【課題】筒状物品の内側面に対し複数方向からの光を照射でき、筒状物品の撮像する面が金属等の表面のような光沢面であっても安定した明度を得ることができ、画像検査の精度を向上できる撮像画像が得ることができる照明を提供する。
【解決手段】筒状物品３を撮像手段である撮像用カメラ６で撮像した画像を検査する際に筒状物品３を明るく照らす照明方法において、撮像手段６と筒状物品３の間に配置し、且つ筒状物品を撮像する撮像方向１０と平行に複数個配置された光源２から筒状物品３の外側より撮像方向に向かって光を照射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】膜の位置情報を精度よく管理可能な検査方法を提供する。
【解決手段】表面に膜が形成されたウェハの端部近傍を検査するための検査方法であって、ウェハの端部位置を検出する第１のステップ（Ｓ１０１）と、先に検出したウェハの端部位置におけるウェハの端部近傍を撮像し、ウェハの端部近傍の画像から膜の端部位置を検出する第２のステップ（Ｓ１０４）と、先のステップでそれぞれ検出したウェハの端部位置および膜の端部位置から、ウェハの半径方向に沿ったウェハの端部と膜の端部との間の距離を求め、当該距離に基づいてウェハの端部近傍における異常の有無を検査する第３のステップ（Ｓ１０６）とを有している。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】基板上にコーティング層が安定的にコーティングされるように基板表面に存在する異物を検知するための検査装置、その検査方法及びそれを備えるスリットコータに関する。
【解決手段】本発明は、スリット状の光を照射するスリット照明ユニット、上記スリット光を互いに異なる２つの経路に沿って進行する２つの光に分離して対象物に照射し、上記対象物から反射される２つの光が集合されて干渉像を抽出する光学系、上記干渉像を撮影して映像信号を出力する映像装置及び上記映像信号の輝度値を取得してリアルタイムで分析して異物検知可否を判断する分析ユニットを含む表面検査装置、その表面検査方法及びそれを備えるスリットコータを提供する。 （もっと読む）

【課題】透明管体の表面に塗付された保護コート剤の塗付状態が均一で斑もなく、形成された保護被膜の塗付量が適正であるか否かを、判断のばらつきを少なくして確実に検査することができる被膜検査装置を提供する。
【解決手段】平面状の光源５と、この光源５の光軸Ｌ方向に対向配置した撮像装置６と、この撮像装置６と光源５との間に、管軸Ｏを光軸Ｌの直交方向として配置された保護被膜４が被覆された光源光に透明なガラス管体３と、撮像装置６によって撮影された管体３の撮影画像を画像処理し、処理画像から該管体３に被覆された保護被膜４の良否を検出する画像処理装置８を備えると共に、光源５と管体３の間に、光源５の直接光が撮像装置６で撮影されないよう光源５の撮像エリアＰ内となる部分を遮蔽する遮蔽板１１を設け、かつ管体３への光源光の投射を、光源５の管軸Ｏ方向左右の遮蔽板１１による遮蔽部分外から行うようにする。 （もっと読む）

【課題】透明な接着剤の塗布状態を確実に検査し得る塗布接着剤の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｓの粗面に塗布された透明な接着剤Ｌの検査方法であって、基板表面に沿う方向に光を照射して接着剤Ｌに到達させ、少なくとも接着剤によって反射された光を接着剤塗布箇所の上方で受光し、受光した光の強度分布に基づいて基板上の接着剤Ｌの位置情報を取得することを特徴とする塗布接着剤の検査方法及び該方法を実施するための検査装置。 （もっと読む）

【課題】試料表面の色むらと凹凸とを容易に検査を行うことのできる表面欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】各々の領域ごとに複数の色相の光を照射することが可能な照明部と、前記照明部より検査対象に照射された反射光を検出するための撮像部と、を有し、前記各々の領域には、各々異なる波長を発光することが可能な複数の発光素子を有しており、前記照明部は、前記各々の領域において白色光を発光させるため前記複数の発光素子を発光させることができ、また、前記各々の領域において隣接する領域が異なる色相となる光を発光させるため前記各々の領域において前記複数の発光素子の一部を発光させることができるものであって、前記検査対象の表面における欠陥の検査を行うものであることを特徴とする表面欠陥検査装置により上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】塗布膜のスジムラ検査にて品種に対応したＮＤフィルタを自動で選択し、検査能力を低減させずにスジムラ検査を行う塗布膜の検査方法、検査装置を提供する。
【解決手段】塗布膜の光学濃度に対応して照射する検査光の輝度を撮像カメラ１４の入射輝度の範囲に調整するＮＤフィルタ１７を設定する際に、予め、光学濃度を測定しておき、該光学濃度にもとずき複数種のＮＤフィルタから自動で選択し設定する。検査装置はスジムラ検査機３０と膜厚監査計２０で構成され、膜厚監査計は予め測定した光学濃度をスジムラ検査機に伝送し、スジムラ検査機は、検査光の輝度を調整するＮＤフィルタを設定する際、伝送された光学濃度にもとずき複数種のＮＤフィルタから自動で選択し設定。 （もっと読む）

