【課題】容易な調整作業によって複数の撮像装置で同じ波長帯の光を受光できる光学フィルタ調整方法およびムラ検査装置を提供する。
【解決手段】薄膜に対して光を照射することによって、当該薄膜の上面および下面でそれぞれ反射する反射光の干渉による像の一部を少なくとも含む第１領域を撮像する。また、第１領域と重複する重複領域を有し、当該重複領域に上記像の一部が少なくとも含まれる第２領域を撮像する。薄膜に照射されてその反射光がそれぞれ撮像されるまでの光路上に第１光学フィルタおよび第２光学フィルタをそれぞれ配置して、特定の波長帯の光を透過させる。それぞれ撮像された重複領域の像を用いて、第１光学フィルタの透過波長帯と第２光学フィルタの透過波長帯との相対的な関係を示すパラメータを算出する。算出されたパラメータに基づいて、第１光学フィルタおよび第２光学フィルタの少なくとも一方の光路に対する傾きを変更する。 （もっと読む）

【課題】基板のパターン形成面の下地層の影響を低減した回路パターン形状の良否を判別することができる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】繰り返しパターンが形成された基板１０の欠陥を検査する欠陥検査装置２０は、対物レンズ９を含み、対物レンズ９を介して基板１０に形成された繰り返しパターンに光源１からの光を照射する照明光学系２１と、繰り返しパターンに起因して生じた複数次数の回折光による、対物レンズ９の瞳面の像を検出する検出光学系２２と、得られた瞳像から基板１０の繰り返しパターンの欠陥を検出する検出部２３と、を有し、検出部２３は、第１の波長の光による瞳像を第１の波長とは異なる第２の波長の光による瞳像の輝度値を用いて補正し、補正された輝度値から基板１０の繰り返しパターンの欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置に要するコストを抑制しつつ基板上の部品の高さを把握する。
【解決手段】基板検査システムにおいて、ミラー角度制御部は、被検査面の垂線に対する角度の絶対値が互いに異なる撮像角度から見た基板２の映像をラインセンサが走査できるよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう撮像角度を切り替える。ミラー角度制御部は、基板２からの光をラインセンサに向けて反射するハーフミラー４２の角度を、ラインセンサから基板２への光路長が変化しないよう変更して撮像角度を切り替える。このときミラー角度制御部は、基板２の表面に対して垂直な垂直撮像角度と、基板２の表面に対して傾斜した傾斜撮像角度とを切り替える。 （もっと読む）

【課題】太陽電池パネルのガラス表面上のキズを精度良く検出するキズ検査装置を提供する。
【解決手段】画像処理装置１と、スリット板２と、遮光ボックス３と、該画像処理装置１と電気的に接続されたラインセンサカメラ４、ライン照明５、基板センサ６、基板搬送装置７、およびロータリエンコーダ８とを備え、基板センサ６が、基板搬送装置７上を搬送されてきた太陽電池パネル基板９を検出するとともに、基板搬送装置７のロータリエンコーダ８からのエンコーダ信号が画像処理装置１に送られる。画像処理装置１は、このエンコーダ信号によって、基板搬送装置７の送り速度と同期を取りながら、ライン照明５によって照射されている被検査面を、ラインセンサカメラ４によって撮影し、撮影した被検査画像を画像処理装置１内のメモリに記録する。メモリ内に記録された被検査画像は、画像処理装置１によって画像処理が行われ、キズ判定がなされる。 （もっと読む）

