【課題】半導体ウェハなどのパターンが形成された試料の欠陥検査において、高感度かつ高スループットの欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の特徴は、パターンの方向と、照明光の試料への射影の方向と照明光の偏光に着目したことにある。また、少なくとも２つの照明方向の該試料への射影は該試料の主要なパターンの方向に対して垂直または平行であり、該第１の方向の照明光の偏光と該第２の方向の照明光の偏光は互いに異なることを特徴とする。また、本発明は、該第１の方向の射影と該第２の方向の射影は互いに垂直であることを特徴とする。また、本発明は、該第１の方向の射影と該第２の方向の射影は互いに平行であることを特徴とする。また、本発明は、該第１の方向の照明光の偏光はｓ偏光であり、該第２の方向の照明光の偏光はｐ偏光であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ検査装置及びそれを利用するＬＥＤ検査方法が提供される。
【解決手段】前記ＬＥＤ検査装置は、第１光を生成して、前記第１光によって励起されて前記第１光より長波長の光を放出する蛍光体を有する封止材が具備されたＬＥＤに照射する第１照明部と、前記第１光より長波長の第２光を生成して前記ＬＥＤに照射する第２照明部と、前記蛍光体から放出された光と前記ＬＥＤから反射した前記第２光を受信して、前記ＬＥＤの映像を獲得する映像獲得部と、前記映像獲得部から得られた前記ＬＥＤの映像を利用して、前記ＬＥＤの不良有無を判断するＬＥＤ状態判定部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】海苔のように表面が粗く湿気を含むようなシート状物の枚数を精度よく測定するに適したシート状物の枚数検査装置の提供。
【解決手段】マイクロ波発振器２からの電磁波を方向性結合器３で照射波と参照波に分配し、中間周波数発振器８からの局部波をパワーデバイダ９で第１局部波、第２局部波に分配し、アップコンバータ４で照射波と第１局部波とを合波し変調照射波を生成し、これをシート状物Ｓの一側面に入射する。シート状物Ｓを通過した透過波をミクサ１０で参照波を合波し２次合成波を生成する。２次合成波と第２局部波をミクサ１４，１５で合波し、差周波数の３次合成波を生成する。位相遅延検出手段（１６，１７）は３次合成波の電圧値／電流値をＡＤ変換し位相遅延量を検出する。重畳枚数判定手段１７が、位相遅延量に基づきシート状物の重畳枚数を判定する。 （もっと読む）

【課題】様々な汚れが付着しているコンクリート表面であっても、ひび割れや段差の存在を簡単に知ることができる。
【解決手段】コンクリート表面３に欠陥部分（ひび割れや段差）３ａがある場合、ライト４Ａ，４Ｂの照射方向によって該欠陥部分３aに影が出来たり出来なかったりする。いま、所定の領域Ａについての複数の画像データを二値化処理し、該二値化処理した複数の画像データの差分画像を生成したとする。コンクリート表面の汚れは、どの画像データにも映っているので、差分画像では相殺されて現れないが、欠陥部分３ａの影は、出来たり出来なかったりするので、差分画像に現れる。したがって、該差分画像を見れば、欠陥部分３ａの存在を簡単に知ることができる。 （もっと読む）

【課題】観察対象物によらず常に安定した印刷状態の検査ができる検査装置を提供することである。
【解決手段】物体Ｘの外表面に印刷された文字あるいは図形の印刷状態を検査する装置であって、物体Ｘの外表面に対して、異なる色の単色光を切り替え可能に発光できるＬＥＤ１からなる照明手段と、照明された物体の文字あるいは図形を観察する画像認識手段２と、この画像認識手段の画像情報を受けて当該文字あるいは図形の印刷状態の良否を判断するコントローラ４とより構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】３次元色空間を使用して良否判定を行なう場合に、判別条件の設定を精度良くに行なうことができる色空間判別条件生成装置及びこれを使用した画像検査装置を提供する。
【解決手段】正常な背景のみの色空間データが分布する領域を統計解析すると共に、正常な検査対象物のみの色空間データが分布する領域を統計解析し、これらの統計解析結果に基づいて、検査対象物と背景との境界面に現れる中間色の色空間データが分布する領域を決定する。そして、背景色空間データ、対象物色空間データ及び中間色色空間データの各分布をそれぞれ包含するモデル図形領域を設定し、当該モデル図形領域に基づいて判別条件テーブルを生成する。この判別条件テーブルを使用して画像検査を行う。 （もっと読む）

