【課題】ラインカメラを角缶内の形状に合わせて動かし、移動する撮影中のカメラが常に角缶内と等距離で撮影でき、鮮明な画像が得られる角缶の内面検査方法を提供するにある。
【解決手段】外形がルーローの三角形状の回転体を、倣カムに穿設した回転体の外幅を一辺とする正方形の角穴内に、回転自在に設け、且つ、回転体から突出させると共に回転体のルーローの三角形状に対して重心および頂部の向きを一致させたカメラ保持体を備え、このカメラ保持体に対して、その頂部の側面に配した側面用ラインカメラと、先端面の頂部から重心に向けて配した底面用ラインカメラとから少なくとも成る撮影手段を用い、この撮影手段を角缶内に挿入した状態で、回転体の重心を駆動手段で偏心回転させながら撮影手段で角缶内を撮影し、この撮影した画像データーを基に、画像判定手段で角缶内面の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】防湿剤が適切に塗布されているかどうかを検査する基板検査装置を提供する。
【解決手段】紫外線が照射されることにより蛍光を発する蛍光剤を含む防湿剤の塗布されたプリント基板を検査する基板検査装置１であって、プリント基板に紫外線を斜めに照射する紫外線照射部１１と、プリント基板の画像を撮影する撮影部１３と、防湿剤の塗布されるべき領域を示す基準情報が記憶される基準情報記憶部１５と、撮影部１３が撮影した、紫外線照射部１１からの紫外線が照射されたプリント基板の画像から、蛍光領域の画像を取得する蛍光領域画像取得部１４と、取得された蛍光領域の画像の輝度を所定のしきい値と比較した結果と基準情報とを用いて、防湿剤の塗布されるべき領域に防湿剤が塗布されているかどうか判断する判断部１６と、その判断結果を出力する判断結果出力部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面が傾斜方向の異なる複数の面を有している場合であっても迅速に表面の欠陥の有無の測定を行うことができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】検査対象物９０の表面にそれぞれ波長帯が異なる複数本の光ビームＲ，Ｇ、Ｂを照射する光源１１と、検査対象物９０の表面で正反射された光ビームＲ，Ｇ，Ｂを検査対象物９０の表面の傾斜方向に応じてそれぞれ異なる収束位置Ｐ１，Ｐ２、Ｐ３に収束させるレンズ１３と、各収束位置Ｐ１〜Ｐ３に配置され、それぞれ異なる波長帯の光ビームを透過させるカラーフィルタ１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂと、そのカラーフィルタ１４Ｒ，１４Ｇ，１４Ｂを透過した光ビームの輝度を検出する受光素子１５Ｒ，１５Ｇ，１５Ｂと、前記光ビームを走査させる走査機構とを備えた表面検査装置１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】接着剤の塗布状態の検査に用いるマスターデータを簡単に登録することのできる、接着剤の塗布状態を検査する方法および接着剤塗布検査装置を提供する。
【解決手段】接着剤塗布検査装置１０は、接着剤が塗布されたワークを照明装置で照明した状態でカメラにより撮影して画像データを取得するワーク撮影装置１２を備えている。そして、撮影した画像データから接着剤が塗布された位置及び塗布範囲の形状に関する情報を抽出してマスターデータを作成する画像処理制御装置２０と、マスターデータを保存するデータ保管装置２４とを備えている。そして、画像処理制御装置２０により、検査対象のワークを撮影して取得した画像データから接着剤が塗布された位置及び塗布範囲の形状に関する情報を検査データとして抽出し、マスターデータと比較して、検査対象のワークにおける接着剤の塗布状態の適否を検査する。 （もっと読む）

【課題】接着対象部材上に線状に塗布された接着剤の塗布状態を精度良く検査することのできる接着剤検査装置を提供する。
【解決手段】接着剤検査装置は、ガラス４０上に塗布されたウレタン４４を照明する照明装置２０と、ウレタン４４を側方から撮影する側方撮影装置１６とが取り付けられたロボットハンド１２をそなえている。そして、ロボットハンド１２は接着対象部材上に帯状に設定されたウレタン４４の塗布予定域に沿った径路上を移動することができる構成とされており、ロボットハンド１２がウレタン４４の塗布予定域に沿った径路上を移動する際に、照明装置２０によって照明されたウレタン４４を側方撮影装置１６により側方から連続撮影してウレタン４４の塗布状態の画像を取得する。そして、側方撮影装置１６により取得した画像によりウレタン４４の塗布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布された着色膜に生じる微小な濃度変動を光学フィルターによって強調することでＳ／Ｎ比を向上させ、きわめて小さな濃度変動の良否判定を行う基板検査装置および基板観察装置を提供すること。
【解決手段】撮像素子をもつカメラ２２と、基板を把持するステージと、ステージ後方から基板を照明する照明手段２４と、カメラのシャッターを制御する制御手段と、カメラの撮像レンズ又は／及び照明手段の前面に、基板の光透過率の低い波長域のみを透過する光学フィルター２１と、カメラから得られた画像を蓄積、保存する記録手段と、画像を元に良否判定を行う判定手段とを有すること。 （もっと読む）