【課題】複雑な事前調整や処理を必要とすることなく、簡素な設備だけで容易に透過光型検査を行うことができる技術を提供する。
【解決手段】検査対象物である光透過性を有したウェブＷの上面に角度θの方向から白色光源２２を用いて白色光を照射する。また、ウェブＷの同じ上面に白色光とは別に赤外光源２４から赤外光を照射する。ウェブＷの下方にラインセンサ１８を配置し、透過光画像を撮像する。ラインセンサ１８は、白色光源２２による照射方向と対向せず、赤外光を透過光として受光できる位置に設置されているため、透過赤外光によって画像の明るさが向上する。ウェブＷの内部に気泡Ｂがあると、白色光は多様に屈折・散乱し、画像内に暗領域として現れる。また混入した異物Ｈについては、赤外光を遮ることでやはり暗領域として現れる。いずれの場合も、画像全体を明るくすることで充分なコントラストを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ハードディスク用のパターンドメディアの検査において、パターン形状及びサーボパターンの位置ずれの欠陥を高速に検査する方式を提供する。
【解決手段】設計情報１を用いて検査領域２を指定し、スキャットロメトリー法によって測定するための領域分割３を行い、得られた検出データをパターン分類４し、周期領域５と非周期領域６に分類する。光センサによって分光特性を検出７し、特徴量を抽出８する。抽出された特徴量８と、特徴量マップデータベース１１に蓄えられた特徴量を領域毎に比較することによってパターンドメディアの状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアの検査において、ナノインプリント時の欠陥か、表面に付着した異物あるいは傷かを区別して検査する。
【解決手段】ナノインプリント時の欠陥の検査は複数の波長を含む第１の光源からの光をハーフミラー７、対物レンズ８を介してディスク基板１に照射し、反射光を対物レンズ８、ハーフミラー７を介して分光器９に入射させることによってスキャットロメトリー法により検査する。ディスク表面の異物あるいは傷をレーザ光１０を斜め方向から照射し、第１の仰角と第２の仰角に配置した検出装置１１、１２によって検出する。スキャットロメトリー法による欠陥の座標が異物あるいは傷の座標と一致すれば、ナノプリント時の欠陥ではないと判断し、一致しなければナノプリント時の欠陥と判断する。 （もっと読む）

【課題】カメラ受光感度の機種差及び個体差等によらず、カラーで構成された印刷物を高精度に検査するのに好適な撮像方法を提供すると共に、リアルタイムに高い信頼性の下で検査を行なうことが可能な検査装置を提供するする。
【解決手段】印刷物表面に白色光を照射する第１の照明段階と、印刷物表面に少なくとも１種類以上の所定の波長域の光を照射する第２の照明段階と、印刷物裏面に白色光を照射する第３の照明段階と、印刷物を、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、印刷物表面を撮像する撮像段階と、撮像段階にて得られた印刷物の表面の画像データを用いて、印刷物に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階とを有する印刷物の検査方法および検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】微小はんだ領域と通常サイズのはんだ箇所とが混在するクリームはんだ印刷基板に対して、高分解能３次元検査と基板全面のはんだ箇所３次元検査とを実用的な検査時間において実現する。
【解決手段】基板に対してそれぞれ斜め姿勢の高分解能撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと基板全面撮像用１次元カラーイメージセンサカメラと、基板を直上方向から照明する第３色相光光源と、高分解能撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第１色相光光源と、基板全面撮像用カメラよりも低い位置にあってカメラと同じ方向からクリームはんだを照明する第２色相光源によって照明装置を構成し、微小はんだ領域についてはスキャン撮像による高分解能３次元検査を、又その他の通常サイズはんだ箇所については基板全面のスキャン撮像による３次元検査をすることによって、検査時間が実用的な範囲に収まるようにした。 （もっと読む）

【課題】はんだフィレットの高さの計測精度を向上し、信頼度の高い検査を実現する。
【解決手段】同軸落射照明用の赤外光および赤、緑、青の各色彩光を基板に照射しながら、赤外光および可視光を分離して受光する機能を有するカメラにより基板上のフィレット１０２を撮像する。つぎに、生成された画像において、各照明光の正反射光像領域が連なっている方向に沿う計測ラインＬを設定し、このラインＬ上で、各正反射光像領域および暗領域の境界点Ａ１〜Ａ６を検出する。つぎに、各正反射光領域の境界点Ａ１〜Ａ５に、それぞれ対応する照射角度範囲の境界を表す角度から求めた傾斜角度を適用し、各点Ａ１〜Ａ５の座標Ｄ１〜Ｄ５に各傾斜角度を対応づけて、ラインＬ上の傾斜角度の変化を表す近似曲線を設定する。そして、点Ａ１から点Ａ６までに相当する範囲を対象に近似曲線を積分し、この演算により得た計測値をはんだの濡れ上がり高さとして特定する。 （もっと読む）