【課題】薄膜の端部を精度よく検出することが可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、表面に薄膜が設けられたウェハ１０を支持するウェハ支持部２０と、ウェハ支持部２０に支持されたウェハ１０の端部または端部近傍に対して微分干渉観察を行うための観察ユニット３０と、観察ユニット３０で得られたウェハ１０の微分干渉像を撮像する撮像素子５０と、撮像素子５０に撮像された微分干渉像の画像から薄膜の端部を検出する画像処理部５１とを備え、微分干渉観察におけるシアー方向がウェハ１０の半径方向に設定される。 （もっと読む）

【課題】肌理のある面の特性、特に光学的特性を決定するための装置の方法および装置。
【解決手段】被検査面上に放射線を照射する工程と、面上に照射され、面で反射した放射線の少なくとも一部を、面に入射した放射線の位置分解評価を可能にする検出装置を用いて検出する工程と、検出された放射線から、面の肌理を特徴付ける第１の特徴値（Ｐ）を決定する工程と、検出された放射線から、面のさらなる光学的特性を特徴付ける第２の特徴値（ΔＥ）を決定する工程と、第１の特徴値（Ｐ）および第２の特徴値（ΔＥ）に基づいて結果値（ΔＩ）を決定する工程と、を含む特定の肌理のある面の特性を決定するための方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明はレジスト膜の面ムラをリアルタイムあるいは簡単にレジスト膜の面ムラを検査できるレジスト膜面ムラ検査装置及び検査方法を及びＤＴＭ製造ラインを提供することである。
【解決手段】
本発明は表面ディスクの表面に塗布されたレジスト膜の表面に検査光を照射し、該レジスト膜表面から正反射光を検出し、その二次元像を出力することを特徴とする。
また、本発明では前記特徴に加え、前記出力は前記２次元検出結果をその検出レベルに応じて濃淡画像あるいは色相画像として表示することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 鏡面の曲面を有する対象物に対する、欠陥検出の支障となる照明の映り込みを抑制し、確実な欠陥検出を可能とする画像検査装置を提供する。
【解決手段】 エリアカメラ本体１を覆うように面状照明装置３ａ、３ｂを配置し、面状照明装置３ａ、３ｂの前面に拡散板４を設け、検査対象物に照明を映り込ませ、欠陥を浮き出させることを特徴とするカメラユニットを、垂直多関節ロボットの先端に取り付け、検査対象物とカメラユニットの位置関係を、常に一定に保持することで、鏡面の曲面を有する検査対象物の表面に存在する欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】測定対象の幅方向に対して広範囲で欠陥を検出する。
【解決手段】第１のミラー群１２に入射されたレーザ光の波面は、分割されて反射され、光学フィルム１０の幅方向に配列された状態で光学フィルム１０に照射される。光学フィルム１０に照射されたそれぞれのレーザ光の波面は、光学フィルム１０を介して第２のミラー群１３で反射され、光学フィルム１０を介して、第１のミラー群１２に対して入射される。第１のミラー群１２に入射されたレーザ光は、再び１つの波面が揃い、ウェッジプレート４に入射される。そして、ウェッジプレート４の第１の面Ｓ１で反射されるとともに、第２の面Ｓ２で反射されることにより２つの波面に分割される。２つの波面が干渉することにより、撮像部７において干渉縞が撮像され、撮像された干渉縞の画像データに対して、解析部８による解析が行われる。 （もっと読む）