【課題】任意の孵卵工程における任意の種卵に対する生存・非生存を鑑別し、その要因まで分類することができ、さらに１時間あたり数万個の判定処理能力を達成することができる種卵検査装置および種卵検査方法を提供する。
【解決手段】トレイ１の卵座に置かれた卵にＬＥＤ光源７から光を照射し、吸盤８とともにヘッド９に取り付けられたフォトダイオードＰＤによって卵の中を透過・散乱した光を受光する。受光した光を受光電圧に変換し、受光電圧があらかじめ与えられた設定範囲に収まるようにＬＥＤ光源７の光源光量を制御することで、種卵の状態によらず適切なレベルの受光電圧の時系列を得て、受光電圧時系列の平均周りの変動分と卵に対する光の透過率等から種卵の内部状態を判定する。 （もっと読む）

【課題】球面の全部又は一部を表面に有する検査対象物の表面を広範囲に且つ高精度に検査することのできる表面検査装置及び表面検査システムを提供する。
【解決手段】本発明の表面検査装置１は、平行光を発する光源部１１と、光源部１１が発した平行光を検査対象球２に向けて集光すると共に、集光された光が検査対象球２の球面部分で反射した反射光を受ける集光レンズ１２と、検査対象球２を撮像する撮像素子１５と、集光レンズ１２を通過した反射光を受けて、検査対象球２の球面部分の像を撮像素子１５上に結像する結像レンズ１４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】欠陥内の輝度変化が大きく二値化によって分断される可能性が高い場合でも、同一の欠陥とみなせる欠陥候補領域を連結することにより欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】モノクロのラインセンサカメラにより木材の表面を撮像した濃淡画像が画像処理装置４に入力される。濃淡画像を二値化した二値画像を用いて欠陥候補抽出手段１２により欠陥候補領域が抽出される。さらに、ピース３２ごとに設定されるしきい値を用いて二値化した二値画像を用いて欠陥候補再抽出手段１５により欠陥候補領域が再抽出される。欠陥判定手段１６は、再抽出された欠陥候補領域について欠陥を判定する。欠陥判定手段１６により欠陥と判定されなかった欠陥候補領域は、連結評価手段１７により連結可能か否かが評価され、連結可能である欠陥候補領域は連結され、再判定手段１９により欠陥か否かが再判定される。 （もっと読む）

【課題】薄膜の端部を精度よく検出することが可能な基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置１は、表面に薄膜が設けられたウェハ１０を支持するウェハ支持部２０と、ウェハ支持部２０に支持されたウェハ１０の端部または端部近傍に対して微分干渉観察を行うための観察ユニット３０と、観察ユニット３０で得られたウェハ１０の微分干渉像を撮像する撮像素子５０と、撮像素子５０に撮像された微分干渉像の画像から薄膜の端部を検出する画像処理部５１とを備え、微分干渉観察におけるシアー方向がウェハ１０の半径方向に設定される。 （もっと読む）

【課題】複数の電極ピンを有する部品を対象にした検査領域の設定データの作成処理を高速化する。
【解決手段】処理対象の部品２０１を含む領域内の基準画像を表示して、部品本体に対応する領域３０を指定する操作を受け付ける。ユーザはこの指定操作を行った後に、部品本体の一辺に配置された電極ピンのうちの一番端およびその隣の２つに対応する領域、ならびにこれらの電極ピンが接続されているランドに対応する領域を、指定枠３３，３４により指定する。これらの指定に応じて、指定された領域間の関係に基づき、部品２０１における電極ピンや配置に関する規則が特定され、さらに、特定された規則や領域３０に基づいて、各電極ピンに対する検査のための検査領域が設定される。 （もっと読む）

