわち、実質的に注目画素が属する領域内の画素に制限することにより、エッジ近傍におけるムラ検査の精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷により透明板状体の周辺部の表面に塗膜が形成される印刷部と、塗膜が形成されていない非印刷部とを、検査の対象にして、印刷部のピンホールやかすれなどの印刷欠陥と、非印刷部分の印刷汚れを検出する方法を提供する
【解決手段】散乱光を用いて印刷物を照明し、印刷物の複数の画像を散乱光が透過する側からＣＣＤカメラで撮像し、該画像を合成して検査用画像とし、該検査用画像を暗部と明部とに２値化処理し、明部を面積の大きい順に順序づけし、面積の大きさが（ｍ＋１）番目以下（ｍは非印刷部の個数）となる明部を印刷欠陥とする。また、暗部を面積の大きい順に順序づけし、面積の大きさが（ｎ＋１）番目以下（ｎは印刷部の個数）となる暗部を印刷汚れとする。 （もっと読む）

【課題】 乱丁検査装置による検査画像の保存を十分にして、乱丁の検査をより確実のものにし、乱丁検査の信頼性を向上させる。
【解決手段】 多数の駒の各々に乱丁検査装置を設け、それらの乱丁検査装置によって各駒に積まれた多数の折丁の所定の紙面を一折ごとにＣＣＤカメラによって光学的に検査して、その検査した折丁の紙面と基準の折丁の紙面とを自動的に比較して、検査した折丁の良否を判定するＣＣＤカメラ駒別対応型の乱丁検査システムにおいて、全ての駒の乱丁検査装置の全ての折丁の検査画像が、全ての駒の乱丁検査装置に共通の画像記録装置にまとめて記憶され、かつ、全ての検査画像の各々が、その検査画像を検査した乱丁検査装置の検査カウント値を挿入した形で、全ての駒の乱丁検査装置に共通の表示器に表示される。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクタによる投写画像を正確に取得可能なプロジェクタの検査装置、及びその検査方法を提供する。
【解決手段】 プロジェクタＰＪの検査装置８０は、制御装置８１と受光装置８２とを備えており、受光装置８２は、フォトダイオード等からなる複数の受光素子ＰＤがマトリクス状に配列された受光部８５を備えている。受光部８５は、投写光が照射される投写領域６５よりも大きな面積を有しており、受光素子ＰＤが、この受光部８５内で互いに密接するように配置されているため、受光部８５に投写される投写光のほとんどを漏れなく受光可能になっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、任意の品種のホログラム欠陥検出に、汎用的に利用することができ、かつ欠陥を精度良く安定して検出することが可能なホログラム欠陥検出の照明方法、検査方法および欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ホログラム欠陥の検査において、あらゆる方向からの回折光を抽出する構造からなり、ホログラム横幅方向の振れによるフレーム毎の画像微小変化を抑制するための横幅方向への均一照明方法と基準画像を用いずに欠陥検査する方法およびホログラム欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】噛み込み欠陥を含む各種のシール欠陥をコード化することなく撮影画像上の色合いの変化として変換できるようにし、シール欠陥を確実に検出できるようにする。
【解決手段】搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置３を配置し、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置４を、検査位置を間にして前記画像撮影装置３に対向する位置に配置するとともに、前記透過照明装置４の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置５を、前記移動線に対して前記画像撮影装置３側に配置して、前記透過照明装置４での光の照射による透過画像と前記斜光照明装置５での光の照射による反射画像とを一体にして前記画像撮影装置３が撮影可能に設けられ、画像撮影装置３によりマルチバンドデジタル画像を得て画像データそれぞれによりシール欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】シート状部材の表面に形成された傷等の状態によらず、傷等を正確に検出できる透明部材の欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】透明な被検査部材Ｓにおける欠陥検査装置１であって、検出手段１０が、透過光を受光する受光部３と、受光部３に、透過光を集光するレンズ２とを備えており、光照射手段２０が、一対の発光手段を備えており、一対の発光手段のうち、一の発光手段が、被検査部材Ｓの表面に沿って延びた発光体を備えており、他の発光手段が、検出手段１０側から見て、その軸方向が、一の発光手段における発光体の軸方向と交差するように配設された発光体を備えており、該他の発光手段における発光体が、被検査部材Ｓの表面における法線方向と平行であって、発光体の軸方向における端部、および、被検査部材Ｓにおける検出手段１０の画角内に位置する部分と交差する全ての交差平面が、一の発光手段における発光体と交差するように配設されている。 （もっと読む）

調光フィルム（２２）の検査方法であって、頭上光源（２８）からの光を調光フィルムの第一の面で反射させて調光フィルム（２２）中の欠陥を検査する段階と、バックライト光源（１８）からの透過光を調光フィルム（２２）の第二の面から第一の面に導いて調光フィルム（２２）中の欠陥を検査する段階と、頭上光源（２８）からの光を調光フィルム（２２）の第二の面で反射させて調光フィルム（２２）中の欠陥を検査する段階と、バックライト光源（１８）からの透過光を調光フィルム（２２）の第一の面から第二の面に導いて調光フィルム（２２）中の欠陥を検査する段階と、調光フィルム（２２）中において検出された欠陥の各々の位置を測定する段階とを含んでなる方法。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスルツボの除去対象物を自動的に除去できる石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置を提供する。
【解決手段】本石英ガラスルツボの除去対象物の除去装置は、同一位置の深さが異なる点に各々焦点が合わされる複数の撮像単位からなる撮像手段と、各々発光波長の異なる光を発する照明手段と、除去対象物の３次元位置を検出する位置検出手段と、サイズ判定手段と、種類識別手段と、レーザ光の照射位置を制御する照射位置制御手段と、前記除去対象物のサイズおよび種類に応じて、出力が変化されるレーザ光発振手段を有する。 （もっと読む）

