【課題】角度検出感度を向上させるとともに、検出可能な角度範囲を広くする。
【解決手段】波長域が互いに異なる山形輝度分布が互いに重なり合うように帯状面光源を構成し、各波長域の撮影画像の該山形輝度分布に対応する画素値分布に基づいて検査面の角度を２段階で検出する。第１段階では、Ｒ、Ｇ、Ｂの画素値間の大小関係と曲線近似情報とに基づいて、光源面上周期内参照光位置ｘを決定し、第２段階では、明度の値と曲線近似情報とに基づいて、周期内参照光位置ｘがどの周期ｉに属するか、すなわち、周期始点位置Ｘｉを求める。次いで参照光位置Ｘ＝Ｘｉ＋ｘを検査ラインでの検出角に変換する。 （もっと読む）

【課題】近赤外線吸収性能の面均一性を容易に測定できる、近赤外線吸収性能の面分布測定方法と、この測定方法を利用した近赤外線吸収フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基材シート２上に近赤外線は吸収し且つ可視光は吸収しない近赤外線吸収層３を積層した帯状の近赤外線吸収フィルタ１に対して、搬送させながら、その幅方向ＴＤ及び流れ方向ＭＤに亘る所定領域面Ａ毎に、近赤外線光源５からの透過光の面分布を、近赤外線領域に感度を有する二次元イメージセンサ５による二次元画像として撮影し、画像処理装置７で画像処理して、その輝度分布から近赤外線吸収性能の面分布を測定し、ディスプレイ８に表示する。更に、判定基準に従い面分布の不良品と良品とをマーキング等で識別できる様にすると良い。この方法を用いて、近赤外線吸収フィルタを製造する。 （もっと読む）

【課題】光透過性フィルムに発生する塗布ムラ欠点を高精度に検査できる検査装置を提供する。
【解決手段】特定波長の単色光を照射する光照射手段と、前記光照射手段からの光に由来する光を反射する光反射手段と、光反射手段で反射された光に由来する光を受光する受光手段と、受光手段で受光した光量の変化を検出する検出手段とを備えた、光透過性フィルムの検査装置、とすることにより、光透過性フィルムに発生する欠点を高精度に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の外観検査の効率を向上する技術を提供する。
【解決手段】表面に配線が形成され且つ前記配線を覆う膜が形成された半導体装置において、膜に発生するクラックを検査する。膜を透過する光を表面に照射する。その表面の画像の所定方向に沿った輝度の変化率を計算する。その変化率の変化率を２次変化率として計算して２次変化率の分布図を作成する。２次変化率を計算する工程の後に連続性を強調する。連続性の強調は次のように行われる。各画素に対して、自画素の輝度と、複数の方向の各々について両側に隣接する画素の輝度との和を計算する。自画素の輝度を、複数の方向のうち和が最大である方向の和とする。 （もっと読む）

【課題】ステータコアに付着した不要ワニスを容易かつ正確に検知することができる不要ワニス検査装置を提供すること。
【解決手段】ステータコア８０に設けたコイル７に電気的絶縁性を維持するためのワニス９を含浸させてなるステータ８における、ステータコア８０の表面に付着した不要ワニス９９を検知する装置であって、不要ワニス９９を励起発光させることが可能な検査光５０を、ステータコア８０の表面の検査領域に向けて照射する光源５と、ステータコア８０の表面の検査領域を撮影するためのカメラ６と、カメラ６を通して採取した画像データを解析して不要ワニス９９の付着位置を特定する判定手段４５と、検査光５０がステータコア８０の軸方向端面８１から突出したコイルエンド部７０に照射されることを防止するためにコイルエンド部７０の少なくとも一部を覆うマスク部３とを有する。検査光５０は紫外線であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】塗膜で光を反射させたときの明暗の境界の鮮明さを定量的に表す評価値を用い、従来の官能評価と合致する評価を得ることができ、評価のばらつきを抑えることが可能な塗装ムラ評価値算出方法、塗装ムラ評価値算出装置、及び塗装ムラ評価方法を提供する。
【解決手段】塗膜へ光を照射し、当該光の正反射光が入射しない角度から撮像した画像を複数の領域に区分し、各領域の明度を求めて近傍の領域間の明度差に基づき、画像全体での明度の勾配に係る値を求め、塗膜の塗装ムラの評価値とする。塗膜Ａのように階調的に変化する場合と、塗膜Ｂのように急激に変化する場合とでは塗膜Ｂの方が明暗の境界が鮮明となり、塗装ムラの評価は悪くなる。算出される明度の勾配に係る値により、定量的な塗装ムラの評価が可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＲＧＢ画素部のフォトレジストの膜厚ムラや素ガラス部のＢＭパターン、ＲＧＢパターン、ＰＳ／ＶＡパターンやマークや品種番号のパターン欠けや高さ不良の発生を防止するムラ検査装置を提供する。
【解決手段】カラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタ基板を製造する工程において、ガラス基板に塗布されたフォトレジストの膜厚ムラを検査する装置であって、ガラス基板を搬送する搬送手段と、前記搬送されるガラス基板を照明する照明手段と、前記照明されたガラス基板を撮像する手段と、撮像された画像を処理する画像処理手段と、前記画像処理された画像に基づいて、ガラス基板の着色画素部のフォトレジストの膜厚ムラを判定する判定処理手段と、着色画素部外の素ガラス部のフォトレジストの膜厚ムラを判定する判定処理手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板のムラ検査装置。 （もっと読む）