【課題】ナックルへのベアリング圧入過程においてナックル内径の圧入摺動面に塗布される潤滑剤の塗布状態の良否を的確に判定することができ、且つ検査の信頼性を向上させる潤滑剤の塗布状態検査装置及び塗布状態検査方法を提供する。
【解決手段】車両の懸架装置を構成するナックルと該ナックルに圧入されるベアリング１３と該ナックルのベアリング圧入面に塗布される潤滑剤に対して紫外光を照射してカメラで撮影してその撮像画像に対して二値化処理を施し、前記ナックルのベアリング圧入面に沿って略円環形状の判定領域１０を設定する判定領域設定手段と、前記ベアリング１３の圧入によって前記圧入面から前記判定領域１０にはみ出す潤滑剤１２のはみ出し領域から前記圧入面に塗布された潤滑剤の塗布状態の良否を判定する良否判定手段とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】物体の少なくとも部分的に反射する表面を光学的に検査するための方法および装置において、検査時のパターンの精度を安価な方法で改善する。
【解決手段】物体（５０）の部分的反射表面（５２）を光学検査する方法では、空間的な第１周期（７０，７１）で空間的な第１強度分布（３４，３６，６８，９２，９４）を形成する多数の明るい領域および暗い領域（３０，３２）を有するパターン（２８）を準備し、第１強度分布が表面にあたるように物体をパターンに対して位置決めし、所定の変位距離（６９）だけ第１強度分布を表面に対して変位し、表面が、変位距離に沿って第１強度分布に対して異なる多数の位置をとるようにし、光強度を検出する画像センサ（４０）により多数の画像を撮影し、表面を第１強度分布と共に異なる位置で画像により示し、画像に関係して表面特性を決定する。画像の撮影時に第１強度分布の光強度を所定の特性曲線（８２，９０）によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】設備の大型化や設備コストの増大を招くことなく、検査対象物の不良の有無を高い確実性をもって判別することができる不良検査方法を提供する。
【解決手段】一次判別工程では、複数の検査対象物１の不良の有無を判別する。マーキング工程では、一次判別工程で不良と判別された検査対象物１に、特定波長の光の照射を受けて可視化するインク２を塗布する。二次判別工程では、一次判別工程を経た検査対象物１を搬送しながらこの検査対象物１へ向けて特定波長の光を照射するとともに、特定波長の光を照射を受けて上記インク２が可視化している検査対象物１について、不良の有無を再度判別する。報知工程では、一次判別工程で検査対象物１が不良と判別された場合に、この検査対象物１が二次判別工程で不良の有無の判別がされる前に、前記判別結果を報知する。 （もっと読む）

【課題】 基板上に形成された膜厚が巨視的に見てなだらかに傾斜している場合でも、光の波長帯に依存せず、検出感度の良いムラ検査装置、およびムラ検査方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 基板９の上面に形成された膜９２に対して異なる波長帯の光を照射し、それぞれの波長帯の光により膜９２の膜厚の変動を示すムラ画像を取得する。ムラ画像からムラを含む領域を選択し、それぞれの領域を合成することにより、基板全面において膜厚ムラが高感度に検出されたムラ画像を得ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】シリンジのような製品におけるシリコンなど透明微粒子体の塗布状態を、素早く簡単に、しかも精度よく検査することのできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】透過光２１を照明する照明部２０と、透光部２６と遮光部２７とが交互に穿設されてなり、製品１１に対して、明部と暗部とが交互に繰り返される明暗縞を形成するスリット板２５と、透過光２１ａを受光して、製品１１を撮影する撮影部３０と、撮影画像に画像処理を施して、多階調の濃淡画像を形成する画像処理部３６と、
濃淡画像中の検査領域内で、中間調にて現れる透明微粒子体の各微粒子と上記明部または上記暗部との階調差により、上記微粒子の境界を明暗の変化点として検出する検出部３７と、上記変化点の個数に基づき、透明微粒子体の塗布状態を判定する判定部３８と、を備えて検査装置１０を構成した。 （もっと読む）

