【課題】半導体素子の光軸の向きを迅速かつ精度よく調整することができる表面検査装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１０内に、レーザ光を照射するための複数の半導体素子１３，１４を間隔を置いて配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の前方に、該半導体素子１３，１４からの光を半導体素子並設方向と交差する方向に細長く伸ばして被照射体にライン光を照射するためのレンズ１５，１５を配置した表面検査装置であって、前記配置した全ての半導体素子１３，１４の前方に跨るように前記レンズ１５，１５を配置し、前記複数の半導体素子１３，１４の光軸の向きを半導体素子並設方向でそれぞれ独立して調整するべく、該半導体素子１３，１４の角度を調整するための調整手段１９Ｋ，１９Ｋを備えた。 （もっと読む）

【課題】画素分解能を高め、また、放射線によるノイズを排除することで、欠陥検出能力の高いパターン欠陥検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】第１の方向に沿って第１の画素ピッチで配列した複数の第１の画素を有し、被検査体の光学像の第１の画像データを出力する第１のセンサと、第１の方向と略直交する第２の方向に並列して設けられ、第１の方向に沿って第１の画素ピッチで配列し且つ第１の方向において第１の画素位置から第１の画素ピッチの１／Ｎ（Ｎは１以上の整数）だけずれた位置に配置された複数の第２の画素を有し、被検査体の光学像の第２の画像データを出力する第２のセンサと、第１の画像データ及び第２の画像データに基づいて被検査体の欠陥を検出する欠陥検出部と、を備えたことを特徴とするパターン欠陥検査装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】 セミアディティブ法により作成されたプリント配線基板の表面を撮像する場合においても、コンパクトな構成により良好な二値画像を得ることが可能な基板検査装置を提供すること。
【解決手段】 照明機構１０は、Ｘ方向に延びる一対のロッドレンズ１３と、このロッドレンズ１３の長手方向に複数個列設された第１のＬＥＤ１５とから成る第１照明手段と、一対のロッドレンズ１３の周囲を取り囲むように配設された多数のボールレンズ１４と、第２のＬＥＤ１６とから成る第２照明手段とを備える。両照明手段により照明された光はプリント配線基板により反射し、この反射光は開口部１２を通過してＣＣＤラインセンサに入射する。 （もっと読む）

【課題】 長尺の対象物を検査するには、拡散板の長さが必然的に長くなり、拡散レンズを継ぎ合わせて使用しなければならず、拡散板の継ぎ目は光量変化が大きく正確な検査装置を提供することができない。また、長尺の拡散板を特注で製作することは可能であるが、非常に高価になる欠点がある。
【解決手段】 チップ状のＬＥＤを等間隔に複数個配置し、この複数個のＬＥＤ上に集光レンズを配置し、その上に継ぎ合わせ部を鉤型形状に切断した複数個の拡散板を取付け、かつ各継ぎ合せ部を鉤型形状に切断した拡散板からの映像を少なくとも１台以上のカメラで取り込むようにした。
この結果、光量むらが解消し、安価な市販の拡散板が使用できる。 （もっと読む）

【課題】 欠陥検知及び分類のための共通光路干渉イメージング用のシステム及び方法を記載する。
【解決手段】 照明光源が可干渉光を発生し且つサンプルへ向けて指向させる。光学的イメージングシステムが、該サンプルにより主に回折されていない鏡面成分と散乱成分とを包含しており該サンプルから反射又は透過された光を回収する。可変位相制御システムが、画像面において干渉する態様を変化させるために散乱成分と鏡面成分の相対的位相を調節するために使用される。その結果発生する信号は該サンプル上の同じ位置に対する参照信号と比較され、スレッシュホールドを超える差が欠陥であると考えられる。このプロセスは、各々が異なる相対的位相シフト及び各欠陥位置で複数回繰り返され、且つその差信号がメモリ内に格納される。このデータは各欠陥に対する振幅及び位相を計算するために使用される。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時における光源の交換が容易で、部品の汎用性が高いライン型光源装置を提供する。
【解決手段】複数のＬＥＤ光源１３がライン状に実装されている光源基板１１を、放熱部材１２に接合してなる光源ユニット７を本体ハウジング５に固設すると共に、駆動制御部６から延出する配線ライン１９を光源基板１１に対してコンプレッションコネクタ１６を介して接続させる。ＬＥＤ光源１３を交換するに際しては光源ユニット７全体を交換する。その際、光源基板１１がコンプレッションコネクタ１６を介して配線ライン１９と接続されているため、コネクタが自動的に挿脱されるため、作業性が良い。 （もっと読む）

【課題】被検査体における内部析出物、空洞欠陥、表面の異物ないしスクラッチ、表層のクラックの欠陥を精度よく検出し、欠陥の種類を特定して欠陥を分類できるようにする。
【解決手段】光源装置４からの光をポラライザー５を介して偏光を与えて被検査体Ｗに対し斜め方向に入射させ、その散乱光ＳＢを暗視野に配置された偏光分離素子９を有するＣＣＤ撮像装置７で撮像し、得られたＰ偏光成分画像とＳ偏光成分画像とについて成分光強度を得て、それらの比としての偏光方向を求める。被検査体に応力を印加していない状態と、応力を印加した状態の光散乱体の撮像により得られた画像から成分光強度、偏光方向を求め、所定の閾値と対比することにより欠陥の検出、分類がなされる。 （もっと読む）