【課題】 塗膜形成ムラを検出することが出来るとともに、装置内の調整を容易に行なうことが可能な塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、回転テーブル５上には調整用画像５０が描かれている。調整工程において画像処理装置６の調整処理部６２は、調整用画像５０の反射光量の電気信号を出力し表示する。よって、その信号から調整内容を簡単に判断することができ、調整作業が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】 １台のコントローラで、各画像処理を所定の処理手順と同期させて実行しつつ、撮像の取りこぼしを防ぐための撮像禁止期間をなくす。
【解決手段】 画像処理ユニットには、計測ユニットと撮像ユニットが含まれており、画像処理ユニットの処理手順を規定する画像処理プログラムに基づいて、処理手順に沿って各画像処理ユニットが順次実行される画像処理装置において、所定の撮像手段（カメラ３０ａ〜カメラ３０ｃのいずれか）から画像データが得られるときに成立する複数種類の撮像完了条件を記憶しており、撮像ユニットの処理内容として、画像データが所定の撮像手段から得られるものであるかを識別し、複数種類の撮像完了条件のうちいずれかが成立しているかを判定し、成立していると判定した撮像完了条件に対応付けられた計測ユニットの実行に用いる画像データに対して割り当て処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】設置場所における外部からの光の影響を受け難く、外部からの光の影響を避けるための調整を必要としない、画像検査装置、画像検査方法及び画像検査に用いるコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】画像検査装置は、ガラス１４０上のウレタン塗布領域に塗布されたウレタン１４４に赤外線を照射する赤外線照射装置１２０と、ウレタン１４４を撮影する赤外線撮影装置１１６とが取り付けられたロボットハンド１１２を備え、ロボットハンド１１２はウレタン塗布領域に沿って設定された経路上を移動することができる構成とされている。そして、ロボットハンド１１２が前記径路上を移動する際に、赤外線照射装置１２０によって赤外線が照射されたウレタン１４４を、赤外線撮影装置１１６により連続撮影して画像を取得し、赤外線撮影装置１１６により取得した画像によりウレタン１４４の塗布状態を検査する。 （もっと読む）

【課題】 比較的大きな塗膜形成ムラを簡単に早く検出することが出来る塗膜形成ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】 塗膜形成ムラ検出装置１００は、表面に膜を塗布した基板Ｗを保持し回転する回転テーブル５と、基板Ｗに光を照射する光照射手段２と、光照射手段２による基板Ｗ表面からの正反射光を受光し、撮像画像の信号出力する光電変換手段４と、を備える。そして、基板Ｗの回転中心を含んで回転中心から半径方向の一走査分の電気信号の同一の距離の一週分の検出値を加算して複数の同心円加算値を求め、複数の同心円加算値から変化点を判断する。したがって、全基板Ｗ上においてムラ領域を簡単に判断することができ、処理効率の良い塗布ムラの検出が可能になる効果を奏する。 （もっと読む）

【課題】 微細ゴミは通常、物体の凸部外表面より凹部底面や内壁面により多く溜まってしまう。ところが、微細ゴミの検出に不可欠な凹部底面や内壁面に沿った水平接面光照射が可能な照明器具が現在見当たらない。
【解決手段】 作業者が手にした照明器具の観察進入角を問わず、照明器具の先端を被検査面に当てた瞬間に、常に反射ミラーの傾斜角が自動的に仰角θの１／２傾斜角８となる追従機能を持たせることにより、水平接面光の照射が可能となり、底の深い凹部底面や内壁に付着する微細ゴミの検出ができる微細ゴミ観察用照明器具。 （もっと読む）

【課題】蛍光ランプにおける蛍光塗膜の検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる蛍光ランプ検査装置を提供する。
【解決手段】蛍光ランプ検査装置は、蛍光ランプに対して光を照射する照明装置と、当該照明装置からの直接光及び蛍光ランプを透過した透過光を受光し、輝度値を含む画像データとして出力するＣＣＤカメラと、得られた画像データに基づき、蛍光塗膜の良否を判定する演算装置とを備えている。演算装置は、露光時間ｔ₁で撮像した第１画像データから検査領域の輝度値Ｙ_1wを取得し、露光時間ｔ₁よりも短い露光時間ｔ₂で撮像した第２画像データから背景領域の輝度値Ｙ_2bを取得し、当該両輝度値Ｙ_1w，Ｙ_2bを基に、第２画像データに係る検査領域における光の透過率α／βを算出し、当該透過率α／βに基づき、蛍光塗膜の膜厚の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】凹凸面を有しこの凹凸面に塗膜が形成された基材に対して光を照射すると共に前記塗膜からの反射光を検出し、この反射光の強度に基づいて塗装不良を検出するにあたり、塗装不良の有無を正確且つ容易に判定することができる塗装不良検査方法を提供する。
【解決手段】平坦面を有しこの平坦面に前記塗膜と同一組成の判定用塗膜が形成された判定用基材４に光を照射すると共に塗膜からの反射光を検出する。光の入射方向に対する前記判定用基材４の角度θが所定の角度以上の場合の反射光の最大強度を除外強度とする。基材の塗膜からの反射光の強度に基づいて塗装不良を検出する際に、前記除外強度以下の強度の反射光の検出結果を除外する。 （もっと読む）