【課題】異常の原因を推定することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、半導体ウェハ１０を支持するウェハ保持部２０と、ウェハ保持部２０に支持されたウェハ１０の上ベベル部を照明する落射照明３２と、落射照明３２に照明されたウェハ１０の上ベベル部を撮像する撮像部３０と、撮像部３０に撮像されたウェハ１０の上ベベル部の像における色情報のうち、明度および彩度に関する情報を用いてウェハ１０の上ベベル部の表面状態を判別する画像処理部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】自動車やその部品などの光沢塗装が施されるなどして鏡面反射が酷い計測対象物であっても、簡単な構造により低コストで高精度かつ高速に表面の傷や塗装の剥がれなどの表面欠陥を検査することが可能な表面検査装置および表面検査方法の提供。
【解決手段】計測対象物Ｘを撮像するカメラ１と、計測対象物Ｘに対して光源光が直接当たらないように計測対象物Ｘを覆い、光源光を均一に減光する減光板３と、カメラ１により撮像された画像から計測対象物Ｘの表面欠陥を検出するデータ処理手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】ホットメルト接着剤の塗布量の良否を正確に検査することができる接着剤検査装置を提供する。
【解決手段】ホットメルトガン２０によってカートン２１の外フラップ２３にホットメルト接着剤が塗布され、その塗布量を検査する。ホットメルト接着剤には、紫外線を受けて発光する蛍光物質が添加される。紫外線投光器２によって外フラップ２３上のホットメルト接着剤に対し紫外線を投光し、ホットメルト接着剤中の蛍光物質が紫外線により発光して放射された可視光を受光器３が受光する。受光器３から出力される受光信号に基づき、良否判定回路９がホットメルト接着剤の塗布量の良否を判定し、接着剤塗布量不足の場合には異常信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の微小な凹凸の状態を評価できる表面微小凹凸評価装置および装置を提供する。
【解決手段】投光手段２から測定対象物Ｗの表面Ｗａに対して表面Ｗａの法線Ｘを基準として８３度から８５度の投光角度αで投光し、表面Ｗａで反射された反射光Ｒを受光手段３で、表面Ｗａの法線Ｘを基準として−７３度から−８０度の受光角度βで受光し、受光手段３で受光した反射光Ｒの光強度に基づいて表面Ｗａの微小な凹凸の状態を評価する。 （もっと読む）

少なくとも一部が反射性を呈する物体表面の光学的検査装置は，それぞれ円弧セグメント状セクション（32）を形成する第１及び少なくとも１つの第２クロスビーム（12, 14）を具える。クロスビーム（12, 14）は互いに，長手方向（17）に間隔（D）をおいて配置されている。クロスビーム（12, 14）は複数の長手方向ビーム（16）により長手方向間隔（D）で保持されている。長手方向ビーム（16）は円弧セグメント状セクション（32）に対して所定の半径方向間隔（38）をおいて配置されている。クロスビーム（12, 14）はトンネル状検査スペース（36）を形成する透光性の拡散スクリーン（34）を支持する。複数の光源（48）がトンネル状検査スペース（36）の外側で拡散スクリーン（34）の背後に配置され，これらの光源は拡散スクリーン上に可変明暗パターンを（90）を生成すべく，個別的に又は少数の群単位で制御可能とされている。トンネル状検査スペース（36）内に向けて，少なくとも１台のカメラ（74, 78）が配置されている。
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【課題】カラーレジストに感光作用を及ぼすことなく、カラーレジストの塗布状態の撮像、検査が可能なカラーレジスト塗布ムラ検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】すくなくとも、可視光に受光感度を有する撮像部２０と、可視光を照射できる照明部１０と、撮像側バンドパスフィルター４０と、照明側バンドパスフィルター３０と、前記撮像部２０から取り込んだ画像からカラーレジスト塗布ムラを抽出、判定するための演算機能を有する画像解析部６０と、判定された結果及びムラ画像を表示する表示部７０とから構成されていることを特徴とするカラーレジスト塗布ムラ検査装置である。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に光を照射する場合に、実装基板に多くのＬＥＤを取り付けて、すべてのＬＥＤからの光を検査ラインに向けられるようにする。
【解決手段】プリント基板４などの検査対象物に光を照射し、検査ライン５からの反射光をラインセンサ３で受光する検査装置１の照明装置２において、検査ライン５に沿った方向に第一列ＬＥＤ２１と第二列ＬＥＤ群２２を取り付けた一の実装基板２６と、この一の実装基板２６を取り付けるための平坦部２８を有する円弧状のブラケット２７とを備え、各実装基板２６における各列のＬＥＤ２３の光軸を検査ライン５に向けるようにする。また、第一列ＬＥＤ群２１と第二列ＬＥＤ群２２のＬＥＤ２３の光軸を、さらにそれぞれの列方向に沿ってそれぞれ異なる角度に設定する。 （もっと読む）

【課題】被検査体表面の欠陥部を迅速且つ簡単に高精度で検出する表面検査装置及び表面状態検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、波長域が互いに異なる複数の光源１２、１３、１４を有する照射部２と、照射部２の複数の光源１２、１３、１４から照射されて検査面Ｗａで反射した反射光を波長域別に分光して撮像する撮像部３とを有し、照射部２は、複数の光源１２、１３、１４が検査面Ｗａに面して順番に隣接して並ぶ構成を有することを特徴としている。これにより、反射光を撮像可能な角度範囲を拡大し、検査面Ｗａに対する照射部２または撮像部３の相対角度の許容誤差範囲を広げて、欠陥部の検出能力を向上させる。 （もっと読む）

【課題】被塗布面が目視不可能な箇所に配置されている被塗布材の被塗布面に塗布される塗布材の分布を非破壊検査によって測定することが可能な塗布分布測定方法を提供することを課題とする。
【解決手段】目視不可能な箇所に配置される車体２のフード３の内面４に塗布される加温ワックス７の塗布分布を測定する分布測定工程であって、加温ワックス７が内面４に塗布された直後に、目視可能なフード３の表面８を赤外線カメラ１１で撮像し、赤外線カメラ１１により得られた熱画像データ２０を、解析アルゴリズム２２を用いて処理することにより加温ワックス７の塗布分布を測定する。 （もっと読む）