【課題】異物の見逃しを防止して高精度に異物の有無を検査可能な異物検査装置を提供する。
【解決手段】内容物が充填された透過性を有する容器Ｂの底面側からの画像を取得し、その画像に基づいて容器内の異物の有無を検査する異物検査装置１において、容器Ｂの側面を保持して直線的に検査位置Ｐに搬送するコンベア２と、検査位置Ｐで容器Ｂの上方から赤外域の照明光を照射する上部照明ユニット３と、検査位置Ｐで容器Ｂの底面側へ向けてその外周斜め下方から可視域の照明光を照射する下部発光器４と、赤外光によって形成される画像を撮像する第１カメラ６Ａと、可視光によって形成される画像を撮像する第２カメラ６Ｂと、上部照明ユニット３から照射された光束を第１カメラ６Ａに、下部発光器４から照射された光束を第２カメラ６Ｂにそれぞれ分配するコールドミラー７と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】設置環境に変動が生じても、表面形状の測定を高精度に行う。
【解決手段】表面検査装置１に、保持部材２（把持部２ａ）と、光学部材６０と、表側第１光源１１と、表側第２光源１２と、ミラー３０と、コリメータレンズ４０と、ミラー５０と、ハーフミラー７０と、ダイクロイックミラー８０と、表側第１撮像部９１と、表側第１撮像部９２と、画像処理プログラムと、を備え、第１波長の光を試料Ｗの表面の一面で反射させる一方で、第２波長の光を把持部２ａの一面側に取付け固定された光学部材６０で反射させ、画像処理プログラムにより、双方から反射された光に基づく輝度データを用いて試料Ｗの表面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら、多様な半導体基板に対応して、高い精度でマイクロクラック等を検出することができる赤外線検査装置を提供する。
【解決手段】半導体基板に赤外線を照射して透過した光を検出する赤外線検査装置であって、異なる波長の光を射出する複数種類の赤外線ＬＥＤを、切り替え点灯可能に備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】スルーホールの内壁面に形成された傷を正確に検出することができるプリント基板検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】プリント基板１２のスルーホール１２ａの一方の面側に配置した反射部２３と、前記プリント基板１２の他方の面側から前記スルーホール１２ａを照明する照明手段３１と、前記プリント基板１２の他方の面側から前記スルーホール１２ａを撮像する撮像装置３２と、該撮像装置３２で撮像した前記スルーホール１２ａの画像情報に基づいてスルーホール欠陥を検査する欠陥検査手段３３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 バンドパスフィルタを用いて制限した光を被検物の表面に当てて、その反射光により被検物の表面を安定的に観察する。
【解決手段】 被検物を照射する光源と、該光源の光から所定の波長成分を抽出するフィルタと、前記所定の波長の光で前記被検物を照明する照明光学系と、前記フィルタの前記抽出に用いる位置を前記照明光学系の光路中に保持した状態で、該光路に対して前記フィルタを連続して変位させる変位部と、前記照明された前記被検物の検査を行う検査光学系とを用いる。 （もっと読む）