あるシステム及び方法が、再構築により、基板上のオブジェクトの概略構造を決定する。これは、例えば、リソグラフィ装置のクリティカルディメンション（ＣＤ）又はオーバレイ性能を評価するための微細構造のモデルベースのメトロロジーなどに適用できる。基板上のスタック上の格子などのオブジェクトの概略構造を決定するためにスキャトロメータが使用される。ウェーハ基板は上層と下地層とを有する。基板はスタックオブジェクト上の格子を含む第１のスキャトロメトリターゲット領域を有する。スタック上の格子は上層と下地層とからなる。上層は周期格子のパターンを備える。基板はさらに、上層がない、隣接する第２のスキャトロメトリターゲット領域を有する。第２の領域は、パターン形成されていない下地層のみを有する。 （もっと読む）

例えばリソグラフィ技術によるデバイス製造などで使用可能な半導体ウェーハ上の処理欠陥を検出する検査方法及び装置。スキャン経路に沿ってダイのストリップを移動する測定スポットで照明する。散乱放射を検出してストリップ上部に空間的に集積された角度分解されたスペクトルを取得する。散乱データを測定又は計算によって入手した基準スペクトルのライブラリと比較する。該比較に基づいてダイの上記ストリップの欠陥の存在を決定する。測定スポットはウェーハにわたって大きな（一定の）速度部分を含むスキャン経路軌跡のウェーハに沿ってスキャンされ、角度分解スペクトルが取得され、フルスキャン速度で比較が実行される。ダイにわたってストリップに沿ってＹ方向に長時間の取得が実行される場合、位置変動の結果としての取得されたスペクトルの変動は主としてスポットのＸ位置に依存する。高速スキャン経路軌跡に沿ってスポットがウェーハに整列しないため、スポット位置が変動する。ダイ上のそれぞれのＸ位置でのある範囲のスキャン経路について基準スペクトルのライブラリが入手され、高速測定スポットのＸ位置の変動が可能になる。 （もっと読む）

【課題】表面に膜が形成されたウエハでも安定してアライメントマークと周辺部のコントラストが高い画像データを取得できるようにしたものを提供する。
【解決手段】照明光となる光源と前記光源からの光を物体に照射し、また反射光を集光結像する結像光学系と前記結像光学系の集光点に設置し、物体の画像を取り込むカメラと取り込んだ画像を処理する画像処理機能からなるアライメント測定装置を備えた欠陥検査装置において、画像の取り込みを少なくとも２つの異なる波長帯域の反射光において行い、それぞれの反射光に対応した物体の画像情報を適切に演算処理することによってアライメントマークのコントラストを高めるように構成する。 （もっと読む）

【課題】従来技術では、偏光状態の違いにより正しく欠陥と、異物との弁別を行うことができない場合も考えられる。
【解決手段】上記課題を達成するために、本発明の第１の特徴は、試料を載置する搬送系と、前記試料の第１の領域に第１の光を照射し、前記試料の第２の領域に第２の光を照射する照射光学系と、前記試料からの光を受光する受光系と、前記照射光学系での時間遅れを記憶する記憶部と、前記受光結果と、前記時間遅れとを用いて、試料に由来する欠陥と異物とを弁別する処理部とを有することにある。本発明の第２の特徴は、前記第１の光の状態と、前記第２の光の状態とを観察する光学条件観察部と、前記光学条件観察部での観察結果をフィードバックする観察結果フィードバック部と、前記フィードバックを用いて前記第１の光と、前記第２の光との光学条件を同じにする光学条件制御部とを有することにある。 （もっと読む）