１つの側面においては、強度における決定される変化に基づき、格子の異なる領域において強度データと共に使用される解像度を変化させることにより、Parousiameterのような散乱計100から得られる画像強度データを格納するのに必要なデータの量が削減される。別の側面においては、散乱計が、テストサンプルに対する鏡のオフセンタ変位によりもたらされる歪みを訂正するため、テストサンプル180を画像化する非球面鏡170,900,1000を具備する。別の側面においては、光学表面検査装置が、テスト表面上にパターン化格子1610を投影するため、テスト表面1420と照らし出されるパターン化格子1410との間の補助レンズ1440を用いる。カメラ1450は、実画像としてテスト表面上の格子に焦点が合わされる。
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【課題】電子写真用クリーニングブレード向けの、透明または半透明の板状体の厚み、その板状体の切断角度に関わらず、エッジ部近傍の外観を検査することができる、欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の欠陥検出装置は、投光手段と、該撮像手段により得られた画像のデジタル処理手段とを有し、該投光手段と該撮像手段とが対向して配置され、該投光手段と該撮像手段の間に透明または半透明の板状体が配置され、該板状体に投光し該板状体内を透過させ、透過した光を撮像して得られた画像を用いる。この板状体の欠陥検出装置では、投光手段の光軸と撮像手段のなす角度が０度を超え９０度未満に設定されている。 （もっと読む）

【課題】カット面形状に歪みが存在する場合でも反射光を均一に受光できるように照射し、中空部と樹脂部のコントラストを向上させて誤検出を低減することができ、併せて端面のカッター異常を早期に発見することのできる中空糸膜モジュール検査装置および中空糸膜モジュールの検査若しくは製造方法を提供する。
【解決手段】平面型照明と中空糸膜モジュールからの反射光を受光する第１の撮像手段と、リング型照明と中空糸膜モジュールからの散乱光を受光する第２の撮像手段と、それぞれの撮像手段で得られた画像を処理する欠陥判別手段と、モジュールを移動させるモジュール走査手段とを有し、中空糸膜モジュール端面に発生する欠陥を検出するようにしたことを特徴とする中空糸膜モジュール検査装置。 （もっと読む）

【課題】レーザビームを表面に照射することで検査対象物の表面欠陥を検出する。
【解決手段】半導体レーザ１０からのレーザビームをコーンレンズ１４でリング状に整形し、レンズ１６で集光する。検査対象物２０でその開口が貫通されるように配置された楕円ドーナツ状ミラー１８でリング状レーザビームを反射し、検査対象物２０の所望の位置Ｐにリング状レーザビームを照射する。位置Ｐにおいて検査対象物２０を囲むように全周的に配置されたセンサ２４で散乱光を検出して表面欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 レシピ作成者の熟練度に依存しない、検査装置に要求される検査条件を満足する検査結果を得られる検査レシピを作成する自動検査レシピ作成装置及び作成方法を提供する。
【解決手段】 複数の検査装置の動作をそれぞれ規定する複数のレシピパラメータから、特定の検査装置に関する複数のレシピパラメータを抽出する抽出部１１と、複数のレシピパラメータを組み合わせて、複数の検査レシピ候補を作成するレシピ候補作成部１２と、複数の検査レシピ候補をそれぞれ適用して特定の検査装置により製品を検査した結果に基づき、複数の検査レシピ候補毎に検出パラメータを算出する算出部１３と、条件記憶領域３１に格納された検出条件を読み出し、その検出条件と検出パラメータに基づき、複数の検査レシピ候補から検査レシピを選択するレシピ選択部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出精度が向上する閾値を決定できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】 外観検査装置の制御部が実行する処理は、画像の入力を受けるステップ（Ｓ４１０）と、第１の閾値で２値化処理を実行するステップ（Ｓ４２０）と、対象領域を決定するステップ（Ｓ４３０）と、各領域に対応する第２の閾値を決定するステップ（Ｓ４４０）と、第２の閾値と第１の閾値との間を解析するステップ（Ｓ５００）と、第３の閾値を決定するステップ（Ｓ４６０）と、各領域において第３の閾値で２値化処理を実行するステップ（Ｓ４７０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードを用いて移動する対象物上の所定領域の画像を精度よく取得する。
【解決手段】画像取得装置１は、対象物９を連続的に移動するコンベア２、および、コンベア２の上方に設けられたヘッド部３を備える。ヘッド部３は、フラッシュ光を出射するＬＥＤ３１、対象物９にフラッシュ光を導くとともに対象物９からの光が入射する顕微鏡３２、および、顕微鏡３２により所定の倍率で結像された対象物９の像を電気信号に変換する撮像デバイス３３を有する。画像取得装置１では、コンベア２により移動する対象物９に対してパルス幅が１０μ秒以下のフラッシュ光がＬＥＤ３１から出射され、対象物９上の検査領域の画像が取得される。これにより、ＬＥＤ３１を用いて移動する対象物９上の検査領域の画像を精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間かつ低コストで検査する。
【解決手段】点光源２０と、点光源２０から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー２１と、ハーフミラー２１を経由した光を平行光２３に変換して塗布膜１４に照射するとともに塗布膜１４からの反射光２４を集光するように配置されたフレネルレンズ２２と、フレネルレンズ２２により集光されハーフミラー２１により点光源２０とは別の光路に導かれた反射光２４、２４ａ、２４ｂを結像させるための結像レンズ２５と、結像レンズ２５により結像された光学像を観察するＣＣＤカメラ２６とを有する。 （もっと読む）