検査される対象の対象物の画像を得て、これを提供するための光学検査プローブを提供する。光学検査プローブは、対象物の画像を撮るための画像化組立体と、対象物の方に向けられる光ビームを生成するための照明組立体とを備える。光学検査プローブは、光ビームが、第１の焦点面で焦点に収束するように構成される。
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【課題】欠陥検出の精度を高めつつ、効率良く欠陥を検出する。
【解決手段】表面欠陥検査装置は、被検査物１の表面１ａを撮像する撮像部２と、撮像部２により得られた画像に基づいて被検査物１の表面１ａの欠陥を検出する処理部４と、を備える。撮像部２は、受光面１１ａに形成された像を撮像する撮像素子１１と、受光面１１ａに被検査物１の表面１ａの像を形成する光学系１２とを有する。光学系１２の光軸Ｏが被検査物１の１ａ表面の法線Ｎ１に対して傾けられる。受光面１１ａの法線Ｎ２が光学系１２の光軸Ｏと平行である場合に比べて、受光面１１ａの周辺部での光学系１２による被検査物１の表面１ａのデフォーカス量が低減されるように、受光面１１ａの法線Ｎ２が光学系１２の光軸Ｏに対して相対的に傾けられる。 （もっと読む）

【課題】 長尺の対象物を検査するには、集光レンズの長さが必然的に長くなり、集光レンズを継ぎ足して使用しなければならず、集光レンズの繋ぎ目には影ができやすくなり、この影が検査物の欠点と判断され、正確な検査装置を提供することができない。また、長尺の集光レンズを特注で製作することは可能であるが、非常に高価になる欠点がある。
【解決手段】 チップ状のＬＥＤを等間隔に複数個配置し、この複数個のＬＥＤ上に継ぎ足した集光レンズを配置し、その上に１０ｍｍ以上離して拡散フィルムを設置した。この結果、光量むらが解消し、安価な市販の集光レンズが使用できる。 （もっと読む）

【課題】欠陥の有無による受光強度の差が微小であり環境光が変動する場合でも欠陥を検出し、局所的に受光強度が変動しても誤認することなく欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】透明フィルム１を検査対象として照明装置２から検査対象の表面に光を照射するとともに、検査対象の表面の各部位からの反射光をラインセンサカメラ３により受光して濃淡画像を生成する。画像分割部１３は濃淡画像を複数の分割画像に分割し、最頻値抽出部１４は分割画像内において濃淡値の最頻値を求める。欠陥候補抽出部１５は最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する。欠陥領域統合部１６は連結領域を統合する。検査領域設定部１８は欠陥領域について重心を基準とする検査領域を設定し、欠陥判定部２０は検査領域内で基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素として抽出する。 （もっと読む）

【課題】中心オブスキュレーションがない高開口数（ＮＡ）の反射屈折対物系、及びそのアプリケーションを開示する。
【解決手段】このような対物系は、深紫外線（ＤＵＶ）放射を含む放射の広いスペクトルバンド幅で作用することができる。反射屈折対物系の屈折要素は、１タイプの材料（例えばＣａＦ₂及び／又は溶融石英など）から製造できることが重要である。また、このような反射屈折対物系の要素は光軸に対して回転対称である。反射屈折対物系は、（１）偏光ビームスプリッタ（第一偏光放射を通過させ、第二偏光放射を反射する）を使用する、及び／又は（２）１つ又は複数の折り畳みミラーを使用して、オフアクシス放射を反射屈折対物系の瞳内へと誘導することによって、中心オブスキュレーションを解消する。例示的反射屈折対物系が図２に図示されている。 （もっと読む）

【課題】パターンからの回折光による誤検出をなくし、異物を高精度に検査できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】 本発明の異物検査装置は、被検物の表面に光を投光する投光器と、投光器によって表面に投光された光の表面における散乱光を受光する受光器と、受光器の出力に基づいて表面における異物の有無と大きさの少なくとも一方を判定する制御器とを備える。投光器は、投光器の光軸が表面に対して傾くように配置され、受光器は、受光器の光軸が投光器の光軸と表面の法線軸とを含む平面に対して第１角度だけ傾くように配置される。投光光の偏光軸が平面に対してなす角度を第２角度とするとき、制御器は、第１角度と第２角度との差が互いに異なる第１状態及び第２状態となるように投光光の偏光軸と受光器の配置の配置の少なくとも一方を制御し、第１状態における受光器の出力と第２状態における受光器の出力とに基づいて異物を判定する。 （もっと読む）