【課題】金属パターン間の樹脂表面及び金属パターン表面を同時に観察でき、不良品の判別を精度よく行うことが可能な金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び、金属パターン形成樹脂基板の製造方法を提供する。
【解決手段】金属パターン形成樹脂基板１に励起光ａ１及び可視光ａ２を同時に照射し、金属パターン形成樹脂基板１の樹脂表面２から発せられる光及び金属パターン３が反射する可視光を、励起光に対する感度を有さず、前記蛍光又は燐光、及び可視光に対する感度を有する検出系で検出する。金属パターン形成樹脂基板１に照射する可視光ａ２の強度を、金属パターン形成樹脂基板１に照射する励起光ａ１の強度の０．０００１〜１％とすることが好ましい。そして、このようにして金属パターン形成樹脂基板の樹脂及び金属の表面を検査し、不良品を除いて金属パターン形成樹脂基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】検査処理数量を増やすことができ、かつ対をなす２台の支持台上のキャップのカメラ側の外側面を照明ムラなく均一に照明することができる樹脂製キャップの照明装置を提供する。
【解決手段】対をなす２個の樹脂製キャップ１の上方に水平に配置されたリング型ＲＧＢ照明２１と、リング型ＲＧＢ照明２１の直下に配置されるとともに、リング型ＲＧＢ照明２１の略半分を覆うように撮像装置３０から離間した側に配置される第１遮光板２２と、リング型ＲＧＢ照明２１の直下に鉛直に配置されるとともに、リング型ＲＧＢ照明２１の外周縁から中心部に向かって樹脂製キャップ１の搬送方向と略直交する方向に延びる第２遮光板２３とを備え、リング型ＲＧＢ照明２１は、リング型ＲＧＢ照明２１の中心が対をなす２個のキャップ１の軸心１ａ，１ａを結ぶ線分の中点から撮像装置３０側に偏倚するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】金属パターン間の樹脂表面を、容易かつ精度よく観察でき、不良品の判別を精度よく行うことが可能な金属パターン形成樹脂基板の表面検査方法及び、金属パターン形成樹脂基板の製造方法を提供する。
【解決手段】金属パターン形成樹脂基板１に前記樹脂材料表層で吸収される波長を有する励起光を照射し、金属パターン形成樹脂基板１の表面から発せられる光を、励起光に対する感度を有さず、蛍光又は燐光に対する感度を有する検出系で検出する。樹脂基板２が、芳香族ポリイミド、イミド基を含むポリウレタン、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミドなどから、励起光が、波長４３０ｎｍ以下の光であることが好ましい。そして、このようにして金属パターン形成樹脂基板の樹脂表面を検査し、不良品を除いて金属パターン形成樹脂基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】利便性を維持しつつ、蛍光材料を使った偽変造防止技術の偽変造耐性が向上した情報記録媒体、媒体検証方法、および媒体検査装置を提供する。
【解決手段】情報記録媒体は、基材６と、基材の上に蛍光材料で形成された情報形成層４と、情報形成層を覆って基材上に形成されたオーバーコート層５と、を備え、オーバーコート層は、蛍光材料の励起波長を反射あるいは吸収し、蛍光材料の発光光を透過する特性を有し、基材は、少なくとも蛍光材料の励起波長を透過する特性を有している。 （もっと読む）

【課題】複数の画像データから高精細な画像を表す高精細画像データを生成する高精細画像生成処理において、生成する高精細画像の出力時における画質の低下が抑制されるような画像データを生成することを可能とする。
【解決手段】画像生成装置は、生成する高精細画像データの出力に用いる出力装置に関する情報を出力装置情報として取得し、出力装置情報に基づいて出力装置での出力に適した高精細画像の画像サイズを生成画像サイズとして設定する生成画像サイズ設定部を備える。また画像生成装置は、複数の画像データから、時系列に並んだ複数の画像データを合成元画像データとして取得し、取得した合成元画像データを合成して、設定した生成画像サイズの高精細画像を表す高精細画像データを生成する画像合成部を備える。 （もっと読む）