【課題】塗布液の供給配管経路の途中に設置でき、塗布液の透明、不透明の影響を受けず、全ての気泡を確実に検知できると共に、気泡径の測定をも可能とした気泡検知用用具を提供すること。
【解決手段】塗布液を薄膜化させて流通させる気泡検知流路１を形成可能に所要の間隔をおいて対向配置され、少なくとも一方を透明板とさせた一対の平板２、３を備えた平板部と、平板部を挟み込んで平板部を保持させる共に、塗布液の供給配管経路の途中に接続されるプレート部とを備える。そして、プレート部は、供給配管経路と連通され、気泡検知流路１へ塗布液を流入させる入口側マニホールド６及び気泡検知流路１から塗布液を流出させる出口側マニホールド７と、気泡検知流路１を流通する塗布液中の気泡の有無を透過光又は反射光を用いて検知可能または目視可能に気泡検知流路１と対応する部位を開口させた検知スロット１９とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ワークの表面塗膜の下層の影響を受けずに、表面塗膜の検査精度を向上させる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１０は、ワーク３０の表面に形成された特定の波長帯域を吸収する上塗りクリア塗膜４０に前記特定の波長帯域の光を照射する照射部１６と、照射部１６によりワーク３０に照射された光の反射光を撮像し、且つ、前記特定の波長帯域の光に対して感度を有する撮像部２０と、撮像部２０が撮像した画像を用いて、上塗りクリア塗膜４０の状態を検査する画像処理装置２２と、前記ワークの表面を、前記撮像部２０に対して相対的に移動可能するアーム２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料表面の色むらと凹凸とを精度よく検査を行うことのできる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物の表面に光を照射する照明部と、前記照明部により光が照射された前記検査対象物を撮像する撮像部と、を有し、前記照明部は光源からの光を、照明部フィルタを介して照射するものであり、前記照明部フィルタは、複数のパターンフィルタを重ね合わせたものであって、前記複数のパターンフィルタには、所定の波長の光を遮断する領域と透過する領域とが、交互に所定の周期で形成されており、前記所定の波長及び前記所定の周期は、前記パターンフィルタごとに相互に異なるものであって、前記撮像部において撮像された画像を前記所定の波長の光の成分の画像ごとに分離し、前記検査対象物の表面における欠陥の検査を行うことを特徴とする表面欠陥検査装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】表面の干渉分析の方法とシステムを提供する。
【解決手段】物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。 （もっと読む）

【課題】めっき製造工程におけるめっき品質を傾向管理することによって、安定した検査を行うめっき検査装置を提供する。
【解決手段】板状金属製品に照明光を照射する照明手段と、板状金属製品を撮像して画像情報を得る撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給、排出する供給排出部と、めっき基準品の画像情報を処理して検査情報を得、検査情報と板状金属製品の画像情報を比較することによってめっき状態を判定して検査結果を得て、装置全体の動作制御を行う処理制御部と、板状金属製品の画像情報および検査結果と、めっき基準品の画像情報および検査情報とを記憶する記憶手段と、めっき基準品の画像情報を参照して、板状金属製品の検査結果および画像情報の傾向を比較するめっき状態管理手段と、を備えたことを特徴とするめっき検査装置。 （もっと読む）

【課題】 外観が類似しているブツと塗装後の塵埃とを区別して検査できる欠陥検査技術を提供する。
【解決手段】
入射光の角度を変化させて対象物の一定の領域を照射する照射手段と、入射光が対象物に照射されたときの画像を撮像素子で取得する撮像手段と、撮像手段によって取得した画像から欠陥候補を抽出し、該欠陥候補の特性に基づいてブツと塗装後の塵埃とを区別する欠陥種別を判定する欠陥判定手段を有することを特徴とする欠陥検査装置に関する。 （もっと読む）