【課題】色彩と傾斜角度との関係の整合がとれた画像を生成するとともに、真上方向からの撮像では認識できない急峻なはんだ面の傾斜状態を認識できるようにする。
【解決手段】発光色の切り替えが可能な発光部が複数配列されたドーム型の照明装置２の上方にカラー撮像用のカメラ１を配置するとともに、照明装置２の中心線Ｃに直交する方向に対向するように反射ミラー３１，３２を配置し、これらのミラー３１，３２の位置を制御することにより、カメラ１に直視撮像モードおよび斜視撮像モードのいずれかを設定する。直視撮像モード下の照明装置２では、赤、緑、青の各発光領域が、各領域間の境界が全方位にわたって均一な状態で生じる。一方、斜視撮像モード下では、画像中の赤、緑、青の各色彩が直視撮像モードによる画像と同じ角度範囲を表し、より急峻な傾斜角度が紫色で表されるように、各発光部の発光色が制御される。 （もっと読む）

【課題】検査用照明光の波長変動の影響を受けない正確な検査が可能であり、且つ、複数の検査装置間で検査結果のバラツキがない検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、照明光学系１０と、照明光の照射を受け該照明光の波長に応じ予め設定された物理的変調を生じさせた光を出射させる基準変調部と、照明光の照射を受けウエハ５および基準変調部で物理的変調を受けて出射された光を受光する撮像装置３０と、撮像装置３０で受光したウエハ５で物理的変調を受けた検査光に基づいてウエハ５の検査を行う欠陥検出部３９と、検査の状態を検出する検査状態検出部３８とを備え、撮像装置３０で同時に受光可能な範囲内に、ウエハ５で物理的変調を受けた検査光と基準変調部で物理的変調を受けた検査光とが入るようにウエハ５と基準変調部とを配置し、検査状態検出部３８は基準変調部で物理的変調を受けた検査光に基づいて前記検査の状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数のカラー光源を利用して、鏡面状の検査面を有する検査対象物の欠陥を確実に検出できるようにする。
【解決手段】 検査面２の法線方向に光軸を一致させてカラーラインＴＶカメラ３を配置し、検査面２を横切るカラーラインＴＶカメラ３のライン状視野に対して平行でかつカラーラインＴＶカメラ３の光軸から離れた位置に赤緑青３色の棒状のライン光源４，５，６を配置し、検査面２とカラーラインＴＶカメラ３との間にハーフミラー７を配置し、緑色ライン光源５をその光がハーフミラー７を介してカラーラインＴＶカメラ３の光軸と同軸に検査面２に照射されるように配置し、緑色ライン光源５を挟んで赤色ライン光源４および青色ライン光源６を平行に並べて配置し、ハーフミラー７を介して赤色ライン光源４および青色ライン光源６の光が緑色ライン光源５の光路を挟んで検査面２に対し斜め方向から照射されるようにした。 （もっと読む）

【課題】被検物の全面でフォーカスが合い、さらに被検物の全面が撮像素子と共役となる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１は、ウエハ１０を支持するホルダ５と、ホルダ５に支持されたウエハ１０の検査面１０ａに検査用照明光を照射する照明光学系２０と、検査用照明光が照射されたウエハ１０の検査面１０ａからの検査光を受光する撮像装置４０と、撮像装置４０で受光した検査光に基づいてウエハ１０の検査面１０ａの検査を行う画像処理検査部４５とを有し、ホルダ５はウエハ１０の検査面１０ａと検査光の光軸とが成す角度を調整可能であり、前記角度に応じて、ウエハ１０と撮像装置４０とがシャインプルーフの条件を満たすように、撮像装置４０を検査光の光軸に対して傾動させるシャインプルーフ条件制御部５１を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】液体製品用包装容器に対して測定を行なうための装置および方法を改良する。
【解決手段】この発明は、液体製品が充填された包装容器、特に、少なくとも若干摩耗しているかまたは他の態様で可視光を大なり小なり通さない包装容器に対して測定を行なうための装置および方法を提供し、包装容器は、製品を有する包装容器にとって好適な波長範囲の放射線で照射され、包装容器の内容の少なくとも一部の画像は、予め定められた期間、画像記録手段によって記録され、得られた画像情報は、好ましくない粒子の存在を示す情報について分析され、放射線の一部は赤外線範囲内に属する周波数を有する。 （もっと読む）