【課題】屈折・回折型レンズを用いたSchupmann光学系で配置される分光光学系により垂直落射照明を可能とし、かつ、ＤＵＶ−ＵＶ（２００ｎｍ〜４００ｎｍ）領域の広帯域色補正を行うことを可能とする分光光学系および分光測定装置を提供する。
【解決手段】光源１１０と、視野絞り１１１と、リレーレンズ系１４０と、フィールドレンズ系１５０と、結像レンズ系１６０と、分光器１７０とを有し、リレーレンズ系１４０、フィールドレンズ系１５０および結像レンズ系１６０は、屈折型レンズおよび／または回折型レンズによるSchupmann光学系で配置され、かつ、リレーレンズ系１４０と結像レンズ系１６０のいずれか一方に回折型レンズを有する分光光学系であって、フィールドレンズ系１５０が２枚以上のレンズで構成され、そのうちの１箇所においてレンズが所定の距離だけ離して配置されている。 （もっと読む）

【課題】広範囲で被検査体の表面の欠陥を検出することができる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置１０は、光を照射する投光部１１と、光を第１辺部と第２辺部を有する矩形形状の光に変えて第１辺部ａを拡大しかつ第２辺部ｂを縮小して線状の検出用光３１に形成して検出用光３１を被測定体１の表面２に向けて照射する集光光学部１２と、被測定体１の表面２から反射した検出用光３１を線状に形成した受光像４０として結像するための検出部１３と、検出部１３で受光した線状に形成した受光像４０の変形部分４９を被測定体１の表面２の欠陥５０とする画像処理部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】空間的なコヒーレンスに起因するゴースト像の発生を抑える技術を提供する。
【解決手段】インテグレータとして機能するフライアイレンズ１０４の分割数Ｎを、ある閾値より大きくすることで、観察される視野の領域内で発生するゴースト像のコントラストをあるレベルよりも小さくなるようにする。こうすることで、紫外レーザ光を用いたフォトマスクの欠陥の検査におけるゴースト像の影響を排除する。 （もっと読む）

【目的】検査対象試料の被検査パターン画像を適切に検査するために、検査基準パターンの画像を適切に補正した補正画像を生成する装置及びその方法を提供する。
【構成】被検査パターン画像と検査基準パターン画像の位置合わせを行い、サブ画素単位の相対シフト量を算出し、検査基準パターン画像を、この相対シフト量に基づいて垂直または水平方向のいずれか一方のシフト方向にシフトさせ、第１の線形予測モデルを用い検査基準パターン画像を上記シフト方向と垂直方向に補正して第１の補正パターン画像を生成し、第２の線形予測モデルを用い第１の補正パターン画像を、上記シフト方向と同一方向に補正して、第２の補正パターン画像を生成する補正パターン画像生成装置および補正パターン画像生成方法。 （もっと読む）

【課題】被検査面における表面の割れ・抉れ・めくれ上がりのような顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出でき、高い欠陥検出精度を発揮でき、製品の品質検査ラインにも十分組込ことができる表面検査装置および方法を提供することを目的とする。
【解決手段】３台のカメラから出力される画像信号に対し、それぞれ2値化を含む画像処理を施し、疵候補点を抽出する疵候補抽出部と、前記疵候補につき特徴量を抽出する特徴量算出部と、3台のカメラから抽出された前記特徴量につき、同一疵によるものと判断される特徴量の対応付けを行うカメラ間特徴量対応付け部と、前記対応付けを各カメラの特徴量から二次特徴量を算出する二次特徴量算出部と、前記二次特徴量から疵種または無害模様を判別する疵種・無害模様判定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プラスチックペレットからの後方散乱光により、変色ペレット、異物混入ペレットや異形ペレットを検出し、これらのペレットの的確な除去を行うことができるプラスチックペレット選別機を提供する。
【解決手段】 プラスチックペレット選別機において、落下するプラスチックペレット２１の両側に対になるように、光源とラインセンサ装置とを備えるラインセンサカメラを配置し、前記光源からの照射光の後方散乱光を測定することにより、前記プラスチックペレット２１の異物、黒色、異形を検知して、前記プラスチックペレット２１の良品と不良品との選別を行うプラスチックペレット選別機であって、前記光源として前記落下するプラスチックペレット２１の上下方向に一対の蛍光灯２３を配置し、この一対の蛍光灯２３はそれぞれ遮蔽円筒体２４を備え、この遮蔽円筒体２４の窓２４Ａにシリンドリカルレンズ２５を配置し、このシリンドリカルレンズ２５からの光を前記落下するプラスチックペレット２１へ照射する。 （もっと読む）

【課題】
反射屈折型対物レンズを用いた垂直落射照明を行う場合、反射屈折型対物レンズ中心を通過する欠陥からの正反射光が結像されないため、検出面ではフレア成分となり低SNになる。
【解決手段】
光源と、前記光源から照射された照明光を反射させるハーフミラーと、前記ハーフミラーにより反射された照明光による試料からの反射光を集光させる反射屈折型対物レンズと、前記反射屈折型対物レンズを透過した前記反射光を結像させる結像レンズと、前記試料からの正反射光が前記結像レンズにより結像する位置に設けられた遮断部材を有するリレーレンズと、前記遮断部材により前記正反射光が遮断された反射光を検出する検出器とにより構成される検査光学系と、前記検出器で検出された信号に基づき前記試料の欠陥を検出する演算処理部とを有する欠陥検査装置。 （もっと読む）