【課題】 曲面を有する塗装膜を正確に計測する。
【解決手段】 ラヘルツ波を発生させるテラヘルツ波発生器１５と、前記テラヘルツ波を、膜が形成された試料に照射させる照射光学系１６、１７と、前記試料において反射したテラヘルツ波を検出するテラヘルツ波検出器２２と、検出されたテラヘルツ波の電場強度を時間軸の波形データに表し、波形データから複数のピークを検出するとともに、ピーク間の時間差に基づき膜厚を算出する制御部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面に形成された酸化被膜の厚さの分布を考慮して金属の品質を自動的に評価することができる金属の表面品質評価方法を提供する。
【解決手段】金属の表面品質評価方法は、被検体の表面の画像を撮像し、画像に含まれる複数の画素における色成分情報を求める撮像工程Ｓ１と、予め測定された金属の表面の画像に含まれる画素における色成分情報による色空間上での位置の軌跡、および、金属の表面における色成分情報を求めた位置での酸化被膜の厚さ、の対応関係と、色成分情報の色空間上での位置と、を比較して、画素に対応する酸化被膜の厚さを求める膜厚決定工程Ｓ２と、複数の酸化被膜の厚さに対する特定特徴量を求める特徴量決定工程Ｓ３と、予め測定された良品／不良品となる金属の特徴量と、特徴量決定工程で求められた特定特徴量とを機械学習により比較して、被検体が良品か不良品かを評価する良品評価工程Ｓ４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】自動車のボディやその部品などの光沢塗装が施されるなどして表面反射の強い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の疵、塗装の剥がれや凹みなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置、表面検査プログラムおよび表面検査方法の提供。
【解決手段】曲面状壁１ｂを有する計測空間１を構成し、計測空間１内の計測対象物Ａに対して照明装置２−１，２−２，２−３の光源光を均一に減光して照明し、照明された計測対象物Ａの全照明画像の撮影を行うとともに、パターン光投影装置３によりパターン光を計測対象物Ａに直接当たらないように曲面状壁１ｂに投影して反射させ、カメラ装置４によりこの反射パターン光が投影された計測対象物Ａの反射パターン画像の撮像を行う。 （もっと読む）

【課題】円筒部材に塗布された塗布物を確実に精度よく検出して、塗布物の塗布状態の検査精度を向上させる。
【解決手段】検査装置内で、円筒部材１０に塗布された塗布物１１を検出する検出センサ４０を、円筒部材１０の軸方向Ｃの外側に、かつ、軸方向Ｃに対して傾斜させて円筒部材１０の塗布面に向けて配置する。検出センサ４０により、円筒部材１０の軸方向Ｃに対して傾斜した方向から円筒部材１０の塗布物１１を検出し、検出センサ４０の検出結果に基づき、塗布物１１の塗布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】検査面の欠陥を見つけ易く、かつ、検査者が手で持つことのできる大きさでありながらも十分な照射面積を有する表面検査用光源を提供する。
【解決手段】表面検査用光源１０を、高圧放電灯１２と、内部に高圧放電灯１２を収容保持する放電灯収容空間２８が形成された放電灯保持部材１４とで構成し、発光部１６を臨む位置に出光用窓２９を設けるとともに、放電灯収容空間２８を、発光部１６を収容する発光部収容空間３０と、出光用窓２９の中心および一対の電極２４間を通る仮想線ＣＬを中心軸とし、当該仮想線ＣＬを含む断面において、母線ＢＬと、一対の電極２４間および母線ＢＬの底面側端を結ぶ直線ＳＬとが成す角度αが常に鈍角である角錐または円錐で形成された反射防止空間３４とで構成することにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】車両ボデーとなるワーク等に行った塗装における塗装不良の検出を、簡易な構成の機器を用いて確実に行う。
【解決手段】光源２０３は、ワークＷＫの表面の撮像を行うカメラ２０２の光軸ＡＸを軸回りに取り囲むように、複数配置される。これらの光源２０３は、制御回路チップ２０４の制御によって一つずつ順次点灯し、ワークＷＫの表面に様々な方向から光を照射する。カメラ２０２は、光源２０３が一つずつ順次点灯するその都度に、ワークＷＫの表面を撮像する。画像処理装置１０４は、カメラ２０２から送信された画像データを受けて画像処理を行い、その処理結果をモニタ１０５に出力する。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗膜の色ムラを目視評価と相関の高い定量値として得ることができるメタリック塗膜の色ムラ評価装置を提供する。
【解決手段】メタリック塗膜１０の色ムラ評価装置１００は、メタリック塗膜１０の色ムラを評価する装置であって、載置部１０１と、測定部１１０とを備える。載置部１０１は、メタリック塗膜１０を載置するための載置面１０２を有する。測定部１１０は、メタリック塗膜１０上の測定点に光を入射し、測定点から反射する光を測定する。測定部１１０では、複数の測定点に対して、入射光軸と受光光軸とを含む測定面が２以上存在するように、２以上の光軸の光を異なったタイミングで入射する。載置部１０２は、測定部１１０に対して相対的に移動可能である。 （もっと読む）